CN104655886A - 手动探针结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板生产技术领域，公开了一种手动探针结构，包括机架、可滑动地设于机架的桶架和可滑动地设于桶架上的精密定位器，精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于镜头座的镜盘，镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；探针悬臂的前端设有针头，针头位于镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。本发明在选择镜头时，仅需要手动转动镜盘切换镜头，省时省力，方便快捷，定位准确，可满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，提高检测效率。

Description

手动探针结构

技术领域

本发明涉及基板生产技术领域，特别是涉及一种手动探针结构。

背景技术

目前，TFT-LCD(薄膜晶体管)在显示领域得到广泛的应用，在液晶屏生产制造过程中，薄膜晶体管阵列基板的生产是非常重要的一环。薄膜晶体管阵列基板性能的优劣，对显示器最终的显示效果有着重要的影响，薄膜晶体管阵列基板的检测显得尤为重要。

在阵列基板的检测中，探针得到广泛应用。在检测时，需要使用不同倍率的镜头进行检测，现有技术需要手动探针结构，需要使用者通过更换不同倍率的镜头进行检测，检测时费时费力，而且对位效果差，检测不准确。同时，广泛应用的探针为简单金属针状结构，由于阵列基板的一些固定测试点尺寸非常小，经常出现探针与基板表面测试点很难接触上，需要反复“扎针”尝试，而且有时会因接触状况不佳影响测试结果的准确性。另外，探针与测试样品表面直接接触，会造成样品表面的划伤损坏，而且随着使用时间的增长，由于探针的磨损，以及薄膜晶体管阵列基板表面金属层较薄，基板表面测试点一般非常微小等原因，会导致探针与测试样品之间无法良好接触，造成测试误差或错误。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种能够解决现有技术更换镜头费时费力的手动探针结构。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种手动探针结构，包括机架、可滑动地设于所述机架的桶架和可滑动地设于所述桶架上的精密定位器，所述精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，所述镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，所述轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于所述镜头座的镜盘，所述镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；所述探针悬臂的前端设有针头，所述针头位于所述镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。

其中，所述探针悬臂与所述轮盘式倍率镜头模块之间设有弹性连接组件，所述弹性连接组件包括磁性定位盘和探针固定盘，所述磁性定位盘固定于所述镜头座，所述探针固定盘可与所述定位盘磁性吸合连接，所述探针固定盘通过弹性件与所述探针悬臂相连接，且所述弹性件的弹性力小于所述磁性定位盘与探针固定盘之间吸合力。

其中，所述弹性件为拉伸弹簧。

其中，所述针头包括针体和滚珠，所述针体的下端设有容纳腔，所述滚珠可滚动地嵌合于所述容纳腔中，且部分外露于容纳腔外；所述针体还设有与所述容纳腔相连接的导液通道。

其中，所述镜盘设有转动调节把手。

其中，所述探针悬臂设有按压旋钮。

其中，所述镜盘与所述镜头座之间设有定位机构，用于对镜盘起定位作用。

其中，所述定位机构包括设于所述镜盘的卡头和设于所述镜头座设有卡槽，所述镜盘设有卡头盲孔，所述卡头嵌装于所述卡头盲孔中，且所述卡头与卡头盲孔的底部之间设有顶持弹簧，所述卡头具有一个球面，所述卡槽为半球面凹槽，在所述顶持弹簧的弹性作用下，所述卡头的球面可部分卡入所述卡槽中。

其中，所述镜头为五个。

其中，所述镜头的中心涂有十字标记，并设有刻度线。

(三)有益效果

本发明提供的手动探针机构，本发明在选择镜头时，仅需要手动转动镜盘切换镜头，省时省力，方便快捷，定位准确，可满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，提高检测效率；使用本发明的针头，解决现有技术的手动探针机构的针头在针尖磨损后会导致接触不良的问题，避免反复“扎针”的情况，减少测试误差或错误。同时也减少了针头的磨损，延缓了针头的更换周期，节约成本。

