JPH07237927A - フランジ部付石英ガラス製器具 - Google Patents

フランジ部付石英ガラス製器具

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JPH07237927A
JPH07237927A JP3007694A JP3007694A JPH07237927A JP H07237927 A JPH07237927 A JP H07237927A JP 3007694 A JP3007694 A JP 3007694A JP 3007694 A JP3007694 A JP 3007694A JP H07237927 A JPH07237927 A JP H07237927A
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JP
Japan
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quartz glass
flange portion
bubble
instrument
opaque
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JP3007694A
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Shinichi Ogoshi
信一 大越
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Shin Etsu Quartz Products Co Ltd
Yamagata Shin Etsu Quartz Co Ltd
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Shin Etsu Quartz Products Co Ltd
Yamagata Shin Etsu Quartz Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】Ｏリングの熱劣化を防止し、器具内のシール性
を保持できるフランジ部付石英ガラス製器具を提供す
る。 【構成】本発明のフランジ部付石英ガラス製器具は、フ
ランジ部が、比重２．０８〜２．１８、気泡直径１０〜
１６０μｍ、気泡密度１０万〜６０万個／ｃｍ3 、ガラ
ス中の気泡総体積３〜１０％、ガラス中１００ｃｍ3 当
たりの気泡総面積が８００〜１５００ｃｍ2 、純度Ｎａ
≦０．２ppm ，Ｋ≦０．２ppm ，ＯＨ≦１０ppmの物性
値をもつ不透明石英ガラスで構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造用のベルジ
ヤ−、横型及び縦型炉芯管、ボ−ト保持治具等を構成す
るフランジ部付石英ガラス製器具に関し、とくにそのフ
ランジ部の構造に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体熱処理用に使用されている横型及
び縦型熱処理装置等のフランジ付き石英ガラス製器具
は、その端部からの輻射熱を低減するため、従来は容器
の端部に形成されるフランジ部を微細気泡入りの不透明
石英ガラスで構成していた。これは、熱処理中に容器内
に発生した輻射熱が容器の下端面に達して、シ−ル用の
Ｏリングを熱劣化させるので、これを防止するためフラ
ンジ部を不透明石英ガラス層とするもので、その遮蔽効
果によりＯリングの熱劣化を防止せんとしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の石英ガラス製器具の不透明石英ガラス層は気泡を多
数含んでいるため、器具の端部からの輻射熱をある程度
低減することができ、Ｏリングの熱劣化を遅くする効果
はあるが、熱劣化を回避するまでには至っていない。熱
劣化したＯリングの使用は、器具内のシール性を失わ
せ、熱処理効果を低減させる。また、実公平１−４３１
６４号公報には、不透明ガラス製容器本体のシール部に
シール面の表面荒さが２μ以下の透明石英ガラス製フラ
ンジを溶着してなる石英ガラス製容器のフランジ部の構
造が開示されているが、これはガスリークを防止できて
もＯリングの熱劣化を防止するには十分ではない。本発
明は、Ｏリングの熱劣化を防止し、器具内のシール性を
保持できるフランジ部付石英ガラス製器具を提供するこ
とを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、石英ガラ
ス製器具のフランジ部について熱エネルギーの遮熱性及
び機械的強度等の点から鋭意検討した結果、このフラン
ジ部の材質として、比重２．０８〜２．１８、気泡直径
１０〜１６０μｍ、気泡密度１０万〜６０万個／ｃｍ3
であって、不透明石英ガラス中に占める気泡総体積が３
〜１０％、不透明石英ガラス中１００ｃｍ3 当たりの気
泡総面積が８００〜１５００ｃｍ2 、純度Ｎａ≦０．２
