JPH07241501A - 印刷配線板用自吸式液切り装置 - Google Patents
印刷配線板用自吸式液切り装置Info
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- JPH07241501A JPH07241501A JP6035646A JP3564694A JPH07241501A JP H07241501 A JPH07241501 A JP H07241501A JP 6035646 A JP6035646 A JP 6035646A JP 3564694 A JP3564694 A JP 3564694A JP H07241501 A JPH07241501 A JP H07241501A
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- wiring board
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 経済的でありながら、処理済みの被処理印刷
配線板３に付着・残存している処理液を十部に除去・回
収でき、信頼性の高い印刷配線板の製造に大きく寄与し
得る印刷配線板用自吸式液切り装置の提供を目的とす
る。 【構成】 印刷配線板用の処理槽本体10と、前記処理槽
本体10内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板12を搬送す
るコンベア型の搬送系11と、前記コンベア型の搬送系11
を挟んで配置され、かつ搬送される被処理印刷配線板12
に処理液13を噴射するスプレーユニット14，14′と、前
記スプレーユニット14，14′に処理槽本体10内の処理液
13を循環的に供給する第１の処理液供給系15と、前記処
理槽本体10内の処理液13を加圧状態で循環的に供給する
第２の処理液供給系16と、前記第２の処理液供給系16に
設置されたアスピレータ19と、前記アスピレータ19の吸
引系19aに接続し、かつ前記搬送系11を搬送される処理
済みの印刷配線板12主面に吸引口 20aが対接配置されて
付着処理液を吸引除去する処理液回収ユニット20とを具
備して成ることを特徴とする。
配線板３に付着・残存している処理液を十部に除去・回
収でき、信頼性の高い印刷配線板の製造に大きく寄与し
得る印刷配線板用自吸式液切り装置の提供を目的とす
る。 【構成】 印刷配線板用の処理槽本体10と、前記処理槽
本体10内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板12を搬送す
るコンベア型の搬送系11と、前記コンベア型の搬送系11
を挟んで配置され、かつ搬送される被処理印刷配線板12
に処理液13を噴射するスプレーユニット14，14′と、前
記スプレーユニット14，14′に処理槽本体10内の処理液
13を循環的に供給する第１の処理液供給系15と、前記処
理槽本体10内の処理液13を加圧状態で循環的に供給する
第２の処理液供給系16と、前記第２の処理液供給系16に
設置されたアスピレータ19と、前記アスピレータ19の吸
引系19aに接続し、かつ前記搬送系11を搬送される処理
済みの印刷配線板12主面に吸引口 20aが対接配置されて
付着処理液を吸引除去する処理液回収ユニット20とを具
備して成ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は印刷配線板用自吸式液切
り装置の改良に関する。
り装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、印刷配線板の製造工程
は、たとえば銅箔張り基板を素材として、 (a)エッチン
グレジスト層の被着，形成とエッチングレジスト層の露
光，現像、 (b)フォトエッチング処理、 (c)メッキレジ
スト層の被着，形成とメッキレジスト層の露光，現像、
(d)メッキ処理、 (e)半田レジスト層の被着，形成とエ
ッチングレジスト層の露光，現像など多くの段階（工
程）から成っている。そして、これらの各工程において
は、清浄水や化学薬品水溶液などによって所要の処理が
なされ、次の処理工程に移行する。また、前記所要の処
理を行ってから、次工程に移行するときは、前工程にお
ける処理液が可及的に除去されていることが必要であ
る。つまり、前工程で使用された処理液が付着したまま
次工程に移行すると、次工程を適格に進行し得なかった
り、次工程に悪影響が及んで信頼性の高い印刷配線板を
得ることが困難になるからである。
は、たとえば銅箔張り基板を素材として、 (a)エッチン
グレジスト層の被着，形成とエッチングレジスト層の露
光，現像、 (b)フォトエッチング処理、 (c)メッキレジ
スト層の被着，形成とメッキレジスト層の露光，現像、
