JP2004200383A - 位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の位置合わせ方法は、アライメント光学装置6でウェハ10の電極パッド10aのパターンを登録し、CCDカメラ7を低倍率と高倍率とでプローブカード4の触針4aと電極パッドとの針合わせ処理を行い、同様にCCDカメラでプローブカードの基準ピン4bの位置を登録することで、最初の針合わせのセットアップ動作を行い、2回目以降は、4つの基準ピンをサーチ処理することだけで、触針と電極パッドとの位置合わせを行っている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハ上に形成された多数の半導体デバイスの電気的特性を測定するためのプローブ装置における半導体デバイスの電極パッドとテスタに接続されるプローブカードの触針との位置合わせ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ウェハの表面には、同一の電気素子回路が形成された多数の半導体デバイスが形成されており、この電気素子回路を個々の半導体デバイス(チップ)として切断される前に、各電気素子回路の電気的特性を検査するために、プローブ装置によってその良・不良を判定している。このプローブ装置は、一般にウェハの各半導体デバイスに対応する触針を有し、テスタに接続されたプローブカードと、ウェハの各半導体デバイスとを順次対応させて、半導体デバイスの電極パッドに触針を接触させるようにして、電気的な測定を行うように構成されている。
【0003】
ところで正確な電気的測定を行うためには、プローブカードの触針を半導体デバイスの電極パッドに確実に接触させなければならず、このためウェハを載置したステージを高精度に制御すると共に、測定前に触針に対して電極パッドを正確に位置合わせ(アライメント)することが必要である。このプローブカードの触針と半導体デバイスの電極との位置合わせを行う方法として、従来より、プローブカードの触針群を下方からCCDカメラで撮影して針位置を検出すると共に、ウェハの位置及びウェハ上の半導体デバイスパターンを同じくCCDカメラを有するウェハ認識装置(アライメント光学装置)で認識し、画像処理等によってウェハ上の特定の半導体デバイスの電極パッドとプローブカードの触針とを位置合わせする方法が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
また、プローブカードの触針群をCCDカメラを使用して撮像し、同様にCCDカメラを有するアライメント光学装置で電極パッドのパターンを撮像し、両者のイメージ画像を移動によってモニタ画面上に重ね合わせることで、位置合わせを行う方法も知られている(例えば、特許文献2参照。)。
【0005】
【特許文献1】
特開昭60−213040号公報(第2〜4頁 第2,4図)
【特許文献2】
特開2002−151555号公報(第4〜5頁 第1〜5図)
【0006】
ところで、従来においては、電極パッドと触針との接触によって電極パッドが潰されないように、触針の先端が先鋭状に形成されていた。そのため、位置合わせを高精度に行う必要があり、図2(b)に示すようなフローチャートで位置合わせを行っていた。即ち、新しいプローブカードがセットアップされたとき、まず、ステップS10でウェハ上の半導体デバイスパターンをアライメント光学装置で認識し、その位置を登録する。次に、ステップS11でプローブカードの触針群の針先を低倍率のCCDカメラで観察し、電極パッドと針先との位置との合わせ処理を画像を使用して低倍率のCCDカメラでラフな精度で行う。次いで、ステップS12でCCDカメラを高倍率に切り換えて、個々の触針の針先と電極パッドとの位置合わせ処理を画像を使用して高精度に行う。次に、ステップS13で、図3に示されるように触針群の周囲に設けられた基準ピンの位置情報をCCDカメラで観察し登録する。以上が新しいプローブカードがセットアップされたときに最初に行うセットアップ動作である。
【0007】
そして、プローブカード及び半導体デバイスの種類が変えられない限り、2回目以降は、基準ピンの位置情報(X,Y,Z)が登録されているので、ステップS14でこの基準ピンのサーチ処理を行い、次いで、ステップS15で、高倍率のCCDカメラで個々の触針の針先と電極パッドとの位置合わせ処理を行って、からステップS16でウェハ(ステージ)を上昇させてその触針を半導体デバイスの電極パッドに接触させて電気的な特性検査を行っている。以下、このステップS14〜S16を繰り返し行うことでウェハ上の多数の半導体デバイスの電気的特性検査を行っている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した従来の位置合わせ方法では、プローブカードの基準ピンのサーチ処理を行った後、必ず高倍率のCCDカメラを使用して個々の触針の針先と電極パッドとの位置合わせ処理を行ってから、特性検査を行うため時間を要し、スループットが悪かった。図4(a)に示すように従来の先の尖った針先をもつ触針の場合は、まだCCDカメラの焦点を針先に合わすのが容易であったので、時間の損失が少なくて済んだが、近年のように接触による電極パッドの損傷を防止するために、図4(b)に示すようなクラウンタイプの針先をもつ触針を使用する傾向にあり、その場合には、CCDカメラの焦点を触針の針先に合わせるのが難しくなり、一層この位置合わせに時間がかかるという問題があった。
