JPH0724415A

JPH0724415A - 物体浮揚装置及び該装置を具備した物体搬送装置並びに物体浮揚方法

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Publication number: JPH0724415A
Application number: JP19508993A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Hashimoto; 芳樹橋本
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1993-07-12
Filing date: 1993-07-12
Publication date: 1995-01-27
Anticipated expiration: 2013-09-24
Also published as: JP2802883B2; TW230762B

Abstract

(57)【要約】【目的】扱う物体の材質等の制約がないと同時に比較
的大きな重量及び寸法の物体を取り扱え、且つ、小型に
してコストが安く、しかも安全性等の面からも好適であ
り、制御も容易な物体浮揚装置及び該装置を具備した物
体搬送装置並びに物体浮揚方法を提供すること。【構成】振動体１を励振し、該振動体の音波の放射圧
により該振動体の表面上において物体７を浮揚させ、搬
送するようにし、上記の効果を得ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は物体を空中に浮揚させる
物体浮揚装置及びその方法と、該装置を具備した物体搬
送装置とに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置として、下記の各方
式のものが知られている。

【０００３】（１）コイルを流れる交流磁界を用いて物
体を磁気的に浮揚、搬送させる方式。（２）超電導マイスナー効果を利用して浮揚、搬送させ
る方式。（３）圧搾空気等の加圧気体を用いて浮揚、搬送させる
方式。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】これら各装置のうち
（１）及び（２）に記載したものにおいては、浮揚、搬
送の対象とする物体が強磁性体や半導体に限られると共
に、磁気を受ける条件下に置くことが好ましくない物体
に関しては適用できないという欠点がある。また、超電
動マイスナー効果を利用する装置についてはコイルを極
低温まで冷却するために高価な冷却液が必要であり且つ
その消耗の問題などからもコストの増大を招来すると共
に、冷却液の安全性についても配慮しなければならず、
しかも、長時間安定した状態で浮揚させ、搬送するため
には装置の規模を極めて大きくしなければならないとい
う問題がある。

【０００５】一方、上記（３）に記載した方式の装置に
おいては、物体の搬送路全面に加圧気体を供給する必要
があり、このために大掛かりな加圧気体供給手段が設け
られ、装置全体としての小型化を図ることが困難である
と共に、供給気体の圧力を広範囲にわたって均一化する
ための制御が容易ではないという問題を擁している。ま
た、該装置においては、いわゆるクリーンルームなど、
雰囲気を清浄に保つべき条件下にて使用される場合、上
記加圧気体供給手段より噴出せられる気体の拡散を防ぐ
ためにこれを吸引回収する手段も必要となり、装置の小
型化を図る上で更なる障害となっていると同時に、気体
の回収を完全に行うことは難しいという問題もある。

【０００６】ところで、最近、図２７に示す如き装置が
開発されている。なおこの装置は、１９８３年１０月３
日に発行された『日本音響学会講演論文集』の第７４５
頁及び第７４６頁において開示されている。

【０００７】すなわち、図２７において、励振手段１０
１により励振される段つき円形振動板１０２と、これに
対応して配置された反射板１０３との間に定在波（図示
せず）を生じさせ、発泡スチロールからなる球１０４
（重さ１．２ｍｇ、直径４ｍｍ）を複数、音場により浮
揚させている。なお、図２７において、重力方向を矢印
ｇにて示している。この場合、各球１０４は空中超音波
の波長の１／２間隔で静止し、その位置は音圧の谷であ
ることが判明したとされている。また、浮揚可能な球の
大きさは１／２波長以下がよく、その重さは音圧に関係
するとされている。

【０００８】しかしながら、このように定在波を用い、
その節の位置に物体を静止させる構成の装置において
は、現在、供試体としての球１０４は極めて軽量なもの
に限られ、重量の大きな物体を浮揚させるには振動板１
０２の振動振幅を極めて大きくしなければならない。従
って、振動板１０２やホーン１０１ａ（図２７参照）の
応力的な破壊に鑑みれば、重量物を長時間安定して浮揚
させることは困難であり、実用化には遠いものと考えら
れる。また、かかる構成において、音波を集束させて強
力音波にする方法を採用し、比較的重い物体でも浮揚を
可能にすることも考えられるが、これでは振動板１０２
の直径に比べ小さな面積に音波が作用することなり、結
果として小径の物体しか扱うことができない。