(d)メッキ処理、 (e)半田レジスト層の被着，形成とエ
ッチングレジスト層の露光，現像など多くの段階（工
程）から成っている。そして、これらの各工程において
は、清浄水や化学薬品水溶液などによって所要の処理が
なされ、次の処理工程に移行する。また、前記所要の処
理を行ってから、次工程に移行するときは、前工程にお
ける処理液が可及的に除去されていることが必要であ
る。つまり、前工程で使用された処理液が付着したまま
次工程に移行すると、次工程を適格に進行し得なかった
り、次工程に悪影響が及んで信頼性の高い印刷配線板を
得ることが困難になるからである。
【０００３】したがって、印刷配線板の製造工程では、
被加工体について処理液の液切りがなされており、その
ために図４および図５に要部構成を断面的に示す印刷配
線板用自吸式液切り装置が開発され、実用に供されてい
る。図４は印刷配線板用自吸式液切り装置の概略構成を
示すもので、１は印刷配線板用の処理槽本体、２は前記
処理槽本体１内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板３を
搬送するコンベア型の搬送系、４，４′は前記コンベア
型の搬送系２を挟んで配置され、かつ搬送される被処理
印刷配線板３に処理液５を噴射するスプレーユニット、
６は前記スプレーユニット４，４′に処理槽本体１内の
処理液５を循環的に供給する処理液供給系である。
被加工体について処理液の液切りがなされており、その
ために図４および図５に要部構成を断面的に示す印刷配
線板用自吸式液切り装置が開発され、実用に供されてい
る。図４は印刷配線板用自吸式液切り装置の概略構成を
示すもので、１は印刷配線板用の処理槽本体、２は前記
処理槽本体１内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板３を
搬送するコンベア型の搬送系、４，４′は前記コンベア
型の搬送系２を挟んで配置され、かつ搬送される被処理
印刷配線板３に処理液５を噴射するスプレーユニット、
６は前記スプレーユニット４，４′に処理槽本体１内の
処理液５を循環的に供給する処理液供給系である。
【０００４】また、７は前記処理槽本体１内に配置さ
れ、コンベア型の搬送系２を搬送されてくる所要の処理
がなされた被処理印刷配線板３に付着・残存している処
理液５を絞り取り・除去する液切り機構である。ここ
で、液切り機構７は、複数対の無垢状のゴムローラなど
で構成されており、各対を成すローラ間を被処理印刷配
線板３が押圧状態で通過して、付着・残存している処理
液５が絞り取り・除去される。なお、前記構成の液切り
機構７の代りに、図５に要部を拡大して示すように、対
を成すエアーナイフ８，８′を用い、所要の処理がなさ
れた被処理印刷配線板３に付着・残存している処理液５
を、エアーで吹き飛ばす手段も知られている。なお、図
５において、９は被処理印刷配線板３の搬送を兼ねた押
さえローラである。
れ、コンベア型の搬送系２を搬送されてくる所要の処理
がなされた被処理印刷配線板３に付着・残存している処
理液５を絞り取り・除去する液切り機構である。ここ
で、液切り機構７は、複数対の無垢状のゴムローラなど
で構成されており、各対を成すローラ間を被処理印刷配
線板３が押圧状態で通過して、付着・残存している処理
液５が絞り取り・除去される。なお、前記構成の液切り
機構７の代りに、図５に要部を拡大して示すように、対
を成すエアーナイフ８，８′を用い、所要の処理がなさ
れた被処理印刷配線板３に付着・残存している処理液５
を、エアーで吹き飛ばす手段も知られている。なお、図
５において、９は被処理印刷配線板３の搬送を兼ねた押
さえローラである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
印刷配線板用自吸式液切り装置の場合は、実用上次のよ
うな不都合な問題が認められる。すなわち、処理済みの
被処理印刷配線板３に付着・残存している処理液５を絞
り取り・除去する液切り機構７のとき、換言すると無垢
状のローラによって絞り取り・除去する方式では、被処
理印刷配線板３の凹凸面に十分追従することが難しく、
液切りムラが発生し易いという問題がある。ここで、液
切りムラが発生することは、付着・残存している処理液
５を十分に除去していないことを意味し、処理液の回収
率を低減させるとともに、一方では付着・残存している
処理液５による反応などが起こり、品質の低下を招来す
ることになる。また、エアーナイフ８，８′からのエア
ーによって、処理済みの被処理印刷配線板３に付着・残
存している処理液５を吹き飛ばす方式では、液切りムラ
の発生など解消され易い。しかし一方では、被処理印刷
配線板３の表面荒れや変色などが発生し、品質の低下を
