JPH07227685A

JPH07227685A - レーザーマーキング装置

Info

Publication number: JPH07227685A
Application number: JP6022766A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Ishihara; 浩之石原
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1994-02-21
Filing date: 1994-02-21
Publication date: 1995-08-29

Abstract

(57)【要約】【目的】トレイのポケットに収容されたデバイスの表
面の汚れを自動的に拭き取り可能にする。【構成】拭き取りユニット９に、自動走行する洗浄用
の帯状布７をポケット２ａ内の被加工物１の表面に接触
させるローラ１０を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ＩＣ等の被加
工物にレーザー光で商標等のマーキングを加工するレー
ザーマーキング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２０は従来のレーザーマーキング装置
を示す概略正面図であり、図において、１は被加工物と
しての例えば半導体ＩＣ等のデバイス、２はデバイス１
がＭ行×Ｎ列収納されるようなトレイ、３はデバイス１
の表面に商標やロット番号等をマーキングするレーザー
本体、４はマーキング位置である。

【０００３】また、５はデバイス１にレーザーマーキン
グを施すことにより生成された溶融物や炭化物からなる
すすなどの汚れで、デバイス１のマーキング部の表面に
付着している。６は上記すすなどの汚れ５をデバイス１
から除去するためのブラシ装置で、これが駆動装置（図
示せず）に連結され、デバイス１の表面をブラッシング
するように構成されている。

【０００４】図２１は上記トレイ２の一例を示す斜視図
であり、図において、２ａはデバイス１を収納するＮ列
Ｍ行のポケット、２ｂはポケット２ａに対応して同数以
上設けられている位置決め孔である。

【０００５】次に動作について説明する。まず、ベルト
コンベアなどにより送られたトレイ２上のデバイス１
は、マーキング位置４でレーザー光によりマーキングさ
れ、さらに、トレイ２に収納された状態にて、回転する
ブラシ装置６のブラシに押し付けられる。このため、デ
バイス１の表面に付着した汚れ５を除去することができ
る。なお、このブラシ装置６の位置はトレイ２に収納さ
れたデバイス１の高さによって調整される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザーマーキ
ング装置は以上のように構成されているので、ブラシ装
置６の作動によりデバイス１の表面の汚れの一部が拡散
され、マークの見映えが悪くなるほか、デバイス１の表
面から散乱したすすなどの汚れがリードに付着し、リー
クをおこしやすくなるなどの問題点があった。

【０００７】また、ブラシ装置６のブラシの消耗によ
り、このブラシがデバイス１に充分にあたらない場合に
は、汚れが残りマークが読み取れず、一方、ブラシがデ
バイス１にあたりすぎると、リードを曲げたり、デバイ
ス１がトレイ２から飛び出したりして、外観不良をおこ
すなどの問題点があった。

【０００８】さらに、デバイス１のパッケージが薄型化
されて、リードがデバイス１本体の平面方向に設けられ
たデバイスの場合には、ブラシの調整が非常に困難であ
り、この調整のため人手を要するため自動化にも適さ
ず、また、デバイス１がトレイ２の上面より深い位置に
収納されている場合は、ブラシがデバイス１の表面に届
かず、上記の汚れが除去できないなどの問題点があっ
た。

【０００９】また、ブラシ等が被加工物に接触する場合
にあっても、静電気が発生しやすくなり、デバイス１が
静電破壊をおこすなど問題点があった。

【００１０】さらにまた、人手によりトレイ２にデバイ
ス１を収納したまま、またはトレイ２からデバイス１を
とり出して、溶剤を含ませた布等で被加工物のすすなど
の汚れを除去することも考えられるが、このようにする
と多大な労力を必要とするばかりか、作業時間も多くか
かり過ぎ、さらに、除去むらが発生しやすく、マーク文
字の品質が安定しないなどの問題点があった。

【００１１】請求項１の発明は上記のような問題点を解
消するためになされたもので、レーザーマーキング後、
トレイに載置された被加工物の表面に付着したすすなど
の汚れを、被加工物をトレイから取り出すことなく、人
手によらずに短時間に自動的に安定して除去できるレー
ザーマーキング装置を得ることを目的とする。

【００１２】請求項２の発明はトレイの上面より深い位
置に収納された被加工物の表面のすすなどの汚れも短時
間に自動的に安定して除去でき、かつ高品質なマーキン
グ加工を行うことができるレーザーマーキング装置を得
ることを目的とする。

【００１３】請求項３の発明はトレイの搬出方向と直角
方向のいかなる位置に被加工物が収納されていても、同
時に複数の被加工物の表面のすすや汚れを効率的に除去
できるレーザーマーキング装置を得ることを目的とす
る。

【００１４】請求項４の発明は被加工物の表面の汚れを
除去する際に、トレイ上で被加工物が飛び出したり浮き
上がることなく、しかもリード曲げ等の外観不良をおこ
すことなく、該被加工物を保持させることができるレー
ザーマーキング装置を得ることを目的とする。

【００１５】請求項５の発明は、異なった種類の被加工
物に対応可能なように、段取り替えの容易化とコンパク
ト化を図るとともに高品質なマーキング加工を行うこと
ができるレーザーマーキング装置を得ることを目的とす
る。

【００１６】請求項６の発明は被加工物の表面に付着し
たすすなどの汚れを溶剤を含ませたローラに接触させる
ことで簡単に除去できるレーザーマーキング装置を得る
ことを目的とする。

【００１７】請求項７の発明は溶剤を含ませた帯状洗浄
部材により被加工物の表面に付着したすすなどの汚れを
確実に除去できるレーザーマーキング装置を得ることを
目的とする。

【００１８】請求項８の発明は押し上げユニットの交換
により、異なった種類の被加工物に対応可能なように、
段取り替えの容易化とコンパクト化を図るとともに高品
質なマーキング加工を行うことができるレーザーマーキ
ング装置を得ることを目的とする。