【０００９】そこで本発明は、上記従来技術の欠点に鑑
みてなされたものであって、扱う物体の材質等の制約が
ないと同時に比較的大きな重量及び寸法の物体を取り扱
え、且つ、小型にしてコストが安く、しかも安全性等の
面からも好適であり、制御も容易な物体浮揚装置及び該
装置を具備した物体搬送装置並びに物体浮揚方法を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による物体浮揚装
置は、振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段と
を備え、該振動体の音波の放射圧により該振動体の表面
上において物体を浮揚させるように構成したものであ
る。また、本発明による物体搬送装置は、振動体と、該
振動体を励振する超音波励振手段と、該振動体を走行さ
せる走行手段とを備え、該振動体の音波の放射圧により
該振動体の表面上において物体を浮揚させ、走行させる
ように構成したものである。また、本発明による物体浮
揚方法は、振動体を励振し、該振動体の音波の放射圧に
より該振動体の表面上において物体を浮揚させるように
したものである。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。

【００１２】図１乃至図３は、本発明の第１実施例とし
ての物体搬送装置を示すものである。

【００１３】図示のように、当該物体搬送装置は、矩形
板状に形成された振動体１を有している。この振動体１
は例えばその中心部にてホーン２の先端に螺子３（図２
に図示）により締結されている。ただし、振動体１の形
状に関しては、平板状に限らず、その用途等に応じて適
宣可変である。また、ホーン２に対する振動体１の取付
けについても、ロウ付けや溶接など、他の種々の手段を
用いてよく、取付位置も可変である。なお、図１におい
て、ホーン２による超音波振動の振動方向を矢印Ｕにて
示す。このように、ホーン２は縦振動を行う。振動体１
の長さＬ（図２参照）及び幅Ｂは、ホーン２から伝達さ
れる振動に基づく撓み振動の共振長に定められ、図１に
示す撓み曲線Ａのような撓み振動をする。

【００１４】因に、本実施例の振動体１は、その長さＬ
が４３４ｍｍ、幅Ｂが１５４ｍｍ、厚みｔ（図１に図
示）が３ｍｍとなされ、素材としてジュラルミンが用い
られている。また、ホーン２については、約１９．４ｋ
Ｈｚで励振され、先端には振幅が３２μｍｐ−ｐ程度の
振動がのせられる。これらの設定により、振動体１の振
動の節はその長さ方向において約５４．２５ｍｍ、幅方
向においては約１９．２５ｍｍの間隔で現れ、格子状の
振動モードにて振動する。なお、振動体１の各寸法、共
振周波数及びその振幅並びに振動モードの形態について
は、適宣設定することができ、例えば長さＬに関しては
１０００ｍｍ以上とすることが可能である。

【００１５】図１に示すように、ホーン２は、振動体１
に対する結合部とは反対側において振動子４と結合され
ている。この振動子４の電極４ａと発振器５とが接続さ
れており、振動子４は該発振器５によって励振されて超
音波振動を発生する。ホーン２は、この振動子４が発す
る振動を機械的に増幅するものである。なお、ホーン２
にはフランジ部２ｂが形成されており、振動子４及び該
ホーン２を内蔵するケース６に対して該フランジ部２ｂ
がパッキン２ｃを介して締結されている。

【００１６】上述したホーン２と、振動子４と、発振器
５と、これらに関連する周辺の部材を、超音波励振手段
と総称する。

【００１７】図２及び図３に示すように、搬送されるべ
き物体７の搬送路両側に沿って板状の音波反射部材８が
配置されており、且つ、ケース６に取り付けられてい
る。

【００１８】次に、以上のような構成よりなる物体搬送
装置の作用について説明する。

【００１９】まず、当該物体搬送装置が含む物体浮揚装
置としての作用について説明する。

【００２０】まず、装置の作動に際し、図１に示すよう
に、振動体１が仮想水平面１０に対して平行となるよう
に装置の姿勢が調整される。この状態で給電がなされ、
発振器５により振動子４が励振され、ホーン２が縦振動
して該ホーンを通じて振動体１が励振されて撓み振動を
行う。振動体１が撓み振動を行うことにより、該振動体
１より音波（図示せず）が放射される。

【００２１】上記のように振動体１が振動を開始した
後、物体７を振動体１上に持ち来し、静かに手を離す。
但し、物体７は、振動体１の振動開始以前に予め振動体
１上に載置しておいてもよい。