回避し得ないのが実状である。
印刷配線板用自吸式液切り装置の場合は、実用上次のよ
うな不都合な問題が認められる。すなわち、処理済みの
被処理印刷配線板３に付着・残存している処理液５を絞
り取り・除去する液切り機構７のとき、換言すると無垢
状のローラによって絞り取り・除去する方式では、被処
理印刷配線板３の凹凸面に十分追従することが難しく、
液切りムラが発生し易いという問題がある。ここで、液
切りムラが発生することは、付着・残存している処理液
５を十分に除去していないことを意味し、処理液の回収
率を低減させるとともに、一方では付着・残存している
処理液５による反応などが起こり、品質の低下を招来す
ることになる。また、エアーナイフ８，８′からのエア
ーによって、処理済みの被処理印刷配線板３に付着・残
存している処理液５を吹き飛ばす方式では、液切りムラ
の発生など解消され易い。しかし一方では、被処理印刷
配線板３の表面荒れや変色などが発生し、品質の低下を
回避し得ないのが実状である。
【０００６】本発明は上記事情に対処してなされたもの
で、経済的でありながら、処理済みの被処理印刷配線板
３に付着・残存している処理液を十部に除去・回収で
き、信頼性の高い印刷配線板の製造に大きく寄与し得る
印刷配線板用自吸式液切り装置の提供を目的とする。
で、経済的でありながら、処理済みの被処理印刷配線板
３に付着・残存している処理液を十部に除去・回収で
き、信頼性の高い印刷配線板の製造に大きく寄与し得る
印刷配線板用自吸式液切り装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る印刷配線板
用自吸式液切り装置は、印刷配線板用の処理槽本体と、
前記処理槽本体内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板を
搬送するコンベア型の搬送系と、前記コンベア型の搬送
系を挟んで配置され、かつ搬送される被処理印刷配線板
に処理液を噴射するスプレーユニットと、前記スプレー
ユニットに処理槽本体内の処理液を循環的に供給する第
１の処理液供給系と、前記処理槽本体内の処理液を加圧
状態で循環的に供給する第２の処理液供給系と、前記第
２の処理液供給系に設置されたアスピレータと、前記ア
スピレータの吸引系に接続し、かつ前記搬送系を搬送さ
れる処理済みの印刷配線板主面に吸引口が対接配置され
て付着処理液を吸引除去する処理液回収ユニットとを具
備して成ることを特徴とする。
用自吸式液切り装置は、印刷配線板用の処理槽本体と、
前記処理槽本体内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板を
搬送するコンベア型の搬送系と、前記コンベア型の搬送
系を挟んで配置され、かつ搬送される被処理印刷配線板
に処理液を噴射するスプレーユニットと、前記スプレー
ユニットに処理槽本体内の処理液を循環的に供給する第
１の処理液供給系と、前記処理槽本体内の処理液を加圧
状態で循環的に供給する第２の処理液供給系と、前記第
２の処理液供給系に設置されたアスピレータと、前記ア
スピレータの吸引系に接続し、かつ前記搬送系を搬送さ
れる処理済みの印刷配線板主面に吸引口が対接配置され
て付着処理液を吸引除去する処理液回収ユニットとを具
備して成ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明に係る印刷配線板用自吸式液切り装置に
よれば、処理液が加圧状態で循環する第２の処理液供給
系にアスピレータを設置し、このアスピレータが発生す
る真空系（バッキュウム系）を処理済みの印刷配線板主
面に当接させる構成を採っている。したがって、処理済
みの印刷配線板面に付着・残存している処理液は、前記
真空系によって、容易に、またムラなく、さらには印刷
配線板面に悪影響を及ぼさずに吸引除去されて、前記第
２の処理液供給系を介して回収される。つまり、処理済
みの印刷配線板面に付着・残存している処理液は、圧流
する処理液によって発生されたれバッキュウム系に吸引
されるので、全面的にムラなく、また効率よく除去さ
れ、所望の清浄状態をほじして次工程に移行することが
可能となる。一方、除去された処理液そのまま、汚染も
しくは異物を混入などすることなく回収されて、繰り返
し使用し得るので、処理液もより経済的に利用されるこ
とになる。
よれば、処理液が加圧状態で循環する第２の処理液供給
系にアスピレータを設置し、このアスピレータが発生す
る真空系（バッキュウム系）を処理済みの印刷配線板主
面に当接させる構成を採っている。したがって、処理済
みの印刷配線板面に付着・残存している処理液は、前記
真空系によって、容易に、またムラなく、さらには印刷
配線板面に悪影響を及ぼさずに吸引除去されて、前記第
