JPH07240598A - チップ用位置決め機構の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップ実装装置に組み込む前の段階で位置決
め機構の各位置決め部材の配置を正確に検査できる位置
決め機構の検査方法を提供する。 【構成】 位置決め機構の基板の前後及び左右の各ガイ
ド溝に、十字形の治具を係合し、その基板を検査装置２
１の保持プレート２５０３の前面に設けられた保持部に
位置決め保持させ、望遠鏡２７０１の視野内の十字線の
交点を前記治具の中央の基準孔に合わせて、前記基板と
前記望遠鏡２７０１とを正確に位置決めしておき、次
に、前記基板を前記保持部から取り外し、前記治具に代
えて前後及び左右の各位置決め部材とその駆動機構を前
記基板に取り付けて位置決め機構を組み立て、この位置
決め機構が組み立てられた基板を前記保持部に再度位置
決め保持させ、前記望遠鏡２７０１を覗いて前記各位置
決め部材が位置する目盛の値を見て、各位置決め部材の
前後間隔や左右間隔に狂いがないか否かを検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ等のチップをプリ
ント基板に実装する場合に用いられる位置決め機構の検
査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＩＣ等のチップをプリント基板
に実装する場合、図３に示すように、前記チップをプリ
ント基板に対して位置決めする位置決め機構が用いられ
る。図中１はチップ実装装置に設けられたチップの位置
決め機構を示し、吸着ノズル３で吸着保持されたチップ
５は、位置決め機構１によりプリント基板（図示せず）
上で位置決めされる。前記位置決め機構１は、前後ガイ
ド溝７０１及び左右ガイド溝７０３が形成された基板７
と、前記各ガイド溝７０１，７０３に摺動可能にそれぞ
れ配設された位置決め部材９，１１と、前記各位置決め
部材９，１１の駆動機構１３を備えている。

【０００３】前記各ガイド溝７０１，７０３は、図４に
基板７の上面側から見た斜視図で示すように、基板７の
上面に前後方向及び左右方向にそれぞれ延在し、互いに
直交して十字形に形成され、前記前後ガイド溝７０１
は、前ガイド溝７０１Ａ及び後ガイド溝７０１Ａで構成
され、前記左右ガイド溝７０３は、左ガイド溝７０３Ａ
及び右ガイド溝７０３Ｂで構成されている。

【０００４】前記前後ガイド溝７０１と左右ガイド溝７
０３が交わる基板７部分には、前記チップ５の平面視し
た外形より若干大きい形状で、前記基板７の上面から下
面にかけて窓７０５が貫設されている。また、前記各ガ
イド溝７０１Ａ，７０１Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂの底面
で前記窓７０５寄りの箇所には、それら各ガイド溝７０
１Ａ，７０１Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂの長手方向に沿っ
て長孔７０７がそれぞれ貫設されている。

【０００５】前記位置決め部材９は、前記前後の各ガイ
ド溝７０１Ａ，７０１Ｂにそれぞれ配設された前位置決
め部材９Ａと後位置決め部材９Ｂとで構成され、前記位
置決め部材１１は、前記左右の各ガイド溝７０３Ａ，７
０３Ｂにそれぞれ配設された左位置決め部材１１Ａと右
位置決め部材１１Ｂとで構成されている。

【０００６】前記前後及び左右の各位置決め部材９Ａ，
９Ｂ，１１Ａ，１１Ｂは、図３に示すように、前記ガイ
ド溝７０１Ａ，７０１Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂに対応し
た断面形状で所定長さに形成されたスライド片１５０１
と、該スライド片１５０１の先端から下方に屈曲された
屈曲片１５０３と、該屈曲片１５０３から突設された凸
片１５０５とを備えている。前記凸片１５０５は、前記
前後の位置決め部材９Ａ，９Ｂと前記左右の位置決め部
材１１Ａ，１１Ｂとで形状が異なり、前記スライド片１
５０１の下面には作動ピン１５０７（図７参照）が突設
されている。前記凸片１５０５の先端面で、図５に示す
ような、超小型チップ５Ａを位置決めする下当接面１５
０９が画成され、前記凸片１５０５より上側の前記屈曲
片１５０３の面で、図３に示すような、通常サイズの前
記チップ５を位置決めする上当接面１５１１が画成され
ている。

