JPH07230611A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッド - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッドInfo
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- JPH07230611A JPH07230611A JP1928594A JP1928594A JPH07230611A JP H07230611 A JPH07230611 A JP H07230611A JP 1928594 A JP1928594 A JP 1928594A JP 1928594 A JP1928594 A JP 1928594A JP H07230611 A JPH07230611 A JP H07230611A
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- G—PHYSICS
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
- G11B5/3166—Testing or indicating in relation thereto, e.g. before the fabrication is completed
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 最終製品上がりの状態ではなくウエハー状態
でＭＲヘッドのヘッド特性を測定する。 【構成】 同一ウエハー１上に、ＭＲ素子８を一対の薄
膜磁気コア４，５によって挟み込んでなるＭＲヘッド２
と、このＭＲヘッド２の前方に導体コイル１４を上記一
対の薄膜磁気コア４，５によって挟み込んでなる疑似ヘ
ッド３を設ける。そして、上記疑似ヘッド３の導体コイ
ル１４に任意の波形を流して磁気信号を出力させ、その
出力信号をＭＲ素子８に入力せしめ、該ＭＲヘッド２か
らの出力を測定する。
でＭＲヘッドのヘッド特性を測定する。 【構成】 同一ウエハー１上に、ＭＲ素子８を一対の薄
膜磁気コア４，５によって挟み込んでなるＭＲヘッド２
と、このＭＲヘッド２の前方に導体コイル１４を上記一
対の薄膜磁気コア４，５によって挟み込んでなる疑似ヘ
ッド３を設ける。そして、上記疑似ヘッド３の導体コイ
ル１４に任意の波形を流して磁気信号を出力させ、その
出力信号をＭＲ素子８に入力せしめ、該ＭＲヘッド２か
らの出力を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
等の磁気記録媒体に対して記録された情報を読み出すの
に好適な磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方
法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッドに
関する。
等の磁気記録媒体に対して記録された情報を読み出すの
に好適な磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方
法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッドに
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気抵抗効果を有するパーマロイ
等の薄膜素子を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以
下、ＭＲヘッドと称する。）の開発が盛んに進められて
いる。
等の薄膜素子を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以
下、ＭＲヘッドと称する。）の開発が盛んに進められて
いる。
【０００３】ＭＲヘッドは、ハードディスク等の如き磁
気ディスク又は磁気テープ等の磁気記録媒体から漏れ出
る信号磁界により、当該ＭＲ素子の抵抗が変化し、その
抵抗変化を検出することによって上記磁気記録媒体に記
録された情報を読み取ることができるように構成されて
いる。
気ディスク又は磁気テープ等の磁気記録媒体から漏れ出
る信号磁界により、当該ＭＲ素子の抵抗が変化し、その
抵抗変化を検出することによって上記磁気記録媒体に記
録された情報を読み取ることができるように構成されて
いる。
【０００４】このようなＭＲヘッドは、通常、電磁誘導
型磁気ヘッド（以下、インダクティブヘッドと称す
る。）に比べて、短波長感度に優れることから、狭トラ
ック再生、短波長再生、超低速再生において高い感度が
得られるとされている。
型磁気ヘッド（以下、インダクティブヘッドと称す
る。）に比べて、短波長感度に優れることから、狭トラ
ック再生、短波長再生、超低速再生において高い感度が
得られるとされている。
【０００５】ＭＲヘッドは、先端と後端に電極が電気的
に接続されてなる磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子と
