JPH07245261A - 位置合わせ装置 - Google Patents
位置合わせ装置Info
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- JPH07245261A JPH07245261A JP5808694A JP5808694A JPH07245261A JP H07245261 A JPH07245261 A JP H07245261A JP 5808694 A JP5808694 A JP 5808694A JP 5808694 A JP5808694 A JP 5808694A JP H07245261 A JPH07245261 A JP H07245261A
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- JP
- Japan
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- image
- model
- model image
- mark
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置合わせ用のマークが経時変化したときも
位置合わせができるとともに、マークの誤検出を少なく
することができる位置合わせ装置を提供する。 【構成】 モデル登録の際の日時を付加情報として記憶
させ、モデル登録時の日時と現在の日時との差を求め、
その差の値を予め設定してある更新必要時間と比較し、
差の値が更新必要時間を越えていたとき、今取り込んだ
画像の中からモデル画像と同じ部分を抜き出し、新たな
モデル画像として更新登録する。しきい値を高い値に保
つことができるので、マークの誤検出を少なくすること
ができ、しかもマークが経時変化したときも位置合わせ
が可能である。
位置合わせができるとともに、マークの誤検出を少なく
することができる位置合わせ装置を提供する。 【構成】 モデル登録の際の日時を付加情報として記憶
させ、モデル登録時の日時と現在の日時との差を求め、
その差の値を予め設定してある更新必要時間と比較し、
差の値が更新必要時間を越えていたとき、今取り込んだ
画像の中からモデル画像と同じ部分を抜き出し、新たな
モデル画像として更新登録する。しきい値を高い値に保
つことができるので、マークの誤検出を少なくすること
ができ、しかもマークが経時変化したときも位置合わせ
が可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は位置合わせ装置に関
し、特に半導体製造装置等に使用される位置合わせ装置
に関する。
し、特に半導体製造装置等に使用される位置合わせ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程における位置合わ
せ方法として、半導体ウエハ上の位置合わせ用のマーク
に対応する像をモデル画像として登録し、画像入力手段
で得た試料画像から正規化相関を用いてモデル画像を検
出する方法がある。しかし、ノイズや画素の区切りなど
により、完全に一致したモデル画像を検出することはで
きない。そこで、あるしきい値を設定し、その値を越え
る画像が見付かったときにモデル画像があったと認識す
るようにしている。この方法を以下に説明する。
せ方法として、半導体ウエハ上の位置合わせ用のマーク
に対応する像をモデル画像として登録し、画像入力手段
で得た試料画像から正規化相関を用いてモデル画像を検
出する方法がある。しかし、ノイズや画素の区切りなど
により、完全に一致したモデル画像を検出することはで
きない。そこで、あるしきい値を設定し、その値を越え
る画像が見付かったときにモデル画像があったと認識す
るようにしている。この方法を以下に説明する。
【０００３】図５モデル登録のプログラムフローチャー
トである。
トである。
【０００４】まず、位置合わせ用のマークとして適した
ものを探す（ステップ５１）。ＸＹステージ上の半導体
ウエハの画像をテレビモニタで見ながら操作パネルを用
いて位置合わせに適したマークを探す。
ものを探す（ステップ５１）。ＸＹステージ上の半導体
ウエハの画像をテレビモニタで見ながら操作パネルを用
いて位置合わせに適したマークを探す。
【０００５】次に、位置合わせに適したマークが見付か
ったとき、しきい値を決定し（ステップ５２）、モデル
用メモリに登録する（ステップ５３）。