２の処理液供給系を介して回収される。つまり、処理済
みの印刷配線板面に付着・残存している処理液は、圧流
する処理液によって発生されたれバッキュウム系に吸引
されるので、全面的にムラなく、また効率よく除去さ
れ、所望の清浄状態をほじして次工程に移行することが
可能となる。一方、除去された処理液そのまま、汚染も
しくは異物を混入などすることなく回収されて、繰り返
し使用し得るので、処理液もより経済的に利用されるこ
とになる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明に係る印刷配線板用自吸式液切
り装置の概略構成を示す図１，図２および図３を参照し
て、本発明の実施例を説明する。
り装置の概略構成を示す図１，図２および図３を参照し
て、本発明の実施例を説明する。
【００１０】図１は、装置全体の概略構成例を断面的
に、図２はアスピレータ構成例を断面的に、また図３は
処理液回収ユニットの構成例を断面的に示したものであ
る。
に、図２はアスピレータ構成例を断面的に、また図３は
処理液回収ユニットの構成例を断面的に示したものであ
る。
【００１１】図１において、10は印刷配線板用の処理槽
本体、11は前記処理槽本体10内をほぼ水平方向に被処理
印刷配線板12を搬送するコンベア型の搬送系、13は前記
コンベア型の搬送系11を挟んで配置され、かつ搬送され
る被処理印刷配線板12に処理液13を噴射するスプレーユ
ニット14，14′である。
本体、11は前記処理槽本体10内をほぼ水平方向に被処理
印刷配線板12を搬送するコンベア型の搬送系、13は前記
コンベア型の搬送系11を挟んで配置され、かつ搬送され
る被処理印刷配線板12に処理液13を噴射するスプレーユ
ニット14，14′である。
【００１２】また、15は前記スプレーユニット14，14′
に処理槽本体10内の処理液13を循環的に供給する第１の
処理液供給系、16は前記処理槽本体10内の処理液13を加
圧状態で循環的に供給する第２の処理液供給系である。
ここで、第１の処理液供給系15、および第２の処理液供
給系16における処理液13の循環的な供給は、スプレー用
ポンプ17や循環用ポンプ18によって行われる。
に処理槽本体10内の処理液13を循環的に供給する第１の
処理液供給系、16は前記処理槽本体10内の処理液13を加
圧状態で循環的に供給する第２の処理液供給系である。
ここで、第１の処理液供給系15、および第２の処理液供
給系16における処理液13の循環的な供給は、スプレー用
ポンプ17や循環用ポンプ18によって行われる。
【００１３】さらに、19は前記第２の処理液供給系18に
設置されたアスピレータ、20は前記アスピレータ19の吸
引系 19aに接続し、かつ前記搬送系11を搬送される処理
済みの印刷配線板12主面の幅方向に吸引口 20aが対接配
置されて付着処理液を吸引除去する長尺形の処理液回収
ユニットである。ここで、前記アスピレータ19は、第２
の処理液供給系18の途中に設置されており、第２の処理
液供給系18を加圧状態で流れる処理液13の流速ないし流
量に対応して減圧（真空）領域を形成して吸引作用を呈
するものである。一方、処理液回収ユニット20は、一端
面を広大径に開口した長尺形の吸引口 20aを備え、他端
が前記アスピレータ19の吸引系 19aに接続する構成を成
している。そして、処理液回収ユニット20の吸引口 20a
は、処理済みの印刷配線板12主面の幅方向に対接して、
付着・残存している処理液13を強制的に吸引，除去する
ものである。
設置されたアスピレータ、20は前記アスピレータ19の吸
引系 19aに接続し、かつ前記搬送系11を搬送される処理
済みの印刷配線板12主面の幅方向に吸引口 20aが対接配
置されて付着処理液を吸引除去する長尺形の処理液回収
ユニットである。ここで、前記アスピレータ19は、第２
の処理液供給系18の途中に設置されており、第２の処理
液供給系18を加圧状態で流れる処理液13の流速ないし流
量に対応して減圧（真空）領域を形成して吸引作用を呈
するものである。一方、処理液回収ユニット20は、一端
面を広大径に開口した長尺形の吸引口 20aを備え、他端
が前記アスピレータ19の吸引系 19aに接続する構成を成
している。そして、処理液回収ユニット20の吸引口 20a
は、処理済みの印刷配線板12主面の幅方向に対接して、
付着・残存している処理液13を強制的に吸引，除去する
ものである。
【００１４】なお、この実施例では、処理液回収ユニッ
ト20の長尺形吸引口 20a両側に押圧型のローラ 20bを付
設して、処理済みの印刷配線板12面の調整、および付着
・残存している処理液13をより容易に吸引・除去，回収
し得るようにしてある。具体的には、この構成例の場合
は、処理液の回収率が約98％で、従来の液切り装置での