称する。）と、このＭＲ素子にバイアス磁界を印加する
バイアス導体と、これらＭＲ素子とバイアス導体を挟み
込む一対の薄膜磁気コアとを有した，いわゆるシールド
型構造とされるのが一般的である。
に接続されてなる磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子と
称する。）と、このＭＲ素子にバイアス磁界を印加する
バイアス導体と、これらＭＲ素子とバイアス導体を挟み
込む一対の薄膜磁気コアとを有した，いわゆるシールド
型構造とされるのが一般的である。
【０００６】かかるＭＲヘッドの動作原理は、一軸異方
性を付与したパーマロイ等からなるＭＲ素子内を磁気記
録媒体からの信号磁界が通過すると、その電気抵抗値が
変化する。その抵抗値は、ＭＲ素子の先端と後端に接続
された一対の電極間で検知できる。したがって、その変
化も検知できることになる。
性を付与したパーマロイ等からなるＭＲ素子内を磁気記
録媒体からの信号磁界が通過すると、その電気抵抗値が
変化する。その抵抗値は、ＭＲ素子の先端と後端に接続
された一対の電極間で検知できる。したがって、その変
化も検知できることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の構成
のＭＲヘッドは、次のような工程に従って作製される。
先ず、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板等からなるウエハー上に
真空薄膜形成プロセスによって、下層の薄膜磁気コアを
形成し、その上に絶縁膜を介してＭＲ素子を形成する。
のＭＲヘッドは、次のような工程に従って作製される。
先ず、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板等からなるウエハー上に
真空薄膜形成プロセスによって、下層の薄膜磁気コアを
形成し、その上に絶縁膜を介してＭＲ素子を形成する。
【０００８】そして、このＭＲ素子上に絶縁膜を介して
先端電極と後端電極を形成した後、絶縁膜を介してバイ
アス導体を形成する。
先端電極と後端電極を形成した後、絶縁膜を介してバイ
アス導体を形成する。
【０００９】しかる後、上記バイアス導体上に絶縁膜を
介して上層の薄膜磁気コアを形成し、その上に保護膜層
を積層する。なお、ウエハー上には複数個のＭＲヘッド
素子を同時に作製する。そして最後に、同一ウエハー上
に複数同時に形成された各ＭＲヘッド素子部を各ヘッド
チップ毎に切り出し、スライダー加工等することにより
ＭＲヘッドを完成させる。
介して上層の薄膜磁気コアを形成し、その上に保護膜層
を積層する。なお、ウエハー上には複数個のＭＲヘッド
素子を同時に作製する。そして最後に、同一ウエハー上
に複数同時に形成された各ＭＲヘッド素子部を各ヘッド
チップ毎に切り出し、スライダー加工等することにより
ＭＲヘッドを完成させる。
【００１０】その後、完成したＭＲヘッドに対して予め
決められたヘッド特性，例えば電磁変換特性を備えてい
るか否かを測定する。ヘッド特性を測定するには、完成
したＭＲヘッドを実際にハードディスク駆動装置に搭載
して、該ハードディスクに記録された磁気信号を再生す
ることにより行われる。
決められたヘッド特性，例えば電磁変換特性を備えてい
るか否かを測定する。ヘッド特性を測定するには、完成
したＭＲヘッドを実際にハードディスク駆動装置に搭載
して、該ハードディスクに記録された磁気信号を再生す
ることにより行われる。
【００１１】このように、ヘッド特性を測定するに当た
り、最終製品上がりの状態で測定すると、測定した結果
規定の特性が得られなかった場合には、そのウエハーか
ら切り出した全てのＭＲヘッドが無駄になる。
り、最終製品上がりの状態で測定すると、測定した結果
規定の特性が得られなかった場合には、そのウエハーか
ら切り出した全てのＭＲヘッドが無駄になる。
【００１２】そこで本発明は、上述の従来の有する技術
的な課題に鑑みて提案されたものであって、最終製品上
がりの状態ではなくウエハー状態でＭＲヘッドのヘッド
特性を測定することができるＭＲヘッドのヘッド特性測
定方法を提供することを目的とする。さらに本発明は、
製造作業の無駄を無くし信頼性の高いＭＲヘッドを歩留
り良く提供することを可能ならしめるヘッド特性測定用
磁気ヘッドを提供することを目的とする。
的な課題に鑑みて提案されたものであって、最終製品上
がりの状態ではなくウエハー状態でＭＲヘッドのヘッド
特性を測定することができるＭＲヘッドのヘッド特性測
定方法を提供することを目的とする。さらに本発明は、
製造作業の無駄を無くし信頼性の高いＭＲヘッドを歩留
り良く提供することを可能ならしめるヘッド特性測定用
磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明のヘッド特性測定
方法では、ＭＲ素子を一対の薄膜磁気コアによって挟み
込んでなるＭＲヘッドの前方に疑似ヘッドを設け、その
疑似ヘッドの導体コイルに任意の波形を流して磁気信号