ったとき、しきい値を決定し（ステップ５２）、モデル
用メモリに登録する（ステップ５３）。
【０００６】図６は位置合わせ処理のプログラムフロー
チャートである。
チャートである。
【０００７】まず、位置合わせを行う画像を入力する
（ステップ６１）。加工すべき半導体ウエハをＸＹステ
ージ上に載せ、位置合わせ用のマークがあると思われる
位置にＸＹステージを動かす。その位置でＣＣＤカメラ
によって得た映像信号を画像処理制御部へ送る。
（ステップ６１）。加工すべき半導体ウエハをＸＹステ
ージ上に載せ、位置合わせ用のマークがあると思われる
位置にＸＹステージを動かす。その位置でＣＣＤカメラ
によって得た映像信号を画像処理制御部へ送る。
【０００８】次に、正規化相関処理を実行し（ステップ
６２）、正規化相関処理の結果に基づいてしきい値を越
える画像があったか判断する（ステップ６３）。
６２）、正規化相関処理の結果に基づいてしきい値を越
える画像があったか判断する（ステップ６３）。
【０００９】ステップ６３の答が肯定（Ｙｅｓ）、すな
わち正規化相関処理の結果、モデル画像が現在撮像して
いる画面内に見付けたと判断したとき、ステップ６４へ
進み、正常終了する。
わち正規化相関処理の結果、モデル画像が現在撮像して
いる画面内に見付けたと判断したとき、ステップ６４へ
進み、正常終了する。
【００１０】ステップ６３の答が否定（Ｎｏ）、すなわ
ち正規化相関処理の結果、モデル画像が現在撮像してい
る画面内に見付からないと判断したとき、ステップ６５
へ進み、エラー終了する。
ち正規化相関処理の結果、モデル画像が現在撮像してい
る画面内に見付からないと判断したとき、ステップ６５
へ進み、エラー終了する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところが、半導体ウエ
ハ上に描かれた位置合わせ用のマークに対応する像をモ
デル画像として登録し、位置合わせを行う場合、ウエハ
毎、ロット毎にマークが変形することにより正規化相関
値が低下する。これはエッチングプロセスでの加工再現
性などの問題により、ロット毎にマークが太くなったり
細くなったり、コントラストが高くなったり低くなった
りすることが度々生じ、マークが少しずつ変化するため
である。
ハ上に描かれた位置合わせ用のマークに対応する像をモ
デル画像として登録し、位置合わせを行う場合、ウエハ
毎、ロット毎にマークが変形することにより正規化相関
値が低下する。これはエッチングプロセスでの加工再現
性などの問題により、ロット毎にマークが太くなったり
細くなったり、コントラストが高くなったり低くなった
りすることが度々生じ、マークが少しずつ変化するため
である。
【００１２】したがって、モデル画像を登録した後ある
程度日数が経過すると、検出すべきマークが次第に変化
し、登録時のモデル画像とは相当異なったものとなって
しまうので、しきい値を低めに設定しなければならな
い。
程度日数が経過すると、検出すべきマークが次第に変化
し、登録時のモデル画像とは相当異なったものとなって
しまうので、しきい値を低めに設定しなければならな
い。
【００１３】しかし、モデル画像の登録後、しきい値を
低めに設定すると、位置合わせ用のマーク以外のものを
誤検出するおそれが高くなり、逆にしきい値を高めに設
定すると、マークが経時変化したときに検出できないと
いう問題があった。
低めに設定すると、位置合わせ用のマーク以外のものを
誤検出するおそれが高くなり、逆にしきい値を高めに設
定すると、マークが経時変化したときに検出できないと
いう問題があった。
【００１４】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は位置合わせ用のマークが経時変化
したときも位置合わせができるとともに、マークの誤検
出を少なくすることができる位置合わせ装置を提供する
ことである。
たもので、その課題は位置合わせ用のマークが経時変化
したときも位置合わせができるとともに、マークの誤検
出を少なくすることができる位置合わせ装置を提供する
ことである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の位置合わせ装置は、試料上のマ
ークに対応する像をモデル画像として登録する登録手段
と、画像入力手段で得た試料画像から前記モデル画像を
検出するモデル画像検出手段とを備えた位置合わせ装置
において、前記登録手段による登録からの経過時間また
は前記登録からの前記検出回数を検出する検出手段と、
前記検出手段で得た情報に基づいて、前記モデル画像を
更新すべき状態か否かを判定する更新判定手段と、前記
更新判定手段が更新すべき状態にあると判定したとき、
前記モデル画像検出手段により検出した画像を新たなモ
デル画像として更新する更新手段とを備えている。
め請求項１記載の発明の位置合わせ装置は、試料上のマ
ークに対応する像をモデル画像として登録する登録手段
と、画像入力手段で得た試料画像から前記モデル画像を
検出するモデル画像検出手段とを備えた位置合わせ装置
において、前記登録手段による登録からの経過時間また
は前記登録からの前記検出回数を検出する検出手段と、
前記検出手段で得た情報に基づいて、前記モデル画像を
更新すべき状態か否かを判定する更新判定手段と、前記
更新判定手段が更新すべき状態にあると判定したとき、
前記モデル画像検出手段により検出した画像を新たなモ
デル画像として更新する更新手段とを備えている。
【００１６】また、請求項２記載の発明の位置合わせ装
置は、前記更新すべき状態が、前記検出手段による前記
経過時間が所定時間が経過している経過していることで
ある。
置は、前記更新すべき状態が、前記検出手段による前記
経過時間が所定時間が経過している経過していることで
ある。
【００１７】更に、請求項３記載の発明の位置合わせ装
置は、前記更新すべき状態が、前記検出回数が所定回数
を越えていることである。
置は、前記更新すべき状態が、前記検出回数が所定回数
を越えていることである。
【００１８】
【作用】前述のように登録手段による登録の際の情報及
びモデル画像検出手段による検出の際の情報を記憶手段
によって記憶し、記憶手段で得た情報に基づいて、更新
判定手段によってモデル画像を更新すべき状態か否かを
判定し、更新判定手段が更新すべき状態にあると判定し
たとき、更新手段によってモデル画像検出手段により検
出した画像を新たなモデル画像として更新するようにし
たので、位置合わせ用のマークが経時変化したときも位
置合わせができるとともに、マークの誤検出を少なくす
ることができる。
びモデル画像検出手段による検出の際の情報を記憶手段
によって記憶し、記憶手段で得た情報に基づいて、更新
判定手段によってモデル画像を更新すべき状態か否かを
判定し、更新判定手段が更新すべき状態にあると判定し
たとき、更新手段によってモデル画像検出手段により検
出した画像を新たなモデル画像として更新するようにし
たので、位置合わせ用のマークが経時変化したときも位
置合わせができるとともに、マークの誤検出を少なくす
ることができる。
【００１９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００２０】図１はこの発明の一実施例に係る位置合わ
せ装置を備えた半導体製造装置の構成図である。半導体
ウエハ（試料）６はＸＹステージ５上に載置され、半導
体ウエハ６の上方には対物レンズ４及びダイクロイック
ミラー３が配置されている。レーザ光源１から出射され
たレーザ光Ｌ1 は、光量調整部２で所定の光量に調整さ
れ、ダイクロイックミラー３及び対物レンズ４を介して
半導体ウエハ６に照射される。
せ装置を備えた半導体製造装置の構成図である。半導体
ウエハ（試料）６はＸＹステージ５上に載置され、半導
体ウエハ６の上方には対物レンズ４及びダイクロイック
ミラー３が配置されている。レーザ光源１から出射され
たレーザ光Ｌ1 は、光量調整部２で所定の光量に調整さ
れ、ダイクロイックミラー３及び対物レンズ４を介して
半導体ウエハ６に照射される。
【００２１】ダイクロイックミラー３の上方にはハーフ
ミラー８が配置され、照明光源７からの照明光Ｌ2 は、
ハーフミラー８、ダイクロイックミラー３及び対物レン
ズ４を介して半導体ウエハ６に照射される。
ミラー８が配置され、照明光源７からの照明光Ｌ2 は、
ハーフミラー８、ダイクロイックミラー３及び対物レン
ズ４を介して半導体ウエハ６に照射される。
【００２２】ハーフミラー８の上方にはＣＣＤカメラ
（画像入力手段）９が配置され、ＣＣＤカメラ９は後述
する画像処理装置１２を介してテレビモニタ１３に接続
されている。半導体ウエハ６の表面で反射した反射光Ｌ
3 はＣＣＤカメラ９に入射し、半導体ウエハ６上のマー
ク（図示せず）の画像がテレビモニタ１３に表示され
る。テレビモニタ１３には、マークの画像信号を処理す
る画像処理装置１２が接続されている。
（画像入力手段）９が配置され、ＣＣＤカメラ９は後述
する画像処理装置１２を介してテレビモニタ１３に接続
されている。半導体ウエハ６の表面で反射した反射光Ｌ
3 はＣＣＤカメラ９に入射し、半導体ウエハ６上のマー
ク（図示せず）の画像がテレビモニタ１３に表示され
る。テレビモニタ１３には、マークの画像信号を処理す
る画像処理装置１２が接続されている。
【００２３】前記レーザ光源１、光量調整部２、ＸＹス
テージ５、ＣＣＤカメラ９及び画像処理装置１２は、制
御部１０にそれぞれ接続されている。画像処理装置１２
の処理結果は制御部１０に送出される。制御部１０は、
画像処理装置１２からの画像処理データに基づいて、Ｘ
Ｙステージ５を移動させ、レーザ光Ｌ1 が適性光量にな
るように光量調整部２を制御して半導体ウエハ６をレー
ザ加工する。制御部１０には、位置合わせ処理が自動で
できなかったときなどにテレビモニタ１３を見ながらオ
ペレータが手動で操作するときに用いる操作パネル１１
と、オペレータがパラメータなどを入力するためのキー
ボード１４とが、接続されている。
テージ５、ＣＣＤカメラ９及び画像処理装置１２は、制
御部１０にそれぞれ接続されている。画像処理装置１２
の処理結果は制御部１０に送出される。制御部１０は、
画像処理装置１２からの画像処理データに基づいて、Ｘ
Ｙステージ５を移動させ、レーザ光Ｌ1 が適性光量にな
るように光量調整部２を制御して半導体ウエハ６をレー
ザ加工する。制御部１０には、位置合わせ処理が自動で
できなかったときなどにテレビモニタ１３を見ながらオ
ペレータが手動で操作するときに用いる操作パネル１１
と、オペレータがパラメータなどを入力するためのキー
ボード１４とが、接続されている。
【００２４】図２は画像処理装置のブロック図である。
画像処理装置１２は、後述する画像処理制御部（更新判
定手段・更新手段）２０、Ａ／Ｄ変換器２１、画像メモ
リ２２、Ｄ／Ａ変換器２３、モデル用メモリ（登録手
段）２４、正規化相関演算器（モデル画像検出手段）２
５、ハードディスク（登録手段）２６及び内蔵時計２７
で構成されている。
画像処理装置１２は、後述する画像処理制御部（更新判
定手段・更新手段）２０、Ａ／Ｄ変換器２１、画像メモ
リ２２、Ｄ／Ａ変換器２３、モデル用メモリ（登録手
段）２４、正規化相関演算器（モデル画像検出手段）２
５、ハードディスク（登録手段）２６及び内蔵時計２７
で構成されている。
【００２５】図３は制御部で実行されるモデル登録のプ
ログラムフローチャートである。
ログラムフローチャートである。
【００２６】まず、位置合わせ用のマークとして適した
ものを探す（ステップ３１）。このときＸＹステージ５
上の半導体ウエハ６の画像をテレビモニタ１３で見なが
ら操作パネル１１を用いて位置合わせに適したマークを
探す。
ものを探す（ステップ３１）。このときＸＹステージ５
上の半導体ウエハ６の画像をテレビモニタ１３で見なが
ら操作パネル１１を用いて位置合わせに適したマークを
探す。
【００２７】次に、位置合わせに適したマークが見付か
ったとき、しきい値を決定し（ステップ３２）、現在日
時を入手し、且つモデル画像更新時間を設定し（ステッ
プ３３）、モデル用メモリ２４に登録する（ステップ３
４）。マークをモデルとして登録するための指示を制御
部１０から画像処理装置１２へ出す。モデル登録の指示
は画像処理装置１２の画像処理制御部２０へ送られ、画
像処理制御部２０は画像メモリ２２に切り取るべき画像
の位置などを指示し、切り取った画像と内蔵時計２７に
よって得られる現在日時とをモデル用メモリ２４に記憶
させる。それらを１組の情報としてハードディスク２６
に保存する。そして、モデル画像を更新するまでの時間
を設定する。オペレータがキーボード１４で制御部１０
に入力したモデル画像更新時間を、制御部１０を経て画
像処理制御部２０へ送り、ハードディスク２６に保存す
る。
ったとき、しきい値を決定し（ステップ３２）、現在日
時を入手し、且つモデル画像更新時間を設定し（ステッ
プ３３）、モデル用メモリ２４に登録する（ステップ３
４）。マークをモデルとして登録するための指示を制御
部１０から画像処理装置１２へ出す。モデル登録の指示
は画像処理装置１２の画像処理制御部２０へ送られ、画
像処理制御部２０は画像メモリ２２に切り取るべき画像
の位置などを指示し、切り取った画像と内蔵時計２７に
よって得られる現在日時とをモデル用メモリ２４に記憶
させる。それらを１組の情報としてハードディスク２６