【００２２】図４は図１における部分Ｅを拡大したもの
であるが、該図から明らかなように、振動体１より発せ
られる音波の放射圧によって、物体７は該振動体１の表
面から距離ｅ₁ を隔てた状態で浮揚する。ここで、この
浮揚距離ｅ₁ は、未だ音波を発することなく静止した状
態の振動体１の表面を０（ゼロ）とし、これを基準とし
た距離である。また、振動体１の面積が小さければ、振
動体１は撓み振動をせずにホーン２より付与される縦振
動そのものの振動モードで振動するが、この場合も物体
７は同様に浮揚する。なお、超音波励振手段への給電を
断てば振動体１よりの音波は直ちに停止し、物体７は振
動体１に接触する。

【００２３】図１乃至図４に示した物体７は、単に平板
状で比較的軽量のもの、例えば名刺や、合成樹脂製ある
いは金属製の薄板等を想定している。これらの物体は、
本実施例で示した装置を試作し、供試体として浮揚させ
てみたものであるが、この他、図５に示すような形態の
物体７についても実験を行った。すなわち、平板状のキ
ャリア７ａと、該キャリア７ａ上に担持された重量物７
ｂとからなるものである。図５において、この場合のキ
ャリア７ａと振動体１との距離をｅ₂ にて示している。
なお、このようなキャリア７ａを必要とする重量物７ｂ
としては、球形に近いものあるいは凹凸を有するものな
ど自体のみにては浮揚し得ない物体や、容器に収容した
状態の粉体又は液体等が挙げられる。但し、自体の底面
が平坦であればキャリア７ａを外して該重量物７ｂのみ
にても浮揚する故、そのような重量物７ｂについては自
体のみの浮揚実験をも行った他、種々の物体についても
実験を行った。この実験の実際及び該実験により得られ
た諸データ等については後述する。

【００２４】上記の実験の結果、浮揚に供する供試体の
材質には何等制約されることがなく、どのような物体で
も浮揚することが判明した。また、軽量なものから重い
ものに亘り幅広く実験を行ったが、軽量物については勿
論浮揚し、重量物に関しては実験中最大のもので直径が
約１４０ｍｍ、重量が約３．２６Ｋｇの金属製の物体が
浮揚し、これから、振動体１よりの音波の放射圧によっ
て物体が受ける最大浮力を計算すると２１．４ｇ／ｃｍ
² となった。よって、振動体１の表面積よりこの数値を
換算すると、仮に振動体１の全面に亘って延在するよう
な物体であれば、その物体の重量が１４．３Ｋｇでも浮
揚可能となる。ただし、比較的軽量の物体を浮揚させる
際は装置に加える振動系への入力電力は１３０Ｗで済ん
だが、上記のように重い物体を浮揚させる場合には１６
０Ｗを要した。

【００２５】また、前述したように、浮揚実験にはさま
ざまな材質の物体が供されたが、振動体１の表面と対向
する底面の平面精度が高いものほど、重量が大きくとも
浮揚することが判明した。ただし、振動体１の表面の平
面精度が高いこと、また、装置全体の安定性が重要であ
ることも確認された。

【００２６】上記から明らかなように、本発明に係る装
置においては、磁性体であるや否やなど、扱う物体の材
質等の制約を受けることがなく、また、磁界中におくこ
とができないもの等、あらゆる物体を浮揚させ、後述の
ように搬送することができる。また、扱う物体の重量及
び寸法が比較的大きくとも、浮揚させ、搬送することが
できるものである。

【００２７】続いて、上述した物体浮揚装置を含む物体
搬送装置の作用について説明する。この物体搬送装置
は、前述した物体浮揚装置の構成に、浮揚した状態の物
体７を走行させる走行手段を付加させたものである。

【００２８】この走行のための手段の一例として、図６
に示すような構成を採用している。すなわち、振動体１
の表面が仮想水平面１０に対して角度θ₁ だけ傾斜する
ようになされる。この傾斜θ₁ により、物体７に重力に
基づく加速度が生じ、走行する訳である。但し、角度θ
₁ については実験では１〜５°に設定された。かかる構
成の場合、物体７を走行させるための駆動源を特に必要
とせず、単に装置を傾けるだけでよいため、装置全体と
しての小型化及びコストの低減が図り易くなっている。
なお、前述したように、超音波励振手段への給電を断て
ば物体７は瞬時に振動体１に接触し、摩擦抵抗により停
止する。