を出力させる。そして、その出力信号をＭＲ素子に入力
させ、該ＭＲヘッドからの出力を測定して、当該ＭＲヘ
ッドのヘッド特性を測定する。
方法では、ＭＲ素子を一対の薄膜磁気コアによって挟み
込んでなるＭＲヘッドの前方に疑似ヘッドを設け、その
疑似ヘッドの導体コイルに任意の波形を流して磁気信号
を出力させる。そして、その出力信号をＭＲ素子に入力
させ、該ＭＲヘッドからの出力を測定して、当該ＭＲヘ
ッドのヘッド特性を測定する。
【００１４】ヘッド特性を測定するのに用いられるヘッ
ド特性測定用磁気ヘッドとしては、ＭＲ素子とこのＭＲ
素子にバイアス磁界を印加するバイアス導体とを一対の
薄膜磁気コアによって挟み込んでなるＭＲヘッドと、こ
のＭＲヘッドのヘッド特性を測定するための磁気信号を
該ＭＲ素子に入力する疑似ヘッドとを同一基板（以下、
ウエハーと称する。）上に備え、該疑似ヘッドをＭＲヘ
ッドの前方に設けた構成とされる。
ド特性測定用磁気ヘッドとしては、ＭＲ素子とこのＭＲ
素子にバイアス磁界を印加するバイアス導体とを一対の
薄膜磁気コアによって挟み込んでなるＭＲヘッドと、こ
のＭＲヘッドのヘッド特性を測定するための磁気信号を
該ＭＲ素子に入力する疑似ヘッドとを同一基板（以下、
ウエハーと称する。）上に備え、該疑似ヘッドをＭＲヘ
ッドの前方に設けた構成とされる。
【００１５】疑似ヘッドの構成は、ＭＲヘッドの薄膜磁
気コアが前方に延ばされ、その延ばされた薄膜磁気コア
間に導体コイルを形成した構成とされる。言い代えれ
ば、疑似ヘッドは、ＭＲヘッドの薄膜磁気コアを共通の
コアとし、その薄膜磁気コア間に導体コイルを有した，
インダクティブヘッド構成である。
気コアが前方に延ばされ、その延ばされた薄膜磁気コア
間に導体コイルを形成した構成とされる。言い代えれ
ば、疑似ヘッドは、ＭＲヘッドの薄膜磁気コアを共通の
コアとし、その薄膜磁気コア間に導体コイルを有した，
インダクティブヘッド構成である。
【００１６】ヘッド特性測定用磁気ヘッドにおいては、
同一ウエハー上にＭＲヘッドと疑似ヘッドが少なくとも
１つずつ形成されていればヘッド特性を測定することが
できるが、歩留りを考えるとこれらは複数個形成されて
いることが望ましい。特に、疑似ヘッドについは、各Ｍ
Ｒヘッドに対してそれぞれ形成されている必要はない
が、ヘッド特性評価の信頼性を高めるために、同一ウエ
ハー上に少なくとも２つ以上形成することが好ましい。
同一ウエハー上にＭＲヘッドと疑似ヘッドが少なくとも
１つずつ形成されていればヘッド特性を測定することが
できるが、歩留りを考えるとこれらは複数個形成されて
いることが望ましい。特に、疑似ヘッドについは、各Ｍ
Ｒヘッドに対してそれぞれ形成されている必要はない
が、ヘッド特性評価の信頼性を高めるために、同一ウエ
ハー上に少なくとも２つ以上形成することが好ましい。
【００１７】
【作用】ＭＲヘッドのヘッド特性を測定するに際し、同
一ウエハー上にＭＲヘッドと疑似ヘッドを設け、該ＭＲ
ヘッドの前方に疑似ヘッドを形成する。そして、この疑
似ヘッドの導体コイルに任意の波形を流して磁気信号を
出力させる。すると、疑似ヘッドの後方に設けられたＭ
ＲヘッドのＭＲ素子に、上記疑似ヘッドで発生した磁気
信号が入る。その結果、ＭＲ素子に入った磁気信号がＭ
Ｒヘッドから出力され、その出力信号を測定することに
より、当該ＭＲヘッドのヘッド特性が測定される。
一ウエハー上にＭＲヘッドと疑似ヘッドを設け、該ＭＲ
ヘッドの前方に疑似ヘッドを形成する。そして、この疑
似ヘッドの導体コイルに任意の波形を流して磁気信号を
出力させる。すると、疑似ヘッドの後方に設けられたＭ
ＲヘッドのＭＲ素子に、上記疑似ヘッドで発生した磁気
信号が入る。その結果、ＭＲ素子に入った磁気信号がＭ
Ｒヘッドから出力され、その出力信号を測定することに
より、当該ＭＲヘッドのヘッド特性が測定される。
【００１８】測定に用いられる磁気ヘッドは、ＭＲ素子
とこのＭＲ素子にバイアス磁界を印加するバイアス導体
を一対の薄膜磁気コアで挟み込んでなるＭＲヘッドを有
し、その前方にこのＭＲヘッドのヘッド特性を測定する
ための磁気信号を該ＭＲ素子に入力する疑似ヘッドを設
けているので、ウエハー状態でＭＲヘッドのヘッド特性
が測定し得る。
とこのＭＲ素子にバイアス磁界を印加するバイアス導体
を一対の薄膜磁気コアで挟み込んでなるＭＲヘッドを有
し、その前方にこのＭＲヘッドのヘッド特性を測定する
ための磁気信号を該ＭＲ素子に入力する疑似ヘッドを設
けているので、ウエハー状態でＭＲヘッドのヘッド特性
が測定し得る。
【００１９】また、疑似ヘッドは、ＭＲヘッドの薄膜磁
気コアが前方に延ばされ、その延ばされた薄膜磁気コア
間に導体コイルを形成した構成とされるので、当該ＭＲ
ヘッドを真空薄膜形成技術によって製造する際に同時に
製造され、製造上の煩雑さが生じない。
気コアが前方に延ばされ、その延ばされた薄膜磁気コア
間に導体コイルを形成した構成とされるので、当該ＭＲ
ヘッドを真空薄膜形成技術によって製造する際に同時に
製造され、製造上の煩雑さが生じない。