【０００７】前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，１１Ａ，
１１Ｂは、前記スライド片１５０１の作動ピン１５０７
が前記長孔７０７に挿通されて前記各ガイド溝７０１
Ａ，７０１Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂに収容され、且つ、
前記屈曲片１５０３が前記窓７０５の内側に配置され
る。この状態で、前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，１１
Ａ，１１Ｂは、前記各ガイド溝７０１Ａ，７０１Ｂ，７
０３Ａ，７０３Ｂにその長手方向にスライド可能に支持
され、前記前後の位置決め部材９Ａ，９Ｂの上下の当接
面１５１１，１５０９どうし、及び、前記左右の位置決
め部材１１Ａ，１１Ｂの上下の当接面１５１１，１５０
９どうしがそれぞれ向かい合う。

【０００８】前記駆動機構１３は、図６に前記基板７の
下面側から見た斜視図で示すように、前後の位置決め部
材９Ａ，９Ｂを駆動する前後用駆動機構１３Ａと、左右
の位置決め部材１１Ａ，１１Ｂを駆動する左右用駆動機
構１３Ｂとで構成され、それら前後用駆動機構１３Ａと
左右用駆動機構１３Ｂは略々同様に構成されている。前
記前後用及び左右用の各駆動機構１３Ａ，１３Ｂは、図
７に示すように、基板７にねじ７０９及びナット７１１
（図４参照）で枢支された一対の揺動レバー１７０１を
備える。

【０００９】前記各揺動レバー１７０１は、アーム１７
０３と、該アーム１７０３の基端に形成され互いに噛合
する円弧状のギア１７０５と、前記アーム１７０３の先
端に形成された係合凹部１７０７とで構成され、さら
に、一方の前記揺動レバー１７０１の基端には作動レバ
ー１７０９が突設され、該作動レバー１７０９の先端に
はローラ１７１１が回転可能に支持されている。

【００１０】前記前後用駆動機構１３Ａの各揺動レバー
１７０１は、前記各係合凹部１７０７に前記前後の位置
決め部材９Ａ，９Ｂの作動ピン１５０７がそれぞれ係合
されるように配設されている。前記前後用駆動機構１３
Ａの作動レバー１７０９は、駆動源側の揺動アーム等に
より前記ローラ１７１１を介して揺動され、これによ
り、前記各揺動レバー１７０１は前記ギア１７０５を介
して揺動され、前記前後の位置決め部材９Ａ，９Ｂは、
同一の速度及び逆向きで同期して前記各ガイド溝７０１
Ａ，７０１Ｂ内をスライドされる。

【００１１】また、前記左右用駆動機構１３Ｂの各揺動
レバー１７０１は、前記各係合凹部１７０７に前記左右
の位置決め部材１１Ａ，１１Ｂの作動ピン１５０７がそ
れぞれ係合されるように配設されている。前記左右用駆
動機構１３Ｂの作動レバー１７０９は、駆動源側の揺動
アーム等により前記ローラ１７１１を介して揺動され、
これにより、前記各揺動レバー１７０１は前記ギア１７
０５を介して揺動され、前記左右の位置決め部材１１
Ａ，１１Ｂは、同一の速度及び逆向きで同期して前記各
ガイド溝７０３Ａ，７０３Ｂ内をスライドされる。

【００１２】尚、図８に模式図で示すように、前記左右
用駆動機構１３Ｂにより前記左右の位置決め部材１１
Ａ，１１Ｂを、それらの前記凸片１５０５の先端どうし
が当接するようにスライドさせた状態で、前記前後用駆
動機構１３Ａにより前記前後の位置決め部材９Ａ，９Ｂ
を、互いに接近する方向にスライドさせると、該前後の
位置決め部材９Ａ，９Ｂの前記凸片１５０５が、前記左
右の位置決め部材１１Ａ，１１Ｂの前記凸片１５０５間
に画成される凹部１５１３内に隙間なく嵌合される。