【００２９】ところで、上記のようにして物体７が搬送
される際、下記の作用によって搬送路からの逸脱が防止
される。

【００３０】すなわち、図２及び図３に示すように、該
搬送路の両側に沿って音波反射部材８が配設されてい
る。図３から明らかなように、これらの音波反射部材８
は振動体１とは非接触の状態であり、図において矢印に
て示すように振動体１の下面より放射される音波を反射
しつつ上記搬送路の側方へと導く。搬送路の側方にはこ
のように導かれた音波が存在することとなるため、これ
が壁となり、物体７が搬送路から逸脱しようとするとこ
れを押し戻す作用をなす。よって物体７が搬送路から逸
脱することがない。また、かかる構成によれば、物体７
は音波反射部材８と接触することがない。但し、このよ
うな音波反射部材８を設けずとも、振動体１の縁からは
み出そうとした物体７が、該振動体１自体が放射する音
波の作用によって内側に引き戻される作用があることが
確認されている。

【００３１】次に、上述のように重力を利用して物体７
を走行させる形式とは異なる走行手段を夫々備えた他の
物体搬送装置について説明する。なお、これら各物体搬
送装置は、以下に説明する部分以外は図１乃至図３並び
に図６に示した第１実施例としての物体搬送装置と同様
に構成されているので、装置全体としての説明は重複す
る故に省略し、要部のみの説明に留める。また、以下の
説明において。図１乃至図３並びに図６に示した物体搬
送装置の構成部材と同一の構成部材については同じ参照
符号を用いて示している。

【００３２】図７に、本発明の第２実施例としての物体
搬送装置の要部を示す。

【００３３】図示のように、当該物体搬送装置において
は、振動体１が、仮想水平面１０に対して平行となされ
ている。そして、物体７を走行させる走行手段が、該物
体７が走行すべき方向に沿って互いに所定間隔を隔てて
並設された複数のノズル１５を有している。これらのノ
ズル１５は例えば振動体１の上方に配設され、斜め後方
より物体７に向けて圧搾空気を噴出する。物体７はこの
噴出する圧搾空気によって加速され、搬送される。これ
らのノズル１５と、該ノズル１５に圧搾空気を供給する
コンプレッサ（図示せず）等とによって、上記走行手段
として作用する気体噴射手段が構成されている。なお、
加圧して噴射される気体は、空気に限らず、用途に応じ
て、また、雰囲気等の環境に及ぼす影響が許容されるな
らば、種々のものが使用可能である。

【００３４】図８は、本発明の第３実施例としての物体
搬送装置の要部を示すものである。上記第２実施例とし
ての物体搬送装置においては気体の噴射によって物体７
を走行させているが、当該装置においては物体７に対し
て超音波を放射し、これを推進力として走行させる。

【００３５】すなわち、図示のように、振動体１の上方
に、物体７が走行すべき方向に沿って複数の超音波放射
器２０が等間隔にて並べて設けられている。そしてこれ
らの超音波放射器２０は、各々が具備した振動板２０ａ
より放射する超音波２１が斜め前下方に指向するように
傾斜した状態に設置されている。

【００３６】かかる構成においては、物体７は各超音波
放射器２０より発せられる音波の放射圧により加速さ
れ、搬送される。

【００３７】図９に、本発明の第４実施例としての物体
搬送装置の要部を示す。図８に示した第３実施例として
の物体搬送装置においては物体７の推進のために超音波
放射器２０を設けているが、本実施例においては振動体
１自体が発する音波を物体推進用として活用している。

【００３８】図示のように、本実施例においては、振動
体１の上方に、物体７が走行すべき方向に沿って複数の
平板状の反射部材２５が並べて設けられている。各反射
部材２５は振動体１の表面に対してθ₂ の角度をなすよ
うに、且つ前方が高くなるように傾けて設置されてい
る。よって、振動体１より上方に向けて放射された音波
２６ａはこれら反射部材２５にて反射し、斜め前下方向
に向って進む。物体７はこの反射波２６ｂにより加速さ
れ、搬送される。

【００３９】なお、本実施例においては複数の反射部材
２５を個別に設けたが、この他、複数の傾斜部を波状に
形成した長尺の反射部材（図示せず）を１つのみ設ける
構成としてもよい。

【００４０】また、図７乃至図９に夫々示した第２乃至
第４実施例においては、ノズル１５、超音波放射器２０
及び反射部材２５を物体搬送路に沿って各々複数並べて
設けているが、これらを単一として、搬送すべき物体７
を追うように移動させる構成とすることも可能である。