【００２０】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。ＭＲヘッドの
ヘッド特性をウエハーの状態で測定するには、磁気記録
媒体からの信号を再現するために、ＭＲヘッドの前方に
インダクティブヘッドとして機能する疑似ヘッドを設け
る。そして、この疑似ヘッドにヘッド特性を測定するた
めの任意の波形を入力し、その出力信号をＭＲヘッドに
入力させる。その後、ＭＲヘッドからの出力を測定する
ことにより、当該ＭＲヘッドのヘッド特性を測定する。
いて図面を参照しながら詳細に説明する。ＭＲヘッドの
ヘッド特性をウエハーの状態で測定するには、磁気記録
媒体からの信号を再現するために、ＭＲヘッドの前方に
インダクティブヘッドとして機能する疑似ヘッドを設け
る。そして、この疑似ヘッドにヘッド特性を測定するた
めの任意の波形を入力し、その出力信号をＭＲヘッドに
入力させる。その後、ＭＲヘッドからの出力を測定する
ことにより、当該ＭＲヘッドのヘッド特性を測定する。
【００２１】先ず、測定に用いたヘッド特性測定用磁気
ヘッドについて説明する。このヘッド特性測定用磁気ヘ
ッドは、図１に示すように、同一ウエハー１上にＭＲヘ
ッド２と疑似ヘッド３とが設けられ、該疑似ヘッド３が
ＭＲヘッド２の再生ギャップの前方に設けられた構成と
されている。
ヘッドについて説明する。このヘッド特性測定用磁気ヘ
ッドは、図１に示すように、同一ウエハー１上にＭＲヘ
ッド２と疑似ヘッド３とが設けられ、該疑似ヘッド３が
ＭＲヘッド２の再生ギャップの前方に設けられた構成と
されている。
【００２２】ＭＲヘッド２は、例えばＡｌ2 Ｏ3 −Ｔｉ
Ｃ基板等からなるウエハー１上に、一対の薄膜磁気コア
４，５と、これら薄膜磁気コア４，５間に先端電極６と
後端電極７が積層されてなるＭＲ素子８と、このＭＲ素
子８にバイアス磁界を印加するバイアス導体９とが形成
されることにより構成されている。
Ｃ基板等からなるウエハー１上に、一対の薄膜磁気コア
４，５と、これら薄膜磁気コア４，５間に先端電極６と
後端電極７が積層されてなるＭＲ素子８と、このＭＲ素
子８にバイアス磁界を印加するバイアス導体９とが形成
されることにより構成されている。
【００２３】なお、一対の薄膜磁気コア４，５のうち、
ウエハー１上に設けられる薄膜磁気コア４を下層薄膜磁
気コア４、バイアス導体９側に設けられる薄膜磁気コア
５を上層薄膜磁気コア５と称する。
ウエハー１上に設けられる薄膜磁気コア４を下層薄膜磁
気コア４、バイアス導体９側に設けられる薄膜磁気コア
５を上層薄膜磁気コア５と称する。
【００２４】ＭＲ素子８は、例えば平面形状が略長方形
パターンとして形成され、その長手方向がウエハー１の
一側面１ａに対して垂直となるようにして設けられてい
る。かかるＭＲ素子８は、例えばパーマロイ等の如き強
磁性体薄膜からなり、下層薄膜磁気コア４上に設けられ
たギャップ膜として機能する絶縁膜１０上に蒸着やスパ
ッタリング等の真空薄膜形成手段によって形成されてい
る。
パターンとして形成され、その長手方向がウエハー１の
一側面１ａに対して垂直となるようにして設けられてい
る。かかるＭＲ素子８は、例えばパーマロイ等の如き強
磁性体薄膜からなり、下層薄膜磁気コア４上に設けられ
たギャップ膜として機能する絶縁膜１０上に蒸着やスパ
ッタリング等の真空薄膜形成手段によって形成されてい
る。
【００２５】このＭＲ素子８は、パーマロイよりなるＭ
Ｒ薄膜の単層膜であってもよいが、例えばＳｉＯ2 等よ
りなる非磁性の絶縁層を介して静磁的に結合する一対の
ＭＲ薄膜を積層するようにしてもよい。積層膜構造とす
ることによって、バルクハウゼンノイズの発生が回避で
きる。
Ｒ薄膜の単層膜であってもよいが、例えばＳｉＯ2 等よ
りなる非磁性の絶縁層を介して静磁的に結合する一対の
ＭＲ薄膜を積層するようにしてもよい。積層膜構造とす
ることによって、バルクハウゼンノイズの発生が回避で
きる。
【００２６】上記絶縁膜１０は、再生用磁気ギャップの
下層ギャップ膜として機能することから、例えばＳｉＯ
2 やＡｌ2 Ｏ3 等の非磁性且つ非導電性材料からなる。
下層ギャップ膜として機能することから、例えばＳｉＯ
2 やＡｌ2 Ｏ3 等の非磁性且つ非導電性材料からなる。
【００２７】上記先端電極６は、ＭＲ素子８の先端部に
直接積層され、このＭＲ素子８と電気的に接続されてい
る。さらに、先端電極６は、上記ＭＲ素子８の先端部よ
りさらにウエハー１の一側面１ａ側寄りに延在して設け
られている。かかる先端電極６は、ＭＲ素子８にセンス
電流を通電する電極としての機能を有する他、再生用磁
気ギャップの上層ギャップ膜としても機能するようにな
っている。
直接積層され、このＭＲ素子８と電気的に接続されてい
る。さらに、先端電極６は、上記ＭＲ素子８の先端部よ
りさらにウエハー１の一側面１ａ側寄りに延在して設け
られている。かかる先端電極６は、ＭＲ素子８にセンス
電流を通電する電極としての機能を有する他、再生用磁
気ギャップの上層ギャップ膜としても機能するようにな
っている。
【００２８】一方、後端電極７は、先端電極６とは反対
側のＭＲ素子８の後端部に、その一部がこのＭＲ素子８