【００１３】このように構成された前記位置決め機構１
は、前記位置決め部材９，１１及び２組の駆動機構１３
を前記基板７に順次取り付けて組み立てられた後に、チ
ップ実装装置の位置決め部に組み込まれる。そして、前
記チップ実装装置に組み込んだ前記位置決め機構１は、
前記各位置決め部材９，１１が前後対称或は左右対称に
それぞれ狂いなく配置されているか否かが、前記位置決
め機構１を直接目視することによりそれぞれ検査され
る。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記チ
ップ５はもともと小さく、各位置決め部材９，１１は、
このようなチップ５に対応して小さく細かな部材となる
ため、従来の前記位置決め機構１を直接目視する検査で
は、組み立て後の前記各位置決め部材９，１１が前後対
称或は左右対称に配置されているか否かを正確に把握す
ることができないという不具合があった。

【００１５】また、前記位置決め機構１は前記チップ実
装装置の駆動源により駆動されるため、前記各位置決め
部材９，１１を所定の位置に所定の時間連続して停止さ
せるエージングを、前記チップ実装装置に前記位置決め
機構１を組み込む前に行うことができない。そのため従
来は、チップ実装装置に組み込む前の段階で前記位置決
め機構１の信頼性を高めることができず、組み込み後に
前記各位置決め部材９，１１が設計通りに動作しない不
具合がしばしば発生し、その場合には、前記位置決め機
構１をチップ実装装置から取り外し、分解して組み立て
直さなければならないという不具合があった。

【００１６】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、本発明の目的は、組み立てた位置決め機構をチップ
実装装置に組み込む前の段階で、各位置決め部材の配置
を正確に検査できる位置決め機構の検査方法を提供する
ことにあり、さらには、チップ実装装置に組み込む前の
段階で前記位置決め機構の信頼性を高めることができる
位置決め機構の検査方法を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、互いに直交して十字状に形成された４つのガ
イド溝を有する基板と、前記各ガイド溝にスライド可能
にそれぞれ配設された４つの位置決め部材と、前記４つ
の位置決め部材をスライドさせる駆動機構とを備え、前
記４つのガイド溝が交差する部分において、前記４つの
位置決め部材によりチップを位置決めするチップ用位置
決め機構の検査方法であって、前記４つのガイド溝が交
差する部分に、該４つのガイド溝の軸心の交点が形成さ
れた治具を係合し、目盛が形成された十字線が視野内に
表示される望遠鏡で前記４つのガイド溝が交差する部分
を捉え、前記望遠鏡の十字線の交点と前記治具に形成さ
れた前記４つのガイド溝の軸心の交点を合致させ、前記
両交点を合致させた後、前記治具を取り外し、前記駆動
機構で前記各位置決め部材をそれぞれスライドさせ、前
記望遠鏡の視野内で、前記十字線により、前記各位置決
め部材の位置を検査するようにしたことを特徴とする。

【００１８】また、本発明は、前記治具は、前記４つの
ガイド溝が交差する部分に係合可能な十字状に形成され
ているものとした。さらに、本発明は、前記４つのガイ
ド溝の軸心の交点は孔により形成されているものとし
た。また、本発明は、前記４つのガイド溝が交差する部
分において、前記各位置決め部材に力をかけつつ各位置
決め部材を所定の時間連続して相互に当接させるエージ
ングを行い、該エージング後に、前記各位置決め部材が
所定の位置に位置しているか否かを検査するようにし
た。

【００１９】

【作用】本発明によれば、前記望遠鏡の十字線の交点
と、前記治具に形成された前記４つのガイド溝の軸心の
交点を合致させることで、前記望遠鏡と前記チップ用位
置決め機構とが位置決めされる。そして、前記治具を取
り外し、前記駆動機構により前記各位置決め部材をスラ
イドさせ、前記望遠鏡を覗くことで、前記十字線によ
り、各位置決め部材が各ガイド溝内で所定の位置に位置
しているか否かが検査される。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の検査方法を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例に係る位置決め機構の
検査装置を示す斜視図である。図中２１で示す本実施例
の検査装置は、先に従来の技術の欄で説明したチップ実
装装置に組み込む前の前記位置決め機構１を検査するも
のである。前記検査装置２１は、基台２３と、前記位置
決め機構１の保持ユニット２５、検査ユニット２７、及
び駆動ユニット２９と、前記検査装置２１の操作ユニッ
ト３１を備えている。