【００１９】請求項９の発明は被加工物に対し拭き取り
ユニットを移動させながら拭き取りを行うことができる
レーザーマーキング装置を得ることを目的とする。

【００２０】請求項１０の発明は帯状洗浄部材に対し
て、必要量の溶剤を常時含ませてあるかどうかを監視で
きるレーザーマーキング装置を得ることを目的とする。

【００２１】請求項１１の発明は異なった種類の被加工
物を収納できる外形寸法が一定のトレイを用いることに
より、段取り替えの容易化を図り、高速で高い品質のマ
ーキングを行うことができるレーザーマーキング装置を
得ることを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るレ
ーザーマーキング装置は、拭き取りユニットに、自動走
行する洗浄用の帯状洗浄部材をポケット内の被加工物の
表面に接触させるローラを設けたものである。

【００２３】請求項２の発明に係るレーザーマーキング
装置は、トレイの下方にあって、該トレイのポケット内
にある被加工物をそのポケットの上方に押し上げるよう
に作動する押し上げユニットを有し、さらに、自動走行
する洗浄用の帯状洗浄部材を、上記押し上げユニットに
より押し上げられた上記被加工物の表面に接触させるロ
ーラを設けたものである。

【００２４】請求項３の発明に係るレーザーマーキング
装置は、トレイの搬送方向に対して直交する方向に並置
された複数のポケットに対応配置され、かつ自動走行す
る洗浄用の帯状洗浄部材を、上記各ポケット内の被加工
物に独自に接触させる各一のローラを設けたものであ
る。

【００２５】請求項４の発明に係るレーザーマーキング
装置は、拭き取りユニットを構成し、かつ自動走行する
洗浄用の帯状洗浄部材をポケット内の被加工物の表面に
接触させるローラを設け、該ローラに対して上記トレイ
の搬送方向の上流側または／および下流側に上記被加工
物のポケットからの浮き上がりを規制する補助ローラを
設けたものである。

【００２６】請求項５の発明に係るレーザーマーキング
装置は、拭き取りユニットに、自動走行する洗浄用の帯
状洗浄部材をポケット内の被加工物の表面に接触させる
所定のローラ径またはローラ幅を有するローラを設け、
異なるローラ径またはローラ幅を有するローラを備えた
上記拭き取りユニットを、交換可能にしたものである。

【００２７】請求項６の発明に係るレーザーマーキング
装置は、拭き取りユニットに、溶剤を含ませた含浸部材
を外周面に有するローラを設けたものである。

【００２８】請求項７の発明に係るレーザーマーキング
装置は、帯状洗浄部材の近傍に、溶剤を吐出させて該帯
状洗浄部材に含ませる溶剤吐出用のノズルを設けたもの
である。

【００２９】請求項８の発明に係るレーザーマーキング
装置は、トレイの下方にあって、該トレイのポケット内
にある被加工物をそのポケットの上方に押し上げるよう
に作動する押し上げユニットと、上記拭き取りユニット
を構成し、自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材を、上記
押し上げユニットにより押し上げられた上記被加工物の
表面に接触させるローラとを設け、上記押し上げユニッ
トを上記被加工物の形状および数に応じて交換可能にし
たものである。

【００３０】請求項９の発明に係るレーザーマーキング
装置は、拭き取りユニットを、被加工物を設置したトレ
イまたは被加工物を押し上げる押し上げユニットに対
し、上記被加工物の拭き取りを行うように移動可能に設
けたものである。

【００３１】請求項１０の発明に係るレーザーマーキン
グ装置は、帯状洗浄部材に溶剤が含まれているか否かを
検出する溶剤検出手段を、上記帯状洗浄部材の近傍にま
たは直接接触するように配置したものである。

【００３２】請求項１１の発明に係るレーザーマーキン
グ装置は、被加工物をポケット内に収納可能で、外形寸
法が同一の複数枚のトレイを収納したマガジンと、該マ
ガジン内からトレイを一枚ずつ送出するローダ部と、該
ローダ部から送出された上記トレイを搬送させるととも
に、上記トレイ上の被加工物を所定のマーキング位置に
位置決めする搬送ユニットと、該搬送ユニットにより位
置決めされた被加工物にレーザー光を照射してマーキン
グを行うレーザー本体とを設け、該レーザー本体により
マーキングを行った上記トレイ上の被加工物を洗浄手段
により洗浄可能にし、上記マーキング位置の上流側に設
けたエアブロー手段により、上記被加工物上のごみ，静
電気を除去するようにしたものである。

【００３３】

【作用】請求項１の発明におけるレーザーマーキング装
置は、被加工物をトレイに収納したままマーキングを行
った後、その被加工物の表面に付着した溶融物やすすな
どの汚れを、この被加工物の搬送途中に洗浄用の帯状洗
浄部材を介したローラをポケット内の被加工物表面に押
し付けることにより、自動的に拭き取らせるようにす
る。

【００３４】請求項２の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、被加工物がトレイの上面より深い位置に収納
され、ローラが被加工物の表面全面に当たらず、汚れを
除去できない場合でも、トレイに収納された被加工物を
上方に押し上げる押し上げユニットを用いて、トレイ搬
送面の下方よりトレイ内の被加工物を一度に全数トレイ
上面以上に押し上げ、ローラを被加工物の表面に押し付
け回転させることにより自動的に帯状洗浄部材により上
記汚れを除去可能にする。

【００３５】請求項３の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、トレイの搬送方向と直角方向の位置に収納さ
れた被加工物がどのように収納されていても表面の汚れ
を、それぞれの列に独立に設けられたローラを介して帯
状洗浄部材により自動的に同時に除去可能にする。

【００３６】請求項４の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、トレイの搬送方向の上流または下流、もしく
は上流，下流の両方の位置に被加工物の長さ以下のピッ
チでローラより高い位置に補助ローラを並べたため、被
加工物の表面の汚れを上記ローラにて除去する際に上記
補助ローラにて被加工物を押えることで、上記被加工物
が浮き上がったり，飛び出したりすることなく確実に汚
れを除去可能にする。

【００３７】請求項５の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、異なったトレイに収納された異なった被加工
物に応じて、それぞれの被加工物やトレイのポケットの
幅に応じたローラ幅やローラ径のローラが取り付けられ
た拭き取りユニットを、ネジまたはプランジャー等を用
いて着脱，交換することで、簡単な段取り替えで汚れを
自動的に除去可能にする。