回収率約70％に比較して大幅な回収率の向上が認めら
れ、また処理済み印刷配線板の表面状態も変色や荒れな
どの発生もなく、高品質であることが確認された。 本
発明は、上記実施例に限定されるものでなく、発明の趣
旨を逸脱しない範囲で他の構成を採り得る。たとえば、
上記ではアスピレータを第２の処理液供給系に並列的に
設置したが、このアスピレータを多段的に直列に接続し
た構成なども採り得る。
ト20の長尺形吸引口 20a両側に押圧型のローラ 20bを付
設して、処理済みの印刷配線板12面の調整、および付着
・残存している処理液13をより容易に吸引・除去，回収
し得るようにしてある。具体的には、この構成例の場合
は、処理液の回収率が約98％で、従来の液切り装置での
回収率約70％に比較して大幅な回収率の向上が認めら
れ、また処理済み印刷配線板の表面状態も変色や荒れな
どの発生もなく、高品質であることが確認された。 本
発明は、上記実施例に限定されるものでなく、発明の趣
旨を逸脱しない範囲で他の構成を採り得る。たとえば、
上記ではアスピレータを第２の処理液供給系に並列的に
設置したが、このアスピレータを多段的に直列に接続し
た構成なども採り得る。
【００１５】
【発明の効果】本発明に係る印刷配線板用自吸式液切り
装置によれば、装置自身が形成する真空系によって、容
易に、またムラなく、さらには印刷配線板面に悪影響を
及ぼさずに、処理済みの印刷配線板面に付着・残存して
いる処理液を吸引除去して、処理槽本体に回収する。つ
まり、処理済みの印刷配線板面に付着・残存している処
理液は、圧流する処理液によって発生されたれバッキュ
ウム系に吸引されるので、全面的にムラなく、また効率
よく除去され、所望の清浄状態をほじして次工程に移行
することが可能となるので、信頼性の高い印刷配線板の
製造を可能とする。一方、除去された処理液そのまま回
収されて、繰り返し使用し得るので、処理液もより経済
的に利用されることになり、実用上多くの利点をもたら
すものといえる。
装置によれば、装置自身が形成する真空系によって、容
易に、またムラなく、さらには印刷配線板面に悪影響を
及ぼさずに、処理済みの印刷配線板面に付着・残存して
いる処理液を吸引除去して、処理槽本体に回収する。つ
まり、処理済みの印刷配線板面に付着・残存している処
理液は、圧流する処理液によって発生されたれバッキュ
ウム系に吸引されるので、全面的にムラなく、また効率
よく除去され、所望の清浄状態をほじして次工程に移行
することが可能となるので、信頼性の高い印刷配線板の
製造を可能とする。一方、除去された処理液そのまま回
収されて、繰り返し使用し得るので、処理液もより経済
的に利用されることになり、実用上多くの利点をもたら
すものといえる。
【図１】本発明に係る印刷配線板用自吸式液切り装置の
概略構成例を示す断面図。
概略構成例を示す断面図。
【図２】本発明に係る印刷配線板用自吸式液切り装置が
具備するアスピレータの概略構成例を示す断面図。
具備するアスピレータの概略構成例を示す断面図。
【図３】本発明に係る印刷配線板用自吸式液切り装置が
具備する処理液回収ユニットの概略構成例を示す断面
図。
具備する処理液回収ユニットの概略構成例を示す断面
図。
【図４】従来の印刷配線板用自吸式液切り装置の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図５】従来の印刷配線板用自吸式液切り装置が具備す
る他の液切り機構の概略構成を示す断面図。
る他の液切り機構の概略構成を示す断面図。
【符号の説明】 １，10…印刷配線板用の処理槽本体 ２，11…コンベ
ア型の搬送系 ３，12…被処理印刷配線板 ４，
４′，14，14′…スプレーユニット ５，13…処理液
６…処理液供給系 ７…液切り機構 ８…エア
ナイフ ９…押さえローラ 15…第１の処理液供給
系 16…第２の処理液供給系 17…スプレー用ポン
プ 18…循環用ポンプ 19…アスピレータ 19a
…アスピレータの吸引系 20…処理液回収ユニット
20a…処理液回収ユニットの吸引口 20b…押圧型
ローラ
ア型の搬送系 ３，12…被処理印刷配線板 ４，
４′，14，14′…スプレーユニット ５，13…処理液
６…処理液供給系 ７…液切り機構 ８…エア
ナイフ ９…押さえローラ 15…第１の処理液供給
系 16…第２の処理液供給系 17…スプレー用ポン
プ 18…循環用ポンプ 19…アスピレータ 19a
…アスピレータの吸引系 20…処理液回収ユニット
20a…処理液回収ユニットの吸引口 20b…押圧型
ローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 印刷配線板用の処理槽本体と、 前記処理槽本体内をほぼ水平方向に被処理印刷配線板を