【0009】
本発明者は、クラウンタイプの針先をもつ触針においては、CCDカメラの焦点を針先に合わせる意味がなくなったこと、及びプローブカードが近年においてはかなり精度良く製作されているという知見に基づき本発明をなしたものである。
本発明の目的は、プローブカードの触針とウェハ上の半導体デバイスの電極パッドとの位置合わせに要する時間を大幅に短縮でき、そのスループットを改善した位置合わせ方法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載の位置合わせ方法を提供する。
請求項1に記載の位置合わせ方法は、第1撮像手段による電極パッドのパターンの位置データを登録するパターン登録段階と、低倍率の第2撮像手段によって得られた触針群のイメージ画像と前記電極パッドのパターンのイメージ画像とをモニタ画面上で位置合わせを行う低倍針合わせ段階と、高倍率の第2撮像手段によって得られた個々の触針のイメージ画像と個々の電極パッドのイメージ画像とをモニタ画面上で位置合わせを行う高倍針合わせ段階と、第2撮像手段によってプローブカードの触針群を囲んだ四隅に設けられた基準ピンの位置データを登録する基準ピン登録段階とを行うことで、プローブカードのセットアップ動作を行い、その後は、4つの基準ピンのサーチ処理だけで、触針と次の同パターンの電極パッドとの位置合わせを行うようにしたものである。これにより、従来においては、基準ピンのサーチ処理を行ってから更に個々の触針と電極パッドの位置合わせを行う高倍針合わせを繰り返し行っていたため、位置合わせにかなりの時間を要したが、本発明では、4つの基準ピンのサーチ処理だけで位置合わせを行っているので、大幅に時間を節減できる。
【0011】
請求項2の位置合わせ方法は、触針の針先がクラウンタイプの針先をもつプローブカードを使用しているもので、本発明は、高倍率の第2撮像手段の焦合を針先に合わせる必要がないため、このクラウンタイプの針先をもつ触針に対して特に有効である。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面に従って本発明の実施の形態の位置合わせ方法を説明する。図1は、本発明のウェハの位置合わせ方法を実施するプローブ装置の概念図である。プローブ装置1は、主としてステージ2、ステージ駆動用モータ3、触針4a及び基準ピン4bが設けられたプローブカード4、テスタ5、アライメント光学装置6、触針4a及び基準ピン4bを撮像するステージ側CCDカメラ7、制御部8及びディスプレイ9等から構成されている。
【0013】
ステージ2の上部には、ウェハ10を載置して保持するチャック部2aが設けられている。ステージ2は制御部8によって制御されるステージ駆動用モータ3によって、X,Y,Z方向及びZ軸を中心とするθ回転方向に移動可能に構成され、ステージ2のチャック部2aに保持されるウェハ10を3次元的に移動することができる。
【0014】
ウェハ10の多数の半導体デバイスの表面には、図4(a)に拡大して示すようにバンプ状の電極パッド10aが形成されている。図1では説明の便宜上1つの電極パッド10aしか示していないが、実際には、一枚のウェハ上に数百、数千という多数の電極パッド10aが形成されている。これらの電極パッド10aは、金バンプ、半田バンプ、アルミバンプ等からなっている。
また、プローブカード4には、ウェハ10の各半導体デバイスの電極パッド10aに対応する触針4aと、これらの触針4a群を囲んだ4隅に4つの基準ピン4bが設けられている。図3は、プローブカード4に設けられる触針4の群と基準ピン4bの1つの例を示している。即ち、図3には、4×6の24個の触針4aとこれらの触針4aを囲んだ四角形状の4隅にそれぞれ基準ピン4bが設けられている。従って、テスタ5に接続されているプローブカード4の触針4aをウェハ10の電極パッド10aに接触させることにより、各半導体デバイスの電気的特性を検査することができる。なお、基準ピン4bのプローブカード面からの高さは、触針4aの高さよりも低く形成されており、検査時に隣接する半導体デバイスの電極パッド10aに基準ピン4aの先端が接触しないようになっている。
【0015】
ステージ2のチャック部2aには、触針4aを下方から撮像して触針の先端の位置を検出する第2撮像手段であるCCDカメラ7が取り付けられている。ステージ2を移動してCCDカメラを動かし、その焦点を合わせながら触針4aの先端の位置を測定し、その結果を制御部8に入力する。なお、CCDカメラ7は、低倍率レンズと高倍率レンズの2種類のレンズを切り換え使用することができ、低倍率レンズを使用することで触針4a群の全体の位置を観察でき、また高倍率レンズを使用することで、個々の触針4aの位置を確認することができる。また、本発明では、CCDカメラ7によって4つの基準ピン4bの位置を測定し、その結果も制御部8に入力する。
【0016】