ppm ，Ｋ≦０．２ppm ，ＯＨ≦１０ppm の物性を備えた
不透明石英ガラスが、前記目的に最も合致することを知
見した。本発明の石英ガラス製器具は、上記物性をもつ
石英ガラスをフランジ部とするものである。
【０００５】上記物性値の不透明石英ガラス層で形成さ
せたフランジ部のＯリング当接面を、表面が平滑な透明
石英ガラス層で形成させることにより、Ｏリングとのシ
ール性を高め、器具内の燃焼効率を高めることができ
る。このフランジ部のＯリング当接面に透明石英ガラス
層を設ける方法としては、ベルヌイ法によって透明石
英ガラス層を積層する、透明石英ガラス板を貼着、圧
着（高温高圧で密着）し、さらに研削して所望の厚さの
層を形成させる、ベルヌイ法によって透明層と不透明
層とを１度につくる、などの方法を任意採用すればよ
い。
【０００６】
【作用】本発明の石英ガラス製器具のフランジ部を構成
する不透明石英ガラス層は、比重２．０８〜２．１８、
気泡直径１０〜１６０μｍ、気泡密度１０万〜６０万個
／ｃｍ3 であって、不透明石英ガラス中に占める気泡総
体積が３〜１０％、不透明石英ガラス中１００ｃｍ3 当
たりの気泡総面積が８００〜１５００ｃｍ2 、純度Ｎａ
≦０．２ppm ，Ｋ≦０．２ppm ，ＯＨ≦１０ppm の物性
値で構成されているため、器具端部からの輻射熱を効率
よく低減することができ、Ｏリングの熱劣化を防止し、
器具内のシール性を保持する。
【０００７】さらに、上記不透明石英ガラス層で構成さ
れるフランジ部のＯリング当接面に表面が平滑な透明石
英ガラス層を設けることにより、Ｏリングとフランジ部
のシール性がより高くなり、石英ガラス製器具内のシー
ルをより完全にする。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例によって説明
する。図１は、半導体ウエハ−熱処理装置の炉内にて使
用される石英ガラス製器具の概略断面図であり、図２は
本発明の他の例の石英ガラス製器具の概略断面図であ
る。図１に示すように、透明石英ガラスからなる石英ガ
ラス製器具１のフランジ部２は、比重２．０８〜２．１
８、気泡直径１０〜１６０μｍ、気泡密度１０万〜６０
万個／ｃｍ3 であって、不透明石英ガラス中に占める気
泡総体積が３〜１０％、不透明石英ガラス中１００ｃｍ
3 当たりの気泡総面積が８００〜１５００ｃｍ2 、純度
Ｎａ≦０．２ppm ，Ｋ≦０．２ppm ，ＯＨ≦１０ppm の
物性値の不透明石英ガラスで構成され、Ｏリング３を介
して架台４との間のシール性を保持している。また、図
２では、上記石英ガラス製器具１のフランジ部２のＯリ
ング当接面が表面が平滑な透明石英ガラス層５で形成さ
れ、Ｏリング３を介して架台４との間のシール性を保持
している。
【０００９】
【発明の効果】本発明のフランジ部付石英ガラス製器具
によれば、器具端部からの輻射熱を効率よく低減するこ
とができるので、Ｏリングの熱劣化を防止し、器具内の
シール性を長期にわたって安定に保持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】半導体ウエハ−熱処理装置におけるフランジ部
付石英ガラス製器具の概略断面図。
【図２】本発明の他の例のフランジ部付石英ガラス製器
具の概略断面図。
【符号の説明】
１ 透明石英ガラス管 ２ 不透明石英ガラスからなるフランジ ３ Ｏリング ４ 架台 ５ 透明石英ガラス層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 フランジ部付石英ガラス製器具におい
    て、該フランジ部が下記物性値を持つ不透明石英ガラス
    で構成されていることを特徴とするフランジ部付石英ガ
    ラス製器具。 比重 ２．０８〜２．１８ 気泡直径 １０〜１６０μｍ 気泡密度 １０万〜６０万個／ｃｍ3 不透明石英ガラス中に占める気泡総体積が３〜１０％ 不透明石英ガラス中 100ｃｍ3 当たりの気泡総面積が 8
    00〜 1500 ｃｍ2 純度 Ｎａ≦０．２ppm ，Ｋ≦０．２ppm ，ＯＨ≦
    １０ppm
  2. 【請求項２】 上記フランジ部のシール面に、表面平滑
    な透明石英ガラス層を形成させたことを特徴とする請求
    項１に記載のフランジ部付石英ガラス製器具。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09183624A (ja) * 1995-12-27 1997-07-15 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 石英ガラス製フランジ及びその製造方法
EP0816297A1 (en) * 1996-07-04 1998-01-07 Tosoh Corporation Opaque quartz glass and process for production thereof
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