に対して電気的に接続されるようにして積層されてい
る。この後端電極７も先端電極６同様、導電性を有する
材料により形成されている。
側のＭＲ素子８の後端部に、その一部がこのＭＲ素子８
に対して電気的に接続されるようにして積層されてい
る。この後端電極７も先端電極６同様、導電性を有する
材料により形成されている。
【００２９】バイアス導体９は、ＭＲ素子８にバイアス
磁界を印加するためのもので、先端電極６と後端電極７
の間であって、該ＭＲ素子８上に形成された絶縁層１１
上に形成されている。このバイアス導体９は、ＭＲ素子
８の長手方向に対して直交する方向に形成され、同方向
に通電されるバイアス電流によってバイアス磁界を当該
ＭＲ素子８の磁化困難軸方向である長手方向に印加する
ようになっている。
磁界を印加するためのもので、先端電極６と後端電極７
の間であって、該ＭＲ素子８上に形成された絶縁層１１
上に形成されている。このバイアス導体９は、ＭＲ素子
８の長手方向に対して直交する方向に形成され、同方向
に通電されるバイアス電流によってバイアス磁界を当該
ＭＲ素子８の磁化困難軸方向である長手方向に印加する
ようになっている。
【００３０】そして、上記ＭＲ素子８を上下方向から挟
み込む形で設けられる一対の薄膜磁気コア４，５は、Ｍ
Ｒ素子８から離れた位置の媒体からの磁界の影響を受け
ないようにするシールドとして機能するもので、例えば
パーマロイ等の強磁性材料をスパッタリング又はメッキ
等することによって形成されている。
み込む形で設けられる一対の薄膜磁気コア４，５は、Ｍ
Ｒ素子８から離れた位置の媒体からの磁界の影響を受け
ないようにするシールドとして機能するもので、例えば
パーマロイ等の強磁性材料をスパッタリング又はメッキ
等することによって形成されている。
【００３１】これら薄膜磁気コア４，５のうち下層薄膜
磁気コア４は、上記ウエハー１の一側面１ａにその一側
縁を臨ませるようにして、この一側面１ａに対して垂直
方向に延在して設けられている。
磁気コア４は、上記ウエハー１の一側面１ａにその一側
縁を臨ませるようにして、この一側面１ａに対して垂直
方向に延在して設けられている。
【００３２】一方、これに対向して設けられる上層薄膜
磁気コア５は、先の下層薄膜磁気コア４と同様に上記一
側面１ａにその一側縁を臨ませるようにして、この一側
面１ａに対して垂直にバック側へ延在して設けられてい
る。また、この上層薄膜磁気コア５は、先端電極６に対
して直接積層され磁気的に結合されると共に、その後方
側において絶縁層１２を介して積層されている。
磁気コア５は、先の下層薄膜磁気コア４と同様に上記一
側面１ａにその一側縁を臨ませるようにして、この一側
面１ａに対して垂直にバック側へ延在して設けられてい
る。また、この上層薄膜磁気コア５は、先端電極６に対
して直接積層され磁気的に結合されると共に、その後方
側において絶縁層１２を介して積層されている。
【００３３】上記絶縁層１２は、非磁性且つ非導電性を
有する材料からなり、上記バイアス導体９及び後端電極
７を覆うようにして設けられている。
有する材料からなり、上記バイアス導体９及び後端電極
７を覆うようにして設けられている。
【００３４】なお、上層薄膜磁気コア５上には、一対の
薄膜磁気コア４，５によってＭＲ素子８を挟み込んでな
るＭＲヘッド２を保護するための保護層１３が形成され
ている。この保護層１３は、例えばＳｉＯ2 又はＡｌ2
Ｏ3 等の非磁性且つ非導電性を有する層からなる。
薄膜磁気コア４，５によってＭＲ素子８を挟み込んでな
るＭＲヘッド２を保護するための保護層１３が形成され
ている。この保護層１３は、例えばＳｉＯ2 又はＡｌ2
Ｏ3 等の非磁性且つ非導電性を有する層からなる。
【００３５】一方、疑似ヘッド３は、インダクティブヘ
ッドと同様の構成とされ、ＭＲヘッド２の前方に設けら
れている。この疑似ヘッド３は、磁路を構成する一対の
薄膜磁気コア４，５と、これら薄膜磁気コア４，５間に
設けられる導体コイル１４とから構成されている。
ッドと同様の構成とされ、ＭＲヘッド２の前方に設けら
れている。この疑似ヘッド３は、磁路を構成する一対の
薄膜磁気コア４，５と、これら薄膜磁気コア４，５間に
設けられる導体コイル１４とから構成されている。
【００３６】上記一対の薄膜磁気コア４，５は、ＭＲヘ
ッド２を構成する薄膜磁気コア４，５と共用されてい
る。つまり、下層薄膜磁気コア４がＭＲヘッド２と疑似
ヘッド３の共通の下層コアとして機能すると共に、上層
薄膜磁気コア５がＭＲヘッド２と疑似ヘッド３の共通の
上層コアとして機能するようになっている。
ッド２を構成する薄膜磁気コア４，５と共用されてい
る。つまり、下層薄膜磁気コア４がＭＲヘッド２と疑似
ヘッド３の共通の下層コアとして機能すると共に、上層
薄膜磁気コア５がＭＲヘッド２と疑似ヘッド３の共通の
上層コアとして機能するようになっている。
【００３７】上記導体コイル１４は、上層薄膜磁気コア
４と下層薄膜磁気コア５間であって、該上層薄膜磁気コ
ア４の一部を屈曲させた部分に設けられている。この導
体コイル１４は、一対の薄膜磁気コア４，５の長手方向