【００３８】請求項６の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、被加工物の表面に付着したすすなどの汚れを
溶剤を含ませた含浸部材を有するローラに接触させるこ
とで簡単に除去する。

【００３９】請求項７の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、溶剤を含ませた帯状洗浄部材により被加工物
の表面に付着したすすなどの汚れを確実に除去する。

【００４０】請求項８の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、被加工物の形状や数に応じて押し上げユニッ
トを着脱交換可能にし、段取り替えを簡単に行えるよう
にする。

【００４１】請求項９の発明におけるレーザーマーキン
グ装置は、拭き取りユニット９が小形で、これの搬送系
を簡単に構成できる場合、または上記押し上げユニット
２０の搬送系が複雑となる場合に、拭き取りユニット９
側の移動を可能とすることによって、拭き取りを実施可
能にする。

【００４２】請求項１０の発明におけるレーザーマーキ
ング装置は、帯状洗浄部材に対して、必要量の溶剤を常
時含ませてあるかどうかを監視可能にする。

【００４３】請求項１１の発明におけるレーザーマーキ
ング装置は、品種の異なる被加工物にマーキング加工を
行う際、外形寸法が同じトレイを用いることで、搬送系
の段取り替えを不要にし、トレイを搬送する搬送爪を有
する搬送ユニットを用いてスループットをあげ、被加工
物の有無に応じて確実にマーキングを行えるようにし、
被加工物表面に付着した汚れをトレイに被加工物を収納
したまま高速にかつ自動的に除去可能にする。

【００４４】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、７は帯状洗浄部材としての帯状
布、８は拭き取り部の取付ベース、８ａはこの帯状布７
を内部のドラムなどに巻装した帯状布供給部材、８ｂは
帯状布７を巻き取る帯状布巻取部材で各々トレイ２のＮ
列分に応じた数を備えている。

【００４５】９は拭き取りユニットであり、これがトレ
イ２に設けられたポケットの幅より小さく、上記帯状布
７をガイドし、回転しながらデバイス１に押し付けるロ
ーラ１０と、このローラ１０を支点１２を中心に上下方
向に回転可能に支持するアーム１１と、このアーム１１
およびローラ１０の上下方向の位置を決めるストッパ１
３と、上記アーム１１およびローラ１０をデバイス１に
押え付ける力を調整するバネ１４とからなる。なお、上
記ローラ１０として、例えばゴムローラやフェルトロー
ラ等が使用される。

【００４６】また、１５は帯状布７を駆動するための駆
動ユニットで、モーター（図示せず）に連結されてい
る。１６は帯状布７をガイドするガイドローラ、１７は
貯蔵タンク（図示せず）等に貯蔵されたアルコール等の
溶剤を帯状の布に塗布するためのノズルであり、ディス
ペンサーや定量ポンプによりアルコールの吐出量をコン
トロール可能にしてある。

【００４７】さらに、拭き取りユニット９は、図２に示
すように、トレイ２の搬送方向と直角の方向にトレイ２
上の列数（Ｎ列）に応じて（本図では２列）、上記ロー
ラ１０を備えており、これがアーム１１先端の各支軸１
１ａに取り付けられている。アーム１１は支点１２を中
心にそれぞれ独立して回転可能な構成となっている。こ
のため、各ローラ１０は独立してトレイ２上に臨んで上
下方向に移動可能である。なお、上記帯状布供給部材８
ａ，帯状布巻取部材８ｂ，駆動ユニット１５，ガイドロ
ーラ１６および拭き取りユニット９が取付ベース８に取
り付けられている。

【００４８】また、図２において、８ｃは取付ベース８
に植設された２本の位置決めピンであり、これらの各位
置決めピン８ｃ間には取付孔８ｄが設けられている。

【００４９】一方、拭き取りユニット９には上記取付ベ
ース８に対向する取付片９ｃが設けられ、この取付片９
ｃ上の上記位置決めピン８ｃおよび取付孔８ｄに対応す
る位置には位置決め孔９ａおよび取付ねじ孔９ｂが設け
られている。

【００５０】従って、各位置決めピン８ｃに位置決め孔
９ａを挿し込むようにして取付片９ｃを取付ベース８に
当接し、取付孔８ｄを通して取付ベース８の裏側からね
じ８ｅを取付片９ｃの取付ねじ孔９ｂにねじ込むこと
で、取付ベース８に対し拭き取りユニット９を着脱自在
に、すなわち任意に交換可能に取り付けることができ
る。なお、このベース８に対する取付片９ｃの結合は周
知の他の手段を用いることにより代替えできる。

【００５１】次に動作について説明する。帯状布７はト
レイ２の搬送下流側に配置された帯状布供給部材８ａか
ら３つのガイドローラ１６，ローラ１０を介し、駆動ユ
ニット１５によって、上記トレイ２の搬送方向とは逆方
向に移動し、帯状布巻取部材８ｂに巻き取られる。ま
た、このとき帯状布７はローラ１０に到達する前にノズ
ル１７から吐出したアルコール等の溶剤を含んでいる。

【００５２】一方、トレイ２上に載置されて搬送される
デバイス１は、マーキング位置４でマーキングされ、表
面に汚れ５が付着したデバイス１のこのトレイ２上にお
ける搬送途中、上記溶剤を含む帯状布７を取り付けたロ
ーラ１０が、図３および図４に示すようにポケット２ａ
内に入り込む。

【００５３】このため、帯状布７はローラ１０により押
し付けられて、デバイス１の上面に接触し、バネ１４も
しくはアーム１１の支点１２よりローラ１０側に設けら
れたおもり（図示せず）により、そのデバイス１の上面
に所定の接触圧にて押し付けられる。

【００５４】この際、帯状布７はトレイ２の搬送方向と
逆方向に移動されているため、大きな相対速度にてデバ
イス１の上面に付着した汚れ５が効率的に拭き取られ
る。

【００５５】なお、上記ローラ１０が下方に下がりすぎ
ると、このローラ１０が搬送中のトレイ２に衝突する際
の衝撃が大きくなったり、トレイ２の搬送力が弱められ
たり、また、ローラ１０がデバイス１の一部を押え付け
た際に、そのデバイス１がトレイ２から飛び出すおそれ
があるが、これを抑制するため、この発明ではストッパ
１３によりローラ１０の下方位置、すなわちデバイス１
の上面からのローラ１０の押え込み量を調整できるよう
にしてある。