【００２１】前記基台２３は、前後に長い矩形で水平に
配設されたテーブル２３０１と、このテーブル２３０１
を支持する４つの脚部２３０３で構成され、前記保持ユ
ニット２５、検査ユニット２７、及び駆動ユニット２９
は前記テーブル２３０１上に配設され、前記操作ユニッ
ト３１は前記テーブル２３０１の下部に配設されてい
る。

【００２２】前記保持ユニット２５は、前記テーブル２
３０１の前後方向の略々中央箇所に配設されている。前
記保持ユニット２５は、前記テーブル２３０１の左端か
ら立設された支持プレート２５０１と、該支持プレート
２５０１の上部前端にねじにより固定され、前記テーブ
ル２３０１に載置された保持プレート２５０３で構成さ
れされている。

【００２３】前記保持プレート２５０３は、前記テーブ
ル２３０１の左右両端間に延設され、該保持プレート２
５０３は、その上端が後方に若干傾斜して配置されてい
る。前記保持プレート２５０３の前面には保持部（図示
せず）が形成され、前記位置決め機構１の検査時には、
該位置決め機構１の前記基板７が前記保持部に着脱可能
に位置決め保持される。

【００２４】前記検査ユニット２７は、望遠鏡２７０１
と該望遠鏡２７０１の支持機構２７０３で構成されてい
る。前記支持機構２７０３は、Ｘステージ２７０５と、
Ｙステージ２７０７と、Ｚステージ２７０９と、前記望
遠鏡２７０１の支持板２７１１を備える。

【００２５】前記Ｘステージ２７０５は、前記テーブル
２３０１の左前部上で左右方向にスライド可能に支持さ
れ、前記テーブル２３０１と平行して水平に延設されて
いる。前記Ｘステージ２７０５は、該Ｘステージ２７０
５に内蔵されたスライド機構（図示せず）により左右方
向にスライドされ、このスライド機構は、前記Ｘステー
ジ２７０５の前方の操作ツマミ２７１３の回転操作によ
り駆動され、該Ｘステージ２７０５の左右位置は、Ｘス
テージ２７０５の右方のゲージ２７１５に表示される。

【００２６】前記Ｙステージ２７０７は、前記Ｘステー
ジ２７０５上で昇降可能に支持され、前記テーブル２３
０１やＸステージ２７０５と直交し、前後方向に延在し
て垂直に配設されている。前記Ｙステージ２７０７は、
該Ｙステージ２７０７に内蔵されたスライド機構（図示
せず）により昇降され、このスライド機構は、前記Ｙス
テージ２７０７の左方の操作ツマミ２７１７の回転操作
により駆動され、該Ｙステージ２７０７の前後位置は、
前記操作ツマミ２７１７の上方のゲージ２７１９に表示
される。

【００２７】前記Ｚステージ２７０９は、前記Ｙステー
ジ２７０７の右側面で前後方向にスライド可能に支持さ
れ、該Ｙステージ２７０７と平行し、前後方向に延在し
て垂直に配設されている。前記Ｚステージ２７０９は、
該Ｚステージ２７０９に内蔵されたスライド機構（図示
せず）により昇降され、このスライド機構は、前記Ｚス
テージ２７０９の左上方の操作ツマミ２７２１の回転操
作により駆動される。

【００２８】前記支持板２７１１は、前記Ｚステージ２
７０９の右側面から右方に突設され、該支持板２７１１
は前記保持プレート２５０３と平行に延在している。こ
の支持板２７１１の中央には、前記望遠鏡２７０１取り
付け用の嵌合孔（図示せず）が貫設されている。

【００２９】前記望遠鏡２７０１は従来公知の拡大顕微
鏡で構成されている。前記望遠鏡２７０１の前端（対物
レンズ側）は、前記保持プレート２５０３側に向けて前
記支持板２７１１の嵌合孔に嵌合し取り付けられ、該望
遠鏡２７０１の光軸は前記保持プレート２５０３と直交
している。この望遠鏡２７０１の視野内には、目盛（例
えば０．０１ｍｍ単位）が付いた十字線が表示され、こ
の十字線の交点は前記望遠鏡２７０１の光軸と合致して
いる。尚、前記支持板２７１１の前記保持プレート２５
０３側の面で前記嵌合孔の周囲の箇所には、前記保持プ
レート２５０３の前記保持部を照明するランプ（図示せ
ず）が配設されている。

