KR100353241B1 - 티에프티-엘씨디용 패널의 세정장치 - Google Patents

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Abstract

회전체 내에 TFT-LCD용 패널과 연속적으로 선접촉할 수 있는 초정밀 연마 테이프를 설치하여 X-Y 방향으로 이송함과 동시에 고속 회전시킴으로써, 종래의 세정장치와는 달리 칼날과 약품을 사용하지 않고서도 세정이 가능하며, 100μm이하의 오염물질을 제거할 수 있는 TFT-LCD의 패널 세정장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따르면, 고속으로 회전하는 회전체의 내부면 상부에 공급롤러와 권선롤러를 장착하고, 이들 사이에 연속적으로 이송되도록 배치된 초정밀 연마 테이프를 회전체 하단에 설치된 이송롤러로 안내하면서 연마 테이프의 표면이 TFT-LCD 패널의 상부면과 접촉하도록 유도하여 TFT-LCD 패널을 세정한다. 상기 초정밀 연마 테이프는 연마재를 폴리우레탄에 혼합하여 제조되며, 상기 TFT-LCD용 패널을 세정할 때 TFT-LCD용 패널로부터 제거되는 불순물을 포획할 수 있는 다수의 포켓이 형성되어 있다.

Description

티에프티-엘씨디용 패널의 세정장치{Apparatus for cleaning a panel of TFT-LCD}
본 발명은 TFT-LCD용 패널 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회전체 내에 TFT-LCD용 패널과 연속적으로 선접촉할 수 있는 연마 테이프를 설치하여 X-Y 방향으로 이송함과 동시에 고속 회전시킴으로써, 종래의 세정장치와는 달리 칼날과 약품을 사용하지 않고서도 세정이 가능하며, 100μm이하의 오염물질을 제거할 수 있는 TFT-LCD의 패널 세정장치에 관한 것이다.
첨부도면 도 4a 및 4b에는 종래의 TFT-LCD용 패널 세정장치의 헤드 어셈블리가 개략적으로 도시되어 있다.
도 4a 및 4b를 참조하면, 종래기술에 따른 TFT-LCD용 패널 세정장치의 헤드 어셈블리(10)는 TFT-LCD용 패널 세정장치의 작업대 상에서 일정 높이만큼 상방향으로 현수되어 설치되며 소정의 이송장치에 의해서 X-Y 방향으로 견인된다. 헤드 어셈블리(10)는 작업대를 횡방향으로 가로질러서 설치된 수평 프레임(12), 수평 프레임(12) 상부에 설치된 모터(14), 수평 프레임(12) 하부에 부착된 나이프 고정부(16)에 의해서 지지되고 있는 세정 나이프(18)를 구비한다.
이러한 구조의 헤드 어셈블리(10)는 TFT-LCD용 패널을 세정할 때, 작업대 상에서 상기 이송장치에 의하여 X-Y 방향으로 견인되면서 상기 모터(14)의 회전동력에 의해서 회전운동을 수행하게 된다. 이때, 세정 나이프(18)가 작업대 위에 로딩된 패널 표면을 쓸게된다.
그런데, 이와같은 구조의 헤드 어셈블리(10)를 채용하고 있는 패널 세정장치에서는, 세정 나이프(18)와 패널 표면의 밀착성이 낮아서 100μm 이하의 이물질 제거가 불가능하고, 세정 나이프(18)로 패널 표면을 세정할 때 오염물질들을 문질러서 더 확산시키는 부작용이 있다.