【００５６】また、ローラ１０の径が大きすぎると、ト
レイ２のポケット２ａ内にローラ１０が進入する際、デ
バイス１の上面に接触せず、デバイス１の上面の汚れ５
を拭き取ることができなくなるため、ここではデバイス
１の上面の全面にわって接触するような、小形のローラ
が用いられる。

【００５７】そして、図２に示すように、拭き取りユニ
ット９の各一のアーム１１が支点１２を中心に円滑に回
転可能となっているため、ローラ１０が上記Ｎ列の各デ
バイス１に対し独立して上下動し、このためトレイ２上
のＭ行×Ｎ列のどのデバイス１に対しても、それぞれの
各列のデバイス１の有無に従って、そのデバイス１上面
の汚れ５を確実に拭き取ることができる。

【００５８】また、図１において、ローラ１０部分にて
溶剤を含ませた帯状布７がデバイス１上面を拭き取る前
に、十分に帯状布７に溶剤が含まれているか否かを確認
するため、ノズル１７の先端と帯状布７との間に溶剤の
吐出を検知する溶剤検出手段としてのセンサーを設けた
り、ローラ１０の手前で帯状布７の幅方向の両端に溶剤
検出手段としての電極をあて、これらの電極間に流れる
電流の有無を検出したりすることにより確認することが
できる。このような確認を行うことで、常に安定したデ
バイス１の洗浄効果が得られる。

【００５９】すなわち、デバイス１上のすすなどの汚れ
５をアルコールを含む帯状布７等で拭き取る場合に、こ
れにアルコールが十分に含まれていなかったり、アルコ
ールが全くついていないと、デバイス１の表面上の汚れ
５が完全に除去できず、表面に残った汚れ５によりデバ
イス１上のマークが読み取りにくくなったり、読めなか
ったりする。

【００６０】また、アルコールが含まれておらず、乾い
た状態の帯状布７でデバイス表面をこすると静電気が発
生し、デバイス１が壊れるという不具合がある。そこ
で、溶剤であるアルコールが必要量含まれているかどう
かを確認する必要がある。

【００６１】図５〜図７は帯状布７にアルコールが十分
に含まれているかどうかを確認する装置の一例を示す。
１７はアルコール４１を帯状布７に塗布するディスペン
サーとしてのノズル、４２はノズル１７と帯状布７との
間に設けられ、図６にも示すように、ノズル１７からア
ルコール４１が吐出されているか否かを確認する検知手
段（溶剤検出手段）で、例えば光透過センサが用いられ
る。

【００６２】また、４３は図７にも示すように、帯状布
７の幅方向の両端に設けられた一組の電気対（溶剤検出
手段）であり、帯状布７が十分にアルコールで湿されて
いるかを電気対４３間の電流値によって検出する。アル
コール４１が吐出されていない場合や、帯状布７に十分
にアルコール４１が含まれていない場合は、デバイス１
の搬送を止めアラームを出し、作業者に知らせて必要な
処置をとらせる。

【００６３】実施例２．なお、上記実施例ではポケット
２ａ内のデバイス１の上面がトレイ２の上面と同一レベ
ルまたはこれより僅か低いレベルに位置させた場合につ
いて説明したが、薄型のデバイス１がトレイ２の上面よ
り深い位置に収納されているような場合は、ローラ１０
がデバイス１の上面の全面にわたり接触しなかったり、
またはごく一部にしか接触せず、このデバイス１の上面
の汚れ５を完全に拭き取ることができない。

【００６４】そこで、このような薄型のデバイス１の場
合には、図８に示すように、トレイ２の搬送面より下方
に、トレイ２のポケット２ａ内に収納されたデバイス１
を押し上げる、これと同数および対応形状の押し上げ治
具１８および位置決めピン１９を備えた押し上げユニッ
ト２０を設け、この押し上げユニット２０を図示しない
駆動装置によって、上下方向および搬送方向に動作可能
とすることにより、その薄型のデバイス１の洗浄を実施
可能にしている。

【００６５】すなわち、図８において、マーク位置４で
マーキングされたトレイ２上のデバイス１は、拭き取り
ユニット９に至る前に、そのトレイ２に予め形成された
押し上げ治具１８の挿通孔（図示しない）および図２０
に示すような位置決め孔２ｂに、下方より押し上げユニ
ット２０の上記押し上げ治具１８および位置決めピン１
９を通して上方に押し上げることにより、デバイス１の
上面をトレイ２の上面レベルまでもしくはこの上面レベ
ル以上のレベルに位置させる。

【００６６】そして、この押し上げ状態で、押し上げユ
ニット２０とトレイ２を搬送方向に移動し、上記実施例
１の場合と同様にして、帯状布７によりデバイス１の表
面の汚れを拭き取る。また、この拭き取りが終了した
ら、押し上げユニット２０を下降させ、デバイス１をト
レイ２へ戻す。

【００６７】また、このように下降させた押し上げユニ
ット２０は搬送方向と逆方向へ移動させ、次にマーキン
グされたデバイス１が収納された上記トレイ２の下方で
待機する。

【００６８】なお、上記実施例１ではローラ１０の幅は
トレイ２のポケット２ａの幅より小さくしたが、この実
施例ではデバイス１をトレイ２上面まで押し上げて拭き
取るため、ローラ１０の幅はトレイ２のポケット２ａの
幅より大きくてもよい。

【００６９】また、図９は図８をさらに詳しく示す斜視
図であり、同図において、２０は各種デバイス１を水平
方向および垂直方向に位置決めする押し上げ治具１８
が、トレイ２のポケット２ａと同数同配列で上面に突設
された上記の押し上げユニットで、位置決め孔２０ａお
よびローレットねじ２０ｂと、トレイ２の位置決め孔２
ｂに嵌合する位置決めピン１９が設けられている。