に対して直交する方向に形成され、ＭＲヘッドのヘッド
特性を測定するための任意波形を紙面に対して垂直な方
向に入力するようになっている。
４と下層薄膜磁気コア５間であって、該上層薄膜磁気コ
ア４の一部を屈曲させた部分に設けられている。この導
体コイル１４は、一対の薄膜磁気コア４，５の長手方向
に対して直交する方向に形成され、ＭＲヘッドのヘッド
特性を測定するための任意波形を紙面に対して垂直な方
向に入力するようになっている。
【００３８】この疑似ヘッド３は、ウエハー１上にＭＲ
ヘッド２をスパッタリングや蒸着等の真空薄膜形成技術
により順次作製する段階で一緒に形成される。例えば、
導体コイル１４は、バイアス導体９を形成する工程と同
一工程で同時に作製される。したがって、疑似ヘッド３
を製造する新たな工程を必要とせずに、従来通りＭＲヘ
ッド２を製造する工程の中で疑似ヘッド３が製造され
る。
ヘッド２をスパッタリングや蒸着等の真空薄膜形成技術
により順次作製する段階で一緒に形成される。例えば、
導体コイル１４は、バイアス導体９を形成する工程と同
一工程で同時に作製される。したがって、疑似ヘッド３
を製造する新たな工程を必要とせずに、従来通りＭＲヘ
ッド２を製造する工程の中で疑似ヘッド３が製造され
る。
【００３９】ところで、ＭＲヘッド２は、歩留り等の観
点から同一ウエハー１上に複数個形成するのが一般的で
ある。かかる場合、ＭＲヘッド２の一個一個に対応して
疑似ヘッド３を形成すれば、全てのＭＲヘッド２のヘッ
ド特性を全数測定することができ、信頼性の向上が図れ
る。しかしながら、ヘッド特性測定による検査を全数行
うことは、コストや生産性の点で不利であることから、
疑似ヘッド３を少なくとも１つのウエハー１上に２つ以
上形成することが望ましい。本実施例では、図２に示す
ように、同一ウエハー１上に左右１つずつ形成した。
点から同一ウエハー１上に複数個形成するのが一般的で
ある。かかる場合、ＭＲヘッド２の一個一個に対応して
疑似ヘッド３を形成すれば、全てのＭＲヘッド２のヘッ
ド特性を全数測定することができ、信頼性の向上が図れ
る。しかしながら、ヘッド特性測定による検査を全数行
うことは、コストや生産性の点で不利であることから、
疑似ヘッド３を少なくとも１つのウエハー１上に２つ以
上形成することが望ましい。本実施例では、図２に示す
ように、同一ウエハー１上に左右１つずつ形成した。
【００４０】以上のように構成されたヘッド特性測定用
磁気ヘッドを用いてＭＲヘッド２の電磁変換特性等の如
きヘッド特性を測定するには、次のようにして行う。先
ず、図３に示すように、疑似ヘッド３の導体コイル１４
に、磁気記録媒体からの信号を再現するための任意の波
形を流す。任意波形は、例えば図４に示す如き波形とす
る。また、導体コイル１４に任意波形を流すには、図２
に示す該導体コイル１４の両端端子１４ａ，１４ｂから
流すものとする。
磁気ヘッドを用いてＭＲヘッド２の電磁変換特性等の如
きヘッド特性を測定するには、次のようにして行う。先
ず、図３に示すように、疑似ヘッド３の導体コイル１４
に、磁気記録媒体からの信号を再現するための任意の波
形を流す。任意波形は、例えば図４に示す如き波形とす
る。また、導体コイル１４に任意波形を流すには、図２
に示す該導体コイル１４の両端端子１４ａ，１４ｂから
流すものとする。
【００４１】すると、疑似ヘッド３より磁気信号が出力
される。その出力された磁気信号は、薄膜磁気コア４，
５を共用するＭＲヘッド２のＭＲ素子８に入る。そし
て、このＭＲ素子８に入った磁気信号より出力が得ら
れ、そのＭＲヘッド出力が先端電極６と後端電極７から
取り出される。したがって、このＭＲヘッド出力を測定
することにより、完成品とする前のウエハー１状態でＭ
Ｒヘッド２の電磁変換特性が評価できる。
される。その出力された磁気信号は、薄膜磁気コア４，
５を共用するＭＲヘッド２のＭＲ素子８に入る。そし
て、このＭＲ素子８に入った磁気信号より出力が得ら
れ、そのＭＲヘッド出力が先端電極６と後端電極７から
取り出される。したがって、このＭＲヘッド出力を測定
することにより、完成品とする前のウエハー１状態でＭ
Ｒヘッド２の電磁変換特性が評価できる。
【００４２】以上のようにして測定した結果、ＭＲヘッ
ド２が予め決められたヘッド特性を有していなかった場
合には、その後に行う各ＭＲヘッド２毎のチップ切断や
スライダー加工等の工程を行う必要が無くなり、無駄な
工程の省略並びに生産性の向上が実現される。逆に、予
め決められたヘッド特性を有している場合には、磁気記
録媒体との対接面となる面まで研磨を行い、その後チッ
プ切断並びにスライダー加工等を行い、ＭＲヘッドを完
成する。
ド２が予め決められたヘッド特性を有していなかった場
合には、その後に行う各ＭＲヘッド２毎のチップ切断や
スライダー加工等の工程を行う必要が無くなり、無駄な
工程の省略並びに生産性の向上が実現される。逆に、予
め決められたヘッド特性を有している場合には、磁気記
録媒体との対接面となる面まで研磨を行い、その後チッ
プ切断並びにスライダー加工等を行い、ＭＲヘッドを完