【００３０】前記駆動ユニット２９は、２つのエージン
グモータ２９０１，２９０３と、それらエージングモー
タ２９０１，２９０３の支持機構２９０５で構成されて
いる。前記支持機構２９０５は、前記テーブル２３０１
の右端で前記保持プレート２５０３の手前から立設され
た下支柱２９０７と、該下支柱２９０７の上端に配設さ
れた上支柱２９０９と、これら上下の支柱２９０９，２
９０７を連結する微調整ブロック２９１１と、前記上支
柱２９０９の上端に取着されたガイド部材２９１３と、
該ガイド部材２９１３で支持された前記エージングモー
タ２９０１，２９０３の支持板２９１５を備える。

【００３１】前記微調整ブロック２９１１は、前記下支
柱２９０７の上端及び前記上支柱２９０９の下端にそれ
ぞれ２つのボルト２９１７、ナット（図示せず）により
取着されている。前記ボルト２９１７と該ボルト２９１
７が挿通する前記微調整ブロック２９１１のボルト孔
（図示せず）との間には、ボルト２９１７の径方向に隙
間が設けられ、前記ボルト２９１７とナットとの弛緩緊
締により、前記上支柱２９０９の前後及び左右の位置、
即ち、前記位置決め機構１の駆動源の前後及び左右の位
置が微調整される。

【００３２】前記ガイド部材２９１３は、前記保持プレ
ート２５０３と直交する方向に所定長さ延在し、該ガイ
ド部材２９１３の左側面には、ガイド部材２９１３の延
在方向に沿って凹溝２９１９が形成されている。

【００３３】前記支持板２９１５は矩形状を呈し、該支
持板２９１５の右側部には、該支持板２９１５の厚さ方
向に所定長さ延在してガイドレール２９２１が取着さ
れ、該ガイドレール２９２１は前記凹溝２９２１にスラ
イド可能に支持されている。従って、前記支持板２９１
５は前記保持プレート２５０３と平行して延在し、且
つ、前記支持板２９１５は、前記ガイドレール及びガイ
ド部材を介して、前記保持プレート２５０３と接近離間
する方向にスライド可能に支持されている。尚、前記ガ
イドレール２９２１は、前記ガイド部材２９１３に設け
られたクランプボルト２９２３の締め付けにより、任意
のスライド位置で前記ガイド部材２９１３に固定され
る。

【００３４】前記エージングモータ２９０１，２９０３
の出力軸（図示せず）は、前記支持板２９１１と直交す
る方向にそれぞれ延在し、各エージングモータ２９０
１，２９０３の出力軸には、歯車等で構成される不図示
の減速機構を介して揺動レバー（図示せず）が結合さ
れ、この各揺動レバーは、前記各駆動機構１３のローラ
１７１１にそれぞれ係合される。前記各揺動レバーと前
記各駆動機構１３Ａ，１３Ｂのローラ１７１１とは、前
記支持板２９１５を前記保持プレート２５０３と接近離
間する方向にスライドさせることで係合し、また、離脱
する。

【００３５】前記操作ユニット３１は、前記テーブル２
３０１の下面に支持されたハウジング３１０１を備え、
該ハウジング３１０１の前面には、電源スイッチ３１０
３、前記エージングモータ２９０１，２９０３の作動ス
イッチ３１０５、該エージングモータ２９０１，２９０
３の作動時間を設定するタイマツマミ（図示せず）、前
記ランプの明るさ調整ツマミ３１０７（スイッチ兼用）
等がそれぞれ設けられている。また、前記ハウジング３
１０１内には、前記エージングモータ２９０１，２９０
３用のトランスや前記ランプ用のインバータ回路、前記
タイマツマミの設定に応じて前記エージングモータ２９
０１，２９０３への電源供給をオンオフするタイマスイ
ッチ等の電気部品が収容されている。

