JPH07237109A - ワイヤソーのワーク支持装置 - Google Patents
ワイヤソーのワーク支持装置Info
- Publication number
- JPH07237109A JPH07237109A JP5449594A JP5449594A JPH07237109A JP H07237109 A JPH07237109 A JP H07237109A JP 5449594 A JP5449594 A JP 5449594A JP 5449594 A JP5449594 A JP 5449594A JP H07237109 A JPH07237109 A JP H07237109A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- swing arm
- wire
- cutting
- machine base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
- B28D7/04—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク支持装置において、従来のワーク支持
装置の構造上の欠点を改め、また作業性も良好なワーク
支持装置を提供することである。 【構成】 スイングアーム３の先端にワークホルダ５を
固定し、このスイングアーム３を機台２上のブラケット
７に対して回動軸６により回動自在に支持し、このスイ
ングアーム３を機台２の回転駆動手段４に連結してな
り、上記回転駆動手段４によりスイングアーム３を機台
２上のカバー１２内のワイヤ１４による切断位置とカバ
ー１２外のワーク１５の取り付け・取り外し位置との間
で移動自在に支持している。
装置の構造上の欠点を改め、また作業性も良好なワーク
支持装置を提供することである。 【構成】 スイングアーム３の先端にワークホルダ５を
固定し、このスイングアーム３を機台２上のブラケット
７に対して回動軸６により回動自在に支持し、このスイ
ングアーム３を機台２の回転駆動手段４に連結してな
り、上記回転駆動手段４によりスイングアーム３を機台
２上のカバー１２内のワイヤ１４による切断位置とカバ
ー１２外のワーク１５の取り付け・取り外し位置との間
で移動自在に支持している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソーにおいて、
ワークを支持するための装置に関する。
ワークを支持するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーにおいて、ワークは、ワイヤ
の切断位置に対して切り込み方向に移動可能な状態で支
持される。図２に例示するように、従来のワーク支持装
置２０は、例えば垂直方向のスライド案内２１に対して
スライダ２２を垂直方向に移動可能とし、このスライダ
２２の下面側にワークホルダ２３を取り付け、このワー
クホルダ２３によって、ワーク１５をワイヤソーのワイ
ヤ１４に押し当てるようになっている。
の切断位置に対して切り込み方向に移動可能な状態で支
持される。図２に例示するように、従来のワーク支持装
置２０は、例えば垂直方向のスライド案内２１に対して
スライダ２２を垂直方向に移動可能とし、このスライダ
２２の下面側にワークホルダ２３を取り付け、このワー
クホルダ２３によって、ワーク１５をワイヤソーのワイ
ヤ１４に押し当てるようになっている。
【０００３】上記のものでは、スライド案内２１やワー
クホルダ２３がワイヤソーのカバー２４内にあるため、
ワーク１４の取り付けや取り外しが困難であり、また切
断中にスラリが上から落ちてくるため、作業性、作業環
境が問題となっている。またワーク１４が軽量にもかか
わらず、スライド方式が縦型として構成されているた
め、スライド部分を高剛性にしなければならず、軽量化
や低コスト化が困難であった。
クホルダ２３がワイヤソーのカバー２４内にあるため、
ワーク１４の取り付けや取り外しが困難であり、また切
断中にスラリが上から落ちてくるため、作業性、作業環
境が問題となっている。またワーク１４が軽量にもかか
わらず、スライド方式が縦型として構成されているた
め、スライド部分を高剛性にしなければならず、軽量化
や低コスト化が困難であった。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、ワーク支持装置におい
て、従来のワーク支持装置の構造上の欠点を改め、また
作業性も良好なワーク支持装置を提供することである。
て、従来のワーク支持装置の構造上の欠点を改め、また
作業性も良好なワーク支持装置を提供することである。
【０００５】
【発明の解決手段】上記目的の下に、本発明は、スイン
グアームの先端にワークホルダを固定し、このスイング
アームを機台上のブラケットに対して回動軸により回動
自在に支持し、このスイングアームを機台の回転駆動手