【００７０】また、押し上げ治具１８はトレイ２のポケ
ット２ａに下側から挿入自在となっており、デバイス１
の下面を支持する水平面１８ａと側面を支持する傾斜部
１８ｂとが複数本（ここでは４本）の突起部１８ｃの上
端に、図１０に示すように形成されている。

【００７１】さらに、２０ｅは押し上げユニット２０を
取り付けるベースで、押し上げユニット２０に設けられ
た位置決め孔２０ａに対応した位置決めピン２０ｃと押
し上げユニット２０を取り付け固定するねじ孔２０ｄが
設けられており、図示しない駆動装置によって上下方向
および搬送方向に動作可能である。

【００７２】上記押し上げユニット２０はベース２０ｅ
の位置決めピン２０ｃにより位置決めされ、ローレット
ねじ２０ｂをねじ孔２０ｄにねじ込むことにより固定さ
れる。そして、異なったデバイス１が収納された異なっ
たトレイ２を用いる場合は、デバイス１の形状およびト
レイ２のポケット２ａの数に応じた押し上げ治具１８を
備えた別の押し上げユニット（図示せず）を、ベース２
０ｅの位置決めピン２０ｃにより位置決めして取り付
け、ローレットねじ２０ｂにより固定することで容易に
交換することができる。

【００７３】実施例３．図１１は拭き取りユニット９の
他の実施例を示し、図において、２１はローラ１０の搬
送方向の下流位置に、デバイス１の長さ以下のピッチで
設けられた補助ローラであり、この補助ローラ２１はこ
れの下面位置がローラ１０の下面位置より高いレベルと
なるように備え付けられている。

【００７４】例えば、いま、デバイス１がトレイ２に収
納された状態（実施例１）もしくは押し上げ治具１８に
セットされた状態（実施例２）にて、帯状布７で表面の
汚れ５を拭き取る場合に、ローラ１０がデバイス１の端
面にかかり、デバイス１に働くモーメントの力で、この
デバイス１が、鎖線で示すように浮き上がろうとする場
合がある。

【００７５】しかしながら、このような場合でも、ロー
ラ１０より下流に設けられた補助ローラ２１がデバイス
１の浮き上りを押えることにより、デバイス１がトレイ
１および押し上げ治具１８から飛び出したり、浮き出し
たりすることがなくなり、従ってリード曲げ等の外観不
良が発生するのを防ぐことができる。

【００７６】なお、この実施例では補助ローラ２１をロ
ーラ１０の搬送方向の上流側に設けたものを示したが、
下流方向および下流方向のいずれまたは両方に設けても
よく、上記実施例と同様の効果を奏する。

【００７７】実施例４．また、上記実施例１において異
なったデバイス１が収納された異なったトレイ２を用い
る場合は、図１２および図１３に示すように、デバイス
１の幅より広くトレイ２のポケット２ａの幅より狭いロ
ーラ１０Ａを搬送方向に対し直角方向のトレイ２の列数
だけ備えた拭き取りユニット９を、図２に示した場合と
同様にして、装置の一部である取付ベース８に他と交換
可能に着脱できる構成とすることで、容易に段取り替え
が行える。

【００７８】また、実施例２においては、押し上げユニ
ット２０でトレイ２内のデバイス１をトレイ２上面まで
押し上げて拭き取るため、図１４および図１５に示すよ
うに、ローラ１０Ｂの幅はトレイ２のポケット２ａの寸
法より小さくする必要がなく、大きめのローラ１０Ｂを
備えた拭き取りユニット９を用いて拭き取りを行える。
この場合は、デバイス１やトレイ２が異なる品種の場合
でも拭き取りユニット９を交換する必要はない。

【００７９】また、トレイの搬送方向と直角方向の列数
が同じでデバイスの形状のみが異なる場合は、図２の拭
き取りユニット９の先端部分が異なる図１６に示すよう
な拭き取りユニット９を用いてもよい。図１６におい
て、３０はローラセグメント、１０はこのローラセグメ
ント３０に取り付けられたデバイス１の形状に応じたロ
ーラ、３０ａは位置決めシャフト孔、３０ｂは位置決め
ピン孔、３０ｃはプランジャーである。

【００８０】さらに、１１ａはローラセグメント３０の
位置決めシャフト孔３０ａに嵌合するようにアーム１１
に設けられた位置決めシャフトで、プランジャー３０ｃ
用の溝１１ｂがつけられている。１１ｃはローラセグメ
ント３０の位置決めピン孔３０ｂに嵌合する位置決めピ
ンである。

【００８１】そして、ローラセグメント３０の取り付け
は、アームの位置決めピン１１ｃにローラセグメント３
０の位置決めピン孔３０ｂが嵌合するように、位置決め
シャフト１１ａに位置決めピン孔３０ａを挿入するだけ
でよい。

【００８２】また、アーム１１とローラセグメント３０
はこのローラセグメント３０に設けられたプランジャー
３０ｃにより固定される。異なったデバイス１が収納さ
れた異なったトレイ２を用いる場合は、デバイス１の形
状に応じたローラ１０が取り付けられた別のローラセグ
メント３０のみを交換するだけでよく、交換部分がコン
パクトでコストも安くてすむ。

【００８３】実施例５．また、上記実施例１，２におい
ては、トレイ２、またはトレイ２および押し上げユニッ
ト２０を搬送方向に移動させ、これを拭き取りユニット
９のローラ１０の下を通過させることで、デバイス１の
表面の汚れ６を拭き取る場合について示したが、トレイ
２が停止中、または押し上げユニット２０によりデバイ
ス１をトレイ上面まで押し上げた状態にして、拭き取り
ユニット９を有する洗浄装置を搬送方向に移動させなが
らデバイス１の表面の汚れ６を拭き取るようにしてもよ
い。拭き取りユニット９が小形で、これの搬送系を簡単
に構成でき、かつ搬送スペースを十分に確保できる場合
や、上記押し上げユニット２０の搬送系が複雑となる場
合などに採用すると有利である。

【００８４】実施例６．なお、上記実施例１，２におい
ては、拭き取り部としての帯状布７はトレイ２の搬送方
向に対し、１箇所のみ設けたものを示したが、この帯状
布７を搬送方向に複数個設ければ拭き取り能力を向上さ
せることができ、従ってトレイ２の搬送速度を増すこと
もできる。