또한, 세정 나이프(18)의 평행도를 유지관리하기 위한 경로에 의해서 스크래치 등의 손상 발생가능성이 크고, 패널 표면의 외곽부 세정이 제대로 이루어지지 않으며, 누출율(불량) 방지 효과가 작다. 게다가, 순수와 IPA 용제를 사용해야 하고 세정 나이프(18)의 빈번한 교체가 요구되는 결점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 세정장치와는 달리 칼날과 약품을 사용하지 않고도 세정이 가능하며 100μm이하의 오염물질을 제거할 수 있는 TFT-LCD용 패널의 세정장치를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명에 따른 TFT-LCD용 패널의 세정장치를 개략적으로 나타낸 도면,
도 2는 도 1에 도시된 TFT-LCD용 패널 세정장치의 헤드 어셈블리를 개략적으로 나타낸 도면,
도 3은 도 1에 도시된 TFT-LCD 패널 세정장치의 작업대에서 패널이 고정되는 방식을 도식적으로 나타낸 도면, 그리고
도 4a 및 4b는 종래 기술에 따른 TFT-LCD용 패널 세정장치의 헤드 어셈블리를 개략적으로 나타낸 도면이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
10,80 : 헤드 어셈블리 18 : 세정 나이프
50 : TFT-LCD용 패널 세정장치 54 : 투입 롤러
56 : 배출 롤러 60 : 작업부
63 : 에어 분사구 64 : 작업대
65 : 물 분사구 66 : 정전기 방지대
68a,68b,68c,68d : TFT-LCD 패널 가이드 부재
70 : 헤드 이송장치 81 : 서보 모터
84 : 회전체 87 : 공급 롤러
88 : 제 1 검출 센서 90 : 권선 롤러
92 : 동기 모터 93a,93b,93c : 감속 기어
95 : 제 2 검출 센서 96 : 콘택 롤러
97 : 텐션 레버 P : TFT-LCD용 패널
T : 초정밀 연마 테이프
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은,
기저부, 상기 기저부 위에 마련된 롤러 지지부에 의해서 지지되면서 TFT-LCD 패널을 자동적으로 이송하는 다수의 투입롤러와 배출롤러, 상기 투입롤러와 상기 배출롤러 사이에 설치된 작업부를 구비하며, 상기 작업부는 상기 기저부로부터 상방향으로 연장된 다수의 수직 프레임 및 상기 수직 프레임들의 상부에서 횡방향으로 연장된 다수의 상부 프레임을 구비하고, 상기 상부 프레임 상에는 상기 TFT-LCD 패널을 직접적으로 세정하는 헤드 어셈블리를 X-Y 방향으로 이송시키기 위한 헤드 이송장치가 배치되며, 상기 헤드 어셈블리는 상기 상부 프레임에 이동가능하게 현수된, TFT-LCD용 패널 세정장치에 있어서,
상기 헤드 어셈블리는 회전 동력을 발생시키기 위한 서보 모터, 타이밍 벨트에 의해서 상기 서보 모터에 연결되고 상기 서보 모터로부터 회전동력을 전달받는 스핀들, 그리고 상기 스핀들 하부에 장착되어 상기 스핀들에 의해서 고속으로 회전하는 회전체를 구비하며, 상기 회전체의 내부면 상부에는 공급롤러가 장착되고, 상기 공급롤러에는 연마 테이프가 감겨지며, 상기 공급롤러의 아랫쪽에는 권선롤러가 배치되고, 상기 권선롤러에는 상기 공급롤러로부터 상기 권선롤러 쪽으로 공급되는 상기 연마 테이프의 일단부가 접속되며, 상기 권선롤러는 벨트에 의해서 상기 권선롤러 아랫쪽에 배치된 동기 모터에 연결되며,상기 회전체의 하단에는 이송롤러가 배치되고, 상기 헤드 어셈블리의 아랫쪽에 마련된 작업대의 바닥 주변부에는 다수의 에어 분사구와 물 분사구가 설치되며, 상기 에어 분사구와 상기 물 분사구 근처에서 상기 작업대 주변부에는 다수의 정전기 방지대가 장착된 것을 특징으로 하는 TFT-LCD용 패널 세정장치를 제공한다.
상기 연마 테이프는 연마재를 폴리우레탄에 혼합하여 제조되며, 상기 연마 테이프에는 상기 TFT-LCD용 패널을 세정할 때 상기 TFT-LCD용 패널로부터 제거되는 불순물을 포획할 수 있는 다수의 포켓이 형성된다.
이상에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 TFT-LCD용 패널의 세정장치는, TFT-LCD용 패널의 표면에 연마 테이프를 선접촉 시키기 때문에 밀착성이 향상되어 100μm이하의 작은 이물질도 제거할 수 있다. 또한, 연마 테이프를 우레탄 재질의 롤에 걸어서 그 이송과정을 동기 모터로 제어하기 때문에 세정과정중에 TFT-LCD용 패널의 손상이 발생하지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 TFT-LCD용 패널 세정장치를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 TFT-LCD용 패널 세정장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 TFT-LCD용 패널 세정장치(50)는 기저부(51), 기저부(51) 위에 마련된 롤러 지지부(52)에 의해서 지지되면서 TFT-LCD 패널(P)을 자동적으로 이송하는 다수의 투입롤러(54)와 배출롤러(56), 그리고 투입롤러(54)와 배출롤러(56) 사이에 설치된 작업부(60)를 구비한다.