段に連結してなり、上記回転駆動手段によりスイングア
ームを機台上のカバー内のワイヤによる切断位置とカバ
ー外のワークの取り付け・取り外し位置との間で移動自
在に支持している。
グアームの先端にワークホルダを固定し、このスイング
アームを機台上のブラケットに対して回動軸により回動
自在に支持し、このスイングアームを機台の回転駆動手
段に連結してなり、上記回転駆動手段によりスイングア
ームを機台上のカバー内のワイヤによる切断位置とカバ
ー外のワークの取り付け・取り外し位置との間で移動自
在に支持している。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明のワイヤソーのワーク支持装
置１の構成を示している。このワーク支持装置１は、機
台２上で、回動自在に設けられたスイングアーム３およ
びこのスイングアーム３を駆動するための回転駆動手段
４によって組み立てられている。上記スイングアーム３
は、先端部分で上面開口型すなわち皿状のワークホルダ
５を有しており、基端部分の水平な回動軸６によって、
機台２の上のブラケット７に対して回動自在に支持され
ている。
置１の構成を示している。このワーク支持装置１は、機
台２上で、回動自在に設けられたスイングアーム３およ
びこのスイングアーム３を駆動するための回転駆動手段
４によって組み立てられている。上記スイングアーム３
は、先端部分で上面開口型すなわち皿状のワークホルダ
５を有しており、基端部分の水平な回動軸６によって、
機台２の上のブラケット７に対して回動自在に支持され
ている。
【０００７】そして、上記回転駆動手段４は、この実施
例でブラケット７の側面に取り付けられたサーボモータ
８、このサーボモータ８の出力軸に取り付けられたウォ
ーム９、このウォーム９にかみ合い回動軸６に固定され
たウォームホイール１０によって構成されている。
例でブラケット７の側面に取り付けられたサーボモータ
８、このサーボモータ８の出力軸に取り付けられたウォ
ーム９、このウォーム９にかみ合い回動軸６に固定され
たウォームホイール１０によって構成されている。
【０００８】このように、スイングアーム３は、回動軸
６を中心として水平面上方側で１８０度回転することに
よって、ワイヤソー１１のカバー１２の内部で、メイン
ローラ１３に架け渡されたワイヤ１４による切断位置と
対向し、またカバー１２の開口１６の部分から外部にで
て、半導体製品などのワーク１５の取り付け・取り出し
位置まで移動できるようになっている。
６を中心として水平面上方側で１８０度回転することに
よって、ワイヤソー１１のカバー１２の内部で、メイン
ローラ１３に架け渡されたワイヤ１４による切断位置と
対向し、またカバー１２の開口１６の部分から外部にで
て、半導体製品などのワーク１５の取り付け・取り出し
位置まで移動できるようになっている。
【０００９】スイングアーム３がカバー１２外でワーク
１５の取り付け・取り外し位置にあるとき、ワーク１５
は、ワークホルダ５に図示しないクランプ手段により取
り付けられる。この状態で、回転駆動手段４がスイング
アーム３を回動させ、ワーク１５をカバー１２の内部に
入れてワイヤ１４の切断位置に当接させる。この状態
で、ワイヤ１４の走行によって、ワーク１５が所定の厚
みで切断される。
１５の取り付け・取り外し位置にあるとき、ワーク１５
は、ワークホルダ５に図示しないクランプ手段により取
り付けられる。この状態で、回転駆動手段４がスイング
アーム３を回動させ、ワーク１５をカバー１２の内部に
入れてワイヤ１４の切断位置に当接させる。この状態
で、ワイヤ１４の走行によって、ワーク１５が所定の厚
みで切断される。
【００１０】この切断中に、回転駆動手段４は、スイン
グアーム３を低速で回動させることによって、先端のワ
ーク１５に切り込み方向の送り運動を与える。このと
き、切断動作は、上から下への直線的な運動でなく、回
動軸６を中心とした円運動となっている。したがって、
ワーク１５が立方体いわゆる角物の場合に、一方例えば
回動軸６に近い側の稜角部分から切り込みが開始され、
切り込み幅が次第に大きくなっていくので、切削が徐々
に行われ、切削負荷が大きくならない。そして、切断完
了時点で、ワークホルダ５のワーク保持面は切断位置の
ワイヤ１４に対して平行となって、必要な切り込み幅の
切断が同時に完了する。
グアーム３を低速で回動させることによって、先端のワ
ーク１５に切り込み方向の送り運動を与える。このと
き、切断動作は、上から下への直線的な運動でなく、回
動軸６を中心とした円運動となっている。したがって、
ワーク１５が立方体いわゆる角物の場合に、一方例えば
回動軸６に近い側の稜角部分から切り込みが開始され、
切り込み幅が次第に大きくなっていくので、切削が徐々
に行われ、切削負荷が大きくならない。そして、切断完
了時点で、ワークホルダ５のワーク保持面は切断位置の
ワイヤ１４に対して平行となって、必要な切り込み幅の
切断が同時に完了する。