【００４１】図１０は、本発明の第５実施例としての物
体搬送装置を示すものである。当該物体搬送装置におい
ては、物体７を走行させる走行手段が下記のように構成
されている。

【００４２】図示のように、振動体１を励振する超音波
励振手段３０が該振動体１の右端側に設置され、左端側
に、該超音波励振手段３０とほぼ同様の構成を有するエ
ネルギー変換手段３１が配置されている。このエネルギ
ー変換手段３１は、超音波励振手段３０により励振され
た振動体１が発する超音波のエネルギーを再び電気エネ
ルギーに戻すべく変換するものである。具体的には、該
エネルギー変換手段３１が具備する振動子４の電極４ａ
に、抵抗Ｒ及びコイルＬからなる回路が接続されてお
り、機械的エネルギーとしての超音波エネルギーより変
換された電気エネルギーはこの回路を経ることにより更
にジュール熱に変換され、放散される。

【００４３】かかる構成においては、超音波励振手段と
同時にこのエネルギー変換手段３１を作用させれば、矢
印Ｓにて示すように、振動体１に生ずる撓み振動の波が
進行波となる。物体７は、この進行波に載る状態にて走
行する。

【００４４】図１１に、本発明の第６実施例としての物
体搬送装置の要部を示す。

【００４５】図示のように、当該物体搬送装置において
は、物体７の走行のための手段として、物体１の走行方
向側に重り３２を搭載させることが行われる。このよう
に重りを載せると、物体７は該物体の走行方向側とその
反対方向側とで重量配分が異なり浮揚した状態にて傾斜
する。すると、振動体１より上方に向けて放射された音
波（図示せず）は物体７の下面にて反射し、その反射波
（図示せず）が斜め後下方向に向かって進む。物体７は
この反射波による推進力によって加速され、走行する。
なお、このような重り３２を用いず、物体７自体につい
て走行方向側とその反対方向側との厚さを変えるなどし
て重量配分を異ならしめて傾斜させてもよい。

【００４６】図１２は、本発明の第７実施例としての物
体搬送装置の要部を示すものである。

【００４７】図示するように、この物体搬送装置におい
ては、物体７を走行させるための手段として、物体７の
後部下面に凹凸７ｄが形成されている。図１３から明ら
かなように、この凹凸７ｄは例えば、該物体７が走行す
べき方向において鉛直面７ｅ及び傾斜面７ｆとを交互に
且つ連続的に形成することによりなる。そして、該傾斜
面７ｆは、振動体１の表面に対してθ₃ の角度をなすよ
うに、且つ前方が低くなるように形成されている。よっ
て、振動体１より上方に向けて放射された音波２６ａは
これら傾斜面７ｆにて反射し、斜め後下方向に向って進
む。物体７はこの反射波２６ｂによる推進力によって加
速され、走行する。

【００４８】ところで、図２及び図３に示すように、前
述した各実施例の物体搬送装置においては、物体７の搬
送路からの逸脱を防止するために、搬送路に沿って音波
反射部材８を設け、振動体１の下面側より発せられて該
音波反射部材８に沿って反射された音波を壁として作用
させている。かかる構成により、ある程度の質量までの
物体に対処し得るのであるが、物体７の質量がかなり大
きくなると搬送路外に逸脱しようとする時の慣性も大き
く、音波の壁のみにてはこれを規制することは困難であ
る。そこで図１４に示す構成を付加することが行われ
る。

【００４９】図１４に示すように、重量が大きい物体７
（例えば重量物７ｂのみからなる）の搬送路の両側に、
平板状の逸脱防止部材３５を配設している。よって、物
体７は搬送路から逸脱しようとするとこの逸脱防止部材
３５の内側面に極く軽く接触し、逸脱が回避される。

【００５０】前述した各実施例においては、１台の物体
搬送装置について示したが、図１５に示すように、２台
またはそれ以上の物体搬送装置を、その各々の搬送路が
連続するように直列に並べて設置することができる。こ
のように、搬送路の長さを自在に設定することができ、
自由度が大きく、汎用性に優れている。

【００５１】ここで、前述した実験の実際についてその
一部を説明する。

【００５２】この実験のため、図１６に示すような測定
装置を用意した。この測定装置は振動体１上における各
種物体７の浮揚距離ｅを測定するものである。図示のよ
うに、レーザ変位計３７と、該レーザ変位計３７による
測定値を表示するオシロスコープ３８と、該レーザ変位
計３７より発せられる信号の増幅等を行ってオシロスコ
ープ３８に表示させるべく両者間に介在する変位計本体
３９とを有している。