成する。
【００４３】ここで、実際に次のような実験を行ってみ
た。すなわち、疑似ヘッドに孤立波を入力し、バイアス
電流とＭＲ素子出力の依存性を調べるための実験を行っ
た。実験では、バイアス導体に流す電流を変化させてＭ
Ｒヘッド出力を求めた。
た。すなわち、疑似ヘッドに孤立波を入力し、バイアス
電流とＭＲ素子出力の依存性を調べるための実験を行っ
た。実験では、バイアス導体に流す電流を変化させてＭ
Ｒヘッド出力を求めた。
【００４４】その結果、ＭＲヘッド出力、基本波と二次
高調波の差であるＳＨＤ（Secondary Harmonic Distort
ion ）とバイアス電流の測定結果は、実際にＭＲヘッド
をハードディスク駆動装置に搭載して磁気記録媒体に対
して再生を行ったときに得られた出力とほぼ一致した結
果が得られた。この実験から、ウエハー状態でヘッド特
性の測定が行えることが実証された。
高調波の差であるＳＨＤ（Secondary Harmonic Distort
ion ）とバイアス電流の測定結果は、実際にＭＲヘッド
をハードディスク駆動装置に搭載して磁気記録媒体に対
して再生を行ったときに得られた出力とほぼ一致した結
果が得られた。この実験から、ウエハー状態でヘッド特
性の測定が行えることが実証された。
【００４５】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、同一ウエハー上にＭＲヘッドと疑似ヘッド
を設けると共に、該疑似ヘッドをＭＲヘッドの前方に設
け、この疑似ヘッドに任意の波形を入力して出力磁気信
号を発生せしめ、その出力磁気信号をＭＲヘッドに入力
してＭＲヘッド出力を取り出し、そのＭＲヘッド出力を
測定しているので、ＭＲヘッドを完成する前のウエハー
状態でのＭＲヘッドのヘッド特性を測定することができ
る。
明によれば、同一ウエハー上にＭＲヘッドと疑似ヘッド
を設けると共に、該疑似ヘッドをＭＲヘッドの前方に設
け、この疑似ヘッドに任意の波形を入力して出力磁気信
号を発生せしめ、その出力磁気信号をＭＲヘッドに入力
してＭＲヘッド出力を取り出し、そのＭＲヘッド出力を
測定しているので、ＭＲヘッドを完成する前のウエハー
状態でのＭＲヘッドのヘッド特性を測定することができ
る。
【００４６】したがって、最終製品上がりの状態でハー
ドディスク駆動装置に搭載して実際に磁気記録媒体に対
して再生してヘッド特性を測定するような面倒な測定を
する必要が無くなり、ヘッド測定が簡単に行える。ま
た、ＭＲヘッドが予め決められたヘッド特性を有してい
なかった場合には、以後のチップ切断やスライダー加工
等の余分な工程を行う必要が無くなり、生産性の向上が
実現される。
ドディスク駆動装置に搭載して実際に磁気記録媒体に対
して再生してヘッド特性を測定するような面倒な測定を
する必要が無くなり、ヘッド測定が簡単に行える。ま
た、ＭＲヘッドが予め決められたヘッド特性を有してい
なかった場合には、以後のチップ切断やスライダー加工
等の余分な工程を行う必要が無くなり、生産性の向上が
実現される。
【００４７】また、本発明の測定方法に用いられるヘッ
ド特性測定用磁気ヘッドにおいては、磁気記録媒体から
の信号を再現する疑似ヘッドを、ＭＲヘッドを構成する
一対の薄膜磁気コアを共用した構成とし、且つＭＲヘッ
ドを製造する工程と同一工程で該疑似ヘッドをも形成す
るので、当該ＭＲヘッドの製造プロセスを煩雑なものと
することなく、ヘッド特性測定用磁気ヘッドを製造する
ことができる。
ド特性測定用磁気ヘッドにおいては、磁気記録媒体から
の信号を再現する疑似ヘッドを、ＭＲヘッドを構成する
一対の薄膜磁気コアを共用した構成とし、且つＭＲヘッ
ドを製造する工程と同一工程で該疑似ヘッドをも形成す
るので、当該ＭＲヘッドの製造プロセスを煩雑なものと
することなく、ヘッド特性測定用磁気ヘッドを製造する
ことができる。
【図１】ヘッド特性測定用磁気ヘッドを示す断面図であ
る。
る。
【図２】ヘッド特性測定用磁気ヘッドを示す平面図であ
る。
る。
【図３】ヘッド特性の測定方法を示す概略図である。
【図４】疑似ヘッドの導体コイルに入力されるコイル入
力波形図である。
力波形図である。
【図５】ＭＲヘッドから出力されるＭＲヘッド出力波形
図である。
図である。
１ ウエハー ２ ＭＲヘッド ３ 疑似ヘッド ４ 下層薄膜磁気コア ５ 上層薄膜磁気コア ６ 先端電極 ７ 後端電極 ８ ＭＲ素子 ９ バイアス導体 １４ 導体コイル
Claims (4)
- 【請求項１】 同一基板上に、磁気抵抗効果素子を一対
の薄膜磁気コアによって挟み込んでなる磁気抵抗効果型
磁気ヘッドと、この磁気抵抗効果型磁気ヘッドの前方に
導体コイルを上記一対の薄膜磁気コアによって挟み込ん
でなる疑似ヘッドが設けられ、 上記疑似ヘッドの導体コイルに任意の波形を流して磁気
信号を出力させ、その出力信号を磁気抵抗効果素子に入
力せしめ、該磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力を測
