JP2959625B2 - ウェーハ検査装置 - Google Patents
ウェーハ検査装置Info
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
係り、特に半導体ウェーハ上に多数形成された半導体素
子回路の電気特性を検査するウェーハ検査装置に関す
る。
じて同一の電気素子回路が多数形成されており、この電
気素子回路を各チップとして切断する前に各電気素子回
路の形成品質を検査すべく、ウェーハ検査装置のプーブ
カードで電気素子回路毎にその良/不良が判定される。
ーハを検査する際、最初のウェーハでアライメント調整
を行い、この結果に基づいて2枚目以降のウェーハの素
子回路の電極パッドが、前記プローブカードのプローブ
ニードルに確実に当接するようしている。即ち、前記ア
ライメント調整方法は、まず、ウェーハ検査装置本体に
移動可能に設けたテーブル上に1枚目のウェーハを吸着
させ、このテーブルをCCDカメラの下方の所定位置に
移動させる。
路の配列パターンのうち、基準となる基準の回路パター
ンを前記CCDカメラで撮像させ、この基準の回路パタ
ーンをモデルデータとして画像処理装置のRAMに記憶
させる。次いで、前記テーブルをプローブカードの方向
に移動させ、前記ウェーハの電極パッドにプローブカー
ドのプローブニードルを当接させると共に、この当接
(検査)位置までの移動量Lをプローバ制御部のRAM
に記憶させる。そして、前記1枚目のウェーハは、電極
パッドにプローブニードル7が当接した位置を基準にし
て、各素子回路の検査が行われる。
前記CCDカメラが前記RAMに記憶したモデルデータ
の基準の回路パターンと同一の回路パターンを撮像する
ように、既知の相関法等を用いてテーブルを移動させ
る。次に、テーブルを前記RAMに記憶した移動量L移
動させる。これにより、2枚目以降のウェーハも、プロ
ーブニードルに電極パッドが当接する位置に移動される
ことになる。このようにして、2枚目以降のウェーハ
は、1枚目のウェーハで記憶されたモデルデータ、及び
移動量に基づいてアライメント調整される。
ント調整方法では、例えば品種Aのウェーハを検査し、
次に品種Bのウェーハを検査すると、前回検査した品種
Aの基準の回路パターン、及び検査位置までの移動量が
各RAMから消去されるので、品種Aのウェーハを再検
査する際に、また新たに基準の回路パターン、及び検査
位置までの移動量を取得しなければならない。
動量Lをプローバ制御部に記憶させておき、選択した品
種に対応した移動量でテーブルを移動させるようにして
いる。
ウェーハ検査装置のように、ウェーハの品種毎にテーブ
ルの移動量Lを記憶させても、プローブニードルの位置
が基準の位置に対してズレていると、その移動量Lデー
タでテーブルを移動させても、プーロブニードルに電極
パッドが当接せず、ウェーハをアライメントすることが
できないという欠点がある。
もので、プローブニードルの位置が基準の位置からズレ
ても、ウェーハをアライメントすることができるウェー
ハ検査装置を提供することを目的とする。
する為に、ウェーハの電極パッドが当接されてウェーハ
を検査するプローブニードルと、ウェーハを移動する移
動可能なテーブルと、前記テーブルの上方に設けられ、
該テーブルでウェーハを移動させるとき、前記ウェーハ
のパターンを撮像する第1の撮像装置と、前記テーブル
に設けられ、該テーブルでウェーハをプローブニードル
に向けて移動させるとき、前記プローブニードルの基準
位置を撮像する第2の撮像装置と、前記第1の撮像装置
から出力される前記パターンを示す情報と、前記第2の
撮像装置から出力される前記プローブニードルの基準位
置を示す情報とが入力されるアライメント調整装置であ
って、ウェーハの基準位置を決定する際に用いるデータ
を記憶する第1のメモリ手段、前記ウェーハの基準位置
からウェーハの電極パッドが前記プローブニードルに当
接する位置までの移動量を記憶する第2のメモリ手段、
前記ウェーハの基準位置からテーブルがプローブニード
ルの基準位置まで移動したときの移動量データを記憶す
る第3のメモリ手段を備え、前記第1の撮像手段から出
力される情報と前記第1のメモリ手段に記憶されたデー
タとを比較してウェーハの基準位置を決定し、前記第2
の撮像手段から出力される情報に基づいて前記テーブル
が前記プローブニードルの基準位置まで移動したときの
移動量を算出し、この算出した移動量と前記第3のメモ
リ手段に記憶されている移動量とを比較し、比較した結
果が等しい場合は、前記第2のメモリ手段に記憶された
移動量で前記テーブルを移動させ、比較した結果が等し
くない場合は、前記第2のメモリ手段に記憶された移動
量に、等しくない量分補正した移動量で前記移動可能な
テーブルを移動させるアライメント調整装置と、から成
ることを特徴とする。
ドルの基準位置まで移動したときの移動量と第3の一時
的メモリ装置に記憶されている移動量とを比較し、比較
した結果が等しい場合は、第2の一時的メモリ装置に記
憶された移動量でテーブルを移動させる。また、前記移
動量を比較した結果が等しくない場合は、前記第2の一
時的メモリ装置に記憶された移動量に、等しくない量分
補正した移動量でテーブルを移動させる。これにより、