に保存する。そして、モデル画像を更新するまでの時間
を設定する。オペレータがキーボード１４で制御部１０
に入力したモデル画像更新時間を、制御部１０を経て画
像処理制御部２０へ送り、ハードディスク２６に保存す
る。
【００２８】図４は制御部で実行される位置合わせ処理
のプログラムフローチャートである。
のプログラムフローチャートである。
【００２９】まず、位置合わせを行う画像を入力する
（ステップ４１）。加工すべき半導体ウエハ６をＸＹス
テージ５上に載せ、位置合わせ用のマークがあると思わ
れる位置に制御部１０がＸＹステージ５を動かす。その
位置でＣＣＤカメラ９によって得た映像信号を画像処理
制御部２０へ送る。
（ステップ４１）。加工すべき半導体ウエハ６をＸＹス
テージ５上に載せ、位置合わせ用のマークがあると思わ
れる位置に制御部１０がＸＹステージ５を動かす。その
位置でＣＣＤカメラ９によって得た映像信号を画像処理
制御部２０へ送る。
【００３０】次に、正規化相関処理を実行する（ステッ
プ４２）。制御部１０は画像処理装置１２に対し、正規
化相関処理の開始を指示する。制御部１０から発せられ
た正規化相関処理開始の指示は画像処理装置１２の画像
処理制御部２０に送られる。画像処理制御部２０は、モ
デル画像データとモデル作成日時とをハードディスク２
６からモデル用メモリ２４へ転送し、画像メモリ２２と
モデル用メモリ２４との２つの情報を用いて正規化相関
演算器２５に対し演算開始を指示し、演算結果を画像処
理制御部２０に出力する。
プ４２）。制御部１０は画像処理装置１２に対し、正規
化相関処理の開始を指示する。制御部１０から発せられ
た正規化相関処理開始の指示は画像処理装置１２の画像
処理制御部２０に送られる。画像処理制御部２０は、モ
デル画像データとモデル作成日時とをハードディスク２
６からモデル用メモリ２４へ転送し、画像メモリ２２と
モデル用メモリ２４との２つの情報を用いて正規化相関
演算器２５に対し演算開始を指示し、演算結果を画像処
理制御部２０に出力する。
【００３１】そして、しきい値を越える画像があったか
判断する（ステップ４３）。これは画像処理制御部２０
が判断する。
判断する（ステップ４３）。これは画像処理制御部２０
が判断する。
【００３２】ステップ４３の答が肯定（Ｙｅｓ）、すな
わち正規化相関処理の結果、モデル画像を現在撮像して
いる画面内で見付けたと、画像処理制御部２０が判断し
たとき、ステップ４４へ進み、内蔵時計２７により現在
日時を入手する。そして、現在日時とモデル用メモリ２
４内のモデル作成日時との差を求め（ステップ４５）、
その値から、モデル登録後一定時間経過したかを判断す
る（ステップ４６）。すなわち、現在日時とモデル作成
日時との差の値が、予めハードディスク２６に登録して
あるモデル画像更新時間の値を越えているかを判断す
る。
わち正規化相関処理の結果、モデル画像を現在撮像して
いる画面内で見付けたと、画像処理制御部２０が判断し
たとき、ステップ４４へ進み、内蔵時計２７により現在
日時を入手する。そして、現在日時とモデル用メモリ２
４内のモデル作成日時との差を求め（ステップ４５）、
その値から、モデル登録後一定時間経過したかを判断す
る（ステップ４６）。すなわち、現在日時とモデル作成
日時との差の値が、予めハードディスク２６に登録して
あるモデル画像更新時間の値を越えているかを判断す
る。
【００３３】ステップ４６の答が肯定（Ｙｅｓ）、すな
わち現在日時とモデル作成日時との差の値がモデル画像
更新時間の値を越えているとき、ステップ４７へ進み、
今取り込んだ画像の中からモデル画像と同じ部分を切り
出し、新たなモデル画像として更新登録する。すなわ
ち、現在の画面を取り込んでいる画像メモリ２２から今
回の正規化相関によって見付けた部分を切り出し、モデ
ル用メモリ２４へ転送し、現在日時とともにハードディ
スク２６に保存し、古い情報をハードディスク２６内か
ら削除し、正常終了する。これにより次回から新たに画
像データが更新されたモデル画像と正規化相関で位置合
わせを行うことができ、位置合わせ用のマークが経時変
化したときも位置合わせができるとともに、マークの誤
検出を少なくすることができる。
わち現在日時とモデル作成日時との差の値がモデル画像
更新時間の値を越えているとき、ステップ４７へ進み、
今取り込んだ画像の中からモデル画像と同じ部分を切り
出し、新たなモデル画像として更新登録する。すなわ