附图说明

图1为本发明实施例的结构示意图；

图2为本发明实施例的针头的剖视图；

图3为本发明实施例的轮盘式倍率镜头模块的剖视图。

图中，1：机架；2：桶架；3：精密定位器；4：镜头悬臂；5：探针悬臂；6：轮盘式倍率镜头模块；61：镜头座；611：卡槽；62：镜盘；621：转动调节把手；622：卡头盲孔；623：卡珠；624：63：镜头；7：针头；71：针体；72：滚珠；73：容纳腔；74：导液通道；75：喇叭形敞口；8：薄膜晶体管阵列基板；9：磁性定位盘；10：探针固定盘；11：弹性件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1所示，本发明的手动探针结构，包括机架1、可滑动地设于机架1的桶架2和可滑动地设于桶架2上的精密定位器3。机架1设有滑轨，桶架2的两端可滑动地安装于滑轨。精密定位器3通过滑动块可滑动地安装于桶架2。精密定位器3设有可三维调节的镜头悬臂4和探针悬臂5。精密定位器3为现有技术的三维调节设备，该精密定位器3中设有镜头悬臂调节机构和探针悬臂调节机构，镜头悬臂4的后端连接于镜头悬臂调节机构，旋动镜头悬臂调节机构的调节旋钮实现镜头悬臂的三维调节；探针悬臂5的后端连接于探针悬臂调节机构，旋动探针悬臂调节机构的调节旋钮实现探针悬臂的三维调节。本发明采用康思德公司生产的精密定位器，镜头悬臂调节机构和探针悬臂调节机构共用调节旋钮31，并设有镜头/探针调节切换钮32实现切换，即当需要调节探针悬臂时，将镜头/探针调节切换钮32切换到探针调节模式，旋动调节旋钮31时，实现对探针悬臂5的调节；反之，即实现对镜头悬臂4的调节。镜头悬臂4设有轮盘式倍率镜头模块6，轮盘式倍率镜头模块6包括固定于镜头悬臂的镜头座61和可转动地安装于镜头座的镜盘62，镜盘62沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头63。参照图1所示，本实施例中，镜头63为5个，5个镜头的倍率分别为×2、×5、×10、×20和×50，且由倍率从小到大的顺序按时针方式均匀排列。探针悬臂5的前端设有针头7，针头7位于镜盘62的下方，且转动镜盘62，多个镜头63可分别与针头7相对应。

本发明使用时，移动桶架2到需要检测的位置，调节镜头悬臂4和探针悬臂5，使针头7与薄膜晶体管阵列基板8的待检测点相对应。调节过程中，使用者通过眼睛透过镜头63观察针头7，同时调节精密定位器3的调节旋钮31，实现对探针悬臂5和镜头悬臂4的调整，直致镜头63能够准确观察到针头7。同时。根据实际需要转动镜盘62选择不同的镜头63，例如需要选用×5倍率的镜头，转动镜盘62，使×5倍率的镜头转动至对应针头7的位置。当×5倍率的镜头不符合使用要求时，则再次转动镜盘62，直至找到合适的镜头63。本发明在选择镜头时，仅需要手动转动镜盘62进行镜头切换，省时省力，方便快捷，定位准确，可满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，提高检测效率。

进一步的，探针悬臂5与轮盘式倍率镜头模块6之间设有弹性连接组件，弹性连接组件包括磁性定位盘9和探针固定盘10。磁性定位盘9由磁铁制成，探针固定盘10由铁或者磁铁制成。磁性定位盘9固定于镜头座61，探针固定盘10的上表面可与磁性定位盘9磁性吸合连接，探针固定盘10的下表面设有弹性件11，探针固定盘10通过弹性件11与探针悬臂5相连接，且弹性件11的弹性力小于磁性定位盘9与探针固定盘10之间吸合力。在整个定位及测试过程中，探针固定盘10与磁性定位盘9一直处于吸合状态，进一步保证了定位效果。优选的，弹性件11优选采用拉伸弹簧。