本発明では、プローブニードルの位置が基準の位置から
ズレても、ウェーハをアライメントすることができる。
るウェーハ検査装置の好ましい実施例について詳説す
る。図1には、本発明に係るウェーハ検査装置10の実
施例が示される。このウェーハ検査装置10のヘッドス
テージ12には、プローブカード14が取り付けられて
おり、このプローブカード14にはウェーハ検査用測定
子としての複数本のプローブニードル16、16…が固
着されている。また、ヘッドステージ12の下方には、
移動テーブル20が配置されており、テーブル20の上
面には検査対象のウェーハ22が吸着される。更に、前
記ヘッドステージ12には、CCDカメラ18が前記プ
ローブカード14に対して所定の位置に設置されてい
る。前記CCDカメラ18には画像処理装置24が接続
される。この画像処理装置24は、CCDカメラ18で
撮像された前記ウェーハ22の所定の回路パターン(複
数の回路素子とストリートを含む特定のパターンであっ
て、アライメントし易いパターン)を画像処理してモデ
ルデータを作成する。このモデルデータは、映像信号に
変換されてアライメント調整部26に出力される。
カメラ28が撮像部を上方に向けて固定されている。こ
のCCDカメラ28は、図2に示す移動テーブル20の
プローブカード14方向への移動途中時に、所定位置で
プローブカード14のプローブニードル16、16…を
撮像するものである。前記CCDカメラ28で撮像され
たプローブニードル16、16…を示す出力信号は、画
像処理装置24に出力される。
ライメント調整部26、ハードディスク30、指令装置
32、及びキーボード34を有している。前記アライメ
ント調整部26には第1のメモリ部(RAM)36、第
2のメモリ部(RAM)38、及び第3のメモリ部(R
AM)40が内蔵されている。第1のメモリ部36に
は、ウェーハ22の基準の回路パターンデータが一時的
に記憶されている。第2のメモリ部38には、基準の回
路パターンが撮像された位置から移動テーブル20のプ
ローブカード14までの移動量データ(L)が一時的に
記憶されている。第3のメモリ部40には、基準の回路
パターンが撮像された位置から、CCDカメラ28で撮
像されたプローブニードル16、16…の基準位置まで
の移動テーブル20の移動量データ(A)が一時的に記
憶される。
リ部42と第5のメモリ部44とが内蔵されている。第
4のメモリ部42には、各種ウェーハの基準の回路パタ
ーンデータとそのウェーハに対応した移動テーブル20
の移動量データ(L)とがバックアップなしで登録され
ている。また、第5のメモリ部44には、各種プローブ
カードのプローブニードルの基準位置までの移動テーブ
ル20の移動量データ(A)がバックアップなしで登録
されている。
力操作によって駆動される。即ち、指令装置32は、キ
ーボード34によってウェーハ22の品種が入力される
と、このウェーハ22の品種に対応した基準の回路パタ
ーンデータ及び検査位置までの移動量データ(L)を、
前記ハードディスク30の第4のメモリ部42から読み
出し、読み出した基準の回路パターンデータを前記アラ
イメント調整部26の第1のメモリ部36に記憶させ、
また、読み出した前記移動量データ(L)を、アライメ
ント調整部26の第2のメモリ部38に記憶させる。更
に、指令装置32は、キーボード34によってウェーハ
22の品種が入力されると、そのウェーハ22の品種に
応じたプローブカード14のプローブニードル16、1
6…の基準位置までの移動テーブル20の移動量データ
(A)を、ハードディスク30の第5のメモリ部44か
ら読み出し、読み出した移動量データ(A)を、アライ
メント調整部26の第3のメモリ部40に記憶させる。
準の回路パターンデータと、ウェーハの品種に対応した
移動テーブル20の移動量データ(L)と、各種プロー
ブカードのプローブニードルの基準位置までの移動テー
ブル20の移動量データ(A)との登録手順について説
明する。まず、ウェーハの品種(例えば、品種A)を指
定する(ステップ100)。そして、この品種のウェー
ハの基準の回路パターンをCCDカメラ18で撮像し
(ステップ110)、この基準の回路パターンの回路パ
ターンデータ(X.Y.θ)を、前記ハードディスク3
0の第4のメモリ部42に登録する(ステップ12
0)。
14の下方に向けて移動する(ステップ130)。そし
て、ウェーハの電極パッドにプローブカード14のプロ
ーブニードル16、16…を当接させる(ステップ14
0)。そして、CCDカメラ18が基準の回路パターン
を撮像した位置から、電極パッドがプローブニードル1
6、16…に当接した検査位置までの移動テーブル20
の移動量を移動量データ(L)として、ハードディスク
30の第4のメモリ部42に登録する(ステップ15
0)。
ドル16、16…を撮像できる位置まで移動テーブル2
0を移動させて、このCCDカメラ28によってブロー
ブニードル16、16…の基準位置を撮像する(ステッ
プ160)。そして、CCDカメラ18が基準の回路パ
ターンを撮像した位置から、CCDカメラ28がプロー
ブニードル16、16…の基準位置を撮像した位置まで
の移動テーブル20の移動量を移動量データ(A)とし