ち、現在の画面を取り込んでいる画像メモリ２２から今
回の正規化相関によって見付けた部分を切り出し、モデ
ル用メモリ２４へ転送し、現在日時とともにハードディ
スク２６に保存し、古い情報をハードディスク２６内か
ら削除し、正常終了する。これにより次回から新たに画
像データが更新されたモデル画像と正規化相関で位置合
わせを行うことができ、位置合わせ用のマークが経時変
化したときも位置合わせができるとともに、マークの誤
検出を少なくすることができる。
【００３４】前記ステップ４６の答が否定（Ｎｏ）、す
なわち現在日時とモデル作成日時との差の値がモデル画
像更新時間の値を越えていないとき、正常終了する。
なわち現在日時とモデル作成日時との差の値がモデル画
像更新時間の値を越えていないとき、正常終了する。
【００３５】前記ステップ４３の答が否定（Ｎｏ）、す
なわち正規化相関処理の結果、モデル画像が現在撮像し
ている画面内に見付からないと判断したとき、ステップ
４８へ進み、エラー終了する。
なわち正規化相関処理の結果、モデル画像が現在撮像し
ている画面内に見付からないと判断したとき、ステップ
４８へ進み、エラー終了する。
【００３６】なお、前述の実施例では時間を基準として
更新登録を行うかどうか判断した場合について述べた
が、これに代え、例えば位置合わせが成功した回数、モ
デル画像検出回数や、半導体ウエハ６の処理枚数、ロッ
ト数（１ロット２５枚）を判断基準としてもよい。更
に、この実施例では、画像処理制御部２０において更新
の可否判断を行ったが、制御部１０で行うようにしても
よい。
更新登録を行うかどうか判断した場合について述べた
が、これに代え、例えば位置合わせが成功した回数、モ
デル画像検出回数や、半導体ウエハ６の処理枚数、ロッ
ト数（１ロット２５枚）を判断基準としてもよい。更
に、この実施例では、画像処理制御部２０において更新
の可否判断を行ったが、制御部１０で行うようにしても
よい。
【００３７】また、前述の実施例では画像処理装置１２
に内蔵されている内蔵時計を用いて更新登録を行うか否
かの判断を行ったが、制御部１０に時計を内蔵させ、そ
の時計を用いて判断を行うようにしてもよい。
に内蔵されている内蔵時計を用いて更新登録を行うか否
かの判断を行ったが、制御部１０に時計を内蔵させ、そ
の時計を用いて判断を行うようにしてもよい。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の位置合わ
せ装置によれば、位置合わせ用のマークが経時変化した
ときも位置合わせができるとともに、マークの誤検出を
少なくすることができる。
せ装置によれば、位置合わせ用のマークが経時変化した
ときも位置合わせができるとともに、マークの誤検出を
少なくすることができる。
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る位置合わせ装
置を備えた半導体製造装置の構成図である。
置を備えた半導体製造装置の構成図である。
【図２】図２は画像処理装置のブロック図である。
【図３】図３は制御部で実行されるモデル登録のプログ
ラムフローチャートである。
ラムフローチャートである。
【図４】図４は制御部で実行される位置合わせ処理のプ
ログラムフローチャートである。
ログラムフローチャートである。
【図５】図５モデル登録のプログラムフローチャートで
ある。
ある。
【図６】図６は位置合わせ処理のプログラムフローチャ
ートである。
ートである。
６ 半導体ウエハ １０ 制御部 １２ 画像処理装置 ２０ 画像処理制御部 ２２ 画像メモリ ２４ モデル用メモリ ２５ 正規化相関演算器 ２６ ハードディスク ２７ 内蔵時計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｆ
Claims (3)
- 【請求項１】 試料上のマークに対応する像をモデル画
像として登録する登録手段と、 画像入力手段で得た試料画像から前記モデル画像を検出
するモデル画像検出手段とを備えた位置合わせ装置にお
いて、 前記登録手段による登録からの経過時間または前記登録
からの前記検出回数を検出する検出手段と、 前記検出手段で得た情報に基づいて、前記モデル画像を
更新すべき状態か否かを判定する更新判定手段と、 前記更新判定手段が更新すべき状態にあると判定したと
き、前記モデル画像検出手段により検出した画像を新た
なモデル画像として更新する更新手段とを備えているこ