【００５３】上記レーザ変位計３７は、物体７の直上か
ら該物体の上面に向けてレーザ３７ａを照射し、その反
射光等を利用して距離を測定するためのものであるが、
種々ある公知の測定原理のものが採用され得る。測定
は、具体的には下記のように行われる。

【００５４】まず、振動体１を振動させることなく静止
状態とし、該振動体１上に物体７を載置する。この状態
で上記測定装置を作動させ、静止状態の物体７の上面ま
での距離を浮揚距離測定の基準すなわち０（ゼロ）とす
べくリセットさせる。次いで、振動体１を励振させて物
体７を浮揚させる。この浮揚状態にて再び測定装置を作
動させ、測定を行う。ここで得られる測定値は上記基準
よりの距離であるから、該測定値がすなわち浮揚距離ｅ
となる。なお、物体７が金属の場合、非浮揚状態におい
て物体７と振動体１とに通電して相互の導通状態を得て
おき、この導通状態が消えて非導通状態となったことを
以て物体７が浮揚したことを確認することも行われた。

【００５５】本実験においては、図１７乃至図２３に示
す各種形態の供試体を用意し、これらの供試体につき浮
揚距離の測定を行った。

【００５６】図１７に示す供試体４１は、半導体（ＩＣ
チップ）を製造する際の一次製品としてのシリコンウェ
ハーであり、直径が約１００ｍｍ（４インチ）のものを
選定した。また、図１８に示す供試体４２はベークライ
トを素材とする矩形板であり、図示の寸法にて形成され
ている。但し、この図１８において、供試体４２の厚さ
を実寸法ではなく符号ｔ₁ にて示したのは、厚さが夫々
異なる複数枚、この場合８枚の供試体４２が用意された
ためであり、下記の表２において、これら８枚の供試体
各々につき参照符号４１ａ乃至４１ｈを付し、夫々の厚
さを示している。なお、該各供試体４１ａ乃至４１ｈは
各々ベークライト製ではあるが、夫々の比重量は異な
る。

【００５７】次に、図１９乃至図２３に示した各供試体
４３乃至４７は、夫々ジュラルミンを素材としてなり、
各図に示す寸法にて形成されている。但し、図２０にお
いて、供試体４４につきその厚さを符号ｔ₂ にて示した
のは、互いに厚さが異なる２枚の供試体４４が用意され
たためである。また、図２２に示す供試体４６は、この
２枚の供試体を結合させたものである。これら２枚の供
試体につき、図２２において参照符号４４ａ、４４ｂを
各々付して示している。

【００５８】上述した各供試体について、その重量、該
重量を底面積で除した数値を下記の表１に示す。

【表１】

【表２】

【００５９】上記表１に、上記の各供試体について測定
した浮揚距離を示している。そして、図２４に、各供試
体の単位面積当りの重量と浮揚距離との関係をグラフと
してして示している。このグラフから、単位面積当りの
重量と浮揚距離とは反比例することが判明した。但し、
該グラフから明らかなように、単位面積当りの重量がか
なり大きくなると浮揚距離の変化率は小さくなる。

【００６０】続いて、上述した各供試体のうち３つの供
試体４１、４２ｃ及び４３を選び、これらの供試体夫々
について振動体１の振幅を変化させ、各振幅における浮
揚距離を測定することを行った。なお、振幅の変化は８
段階に設定され、各振幅値については図示しないダイヤ
ルゲージを使用して確認した。この測定結果を下記の表
３に示す。そして、各振幅とそれらに対応する浮揚距離
との関係をグラフとして図２５に示している。このグラ
フから明らかなように、振幅と浮揚距離は比例関係にあ
るものの、振幅値がある程度大きくなると飽和状態とな
って浮揚距離が一定量を越えることがなくなることがわ
かる。これは、浮揚距離が大きくなると音波の放射圧が
逃げ、浮揚効率が低下するためであると推測される。

【表３】

【００６１】上記までの説明は、供試体として種々の物
体を選定し、試作した物体浮揚装置による浮揚実験をこ
れら各物体について行った結果に基づくものであるが、
実用化の一例として、図２６に示す構成を考えた。