【００８５】実施例７．また、上記実施例１，２，３に
おいては、ローラ１０を支点１２を中心に回動可能なア
ーム１１に取り付けたものを示したが、図示しないガイ
ド部材に沿って垂直方向に上下動作するローラ支持部材
に、上記と同様のローラ１０を取り付けることで、該ロ
ーラ１０の下降時にデバイス１上面の拭き取りを、上記
実施例と同様にして実施できる。上下方向に動作可能な
ＬＭガイドに上記ローラ１０を取り付けてもよく、上記
実施例と同様の効果を奏する。

【００８６】実施例８．さらに、上記実施例１，２，３
においては、汚れ５を除去するために帯状布７を用いた
ものを示したが、拭き取り性能の良好なものであれば何
でもよく、例えばフェルト，軟質プラスチックフォー
ム，紙などの帯状材料を用いても、上記実施例と同様の
効果が得られる。

【００８７】実施例９．また、実施例１においては図１
に示すように帯状布供給部材８ａおよび帯状布巻取部材
８ｂを用いたものを示したが、これらを使用せずにエン
ドレス状の帯状洗浄部材としての帯状布およびこれを巻
装する例えば一対の回転ドラムを使用してもよい。この
場合、汚れ５により帯状布７が汚れて拭き取り能力が低
下するため、この帯状布７の汚れを洗い落すための帯状
布洗浄部（図示せず）を設けるようにする。

【００８８】実施例１０．なお、上記実施例１から９に
おいては帯状布７などをローラ１０や回転ドラムに取り
付けて拭き取りを行う場合を示したが、このような帯状
布７などを用いずに、図１７および図１８に示すよう
に、ローラ１０Ｃの外周面に布やフェルトなどの拭き取
り部材としての含浸部材７Ａを巻き付け、これにノズル
１７などによりアルコール等の溶剤を含ませ、このロー
ラ１０Ｃをトレイ２の搬送方向と逆方向に回転させた
り、あるいは静止状態にして、各デバイス１の上面に接
触させるようにしてもよく、これにより、デバイス１の
表面のすすなどの汚れ５を除去でき、上記実施例と同様
の効果を奏する。

【００８９】実施例１１．また、上記各実施例ではレー
ザーを用いたレーザーマーキング後に、デバイス１の表
面に付着した溶融物や炭化物のすすなどの汚れ５を拭き
取る場合について説明したが、デバイス１の表面の上記
レーザーマーキングなどによる汚れのみでなく、上記デ
バイス１上の通常の油脂や汚れをも拭き取れることはい
うまでもない。

【００９０】実施例１２．図１９はこの発明の他の実施
例によるレーザーマーキング装置の全体を示す平面図で
あり、同図において、２はデバイス１を収納するトレイ
であり、デバイス１の形状など種類のいかんに拘らず外
形寸法が同一のトレイ２を用い、このトレイ２の側部に
はデバイス収納用のポケット２ａに対応して、図２１に
示すものと同様の同数以上の位置決め孔２ｂが形成され
ている。

【００９１】また、２２はトレイ２を複数枚収納するマ
ガジン、２２ａはマガジン２２からトレイ２を供給する
ローダ部、２２ｂはマーキング後のトレイ２をマガジン
２２ｂへ収納するアンローダ部、２３はトレイ２の横送
り部、２４はトレイ２が滑走する固定定盤またはレール
（以下、滑走路という）であり、横送り部２３およびア
ンローダ部２２ｂ間に設けられている。

【００９２】さらに、２５ａ，２５ｂはトレイ２を保持
する搬送爪（図示せず）を有し、このトレイ２をＸ―Ｙ
方向へ搬送する搬送ユニットで、滑走路２４をはさんで
１組ずつ設けてある。２６はマーキング後のデバイス１
表面上の汚れを洗浄する洗浄手段である。

【００９３】２７ａ，２７ｂは搬送中のトレイ２内のデ
バイス１の有無を検知する検知手段で、この検知手段２
７ａ，２７ｂはマーキング位置４の上流側および下流側
に設けられている。２８はマーキング加工の前にデバイ
ス１の表面上のごみや静電気等を除去するエアーブロー
手段、２９はマーキング位置４でマーキング時に発生す
るすすを吸引する集塵ダクトである。

【００９４】次に動作について説明する。まず、ローダ
部２２ａにおいて、マガジン２２に収納されたトレイ２
を１枚ずつ送り出して、矢印Ｐ方向に搬送させ、横送り
部２３でトレイ２の搬送方向を矢印Ｑ方向に変える。

【００９５】このあと、トレイ２は滑走路２４上に載置
され、トレイ２の位置決め孔２ｂを用いて搬送ユニット
２５ａ，２５ｂの搬送爪によりトレイ２を保持し、この
トレイ２を滑走路２４に沿って、レーザー本体３がある
マーキング位置４まで矢印Ｒ方向に移動させる。

【００９６】そして、かかるトレイ２の搬送途中にこの
トレイ２内デバイス１が、エアーブロー手段２８により
表面上のゴミ等が除去される。また、搬送ユニット２５
ａ，２５ｂの搬送爪によりトレイ２をＸ―Ｙ方向にピッ
チ送りして、トレイ２内のデバイス１をマーキング位置
４に位置決めし、ここでレーザー本体３から照射された
レーザー光でデバイス１の表面に商標やロット番号のマ
ーキングを行う。そして、このマーキング時に発生し空
中に浮遊するすすは、集塵ダクト２９により吸引され
る。

【００９７】このようにマーキング前にデバイス１の表
面上のごみ等を除去し、マーキング時にすすを吸引する
ことにより、マーキングミスを防止できる。そして、こ
のマーキング終了後、搬送途中で洗浄手段２６により、
マーキング時にデバイス１の表面に付着した汚れを拭き
取る。また、洗浄後トレイ２はアンローダ部のマガジン
２２内へ収納される。

【００９８】なお、マーキング前に検知手段２７ａがデ
バイス１の有無およびデバイス１に対応する位置決め孔
２ｂを検知することにより、トレイ２内のどの位置にデ
バイス１が収納されているかの情報をレーザー本体３に
伝送し、この情報にもとづいて、レーザー光が照射さ
れ、デバイス１の表面に確実にマーキングが行われる。
マーキングおよび洗浄の完了後、検知手段２７ｂにより
トレイ２内のデバイス１の数を確認する。

【００９９】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、拭き取りユニットに、自動走行する洗浄用の帯状洗
浄部材をポケット内の被加工物の表面に接触させるロー
ラを設けるように構成したので、被加工物の表面のすす
や汚れをトレイから被加工物をとり出すことなく自動的
に効率よく除去することができ、従って、被加工物の洗
浄コストを低く抑えることができるとともに、品質の高
いマーキング加工を行うことができ、被加工物のリード
曲りや外観不良等の不具合の発生を防止できるものが得
られる効果がある。

【０１００】請求項２の発明によれば、トレイの下方に
あって、該トレイのポケット内にある被加工物をそのポ
ケットの上方に押し上げるように作動する押し上げユニ
ットを有し、さらに、自動走行する洗浄用の帯状洗浄部
材を上記押し上げユニットにより押し上げられた上記被
加工物の表面に接触させるローラを設けるように構成し
たので、被加工物がトレイのいかなる位置に収納されて
もすすなどの汚れを除去でき、高品質なマーキングが得
られるとともに、生産性の向上を図れるものが得られる
効果がある。

【０１０１】請求項３の発明によれば、トレイの搬送方
向に対して直交する方向に並置された複数のポケットに
対応配置され、かつ自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材
を上記各ポケット内の被加工物に独自に接触させる各一
のローラを設けるように構成したので、トレイの列方向
にある複数の被加工物上の汚れを同時に拭き取ることが
でき、従って、高品質なマークが効率的に得られ、生産
性の向上を図れるものが得られる効果がある。

【０１０２】請求項４の発明によれば、拭き取りユニッ
トを構成し、かつ自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材を
ポケット内の被加工物の表面に接触させるローラを設
け、該ローラに対して上記トレイの搬送方向の上流側ま
たは／および下流側に上記被加工物のポケットからの浮
き上がりを規制する補助ローラを設けるように構成した
ので、拭き取りの際に被加工物がトレイから外に飛び出
したり、リード曲げなどの外観不良の不具合が発生する
のを防止できるものが得られる効果がある。

【０１０３】請求項５の発明によれば、拭き取りユニッ
トに、自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材をポケット内
の被加工物の表面に接触させる所定のローラ径またはロ
ーラ幅を有するローラを設け、異なるローラ径またはロ
ーラ幅を有するローラを備えた上記拭き取りユニット
を、交換可能に構成したので、ローラ径やローラ幅を任
意に選択して、異なる種類の被加工物のための段取り替
えが容易に実施でき、生産性の向上とともに装置のコン
パクト化を図れるものが得られる効果がある。

【０１０４】請求項６の発明によれば、拭き取りユニッ
トに、溶剤を含ませた含浸部材を外周面に有するローラ
を設けたので、被加工物の表面に付着したすすなどの汚
れを溶剤を含ませたローラに接触させることで簡単に除
去できるものが得られる効果がある。

【０１０５】請求項７の発明によれば、帯状洗浄部材の
近傍に、溶剤を吐出させて該帯状洗浄部材に含ませる溶
剤吐出用のノズルを設置したので、溶剤を含ませた帯状
洗浄部材により被加工物の表面に付着したすすなどの汚
れを確実に除去できるものが得られる効果がある。

【０１０６】請求項８の発明によれば、トレイの下方に
あって、該トレイのポケット内にある被加工物をそのポ
ケットの上方に押し上げるように作動する押し上げユニ
ットと、上記拭き取りユニットを構成し、自動走行する
洗浄用の帯状洗浄部材を上記押し上げユニットにより押
し上げられた上記被加工物の表面に接触させるローラと
を設け、上記押し上げユニットを上記被加工物の形状お
よび数に応じて交換可能に構成したので、押し上げユニ
ットの段取り替えを容易に実施し、高品質のマーキング
および生産性の向上を図れるものが得られる効果があ
る。

【０１０７】請求項９の発明によれば、拭き取りユニッ
トを、被加工物を設置したトレイまたは被加工物を押し
上げる押し上げユニットに対し、上記被加工物の拭き取
りを行うように移動可能に設けたので、被加工物に対し
拭き取りユニットを移動させながら拭き取りを行えるも
のが得られる効果がある。

【０１０８】請求項１０の発明によれば、帯状洗浄部材
に溶剤が含まれているか否かを検出する溶剤検出手段
を、上記帯状洗浄部材の近傍にまたは直接接触するよう
に配置したので帯状洗浄部材に対して、必要量の溶剤を
常時含ませてあるかどうかを監視できるものが得られる
効果がある。

【０１０９】請求項１１の発明によれば、被加工物をポ
ケット内に収納可能で、外形寸法が同一の複数枚のトレ
イを収納したマガジンと、該マガジン内からトレイを一
枚ずつ送出するローダ部と、該ローダ部から送出された
上記トレイを搬送させるとともに、上記トレイ上の被加
工物を所定のマーキング位置に位置決めする搬送ユニッ
トと、該搬送ユニットにより位置決めされた被加工物に
レーザー光を照射してマーキングを行うレーザー本体と
を設け、該レーザー本体によりマーキングを行った上記
トレイ上の被加工物を洗浄手段により洗浄可能にし、上
記マーキング位置の上流側に設けたエアブロー手段によ
り、上記被加工物上のごみ，静電気を除去するように構
成したので、異なる種類の段取り替えが容易にでき、コ
ンパクト化，低価格化かつ高速化でき、スループットが
高く、高品質にて被加工物のマーキングおよび洗浄を実
現できるものが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１の発明の一実施例によるレーザーマー
キング装置を示す正面図である。

【図２】図１における拭き取りユニットの一実施例を示
す斜視図である。

【図３】図１における拭き取りユニットおよびトレイの
一部を拡大して示す正面断面図である。

【図４】図１における拭き取りユニットおよびトレイの
一部を拡大して示す側面断面図である。

【図５】図１における帯状布に含まれたアルコールを検
出するためのアルコール検出装置を示す斜視図である。

【図６】図５における検知手段付近を示す正面図であ
る。

【図７】図５における電極対付近を示す正面図である。

【図８】請求項２の発明の一実施例によるレーザーマー
キング装置を示す正面図である。

【図９】図８における押し上げユニットを詳細に示す斜
視図である。

【図１０】図９における押し上げ治具を拡大して示す斜
視図である。

【図１１】請求項４の発明の一実施例によるレーザーマ
ーキング装置の補助ローラおよびトレイの一部を示す正
面断面図である。

【図１２】この発明における拭き取りユニットの他の実
施例を示す斜視図である。

【図１３】図１１におけるローラとポケットとの関係を
示す正面図である。

【図１４】この発明における拭き取りユニットのさらに
他の実施例を示す斜視図である。

【図１５】図１２におけるローラとポケットとの関係を
示す正面図である。

【図１６】この発明における拭き取りユニットのまた他
の実施例を示す分解斜視図である。

【図１７】請求項６の発明の一実施例による拭き取り装
置を示す側面断面図である。

【図１８】図１６における拭き取り装置を示す正面断面
図である。

【図１９】請求項１１の発明の一実施例によるレーザー
マーキング装置を示す平面図である。

【図２０】従来のレーザーマーキング装置を示す概略正
面図である。

【図２１】図８におけるトレイの一例を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１デバイス（被加工物）２トレイ２ａポケット３レーザー本体７帯状布（帯状洗浄部材）９拭き取りユニット１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃローラ２０押し上げユニット２１補助ローラ２２マガジン２２ａローダ部２２ｂアンローダ部２３横送り部２４滑走路２５ａ，２５ｂ搬送ユニット２６洗浄手段２８エアーブロー手段４２検知手段（溶剤検出手段）４３電気対（溶剤検出手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トレイのポケット内に収納された被加工
物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により
行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工
物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニッ
トとを備えたレーザーマーキング装置において、上記拭
き取りユニットに、自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材
を上記ポケット内の被加工物の表面に接触させるローラ
を設けたことを特徴とするレーザーマーキング装置。
【請求項２】トレイのポケット内に収納された被加工
物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により
行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工
物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニッ
トとを備えたレーザーマーキング装置において、上記ト
レイの下方にあって、該トレイのポケット内にある被加
工物をそのポケットの上方に押し上げるように作動する
押し上げユニットと、上記拭き取りユニットを構成し、
自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材を上記押し上げユニ
ットにより押し上げられた上記被加工物の表面に接触さ
せるローラとを設けたことを特徴とするレーザーマーキ
ング装置。
【請求項３】トレイのポケット内に収納された被加工
物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により
行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工
物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニッ
トとを備えたレーザーマーキング装置において、上記ト
レイ上に、該トレイの搬送方向に対して直交する方向に
並置された複数のポケットに対応配置され、かつ自動走
行する洗浄用の帯状洗浄部材を上記各ポケット内の被加
工物の表面に独自に接触させる各一のローラを設けたこ
とを特徴とするレーザーマーキング装置。
【請求項４】トレイのポケット内に収納された被加工
物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により
行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工
物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニッ
トとを備えたレーザーマーキング装置において、上記拭
き取りユニットを構成し、かつ自動走行する洗浄用の帯
状洗浄部材を上記ポケット内の被加工物の表面に接触さ
せるローラと、該ローラに対して上記トレイの搬送方向
の上流側または／および下流側に配置され、上記被加工
物のポケットからの浮き上がりを規制する補助ローラと
を設けたことを特徴とするレーザーマーキング装置。
【請求項５】トレイのポケット内に収納された被加工
物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により
行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工
物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニッ
トとを備えたレーザーマーキング装置において、自動走
行する洗浄用の帯状洗浄部材を上記ポケット内の被加工
物の表面に接触させる所定のローラ径またはローラ幅を
有するローラを備えた上記拭き取りユニットを、ローラ
径またはローラ幅が異なるローラを備えた他の拭き取り
ユニットと交換可能にしたことを特徴とするレーザーマ
ーキング装置。
【請求項６】トレイのポケット内に収納された被加工
物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により
行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工
物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニッ
トとを備えたレーザーマーキング装置において、上記拭
き取りユニットに、溶剤を含ませた含浸部材を外周面に
有するローラを設けたことを特徴とするレーザーマーキ
ング装置。
【請求項７】帯状洗浄部材の近傍に、溶剤を吐出させ
て該帯状洗浄部材に含ませる溶剤吐出用のノズルを備え
た請求項１に記載のレーザーマーキング装置。
【請求項８】押し上げユニットを被加工物の形状およ
び数に応じて交換可能にした請求項２に記載のレーザー
マーキング装置。
【請求項９】拭き取りユニットを、被加工物を設置し
たトレイまたは被加工物を押し上げる押し上げユニット
に対し、上記被加工物の拭き取りを行うように移動可能
に設けた請求項１または請求項２に記載のレーザーマー
キング装置。
【請求項１０】帯状洗浄部材に溶剤が含まれているか
否かを検出する溶剤検出手段を、上記帯状洗浄部材の近
傍にまたは直接接触するように配置した請求項７に記載
のレーザーマーキング装置。
【請求項１１】被加工物をポケット内に収納可能で、
外形寸法が同一の複数枚のトレイを収納したマガジン
と、該マガジン内からトレイを一枚ずつ送出するローダ
部と、該ローダ部から送出された上記トレイを搬送させ
るとともに、上記トレイ上の被加工物を所定のマーキン
グ位置に位置決めする搬送ユニットと、該搬送ユニット
により位置決めされた被加工物にレーザー光を照射して
マーキングを行うレーザー本体と、該レーザー本体によ
りマーキングを行った上記トレイ上の被加工物を洗浄す
る洗浄手段と、上記マーキング位置の上流側にあって、
上記被加工物上のごみ，静電気を除去するエアブロー手
段とを備えたレーザーマーキング装置。