작업부(60)는 기저부(51)에 장착되어 상방향으로 일정거리만큼 수직하게 연장된 다수의 수직 프레임(61), 수직 프레임(61)들의 상부에서 횡방향으로 연장된다수의 상부 프레임(62)을 구비한다. 상부 프레임(62) 상에는 TFT-LCD 패널(P)을 직접적으로 세정하는 헤드 어셈블리(80)를 X-Y 방향으로 이송시키기 위한 헤드 이송장치(70)가 배치된다. 헤드 어셈블리(80)는 상부 프레임(62)에 이송가능하게 현수되어 헤드 이송장치(70)에 의해서 X-Y 방향으로 자유로이 이송되면서 자체적으로 고속으로 회전운동을 수행한다.
도 2는 도 1에 도시된 TFT-LCD용 패널 세정장치의 헤드 어셈블리를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 헤드 어셈블리(80)는 주로 회전 동력을 발생시키기 위한 서보 모터(81), 타이밍 벨트(82)에 의해서 서보 모터(81)에 연결되고 서보 모터(81)로부터 회전동력을 전달받는 스핀들(83), 그리고 스핀들(83) 하부에 장착되어 스핀들(83)에 의해서 고속으로 회전하는 회전체(84)를 구비한다.
회전체(84)는 전체적으로 직사각형의 기둥형상을 가지며, 경첩(85)에 의해서 개폐가능하게 지지되는 덮개(86)를 구비한다. 덮개(86)에 의해서 폐쇄되는 회전체(84)의 내부면 상부에는 공급롤러(87)가 장착된다. 공급롤러(87)에는 수십μm의 연마재를 폴리우레탄에 혼합하여 만든 연마 테이프(T)가 감겨진다. 연마 테이프(T)에는 TFT-LCD용 패널(P)을 세정할 때 TFT-LCD용 패널(P)으로부터 제거되는 순간접착제와 같은 불순물을 포획할 수 있는 다수의 포켓이 형성되어 있다.
공급롤러(87)의 방사상 외측에는 제 1 검출 센서(88)가 배치된다. 제 1 검출 센서(88)는 공급롤러(87)의 외주부 근처에서 회전체(84)의 내부면 상부에 장착되고, 본 발명에 따른 세정장치(50)를 이용하여 TFT-LCD용 패널(P)을 세정할 때 공급롤러(87)에 감겨진 연마 테이프(T)가 공급롤러(87)로부터 풀려지는 정도를 감지한다.
회전체(84)의 내부에서 공급롤러(87)의 아랫쪽에는 권선롤러(90)가 배치된다. 권선롤러(90)는 공급롤러(87)로부터 공급되어 회전체(84) 내부를 순환하는 연마 테이프(T)를 최종적으로 감아서 수거하는 기능을 수행한다. 이를 위해서, 권선롤러(90)는 벨트(91)에 의해서 권선롤러(90) 아랫쪽에 배치된 동기 모터(92)에 연결된다. 동기 모터(92)는 벨트(91)를 통해서 연결된 권선롤러(90)를 회전구동시키는데, 회전체(84)의 내부면 상에서 동기 모터(92) 근처에 설치된 제 1 감속기어(93a)와 맞물린다. 제 1 감속기어(93a)는 제 1 감속기어(93a) 아랫쪽에 설치된 제 2 감속기어(93b)와 맞물리고, 제 2 감속기어(93b)는 제 2 감속기어(93b) 아랫쪽에 설치된 제 3 감속기어(93c)와 맞물린다. 동기 모터(92)는 이와같이 맞물리는 다수의 감속기어(93a,93b,93c)에 의해서 그 회전비가 적절하게 조절된다.
한편, 공급롤러(87)로부터 공급되는 연마 테이프(T)는 회전체(84)의 내부면 상에 돌출하여 형성된 다수의 회전핀(94a,94b,94c,94d)을 지나서 회전체(84) 하단에 배치된 이송롤러(96)로 안내된후, 다시 다수의 회전핀(94e,94f)을 지나서 권선롤러(90)까지 이송된다. 이송롤러(96)는 이송롤러(96)를 지나는 연마 테이프(T)의 표면이 TFT-LCD 패널(P)의 상부면과 접촉하도록 유도하는 기능을 수행한다. 회전체(84)의 하부에 설치된 제 2 회전핀(94b) 근처에는 제 2 검출 센서(95)가 배치된다. 제 2 검출 센서(95)는 공급롤러(87)에 감겨져서 이송되는 연마 테이프(T)가 지나가는 것을 감지하여 동기 모터(92)의 구동을 단속한다.