【００１１】切断が完了したら、回転駆動手段４は、ス
イングアーム３を逆方向にほぼ１８０度回動させること
によって、スイングアーム３をカバー１２の開口１６か
ら外部に出し、ワーク１５をカバー１２の外部で取り外
しできる状態とする。このとき、皿状のワークホルダ５
が上向きとなっているため、ワーク１５に付着していた
スラリ（切削液）がワークホルダ５の内部に溜まり、床
面などに落下しない。
イングアーム３を逆方向にほぼ１８０度回動させること
によって、スイングアーム３をカバー１２の開口１６か
ら外部に出し、ワーク１５をカバー１２の外部で取り外
しできる状態とする。このとき、皿状のワークホルダ５
が上向きとなっているため、ワーク１５に付着していた
スラリ（切削液）がワークホルダ５の内部に溜まり、床
面などに落下しない。
【００１２】なお、必要に応じて、カバー１２の内部
で、スイングアーム３の回動中間位置例えば傾き角度４
５度程度の位置で、ワーク１５の上方に、ワーク洗浄装
置１７が設けられている。この場合、ワーク１５の切断
後に、スイングアーム３は、回動中間位置で一時停止す
る。このとき、ワーク洗浄装置１７は、洗浄液１８をワ
ーク１５に噴射し、ワーク１５に付着したスラリを落と
す。これにより、カバー１２外のワーク１５の取り付け
・取り外し位置へ位置したときは、ワーク１５からスラ
リが落下することがないので、この場合、ワークホルダ
５を特に皿状形状にしなくてもよい。
で、スイングアーム３の回動中間位置例えば傾き角度４
５度程度の位置で、ワーク１５の上方に、ワーク洗浄装
置１７が設けられている。この場合、ワーク１５の切断
後に、スイングアーム３は、回動中間位置で一時停止す
る。このとき、ワーク洗浄装置１７は、洗浄液１８をワ
ーク１５に噴射し、ワーク１５に付着したスラリを落と
す。これにより、カバー１２外のワーク１５の取り付け
・取り外し位置へ位置したときは、ワーク１５からスラ
リが落下することがないので、この場合、ワークホルダ
５を特に皿状形状にしなくてもよい。
【００１３】
【他の実施例】上記実施例は、回転駆動手段４をサーボ
モータ８およびウォーム９、ウォームホイール１０によ
って構成しているが、回動駆動手段４は、エアシリンダ
でスイングアーム３を直接回動させる構成としてもよ
い。
モータ８およびウォーム９、ウォームホイール１０によ
って構成しているが、回動駆動手段４は、エアシリンダ
でスイングアーム３を直接回動させる構成としてもよ
い。
【００１４】
【発明の効果】本発明では、スイングアームが回転運動
となっているため、縦方向のスライド方式に比較して、
その支持部分が低い剛性でよく、軽量化、低コスト化が
図られること、また回動方式のものでは、縦スライド方
式のものに比較して、加工精度が出し易いため、製作し
やすく、また切断面の加工精度もよく、しかも角物のワ
ークの切断も初期において徐々に切り込めること、ワー
クの取り付け取り外しがカバーの外部でスラリのかから
ない位置で行えるため、ワークの取り付け取り外し作業
が容易に行え、またスラリのかからない場所で作業でき
るため、作業環境がよくなること、などの効果が得られ
る。
となっているため、縦方向のスライド方式に比較して、
その支持部分が低い剛性でよく、軽量化、低コスト化が
図られること、また回動方式のものでは、縦スライド方
式のものに比較して、加工精度が出し易いため、製作し
やすく、また切断面の加工精度もよく、しかも角物のワ
ークの切断も初期において徐々に切り込めること、ワー
クの取り付け取り外しがカバーの外部でスラリのかから
ない位置で行えるため、ワークの取り付け取り外し作業
が容易に行え、またスラリのかからない場所で作業でき
るため、作業環境がよくなること、などの効果が得られ
る。
【図１】本発明のワイヤソーのワーク支持装置の斜面図
である。
である。
【図２】従来のワーク支持装置の斜面図である。
１ ワイヤソーのワーク支持装置 ２ 機台 ３ スイングアーム ４ 回転駆動手段 ５ ワークホルダ ６ 回動軸 ７ ブラケット ８ サーボモータ ９ ウォーム １０ ウォームホイール １１ ワイヤソー １２ カバー １３ メインローラ １４ ワイヤ １５ ワーク １６ 開口 １７ ワーク洗浄装置 １８ 洗浄液
Claims (4)
- 【請求項１】 スイングアームの先端にワークホルダを
固定し、このスイングアームを機台上のブラケットに対
して回動軸により回動自在に支持し、このスイングアー
ムを機台の回転駆動手段に連結してなり、上記回転駆動
手段によりスイングアームを機台上のカバー内のワイヤ
による切断位置とカバー外のワークの取り付け・取り外
し位置との間で移動自在に支持するとともに、スイング
アームの切断完了位置でワークホルダのワーク保持面を
切断位置のワイヤに対して平行とすることを特徴とする
ワイヤソーのワーク支持装置。 - 【請求項２】 スイングアームの先端にワークホルダを
固定し、このスイングアームを機台上のブラケットに対