【００３６】前記検査装置２１を用いた前記位置決め機
構１の検査時には、図２に示す治具３３が使用される。
前記治具３３は、縦片３３０１と横片３３０３とで平面
視十字形に形成されている。前記縦片３３０１は、前記
前後のガイド溝７０１に応じた幅で、前記窓部７０５の
前後幅より大きい長さで形成されている。前記横片３３
０３は、前記左右のガイド溝７０１に応じた幅で、前記
窓部７０５の左右幅より大きい長さで形成されている。
前記縦片３３０１と横片３３０３が交わる前記治具３３
の中央部分には、詳細に説明すると、前記縦片３３０１
の中心線と前記横片３３０３の中心線が交わる箇所に
は、基準孔３３０５が形成されている。

【００３７】前記位置決め機構１を検査するに当たって
は、まず、組立前の前記基板７の各ガイド溝７０１Ａ，
７０１Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂに前記治具３３の縦片３
３０１と横片３３０３を係合する。これにより、前記各
ガイド溝７０１Ａ，７０１Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂの軸
心の交点が前記基準孔３３０５で形成される。次に、前
記治具３３を係合した状態で前記基板７を前記検査装置
２１の保持プレート２５０３の保持部に位置決め保持さ
せる。続いて、前記電源スイッチ３１０３を投入し、前
記明るさ調整ツマミ３１０７により前記ランプを点灯さ
せてその明るさを調整し、前記望遠鏡２７０１を覗きな
がら該望遠鏡２７０１の前記基板７に対するピント合わ
せを行う。前記ピント合わせは、前記Ｚステージ２７０
９を前後方向にスライドさせることで行われる。次に、
前記望遠鏡２７０１の光軸合わせを行う。前記光軸合わ
せは、前記Ｘステージ２７０５を左右方向にスライドさ
せると共に、前記Ｙステージ２７０７を昇降させて、前
記望遠鏡２７０１の視野内に表示される前記十字線の交
点を前記基準孔３３０５に合致させることで行われ、こ
れにより、前記保持プレート２５０３の保持部により位
置決め保持される前記基板７と、前記望遠鏡２７０１と
の位置決めがなされる。以後、前記基板７を前記保持部
に脱着しても、基板７と前記望遠鏡２７０１との位置決
めは確保されることになる。

【００３８】前記光軸合わせが終了したならば、前記保
持部から前記基板７を取り外し、さらに、その基板７か
ら前記治具３３を取り外す。そして、前記基板７に、前
記前後及び左右の各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，１１Ａ，
１１Ｂと、前記前後用及び左右用の各駆動機構１３Ａ，
１３Ｂとをそれぞれ取り付け、前記各位置決め部材９
Ａ，９Ｂ，１１Ａ，１１Ｂの作動ピン１５０７を、前記
各駆動機構１３Ａの揺動レバー１７０１の係合凹部１７
０７にそれぞれ係合して、前記位置決め機構１を組み立
てる。

【００３９】次に、前記位置決め機構１が組み立てられ
た基板７を前記保持部に位置決め保持させ、前記望遠鏡
２７０１のピントを前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，１
１Ａ，１１Ｂに合わせる。尚、前記各エージングモータ
２９０１，２９０３の揺動レバーと前記各駆動機構１３
Ａ，１３Ｂのローラ１７１１は離脱させておく。そし
て、前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂや各位置決め部材１
１Ａ，１１Ｂが互いに離間した状態から、前記位置決め
機構１の各駆動機構１３Ａ，１３Ｂの作動レバー１７０
９を手で揺動させ、それら各位置決め部材９Ａ，９Ｂや
各位置決め部材１１Ａ，１１Ｂが互いに近付く方向にス
ライドし始めた時点で、前記作動レバー１７０９の揺動
操作を一旦停止する。ここで、前記望遠鏡２７０１を覗
き、その視野内で前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂの凸片
１５０５の左右端部箇所が位置する目盛や、前記各位置
決め部材１１Ａ，１１Ｂの凸片１５０５の前後端部箇所
が位置する目盛を読み取り、それらの目盛のずれがそれ
ぞれ０．０１ｍｍ以内に収まっているか否かを検査す
る。

【００４０】続いて、前記作動レバー１７０９を再び手
で揺動させて、前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂや各位置
決め部材１１Ａ，１１Ｂを図８に示す位置にスライドさ
せ、前記望遠鏡２７０１を覗いて、前記凹部１５１３と
前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂの凸片１５０５との間に
隙間がないか否かを検査すると共に、前記各位置決め部
材９Ａ，９Ｂや各位置決め部材１１Ａ，１１Ｂの凸片１
５０５の上面部分を手で触り、それら凸片１５０５の上
面間に段差がないか否かを検査する。