콘택 롤러(96)의 입구측에 위치한 제 4 회전핀(94d)에는 텐션 레버(97)가 설치된다. 텐션 레버(97)는 제 4 회전핀(94d) 쪽으로 진입하는 연마 테이프(T)를 눌러주어 적절한 텐션을 유지시킨다. 회전체(84)의 우측하부에 설치된 감속 기어(93c) 근처에는 테이프 고정부(98)가 설치된다. 테이프 고정부(98)는 감속 기어(93c) 부근을 지나는 연마 테이프(T)에 적절한 텐션을 부여하는 기능을 수행한다.
다시 도 1을 참조하면, 헤드 어셈블리(80)의 아랫쪽에 마련된 작업대(64)의 바닥 주변부에는 다수의 에어 분사구(63)와 물 분사구(65)가 설치된다. 물 분사구(65)는 연마 테이프(T)를 이용하여 TFT-LCD용 패널(P)을 세정할 때 TFT-LCD용 패널(P) 쪽으로 순수한 물을 살포하며, 에어 분사구(63)는 TFT-LCD용 패널(P)의 세정후에 TFT-LCD용 패널(P) 위에 남아있는 물을 공기를 이용하여 강제로 배출시킨다. 에어 분사구(63)와 물 분사구(65) 근처에서 작업대(64) 주변부에는 다수의 정전기 방지대(66)가 장착된다. 정전기 방지대(66)는 TFT-LCD 패널(P)의 세정작업시에 정전기가 발생되지 않게 한다.
도 3은 도 1에 도시된 TFT-LCD용 패널 세정장치의 작업대에서 패널이 고정되는 방식을 도식적으로 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 세정될 TFT-LCD 패널(P)이 도입되는 작업대(64)의 주변에는 세정시 TFT-LCD 패널(P)을 지지하여 보호하기 위한 다수의 가이드 부재(68a,68b,68c,68d)가 배치된다. 가이드 부재(68a,68b,68c,68d)는 TFT-LCD 패널(P) 상에 새겨진 데이터와 케이트 라인을 보호하기 위해서 파이버글래스(fiber glass)로 이루어진 것이다.
하기에서는 전술한 바와 같이 구성된 TFT-LCD용 패널 세정장치의 작동과정을 간단하게 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 일정크기로 절단된 TFT-LCD 패널(P)이 투입롤러(54)에 의해서 작업부(60) 쪽으로 도입된다. 작업부(60)의 작업대(64) 위로 TFT-LCD 패널(P)이 도입되면, TFT-LCD 패널(P)의 모서리부분에는 파이버 글래스로 이루어진 커버, 즉 가이드 부재(68a,68b,68c,68d)가 위치된다.
이때, 횡방향 가이드 부재(68a,68b)가 TFT-LCD 패널(P)쪽으로 정렬을 하고, 계속해서 종방향 가이드 부재(68c,68d)가 TFT-LCD 패널(P)쪽으로 이동하여 TFT-LCD 패널(P)을 지지한다.
헤드 어셈블리(80)를 구동시키면, 서보 모터(81)로부터 스핀들(83)로 회전동력이 인가되어 회전체(84)가 회전운동을 시작한다. 이와 동시에, 헤드 어셈블리(80)가 하강하고 회전체(84) 내에 구비된 연마 테이프(T)가 공급롤러(87)로부터 권선롤러(90)로 계속해서 이송되면서 콘택 롤러(96) 위치에서 TFT-LCD 패널(P)의 표면에 선접촉을 하게된다. 이때, 작업대(64)의 바닥면 부근에 설치된 물 분사구(65)로부터 TFT-LCD 패널(P) 쪽으로 순수한 물이 분사되며, 작업대(64) 윗쪽에 배치된 헤드 이송장치(70)에 의해서 헤드 어셈블리(80)가 X-Y 방향으로 이송된다.
이러한 과정을 통해서 TFT-LCD 패널(P)을 세정한 후에는 헤드 어셈블리(80)의 회전동작을 정지시키고, 헤드 어셈블리(80)를 TFT-LCD 패널(P)로부터 멀어지도록 승강시킨후, 작업대(64)의 에어 분사구(65)를 이용하여 TFT-LCD 패널(P)과 작업대(64) 바닥에 남겨진 물을 제거한 다음, 세정된 TFT-LCD 패널(P)을 배출 롤러(56)를 통해서 배출시킨다.