搬送するコンベア型の搬送系と、 前記コンベア型の搬送系を挟んで配置され、かつ搬送さ
れる被処理印刷配線板に処理液を噴射するスプレーユニ
ットと、 前記スプレーユニットに処理槽本体内の処理液を循環的
に供給する第１の処理液供給系と、 前記処理槽本体内の処理液を加圧状態で循環的に供給す
る第２の処理液供給系と、 前記第２の処理液供給系に設置されたアスピレータと、 前記アスピレータの吸引系に接続し、かつ前記搬送系を
搬送される処理済みの印刷配線板主面に吸引口が対接配
置されて付着処理液を吸引除去する処理液回収ユニット
とを具備して成ることを特徴とする印刷配線板用自吸式
液切り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6035646A JPH07241501A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 印刷配線板用自吸式液切り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6035646A JPH07241501A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 印刷配線板用自吸式液切り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07241501A true JPH07241501A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12447649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6035646A Pending JPH07241501A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 印刷配線板用自吸式液切り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07241501A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7282098B2 (en) | 2002-03-15 | 2007-10-16 | Seiko Epson Corporation | Processing-subject cleaning method and apparatus, and device manufacturing method and device |
| US7412983B2 (en) | 2002-03-22 | 2008-08-19 | Seiko Epson Corporation | Pattern forming method and apparatus, and device fabrication method and device |
| KR20160117844A (ko) * | 2015-03-31 | 2016-10-11 | (주)화백엔지니어링 | 피시비 기판 솔더 처리장치 |
-
1994
- 1994-03-07 JP JP6035646A patent/JPH07241501A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7282098B2 (en) | 2002-03-15 | 2007-10-16 | Seiko Epson Corporation | Processing-subject cleaning method and apparatus, and device manufacturing method and device |
| US7695570B2 (en) | 2002-03-15 | 2010-04-13 | Seiko Epson Corporation | Processing-subject cleaning method and apparatus, and device manufacturing method and device |
| US7412983B2 (en) | 2002-03-22 | 2008-08-19 | Seiko Epson Corporation | Pattern forming method and apparatus, and device fabrication method and device |
| KR20160117844A (ko) * | 2015-03-31 | 2016-10-11 | (주)화백엔지니어링 | 피시비 기판 솔더 처리장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030909 |