进一步的，探针悬臂5设有按压旋钮51。在使用时，方便于使用者按压探针悬臂5。

进一步的，如图2所示，针头7包括针体71和滚珠72，针体71的下端设有容纳腔73，滚珠72可滚动地嵌合于容纳腔73中，且部分外露于容纳腔73外。针体71还设有与容纳腔73相连接的导液通道74。导液通道74贯通整个针体的上端至下端，针体71的上端还设有喇叭形敞口75，方便于接收导电胶。滚珠72为小金属球。针体71下端设有滚珠72，滚珠可以自由地滚动，并将导液通道74流入的导电胶吸附于滚珠72的表面，滚珠72滚动时，具有导电胶的滚珠表面与样品接触时，能够确保滚珠表面与样品良好的接触。此外，导电胶具有一定的黏性，不会像普通液体那样迅速扩散而导致样品表面污染，而是保持在针头附近，保证测量的正常进行。使用本发明的针头，解决现有技术的手动探针机构的针头在针尖磨损后会导致接触不良的问题，避免反复“扎针”的情况，减少测试误差或错误。同时也减少了针头的磨损，延缓了针头的更换周期，节约成本。

进一步的，镜盘62设有转动调节把手621，方便于使用者使用时转动镜盘62，使需要的镜头63正对针头7。

进一步的，如图3所示，镜盘62与镜头座61之间设有定位机构，用于对镜盘起定位作用。定位机构包括设于镜盘62的卡头623和设于镜头座设有卡槽611，镜盘62设有卡头盲孔622，卡头623嵌装于卡头盲孔622中，且卡头623与卡头盲孔622的底部之间设有顶持弹簧624，623卡头具有一个球面，卡槽611为半球面凹槽，在顶持弹簧624的弹性作用下，卡头623的球面可部分卡入卡槽611中。定位机构具有多种实施方式。本实施例中，可以在镜头座61上设有数量与镜头63相对应的卡槽611，仅设置一个卡头623，使用时，使用者用力推动镜盘62时，使卡头623缩回卡头盲孔622中，卡盘62转动，直到卡头623的球面进入到下一个卡槽611时，转过一个镜头，根据所要选用的镜头转动镜盘，直至转动到所要选用的镜头为止。或者在镜盘62上设有数量与镜头63相同的卡头623，仅设置一个卡槽611，使用时，使用者用力推动镜盘时，与卡槽611相配合的卡头623缩回卡头盲孔622中，卡盘62转动，直到下一个卡头623的球面进入到卡槽611，则镜盘62转过一个镜头，不断的转动镜盘，直至选择所需要的镜头为止。使用定位机构，方便于使用者转动镜盘选用镜头，提高镜头与针头的对位准确度。

进一步的，为了能够准确定位，在每个镜头63的中心涂有十字标记，并设有刻度线。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种手动探针结构，其特征在于，包括机架、可滑动地设于所述机架的桶架和可滑动地设于所述桶架上的精密定位器，所述精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，所述镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，所述轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于所述镜头座的镜盘，所述镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；所述探针悬臂的前端设有针头，所述针头位于所述镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。

2.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述探针悬臂与所述轮盘式倍率镜头模块之间设有弹性连接组件，所述弹性连接组件包括磁性定位盘和探针固定盘，所述磁性定位盘固定于所述镜头座，所述探针固定盘可与所述定位盘磁性吸合连接，所述探针固定盘通过弹性件与所述探针悬臂相连接，且所述弹性件的弹性力小于所述磁性定位盘与探针固定盘之间吸合力。

3.如权利要求2所述的手动探针结构，其特征在于，所述弹性件为拉伸弹簧。

4.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述针头包括针体和滚珠，所述针体的下端设有容纳腔，所述滚珠可滚动地嵌合于所述容纳腔中，且部分外露于容纳腔外；所述针体还设有与所述容纳腔相连接的导液通道。

5.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜盘设有转动调节把手。

6.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述探针悬臂设有按压旋钮。

7.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜盘与所述镜头座之间设有定位机构，用于对镜盘起定位作用。

8.如权利要求7所述的手动探针结构，其特征在于，所述定位机构包括设于所述镜盘的卡头和设于所述镜头座设有卡槽，所述镜盘设有卡头盲孔，所述卡头嵌装于所述卡头盲孔中，且所述卡头与卡头盲孔的底部之间设有顶持弹簧，所述卡头具有一个球面，所述卡槽为半球面凹槽，在所述顶持弹簧的弹性作用下，所述卡头的球面可部分卡入所述卡槽中。

9.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜头为五个。

10.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜头的中心涂有十字标记，并设有刻度线。