한편, 여러번에 걸친 세정작업을 수행하는 동안 공급롤러(87)에 감겨진 연마 테이프(T)가 공급롤러(87)로부터 거의 다 인출되면, 공급 롤러(87) 부근에 설치된 제 1 검출 센서(88)와 제 2 회전핀(94b) 근처에 설치된 제 2 검출 센서(95)의 작동에 의하여 동기 모터(92)가 자동적으로 동작을 정지하게 된다.
다시 말해서, 공급롤러(87)에 감겨진 연마 테이프(T)의 끝단부가 공급롤러(87)로부터 풀어져서 제 1 검출 센서(88) 위치를 지나가면, 제 1 검출 센서(88)가 이를 감지하여 별도로 마련된 제어장치(도시되지 않음)로 감지신호를 보낸다. 또한, 공급롤러(87)에서 풀어진 연마 테이프(T)의 끝단부가 제 2 회전핀(94b) 근처를 지나가면, 제 2 검출 센서(95)가 이를 감지하여 제어장치로 감지신호를 보낸다.
제어장치는 제 1 검출 센서(88)로부터 인가되는 검출신호를 받아서 동기 모터(92)로 정지 대기신호를 보내고 제 2 검출 센서(95)로부터 인가되는 검출신호를 받아서 동기 모터(92)로 정지신호를 보낸다. 그러면, 동기 모터(92)는 연마 테이프(T)가 제 2 검출 센서(95)를 지나는 순간 정지하게 되고, 이에 의해 연마 테이프(T)의 부재로 인하여 세정중인 TFT-LCD 패널(P)이 손상될 가능성은 근본적으로 제거된다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 TFT-LCD용 패널의 세정장치(50)는, TFT-LCD용 패널(P)의 표면에 연마 테이프(T)를 선접촉 시키기 때문에 밀착성이 향상되어 100μm이하의 작은 이물질도 제거할 수 있다. 또한, 연마 테이프(T)를 우레탄 재질의 롤에 걸어서 일정 압력을 레귤레이터로 제어하기 때문에 세정과정중에 TFT-LCD용 패널(P)의 손상이 발생하지 않는다.
게다가, TFT-LCD용 패널(P)의 사이드 가이드를 적용하여 외곽부까지 세정이 가능하고 세정효과가 탁월하다. 또한, 누출율 방지효과가 크고, 순수만을 사용하므로 용재에 대한 걱정이 없고, 연마 테이프(T)의 교체횟수가 적다. 끝으로, 연마 테이프(T)가 고속으로 회전하므로 연마 테이프(T)에 마련된 포켓에 이물질을 흡수하여 완전히 제거할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (5)

  1. 기저부(51), 상기 기저부(51) 위에 마련된 롤러 지지부(52)에 의해서 지지되면서 TFT-LCD 패널(P)을 자동적으로 이송하는 다수의 투입롤러(54)와 배출롤러(56), 상기 투입롤러(54)와 상기 배출롤러(56) 사이에 설치된 작업부(60)를 구비하며, 상기 작업부(60)는 상기 기저부(51)로부터 상방향으로 연장된 다수의 수직 프레임(61) 및 상기 수직 프레임(61)들의 상부에서 횡방향으로 연장된 다수의 상부 프레임(62)을 구비하고, 상기 상부 프레임(62) 상에는 상기 TFT-LCD 패널(P)을 직접적으로 세정하는 헤드 어셈블리(80)를 X-Y 방향으로 이송시키기 위한 헤드 이송장치(70)가 배치되며, 상기 헤드 어셈블리(80)는 상기 상부 프레임(62)에 이동가능하게 현수된, TFT-LCD용 패널 세정장치(50)에 있어서,
    상기 헤드 어셈블리(80)는 회전 동력을 발생시키기 위한 서보 모터(81), 타이밍 벨트(82)에 의해서 상기 서보 모터(81)에 연결되고 상기 서보 모터(81)로부터 회전동력을 전달받는 스핀들(83), 그리고 상기 스핀들(83) 하부에 장착되어 상기 스핀들(83)에 의해서 고속으로 회전하는 회전체(84)를 구비하며, 상기 회전체(84)의 내부면 상부에는 공급롤러(87)가 장착되고, 상기 공급롤러(87)에는 연마 테이프(T)가 감겨지며, 상기 공급롤러(87)의 아랫쪽에는 권선롤러(90)가 배치되고, 상기 권선롤러(90)에는 상기 공급롤러(87)로부터 상기 권선롤러(90) 쪽으로 공급되는 상기 연마 테이프(T)의 일단부가 접속되며, 상기 권선롤러(90)는 벨트(91)에 