【００６２】この構成において搬送されるべき物体は、
半導体（ＩＣチップ）を製造する際の一次製品としての
シリコンウェハー５０であり、該シリコンウェハー５０
を例えば矩形板状に形成したキャリア５１上に搭載させ
た状態で前述の物体搬送装置により浮揚させ、搬送する
ことを行う。

【００６３】図から明らかなように、キャリア５１に
は、略円形のシリコンウェハー５０が挿通されるべき円
形の凹部５１ａが設けられている。この凹部５１ａの内
周面には例えば４つの突起５１ｂが等間隔にて形成され
ており、シリコンウェハー５０は凹部５１ａ内において
これら突起５１ｂ上に載置されるようになされている。
そして、キャリア５１の両側には、凹部５１ａに連通す
る切欠部５１ｃが形成されている。この切欠部５１ｃ
は、シリコンウェハー５０を上記突起５１ｂ上に載置し
た状態において該切欠部５１ｃの底面とシリコンウェハ
ー５０の下面との間に所定の間隙が生ずる程度の深さを
有している。すなわち、図示しないロボットハンド等が
このシリコンウェハー５０を凹部５１ａ内に挿入したり
取り出す際に、上記切欠部５１ｃを通じてシリコンウェ
ハー５０を保持するようになされている。

【００６４】なお、かかるキャリア５１を使用せずに、
直接シリコンウェハー５０を搬送することも可能であ
る。

【００６５】また、本発明は、前述した各実施例の構成
に限らず、これら各実施例のいずれか２以上の構成をそ
の一部ずつでも互いに組み合わせることなどにより、多
岐に亘る構成を実現できることは勿論である。

【００６６】また、前述の各実施例においては、振動体
１の素材としてジュラルミンが使用されているが、他
に、炭素鋼及びその合金鋼であるステンレス鋼や、チタ
ン合金等、種々の材質が採用可能である。

【００６７】ところで、前述した実験の様子を写真撮影
したので、その一部を参考までに参考写真１乃至参考写
真８として添付した。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁性体であるや否やなど、扱う物体の材質等の制約を受
けることがなく、また、磁界中におくことができないも
の等、あらゆる物体を浮揚させ、搬送することができ、
しかも、物体の重量及び寸法が比較的大きくとも対処可
能であるという効果がある。また、装置に関しては、実
質的に、振動体とこれを励振する超音波励振手段のみを
最小限設けるだけでよいから、小型化及びコストの低減
が達成されるという効果が得られると共に、消費電力も
極めて少なくて済み、省エネルギー化に寄与するもので
ある。更に、電気エネルギーを変換した音波の放射圧に
よる浮揚作用であるため、作業者の安全性についても容
易に確保し得ると共に、給電及びその断をなすことによ
り簡単に制御できる利点を有する。そして、用途に応じ
て振動体の形状を適宜変更し得、また、物体を長距離搬
送するためには装置を並べればよいなど、その自由度が
非常に大きく、且つ汎用性に優れている。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１実施例としての物体搬送
装置の、一部断面を含む正面図である。

【図２】図２は、図１に示した物体搬送装置の平面図で
ある。

【図３】図３は、図１に関するＤ−Ｄ矢視図である。

【図４】図４は、図１における部分Ｅの拡大図である。

【図５】図５は、図１乃至図３に示した物体搬送装置に
よって搬送されるべき物体の他の構成を示す図である。

【図６】図６は、図１乃至図３に示した物体搬送装置の
動作説明図である。

【図７】図７は、本発明の第２実施例としての物体搬送
装置の要部の正面図である。

【図８】図８は、本発明の第３実施例としての物体搬送
装置の要部の正面図である。

【図９】図９は、本発明の第４実施例としての物体搬送
装置の要部の正面図である。

【図１０】図１０は、本発明の第５実施例としての物体
搬送装置の、一部断面を含む正面図である。

【図１１】図１１は、本発明の第６実施例としての物体
搬送装置の要部の正面図である。

【図１２】図１２は、本発明の第７実施例としての物体
搬送装置の要部の正面図である。

【図１３】図１３は、図１２における部分Ｇの拡大図で
ある。

【図１４】図１４は、図１乃至図１３に示した各実施例
の物体搬送装置に関し、その一部の変形例を示す側面図
である。

【図１５】図１５は、物体搬送装置を複数台並べた状態
を示す、一部断面を含む正面図である。

【図１６】図１６は、本発明に係る物体浮揚装置の要部
と該装置に関する測定を行う測定装置の概略を示す正面
図である。

【図１７】図１７は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図１８】図１８は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図１９】図１９は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図２０】図２０は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図２１】図２１は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図２２】図２２は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図２３】図２３は、図１６に示した測定装置による測
定に供される供試体の斜視図である。