とを特徴とする位置合わせ装置。 - 【請求項２】 前記更新すべき状態が、前記検出手段に
よる前記経過時間が所定時間が経過していることである
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。 - 【請求項３】 前記更新すべき状態が、前記検出回数が
所定回数を越えていることであることを特徴とする請求
項１記載の位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5808694A JPH07245261A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | 位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5808694A JPH07245261A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | 位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07245261A true JPH07245261A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=13074128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5808694A Withdrawn JPH07245261A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | 位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07245261A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999052335A1 (en) * | 1998-04-06 | 1999-10-14 | Mitsubishi Paper Mills Limited | Method and apparatus for manufacturing printed wiring board |
| JP2010523947A (ja) * | 2007-04-03 | 2010-07-15 | ザウアー ゲーエムベーハー レーザーテック | 加工対象物の測定および加工対象物の加工のための方法および装置 |
| JP2015534102A (ja) * | 2012-08-29 | 2015-11-26 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 変形パターン認識手法、パターン転写方法、処理デバイスモニタリング方法、及びリソグラフィ装置 |
| CN113048905A (zh) * | 2019-12-27 | 2021-06-29 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置 |
-
1994
- 1994-03-03 JP JP5808694A patent/JPH07245261A/ja not_active Withdrawn
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| US8397394B2 (en) | 2007-04-03 | 2013-03-19 | Sauer Gmbh Lasertec | Method and device for the initial measurement of a workpiece, and the processing of a workpiece |
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| CN113048905A (zh) * | 2019-12-27 | 2021-06-29 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置 |
| CN113048905B (zh) * | 2019-12-27 | 2022-08-19 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置 |
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