의해서 상기 권선롤러(90) 아랫쪽에 배치된 동기 모터(92)에 연결되며,상기회전체(84)의 하단에는 이송롤러(96)가 배치되고, 상기 헤드 어셈블리(80)의 아랫쪽에 마련된 작업대(64)의 바닥 주변부에는 다수의 에어 분사구(63)와 물 분사구(65)가 설치되며, 상기 에어 분사구(63)와 상기 물 분사구(65) 근처에서 상기 작업대(64) 주변부에는 다수의 정전기 방지대(66)가 장착된 것을 특징으로 하는 TFT-LCD용 패널 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 공급롤러(87)의 방사상 외측에는 제 1 검출 센서(88)가 배치되고, 상기 제 1 검출 센서(88)는 상기 공급롤러(87)의 외주부 근처에서 상기 회전체(84)의 내부면 상부에 장착되며, 상기 TFT-LCD용 패널 세정장치(50)를 이용하여 상기 TFT-LCD용 패널(P)을 세정할 때 상기 공급롤러(87)에 감겨진 상기 연마 테이프(T)가 상기 공급롤러(87)로부터 풀려지는 정도를 감지하며, 상기 동기 모터(92)는 상기 동기 모터(92) 근처에 설치된 다수의 감속수단에 의해서 그 회전비가 제어되고, 상기 이송롤러(96)는 상기 공급롤러(87)로부터 상기 권선롤러(90) 쪽으로 공급되는 상기 연마 테이프(T)를 안내하면서 상기 연마 테이프(T)의 표면이 상기 TFT-LCD 패널(P)의 상부면과 접촉하도록 유도하는 것을 특징으로 하는 TFT-LCD용 패널 세정장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 감속수단은, 상기 동기 모터(92) 아랫쪽에 설치된 제 1 감속기어(93a), 상기 제 1 감속기어(93a) 아랫쪽에 설치된 제 2 감속기어(93b), 그리고 상기 제 2 감속기어(93b) 아랫쪽에 설치된 제 3감속기어(93c)를 포함하며, 상기 제 1 감속기어(93a)는 상기 제 2 감속기어(93b)와 맞물리고, 상기 제 2 감속기어(93b)는 상기 제 3 감속기어(93c)와 맞물리며, 상기 제 3 감속 기어(93c) 근처에는 테이프 고정부(98)가 설치되고, 상기 테이프 고정부(98)는 상기 연마 테이프(T)가 상기 제 3 감속 기어(93c) 부근을 지날 때 상기 연마 테이프(T)에 적절한 텐션을 부여하는 것을 특징으로 하는 TFT-LCD용 패널 세정장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 회전체(84)의 내부면 상에는 다수의 회전핀 (94a,94b,94c,94d,94e,94f)이 돌출하여 형성되고, 상기 공급롤러(87)로부터 상기 권선롤러(90)로 공급되는 상기 연마 테이프(T)는 상기 회전핀 (94a,94b,94c,94d)을 지나서 상기 이송롤러(96)로 안내된후, 상기 회전핀(94e,94f)을 지나서 상기 권선롤러(90)까지 이송되며, 상기 회전체(84)의 하부에 설치된 상기 제 2 회전핀(94b) 근처에는 제 2 검출 센서(95)가 배치되고, 상기 제 2 검출 센서(95)는 상기 연마 테이프(T)가 지나가는 것을 감지하여 감지신호를 발생시키며, 상기 콘택 롤러(96)의 입구측에 위치한 상기 제 4 회전핀(94d)에는 텐션 레버(97)가 설치되며, 상기 텐션 레버(97)는 상기 제 4 회전핀(94d) 쪽으로 진입하는 상기 연마 테이프(T)를 눌러주어 적절한 텐션을 유지시키는 것을 특징으로 하는 TFT-LCD용 패널 세정장치.
  5. (정정)제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마 테이프(T)는 연마재를 폴리우레탄에 혼합하여 제조되며, 상기 연마 테이프(T)에는 상기 TFT-LCD용 패널(P)을 세정할 때 상기 TFT-LCD용 패널(P)으로부터 제거되는 불순물을 포획할 수 있는 다수의 포켓이 형성된 것을 특징으로 하는 TFT-LCD용 패널 세정장치.
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