【００４１】以上の３つの検査の結果に問題がなけれ
ば、前記支持板２９１５を前記保持プレート２５０３と
接近する方向にスライドさせて、前記各エージングモー
タ２９０１，２９０３の揺動レバーと前記各駆動機構１
３Ａ，１３Ｂのローラ１７１１を係合させる。そして、
前記タイマツマミで前記エージングモータ２９０１，２
９０３の作動時間を１時間に設定し、前記作動スイッチ
３１０５を投入して、それらエージングモータ２９０
１，２９０３により前記揺動レバーをそれぞれ揺動させ
る。これにより、前記ローラ１７１１を介して前記前後
用及び左右用の各駆動機構１３Ａの作動レバー１７０９
が揺動され、これにより、前記前後及び左右の各位置決
め部材９Ａ，９Ｂ，１１Ａ，１１Ｂが１時間に亘って図
８に示す位置に力をかけた状態で保たれ、エージングが
行われる。

【００４２】前記エージングが終了したならば、前記と
同様な３つの検査を行い、また、前記各位置決め部材９
Ａ，９Ｂ，１１Ａ，１１Ｂの動作に違和感がないか否か
を、前記望遠鏡２７０１を覗いて視認し、全てに問題が
なければ、前記位置決め機構１を前記保持部から取り外
し、前記チップ実装装置の位置決め部に組み込む。

【００４３】以上に説明したように本実施例によれば、
位置決め機構１の基板７の各ガイド溝７０１Ａ，７０１
Ｂ，７０３Ａ，７０３Ｂに、治具３３の縦片３３０１と
横片３３０３を係合し、その基板７を検査装置２１の保
持部に位置決め保持させて、望遠鏡２７０１の視野内の
十字線の交点を前記治具３３の基準孔３３０５に合わせ
ることで、前記基板７と前記望遠鏡２７０１とが正確に
位置決めされる。

【００４４】次に、前記基板７を前記保持部から取り外
し、前記治具３３に代えて前記各位置決め部材９Ａ，９
Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ、及び前記各駆動機構１３Ａ，１３
Ｂをそれぞれ取り付けて前記位置決め機構１を組み立
て、この位置決め機構１が組み立てられた前記基板７を
前記保持部に再度位置決め保持させる。そして、前記望
遠鏡２７０１を覗いて前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，
１１Ａ，１１Ｂが位置する箇所の目盛の値を見ること
で、前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，１１Ａ，１１Ｂの
前後間隔や左右間隔に狂いがないか否かを、それらを直
接目視する従来の方式よりも確実に検査できる。

【００４５】また、本実施例によれば、前記検査装置２
１に前記各駆動機構１３Ａ，１３Ｂを駆動する駆動ユニ
ット２９が設けられているため、組み立て後の前記位置
決め機構１を前記チップ実装装置の位置決め部に組み込
む前に、前記各位置決め部材９Ａ，９Ｂ，１１Ａ，１１
Ｂをそれぞれスライドさせてエージングを行うことがで
きる。そのため、前記位置決め部に組み込んだ前記位置
決め機構１の動作の信頼性が向上し、組み込み後の前記
位置決め機構１の動作不良の発生が低減され、その分、
前記位置決め部から前記位置決め機構１を取り外して組
み立て直す作業の発生頻度が減り、該組み立て直し作業
の手間を低減することができる。