【図２４】図２４は、図１６に示した測定装置により得
られた測定結果を示すグラフである。

【図２５】図２５は、図１６に示した測定装置により得
られた測定結果を示すグラフである。

【図２６】図２６は、図１乃至図１３に示した各実施例
の物体搬送装置により搬送されるべきシリコンウェハー
と、該シリコンウェハーを搭載するキャリアの斜視図で
ある。

【図２７】図２７は、従来の物体浮揚装置の概略を示す
正面図である。

【符号の説明】

１振動体２ホーン４振動子５発振器６ケース７物体８音波反射部材１０仮想水平面２０超音波放射器２５反射部材３０超音波励振手段３１エネルギー変換手段３５逸脱防止部材３７レーザ変位計３８オシロスコープ３９変位計本体４１，４２，４３，４４，４５，４６，４７供試体５０シリコンウェハー５１キャリア

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動体と、該振動体を励振する超音波励
振手段とを備え、振動体の音波の放射圧により該振動体
の表面上において物体を浮揚させることを特徴とする物
体浮揚装置。
【請求項２】前記振動体は撓み振動又は縦振動を行う
ことを特徴とする請求項１記載の物体浮揚装置。
【請求項３】前記振動体は平板状に形成されているこ
とを特徴とする請求項１または請求項２記載の物体浮揚
装置。
【請求項４】振動体と、該振動体を励振する超音波励
振手段と、該振動体を走行させる走行手段とを備え、該
振動体の音波の放射圧により該振動体の表面上において
物体を浮揚させ、走行させることを特徴とする物体搬送
装置。
【請求項５】前記振動体は前記表面が仮想水平面に対
して傾斜して設けられ、この傾斜により前記物体が走行
することを特徴とする請求項４記載の物体搬送装置。
【請求項６】前記走行手段は、前記物体に対して気体
を噴射する気体噴射手段を有することを特徴とする請求
項４又は請求項５記載の物体搬送装置。
【請求項７】前記走行手段は、前記物体に対して超音
波を放射する超音波放射手段を有することを特徴とする
請求項４乃至請求項６のうちいずれか１記載の物体搬送
装置。
【請求項８】前記走行手段は、前記振動体より放射さ
れた超音波を前記物体に向けて反射する反射部材を有す
ることを特徴とする請求項４乃至請求項７のうちいずれ
か１記載の物体搬送装置。
【請求項９】前記走行手段は、前記超音波励振手段が
発する超音波エネルギーを電気エネルギーに変換するこ
とにより該超音波を前記物体が移動すべき方向に進む進
行波とするエネルギー変換手段を有することを特徴とす
る請求項４乃至請求項８のうちいずれか１記載の物体搬
送装置。
【請求項１０】前記物体は該物体の走行方向側とその
反対方向側とで重量配分が異なるようにし、前記振動体
より放射されて該物体の下面にて反射した反射波による
推進力を以て該物体を走行させることを特徴とする請求
項４乃至請求項９のうちいずれか１記載の物体搬送装
置。
【請求項１１】前記物体の下面に凹凸を形成し、前記
振動体より放射されて該凹凸にて反射した反射波による
推進力を以て該物体を走行させることを特徴とする請求
項４乃至請求項１０のうちいずれか１記載の物体搬送装
置。
【請求項１２】前記物体の搬送路両側に沿って音波反
射部材を配置し、前記振動体より放射されて該音波反射
部材にて反射した音波によって、前記物体の前記搬送路
からの逸脱を防止したことを特徴とする請求項４乃至請
求項１１のうちいずれか１記載の物体搬送装置。
【請求項１３】前記物体の前記搬送路からの逸脱を防
止する逸脱防止部材を、前記振動体から離間して設けた
ことを特徴とする請求項４乃至請求項１２のうちいずれ
か１記載の物体搬送装置。
【請求項１４】物体の搬送路が連続するように複数台
並設されたことを特徴とする請求項４乃至請求項１３の
うちいずれか１記載の物体搬送装置。
【請求項１５】振動体を励振し、該振動体の音波の放
射圧により該振動体の表面上において物体を浮揚させる
ことを特徴とする物体浮揚方法。