して回動軸により回動自在に支持し、このスイングアー
ムを機台の回転駆動手段に連結するとともに、スイング
アームの回動中間位置上方にワーク洗浄装置を設けてな
り、上記回転駆動手段によりスイングアームを機台上の
カバー内のワイヤによる切断位置とカバー外のワークの
取り付け・取り外し位置との間で移動自在に支持すると
ともに、スイングアームの切断完了位置でワークホルダ
のワーク保持面を切断位置のワイヤに対して平行とする
ことを特徴とするワイヤソーのワーク支持装置。 - 【請求項３】 上記回転駆動手段をサーボモータ、この
サーボモータと回動軸との間に設けたウォーム、および
ウォームギヤにより構成したことを特徴とする請求項１
または２記載のワイヤソーのワーク支持装置。 - 【請求項４】 上記ワークホルダを皿状容器で構成した
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の
ワイヤソーのワーク支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5449594A JP3461558B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | ワイヤソーのワーク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5449594A JP3461558B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | ワイヤソーのワーク支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07237109A true JPH07237109A (ja) | 1995-09-12 |
| JP3461558B2 JP3461558B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=12972225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5449594A Expired - Fee Related JP3461558B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | ワイヤソーのワーク支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3461558B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0744236A1 (de) * | 1995-05-26 | 1996-11-27 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| CN103085177A (zh) * | 2011-11-04 | 2013-05-08 | 上海日进机床有限公司 | 一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机 |
| CN111745220A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 小松Ntc株式会社 | 线锯机 |
-
1994
- 1994-02-28 JP JP5449594A patent/JP3461558B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0744236A1 (de) * | 1995-05-26 | 1996-11-27 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| US5771876A (en) * | 1995-05-26 | 1998-06-30 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Wire saw for and method of cutting off slices from a workpiece |
| CN103085177A (zh) * | 2011-11-04 | 2013-05-08 | 上海日进机床有限公司 | 一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机 |
| CN111745220A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 小松Ntc株式会社 | 线锯机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3461558B2 (ja) | 2003-10-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |