JPH07241462A - 空気浄化フィルター用吸着材 - Google Patents
空気浄化フィルター用吸着材Info
- Publication number
- JPH07241462A JPH07241462A JP6058261A JP5826194A JPH07241462A JP H07241462 A JPH07241462 A JP H07241462A JP 6058261 A JP6058261 A JP 6058261A JP 5826194 A JP5826194 A JP 5826194A JP H07241462 A JPH07241462 A JP H07241462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- activated carbon
- polyallylamine
- adsorbent
- impregnated
- air purifying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 有害ガスのうち、特に酸性ガスの除去性能に
優れた空気浄化フィルター用吸着材を得る。 【構成】 ポリアリルアミンを添着した繊維状活性炭か
らなる空気浄化フィルター用吸着材である。
優れた空気浄化フィルター用吸着材を得る。 【構成】 ポリアリルアミンを添着した繊維状活性炭か
らなる空気浄化フィルター用吸着材である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大気中の有害ガス、特
に酸性ガスの除去に有効な空気浄化フィルター用吸着材
に関し、半導体製造用クリーンルーム等に用いられるフ
ィルターに好適なものである。
に酸性ガスの除去に有効な空気浄化フィルター用吸着材
に関し、半導体製造用クリーンルーム等に用いられるフ
ィルターに好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】活性炭は、空気浄化用フイルターにおい
て脱臭あるいは有害ガスの除去を目的とする吸着材とし
て使用されているが、塩化水素ガスやフッ化水素ガス等
の酸性ガスの吸着能が不十分であるため、各種の改良が
検討されており、例えば、アルカリ金属の水酸化物ある
いは炭酸塩を活性炭に添着したものがある。また、アル
デヒド等の有害ガスに対しポリエチレンイミン等の高分
子イミンを添着した活性炭（特公昭６２−５１６５１
号）も知られている。
て脱臭あるいは有害ガスの除去を目的とする吸着材とし
て使用されているが、塩化水素ガスやフッ化水素ガス等
の酸性ガスの吸着能が不十分であるため、各種の改良が
検討されており、例えば、アルカリ金属の水酸化物ある
いは炭酸塩を活性炭に添着したものがある。また、アル
デヒド等の有害ガスに対しポリエチレンイミン等の高分
子イミンを添着した活性炭（特公昭６２−５１６５１
号）も知られている。
【０００３】なお、半導体製造におけるクリーンルーム
等では、粉塵その他の微粒子を除去するため高性能フイ
ルターが要求されている。これは、エッチング等の工程
においてフッ化水素酸や塩酸等の強酸が多用され、これ
らの薬品から発生する有毒ガスが、半導体製品、製造装
置あるいは作業者に悪影響を及ぼすばかりでなく、微量
ガスが製品の品質に直ちに悪影響を及ぼすからであり、
高集積化が進むにつれてより一層の高性能化が要望され
ている。
等では、粉塵その他の微粒子を除去するため高性能フイ
ルターが要求されている。これは、エッチング等の工程
においてフッ化水素酸や塩酸等の強酸が多用され、これ
らの薬品から発生する有毒ガスが、半導体製品、製造装
置あるいは作業者に悪影響を及ぼすばかりでなく、微量
ガスが製品の品質に直ちに悪影響を及ぼすからであり、
高集積化が進むにつれてより一層の高性能化が要望され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、半導体製
造用クリーンルームの空気浄化用フィルターにおいて
は、極めて低濃度まで有害ガスを除去する能力が要求さ
れ、また、製品品質の低下をもたらす可能性のあるアル
カリ金属等の金属成分の使用は好ましくない。金属成分
を使用しない吸着材としては、前述のように活性炭にポ
リエチレンイミンを添着したものが知られている。しか
しながら、これはアルデヒドやシアン等の有害ガスの除
去に有効なものの、塩化水素等の酸性ガスの除去に対す
る性能は知られていない。
造用クリーンルームの空気浄化用フィルターにおいて
は、極めて低濃度まで有害ガスを除去する能力が要求さ
れ、また、製品品質の低下をもたらす可能性のあるアル
カリ金属等の金属成分の使用は好ましくない。金属成分
を使用しない吸着材としては、前述のように活性炭にポ
リエチレンイミンを添着したものが知られている。しか
しながら、これはアルデヒドやシアン等の有害ガスの除
去に有効なものの、塩化水素等の酸性ガスの除去に対す
る性能は知られていない。
【０００５】本発明者らは、このポリエチレンイミンを
添着した繊維状活性炭を酸性ガス吸着材として評価した
ところ、活性炭が変色し商品価値が低下すること、ま
た、繊維状活性炭をシート状あるいはフェルト状とした
場合、その接触面積を大きくするため、ヒダ状等に加工
してフィルター内に設置する必要があるが、添着したポ
リエチレンイミンの影響により、シート等が硬化し、そ
の加工が難しくなることが判明した。
添着した繊維状活性炭を酸性ガス吸着材として評価した
ところ、活性炭が変色し商品価値が低下すること、ま
た、繊維状活性炭をシート状あるいはフェルト状とした
場合、その接触面積を大きくするため、ヒダ状等に加工
してフィルター内に設置する必要があるが、添着したポ
リエチレンイミンの影響により、シート等が硬化し、そ
の加工が難しくなることが判明した。
【０００６】本発明者らは、前記の問題点を解決するた
め、繊維状活性炭への添着剤として有機高分子類につい
て種々検討した結果、ポリアリルアミンが極めて優れた
ものであることを見いだし本発明を完成するに至った。
本発明の目的は、特に酸性ガスの除去性能に優れた空気
浄化フィルター用吸着材を提供することにある。
め、繊維状活性炭への添着剤として有機高分子類につい
て種々検討した結果、ポリアリルアミンが極めて優れた
ものであることを見いだし本発明を完成するに至った。
本発明の目的は、特に酸性ガスの除去性能に優れた空気
浄化フィルター用吸着材を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ポリア
リルアミンを添着した繊維状活性炭からなる空気浄化フ
ィルター用吸着材により達成される。塩化水素やフッ化
水素等の酸性ガスは、繊維状活性炭に添着されたポリア
リルアミンに化学吸着し、除去される。
リルアミンを添着した繊維状活性炭からなる空気浄化フ
ィルター用吸着材により達成される。塩化水素やフッ化
水素等の酸性ガスは、繊維状活性炭に添着されたポリア
リルアミンに化学吸着し、除去される。
【０００８】ここで、本発明のポリアリルアミンは、繊
維状活性炭の重量に対し１から３０％であることが好ま
しい。また、本発明の繊維状活性炭はその比表面積が５
００ｍ2／ｇ以上、平均細孔直径が５０から５オングス
トロームであることがより好ましい。
維状活性炭の重量に対し１から３０％であることが好ま
しい。また、本発明の繊維状活性炭はその比表面積が５
００ｍ2／ｇ以上、平均細孔直径が５０から５オングス
トロームであることがより好ましい。
【０００９】以上の本発明において、使用する活性炭と
しては、粒状、紛状等の一般的なものでも使用可能であ
る。より高い性能を与えるためには、繊維状活性炭が好
ましく、特に、比表面積が５００ｍ2／ｇ以上、平均細
孔直径が５０オングストローム以下のものが好ましい。
但し、細孔直径が５オングストローム以下になると安定
した吸着作用を維持し難くなる。また、その形態はフェ
ルト状であることが好ましく、フェルト状に加工された
繊維状活性炭としては、市販されている通常のものが使
用でき、前記の物性を備えたものが好適である。
しては、粒状、紛状等の一般的なものでも使用可能であ
る。より高い性能を与えるためには、繊維状活性炭が好
ましく、特に、比表面積が５００ｍ2／ｇ以上、平均細
孔直径が５０オングストローム以下のものが好ましい。
但し、細孔直径が５オングストローム以下になると安定
した吸着作用を維持し難くなる。また、その形態はフェ
ルト状であることが好ましく、フェルト状に加工された
繊維状活性炭としては、市販されている通常のものが使
用でき、前記の物性を備えたものが好適である。
【００１０】本発明において、使用するポリアリルアミ
ンは、アリルアミンを重合して得られる重合物であり、
側鎖に第一アミノ基だけを持ち、平均分子量が１，００
０〜１００，０００のものである。添着するポリアリル
アミンの量は、活性炭の重量に対し１〜３０％であるこ
とが好ましい。これより少ないと寿命が低下し、多すぎ
ると活性炭の細孔が塞がって吸着性能を低下させるから
である。
ンは、アリルアミンを重合して得られる重合物であり、
側鎖に第一アミノ基だけを持ち、平均分子量が１，００
０〜１００，０００のものである。添着するポリアリル
アミンの量は、活性炭の重量に対し１〜３０％であるこ
とが好ましい。これより少ないと寿命が低下し、多すぎ
ると活性炭の細孔が塞がって吸着性能を低下させるから
である。
【００１１】また、ポリアリルアミンの活性炭への添着
は、ポリアリルアミンの水溶液に活性炭を浸漬した後に
乾燥する等の方法により実施することができる。用いる
ポリアリルアミン水溶液の濃度は、所望する添着量に応
じ適宜に設定すればよく、該水溶液の粘度が高い場合は
適宜にエタノール等で希釈して用いることも可能であ
る。
は、ポリアリルアミンの水溶液に活性炭を浸漬した後に
乾燥する等の方法により実施することができる。用いる
ポリアリルアミン水溶液の濃度は、所望する添着量に応
じ適宜に設定すればよく、該水溶液の粘度が高い場合は
適宜にエタノール等で希釈して用いることも可能であ
る。
【００１２】
【実施例】以下、実施例を挙げ本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【実施例１】比表面積１０００ｍ2／ｇ、平均細孔直径
１６オングストロームの繊維状活性炭からなるフェルト
（大阪ガス（株）製、ＦＮ−１００ＰＳ・１０）を、ポ
リアリルアミン（日東紡績（株）製、ＰＡＡ−１５Ｂ、
分子量約１万、１５％水溶液）をエタノールに溶解して
調整したポリアリルアミン２％溶液に浸漬した後に乾燥
し、活性炭重量に対し５．１ｗｔ％のポリアリルアミン
が添着されたフェルトを作製した。このフェルトに、Ｈ
Ｃ１１ｐｐｍ含有空気を１０ｃｍ／ｓｅｃで流し、流出
空気中のＨＣ１濃度を測定した。その結果を表１に示
す。
１６オングストロームの繊維状活性炭からなるフェルト
（大阪ガス（株）製、ＦＮ−１００ＰＳ・１０）を、ポ
リアリルアミン（日東紡績（株）製、ＰＡＡ−１５Ｂ、
分子量約１万、１５％水溶液）をエタノールに溶解して
調整したポリアリルアミン２％溶液に浸漬した後に乾燥
し、活性炭重量に対し５．１ｗｔ％のポリアリルアミン
が添着されたフェルトを作製した。このフェルトに、Ｈ
Ｃ１１ｐｐｍ含有空気を１０ｃｍ／ｓｅｃで流し、流出
空気中のＨＣ１濃度を測定した。その結果を表１に示
す。
【比較例１】ポリアリルアミンを添着しないフェルト
（大阪ガス（株）製、ＦＮ−１００ＰＳ・１０）を用
い、実施例１と同じ条件で空気中のＨＣ１除去を行っ
た。
（大阪ガス（株）製、ＦＮ−１００ＰＳ・１０）を用
い、実施例１と同じ条件で空気中のＨＣ１除去を行っ
た。
【００１３】
【実施例２】比表面積１５００ｍ2／ｇ、平均細孔直径
１８オングストロームの繊維状活性炭からなるフェルト
（大阪ガス（株）製、ＦＮ−１００ＰＳ・１５）を、ポ
リアリルアミン（日東紡績（株）製、ＰＡＡ−１５Ｂ、
分子量約１万、１５％水溶液）をエタノールに溶解して
調整したポリアリルアミン５％溶液に浸漬した後に乾燥
し、活性炭重量に対し１５ｗｔ％のポリアリルアミンが
添着されたフェルトを作製した。このフェルトに、ＳＯ
2１ｐｐｍ含有空気を１０ｃｍ／ｓｅｃで流し、流出空
気中のＳＯ2濃度を測定した。その結果を表１に示す。
１８オングストロームの繊維状活性炭からなるフェルト
（大阪ガス（株）製、ＦＮ−１００ＰＳ・１５）を、ポ
リアリルアミン（日東紡績（株）製、ＰＡＡ−１５Ｂ、
分子量約１万、１５％水溶液）をエタノールに溶解して
調整したポリアリルアミン５％溶液に浸漬した後に乾燥
し、活性炭重量に対し１５ｗｔ％のポリアリルアミンが
添着されたフェルトを作製した。このフェルトに、ＳＯ
2１ｐｐｍ含有空気を１０ｃｍ／ｓｅｃで流し、流出空
気中のＳＯ2濃度を測定した。その結果を表１に示す。
【比較例１】ポリアリルアミンの替わりにジアリルアミ
ンを用い、他は実施例２と同じ条件でＳＯ2の除去を行
った。
ンを用い、他は実施例２と同じ条件でＳＯ2の除去を行
った。
【００１４】
【実施例３】比表面積７００ｍ2／ｇ、平均細孔直径２
０オングストロームの繊維状活性炭からなるフェルト
（東邦レーヨン（株）製、ＦＥ−２００）を用い、実施
例１と同様にして、活性炭重量に対し５ｗｔ％のポリア
リルアミンが添着されたフェルトを作製した。このフェ
ルトに、ＨＦ１ｐｐｍ含有空気を１０ｃｍ／ｓｅｃで流
し、流出空気中のＨＦ濃度を測定した。その結果を表１
に示す。
０オングストロームの繊維状活性炭からなるフェルト
（東邦レーヨン（株）製、ＦＥ−２００）を用い、実施
例１と同様にして、活性炭重量に対し５ｗｔ％のポリア
リルアミンが添着されたフェルトを作製した。このフェ
ルトに、ＨＦ１ｐｐｍ含有空気を１０ｃｍ／ｓｅｃで流
し、流出空気中のＨＦ濃度を測定した。その結果を表１
に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】このように、本発明のポリアリルアミンを
繊維状活性炭に添着した吸着材は、塩化水素やフッ化水
素等の酸性ガスを高性能に除去できることが判明し、加
えて添着材としてポリエチレンイミンを使用したものに
比して活性炭の変色なども起き難く、製作も容易で量産
に優れている。
繊維状活性炭に添着した吸着材は、塩化水素やフッ化水
素等の酸性ガスを高性能に除去できることが判明し、加
えて添着材としてポリエチレンイミンを使用したものに
比して活性炭の変色なども起き難く、製作も容易で量産
に優れている。
【００１７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の吸着材
は、繊維状活性炭の有する本来の吸着能を損なわず、か
つ、添着したポリアリルアミンに起因する優れた酸性ガ
ス吸着能を有するため、種々の空気浄化フィルターに使
用でき、特に高性能の除去効果が要求される半導体製造
用クリーンルームにおける空気清浄用として好適であ
る。
は、繊維状活性炭の有する本来の吸着能を損なわず、か
つ、添着したポリアリルアミンに起因する優れた酸性ガ
ス吸着能を有するため、種々の空気浄化フィルターに使
用でき、特に高性能の除去効果が要求される半導体製造
用クリーンルームにおける空気清浄用として好適であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/68 Ｂ０１Ｄ 53/34 １３４ Ｃ
Claims (3)
- 【請求項１】 ポリアリルアミンを添着した繊維状活性
炭からなることを特徴とする空気浄化フィルター用吸着
材。 - 【請求項２】 前記ポリアリルアミンは、繊維状活性炭
の重量に対し１から３０％である請求項１記載の空気浄
化フィルター用吸着材。 - 【請求項３】 前記繊維状活性炭は、その比表面積が５
００ｍ2／ｇ以上、平均細孔直径が５０から５オングス
トロームである請求項１記載の空気浄化フィルター用吸
着材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058261A JPH07241462A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 空気浄化フィルター用吸着材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058261A JPH07241462A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 空気浄化フィルター用吸着材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07241462A true JPH07241462A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=13079224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6058261A Pending JPH07241462A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 空気浄化フィルター用吸着材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07241462A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1178549A2 (en) * | 2000-07-31 | 2002-02-06 | Kawasaki Steel Corporation | Carbon substrate, anode for lithium ion rechargeable battery and lithium ion rechargeable battery |
| WO2003096809A1 (de) * | 2002-05-18 | 2003-11-27 | Creavis Gesellschaft Für Technologie Und Innovation Mbh | Antimikrobielle aktivkohle |
| JP2006192333A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Toyobo Co Ltd | ガス吸着性シート |
| KR100768406B1 (ko) * | 2006-08-10 | 2007-10-18 | 한국원자력연구원 | 메조기공 탄소계 물질과 착물 형성 고분자로 구성된 신규 기능성 복합체 |
| WO2009113679A1 (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-17 | 株式会社日本触媒 | 吸水性樹脂を主成分とする粒子状吸水剤の製造方法 |
-
1994
- 1994-03-04 JP JP6058261A patent/JPH07241462A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1178549A2 (en) * | 2000-07-31 | 2002-02-06 | Kawasaki Steel Corporation | Carbon substrate, anode for lithium ion rechargeable battery and lithium ion rechargeable battery |
| EP1178549A3 (en) * | 2000-07-31 | 2004-09-08 | JFE Steel Corporation | Carbon substrate, anode for lithium ion rechargeable battery and lithium ion rechargeable battery |
| WO2003096809A1 (de) * | 2002-05-18 | 2003-11-27 | Creavis Gesellschaft Für Technologie Und Innovation Mbh | Antimikrobielle aktivkohle |
| JP2006192333A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Toyobo Co Ltd | ガス吸着性シート |
| KR100768406B1 (ko) * | 2006-08-10 | 2007-10-18 | 한국원자력연구원 | 메조기공 탄소계 물질과 착물 형성 고분자로 구성된 신규 기능성 복합체 |
| WO2009113679A1 (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-17 | 株式会社日本触媒 | 吸水性樹脂を主成分とする粒子状吸水剤の製造方法 |
| US9051067B2 (en) | 2008-03-13 | 2015-06-09 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Method for producing particulate water-absorbing agent composed principally of water-absorbing resin |
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