第1撮像手段であるアライメント光学装置6は、CCDカメラ等の撮像手段を含み、ウェハ10上の半導体デバイスの電極パッド10aのパターンを認識して制御部8に入力する。制御部8では、アライメント光学装置6で得られたパターン情報とCCDカメラ7に得られた触針4aの先端の位置情報とに基づき、公知の画像処理技術を用いて、触針4aの先端とウェハ10の電極パッド10aとの位置合わせを自動で行う。
【0017】
次に、上記構成によるプローブ装置における本発明の位置合わせ方法について、図2(a)のフローチャートにより説明する。この位置合わせ方法は、新しいプローブカード4をセットしたときに行う、最初のセットアップ動作であるステップS1〜S4までは、図2(b)の従来のセットアップ動作であるステップS10〜S13と同様である。即ち、ステップS1でウェハ10の半導体デバイスの電極パッド10aのパターンをアライメント光学装置6で認識し、その位置を登録する。次に、ステップS2で低倍率レンズのCCDカメラ7でプローブカード4の触針4a群の位置を観察し、電極パッド10aと触針4aとの位置合わせ処理をディスプレイ9の画像を使用して、粗な精度で行う。次いでステップS3でCCDカメラ7を高倍率レンズに切り換えて、個々の触針10aの針先と電極パッド10aとの位置合わせ処理をディスプレイ9の画像を使用して高精度に行う。次に、ステップ54でプローブカード4の触針4a群の周囲の4隅に設けられた4つの基準ピン4bの位置を、CCDカメラ7で観察し、フォーカス処理を施こしその位置を測定し制御部9に登録する。この場合、基準ピン4bと触針4aの高さの差も、制御部9に登録する。
【0018】
このようにして、セットアップ済みであるプローブカード4の制御部9に登録した基準ピン4aの位置情報(X,Y,Z)を使用して、2回目以降の触針と電極パッドとの位置合わせにおいては、ステップS5で4つの基準ピン4bの個々のサーチ処理を低倍率と高倍率のCCDカメラ7を切り換え使用することで行うことによって、触針4aと電極パッド10aとの位置合わせを行う。この場合、基準ピン4bと触針4aとの高さの差の調整も行う。次に、ステップS6でウェハ(ステージ)を上昇させ、触針4aを電極パッド10aに接触させることで、半導体デバイスの電気的特性を検査する。同一パターンの半導体デバイスをもつウェハ10を代える毎に、このステップS5とS6を繰り返えし行う。
【0019】
このように、従来の位置合わせ方法では、2回目以降もプローブカードの基準ピンのサーチ処理を行った後に必ず高倍率レンズのCCDカメラで個々の触針と電極パッドとの位置合わせ処理を行っていた為、この位置合わせに多くの時間を要していたが、本発明では、2回目以降はこの高倍率での個々の触針と電極パッドとの位置合わせを行う必要がなくなり、多くの時間を節約でき、そのスループットを改善した。
【0020】
特に近年においては、電極パッドの損傷を防止するために、図4に示すように触針4aの先端が先細に尖った形状(図4(a))からその先端がクラウン型(図4(b))のものを使用する傾向にある。このクラウン型触針は、一般的に4つの山をもち、先鋭状の先端と異なり、CCDカメラの焦点を合わせることが難しくなっており、そのため、従来の位置合わせ方法では、個々のクラウン型触針と電極パッドとの位置合わせに更に時間を要すことになるが、本発明では、基準ピンのサーチ処理のみに済むので、特にクラウン型触針を使用するプローブカードに有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の位置合わせ方法を実施するプローバ装置の概念図である。
【図2】本発明の実施の形態の位置合わせ方法(a)と、従来の位置合わせ方法(b)のフローチャートを示す図である。
【図3】プローブカードの触針群と基準ピンとの関係を示す図である。
【図4】触針の先端の形状、(a)尖った先細形状、(b)クラウン型、を示す図である。
【符号の説明】
1…プローブ装置
2…ステージ
4…プローブカード
4a…触針
4b…基準ピン
6…アライメント光学装置
7…CCDカメラ
8…制御部
9…ディスプレイ
Claims (2)
- プローブ装置におけるプローブカードの触針とウェハの電極パッドとの位置合わせ方法において、
第1撮像手段によってウェハの電極パッドのパターンを撮像し、その位置データを登録するパターン登録段階と、
低倍率の第2撮像手段によってプローブカードの触針群を撮像し、前記電極パッドのイメージ画像と触針群のイメージ画像とをモニタ画面上で位置合わせを行う低倍針合わせ処理段階と、
高倍率の前記第2撮像手段によって、個々の前記触針を撮像し、個々の電極パッドのイメージ画像と個々の触針のイメージ画像とをモニタ画面上で位置合わせを行う高倍針合わせ処理段階と、
前記第2撮像手段によってプローブカードの触針群を囲んだ四隅に設けられた基準ピンを撮像し、その位置データを登録する基準ピン登録段階と、
を具備することで前記プローブカードのセットアップ動作を行い、その後は、
前記プローブカード上の4つの前記基準ピンのサーチ処理のみで、前記触針と次の同じパターンの電極パッドとの位置合わせを行うことを特徴とする位置合わせ方法。 - 前記プローブカードの触針の針先が、クラウンタイプの針先であることを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ方法。
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