定することにより当該磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッ
ド特性を測定することを特徴とする磁気抵抗効果型磁気
ヘッドのヘッド特性測定方法。 - 【請求項２】 磁気抵抗効果素子とこの磁気抵抗効果素
子にバイアス磁界を印加するバイアス導体とを一対の薄
膜磁気コアによって挟み込んでなる磁気抵抗効果型磁気
ヘッドと、 この磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性を測定する
ための磁気信号を該磁気抵抗効果素子に入力する疑似ヘ
ッドが同一基板上に設けられ、 上記疑似ヘッドは磁気抵抗効果型磁気ヘッドの前方に設
けられていることを特徴とするヘッド特性測定用磁気ヘ
ッド。 - 【請求項３】 疑似ヘッドは、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの薄膜磁気コアが前方に延ばされ、その延ばされた薄
膜磁気コア間に導体コイルを形成してなることを特徴と
する請求項２記載のヘッド特性測定用磁気ヘッド。 - 【請求項４】 磁気抵抗効果型磁気ヘッドと疑似ヘッド
が同一基板上に複数形成されていることを特徴とする請
求項２又は３記載のヘッド特性測定用磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1928594A JPH07230611A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1928594A JPH07230611A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07230611A true JPH07230611A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=11995184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1928594A Withdrawn JPH07230611A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドのヘッド特性測定方法及びその測定に用いるヘッド特性測定用磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07230611A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6515475B2 (en) | 2001-02-16 | 2003-02-04 | International Business Machines Corporation | Determination of track width of magnetoresistive sensors during magnetic head fabrication using magnetic fields |
| US6538430B2 (en) | 2001-08-23 | 2003-03-25 | International Business Machines Corporation | Screening test for transverse magnetic-field excited noise in giant magnetoresistive heads |
| US6707298B2 (en) | 2001-10-29 | 2004-03-16 | Yamaha Corporation | Magnetic sensor |
-
1994
- 1994-02-16 JP JP1928594A patent/JPH07230611A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6515475B2 (en) | 2001-02-16 | 2003-02-04 | International Business Machines Corporation | Determination of track width of magnetoresistive sensors during magnetic head fabrication using magnetic fields |
| US6538430B2 (en) | 2001-08-23 | 2003-03-25 | International Business Machines Corporation | Screening test for transverse magnetic-field excited noise in giant magnetoresistive heads |
| US6707298B2 (en) | 2001-10-29 | 2004-03-16 | Yamaha Corporation | Magnetic sensor |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010508 |