【００４６】尚、本発明方法を実施する検査装置の構成
は、本実施例で示した検査装置２１の構成に限定されな
い。例えば、前記基板７が水平に保持されるように前記
保持部を構成し、これに合わせて前記望遠鏡２７０１の
光軸が上下方向に延在するするように前記支持機構２７
０３を構成したり、前記望遠鏡２７０１に代えてＣＣＤ
カメラを用い、撮影した画像の画像処理により検査結果
を得るように構成する等任意である。また、前記保持部
は前記基板７の外形に応じて任意の構成とすることがで
き、前記駆動ユニット２９を検査装置２１に一体に設け
るか否かは任意である。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、互
いに直交して十字状に形成された４つのガイド溝を有す
る基板と、前記各ガイド溝にスライド可能にそれぞれ配
設された４つの位置決め部材と、前記４つの位置決め部
材をスライドさせる駆動機構とを備え、前記４つのガイ
ド溝が交差する部分において、前記４つの位置決め部材
によりチップを位置決めするチップ用位置決め機構の検
査方法であって、前記４つのガイド溝が交差する部分
に、該４つのガイド溝の軸心の交点が形成された治具を
係合し、目盛が形成された十字線が視野内に表示される
望遠鏡で前記４つのガイド溝が交差する部分を捉え、前
記望遠鏡の十字線の交点と前記治具に形成された前記４
つのガイド溝の軸心の交点を合致させ、前記両交点を合
致させた後、前記治具を取り外し、前記駆動機構で前記
各位置決め部材をそれぞれスライドさせ、前記望遠鏡の
視野内で、前記十字線により、前記各位置決め部材の位
置を検査するようにした。このため、組み立てた位置決
め機構をチップ実装装置に組み込む前の段階で、各位置
決め部材の配置を正確に検査できる。

【００４８】また、本発明によれば、チップ実装装置に
組み込む前の段階で前記位置決め機構のエージングを行
うことができるため、組み込み後の前記位置決め機構の
動作不良の発生を低減し、該組み立て直し作業の手間を
低減することができると共に、チップ実装装置に組み込
む位置決め機構の信頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る位置決め機構の検査装
置を示す斜視図である。

【図２】図１の検査装置による位置決め機構の検査時に
用いる治具の平面図である。

【図３】チップの位置決め機構の斜視図である。

【図４】図３に示す基板の上面側から見た斜視図であ
る。

【図５】チップの位置決め機構の斜視図である。

【図６】図３に示す基板の下面側から見た斜視図であ
る。

【図７】図６に示す前後用及び左右用の各駆動機構の平
面図である。

【図８】図３に示す各位置決め部材のスライド状態の模
式図である。

【符号の説明】

１ 位置決め機構 ５，５Ａ チップ ７ 基板 ７０１，７０１Ａ，７０１Ｂ，７０３，７０３Ａ，７０
３Ｂ ガイド溝 ９，９Ａ，９Ｂ，１１，１１Ａ，１１Ｂ 位置決め部材 １３，１３Ａ，１３Ｂ 駆動機構 ２７０１ 望遠鏡 ３３ 治具 ３３０５ 基準孔

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに直交して十字状に形成された４つ
   のガイド溝を有する基板と、 前記各ガイド溝にスライド可能にそれぞれ配設された４
   つの位置決め部材と、 前記４つの位置決め部材をスライドさせる駆動機構とを
   備え、 前記４つのガイド溝が交差する部分において、前記４つ
   の位置決め部材によりチップを位置決めするチップ用位
   置決め機構の検査方法であって、 前記４つのガイド溝が交差する部分に、該４つのガイド
   溝の軸心の交点が形成された治具を係合し、 目盛が形成された十字線が視野内に表示される望遠鏡で
   前記４つのガイド溝が交差する部分を捉え、 前記望遠鏡の十字線の交点と前記治具に形成された前記
   ４つのガイド溝の軸心の交点を合致させ、 前記両交点を合致させた後、前記治具を取り外し、 前記駆動機構で前記各位置決め部材をそれぞれスライド
   させ、 前記望遠鏡の視野内で、前記十字線により、前記各位置
   決め部材の位置を検査するようにした、 ことを特徴とするチップ用位置決め機構の検査方法。
2. 【請求項２】 前記治具は、前記４つのガイド溝が交差
   する部分に係合可能な十字状に形成されている請求項１
   記載のチップ用位置決め機構の検査方法。
3. 【請求項３】 前記４つのガイド溝の軸心の交点は孔に
   より形成されている請求項１又は２記載のチップ用位置
   決め機構の検査方法。
4. 【請求項４】 前記４つのガイド溝が交差する部分にお
   いて、前記各位置決め部材に力をかけつつ各位置決め部
   材を所定の時間連続して相互に当接させるエージングを
   行い、該エージング後に、前記各位置決め部材が所定の
   位置に位置しているか否かを検査するようにした請求項
   １、２又は３記載のチップ用位置決め機構の検査方法。