て、ハードディスク30の第5のメモリ部44に登録す
る(ステップ170)。これにより、品種Aのウェーハ
の登録が終了する(ステップ180)。
いても同様な手順で登録を行う。これによって、ハード
ディスク30の第4のメモリ部42には、多数のウェー
ハの基準の回路パターンデータと移動量データ(L)と
が登録され、第5のメモリ部44には、多数のプローブ
カードに対応した移動量データ(A)が登録される。次
に、前記の如く構成されたウェーハ検査装置10による
ウェーハのアライメント調整方法について図4、図5に
示すフローチャートを参照しながら説明する。
に、検査対象のウェーハ22の品種をキーボード34
(図1参照)で入力する(ステップ200)。これによ
り、指令装置32が、ハードデイスク30の第4のメモ
リ部42からウェーハ22に対応する基準データ、及び
検査位置までの移動量データ(L)を読み出し、この読
み出した基準データを、アライメント調整部26の第1
のメモリ部36に記憶させると共に(ステップ21
0)、読み出した移動量データ(L)を、アライメ ン
ト調整部26の第2のメモリ部38に記憶させる(ステ
ップ220)。そして、指令装置32が、ハードデイス
ク30の第5のメモリ部44から、ウェーハ22に対応
するプローブカード14のプローブニードル16、16
…の基準位置までの移動テーブル20の移動量データ
(A)を読み出し、この読み出した移動量データ(A)
を、アライメント調整部26の第3メモリ部40に記憶
させる(ステップ230)。これにより、ウェーハ22
のアライメント調整準備が終了する(ステップ24
0)。
イメント調整を開始する(ステップ250)。まず、ウ
ェーハ22をテーブル20に吸着させ、テーブル20を
CCDカメラ18(図2参照)の下方の所定位置に移動
させる。次いで、CCDカメラ18で撮像されるウェー
ハ22の回路パターンを画像処理装置24で画像処理し
て回路パターンデータを逐次作成し(ステップ26
0)、そして、この回路パターンデータをアライメント
調整部26に出力する(ステップ270)。そして、前
記回路パターンデータが、アライメント調整部26の第
1のメモリ部36に記憶された前記基準の回路パターン
データと合致する位置に、既知の相関法等を用いて移動
テーブル20を移動させる(ステップ280)。
ド14の下方に向けて移動させ、その移動途中でプロー
ブカード14のプローブニードル16、16…の基準位
置をCCDカメラ28で撮像する(ステップ290)。
そして、この時のプローブニードル16、16…の前記
基準位置までの移動テーブル20の移動量データ(A
´)と、アライメント調整部26の第3のメモリ部40
に記憶されている基準となる移動量データ(A)とを比
較する(ステップ300)。
移動量データ(A)と等しい場合には、即ち、移動量デ
ータ(A)の登録時におけるプローブニードルの基準位
置と、アライメント調整時におけるプローブニードル1
6、16…の基準位置とが一致しいる場合には、アライ
メント調整部26の第2のメモリ部38に記憶されてい
る移動量(L)で移動テーブル20を移動させる(ステ
ップ310)。これにより、ウェーハ22は、プローブ
ニードル16、16…に電極パッドが当接する位置に移
動されて、ウェーハ22のアライメントが終了する(ス
テップ320)。
動量データ(A)と等しくない場合には、即ち、移動量
データ(A)の登録時におけるプローブニードルの基準
位置に対して、アライメント調整時におけるプローブニ
ードル16、16…の基準位置がズレている場合には、
前記第2のメモリ部38に記憶されている移動量データ
(L)を、前記ズレた量だけ減算、若しくは加算して移
動テーブル20を移動させる(ステップ330)。これ
により、ウェーハ22は、プローブニードル16、16
…の基準位置がズレていても、プローブニードル16、
16…に電極パッドが当接する位置に移動される。
準の回路パターンデータと移動量データ(L)との他
に、プローブニードルの基準位置のズレによって変化す
る移動量データ(A)を補正してウェーハをアライメン
トするようにしたので、プローブニードル16の位置が
基準位置からズレていても、プローブニードル16に電
極パッドを当接することができる。よって、本実施例で
は、ウェーハ22をアライメントすることができる。
カメラを用いたが、これに限られるものではなく、顕微
鏡、又は他の固体撮像素子でも良い。また、本実施例で
は、ハードデイスク装置32を用いたが、これに限られ
るものではなく、フロッピデイスク装置、又は何回でも
書き換え可能なPROM(プログラマブル−ROM)を
備えた装置を用いても良い。
ハ検査装置によれば、テーブルがプローブニードルの基
準位置まで移動したときの移動量と第3の一時的メモリ
装置に記憶されている移動量とを比較し、比較した結果
が等しい場合は、第2の一時的メモリ装置に記憶された
移動量でテーブルを移動させる。また、前記移動量を比
較した結果が等しくない場合は、前記第2の一時的メモ
リ装置に記憶された移動量に、等しくない量分補正した
移動量でテーブルを移動させるようにしたので、プロー
ブニードルの位置が基準の位置からズレても、ウェーハ
をアライメントすることができる。
図
ドルの基準位置を撮像している状態を示す説明図
ト
る手順を示すフローチャート
ート
Claims (2)
- 【請求項1】ウェーハの電極パッドが当接されてウェー
ハを検査するプローブニードルと、 ウェーハを移動する移動可能なテーブルと、 前記テーブルの上方に設けられ、該テーブルでウェーハ
を移動させるとき、前記ウェーハのパターンを撮像する
第1の撮像装置と、 前記テーブルに設けられ、該テーブルでウェーハをプロ
ーブニードルに向けて移動させるとき、前記プローブニ
ードルの基準位置を撮像する第2の撮像装置と、 前記第1の撮像装置から出力される前記パターンを示す
情報と、前記第2の撮像装置から出力される前記プロー
ブニードルの基準位置を示す情報とが入力されるアライ
メント調整装置であって、ウェーハの基準位置を決定す
る際に用いるデータを記憶する第1のメモリ手段、前記
ウェーハの基準位置からウェーハの電極パッドが前記プ
ローブニードルに当接する位置までの移動量を記憶する
第2のメモリ手段、前記ウェーハの基準位置からテーブ
ルがプローブニードルの基準位置まで移動したときの移
動量データを記憶する第3のメモリ手段を備え、前記第
1の撮像手段から出力される情報と前記第1のメモリ手
段に記憶されたデータとを比較してウェーハの基準位置
を決定し、前記第2の撮像手段から出力される情報に基
づいて前記テーブルが前記プローブニードルの基準位置
まで移動したときの移動量を算出し、この算出した移動
量と前記第3のメモリ手段に記憶されている移動量とを
比較し、比較した結果が等しい場合は、前記第2のメモ
リ手段に記憶された移動量で前記テーブルを移動させ、
比較した結果が等しくない場合は、前記第2のメモリ手
段に記憶された移動量に、等しくない量分補正した移動
量で前記移動可能なテーブルを移動させるアライメント
調整装置と、 から成ることを特徴とするウェーハ検査装置。 - 【請求項2】前記ウェーハ検査装置には、各種ウェーハ
の基準位置を決定する際に用いるデータと各種ウェーハ
の基準位置からウェーハの電極パッドが各種プローブカ
ードのプローブニードルに当接する位置までの移動量と
が登録された第4のメモリ手段と、各種ウェーハの基準
位置からテーブルが各種プローブカー ドのプローブニー
ドルの基準位置まで移動したときの移動量データが登録
された第5のメモリ手段とが備えられ、 前記第4のメモリ手段に登録された各種ウェーハの基準
位置を決定する際に用いるデータが前記第1のメモリ手
段に記憶されるとともに、第4のメモリ手段に登録され
た各種ウェーハの基準位置からウェーハの電極パッドが
各種プローブカードのプローブニードルに当接する位置
までの移動量が前記第2のメモリ手段に記憶され、 前記第5のメモリ手段に登録された各種ウェーハの基準
位置からテーブルが各種プローブカードのプローブニー
ドルの基準位置まで移動したときの移動量データが前記
第3のメモリ手段に記憶されることを特徴とする請求項
1記載のウェーハ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP323697A JP2959625B2 (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | ウェーハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP323697A JP2959625B2 (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | ウェーハ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10199942A JPH10199942A (ja) | 1998-07-31 |
JP2959625B2 true JP2959625B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=11551829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP323697A Expired - Fee Related JP2959625B2 (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | ウェーハ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2959625B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7227513B2 (en) | 1999-11-15 | 2007-06-05 | Lg Electronics Inc | Plasma display and driving method thereof |
-
1997
- 1997-01-10 JP JP323697A patent/JP2959625B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10199942A (ja) | 1998-07-31 |
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