JPH07215395A - 耐薬品性シートライニングタンク装置 - Google Patents
耐薬品性シートライニングタンク装置Info
- Publication number
- JPH07215395A JPH07215395A JP6026218A JP2621894A JPH07215395A JP H07215395 A JPH07215395 A JP H07215395A JP 6026218 A JP6026218 A JP 6026218A JP 2621894 A JP2621894 A JP 2621894A JP H07215395 A JPH07215395 A JP H07215395A
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- suction
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- pump
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 タンク内部に設けた耐薬品性シートライニン
グ内外の圧力バランスをとるための真空ポンプに吸引停
止あるいは吸引能力の低下等の事態が生じた際、それに
代る吸引圧力を保持させることができる耐薬品性シート
ライニング装置を提供する。 【構成】 タンク外缶１内に設けたライニングシート５
の内外圧力バランスをとるための真空吸引路を、モータ
Ｍで駆動する真空ポンプＡ、リザーブタンクＴ、電気弁
Ｓ1を主要部材として構成し、別にモータ駆動ポンプＭ
Ｐ、圧縮空気貯蔵タンクＡＴ、電気弁Ｓ2、エジェクタ
Ｅを主要部材とする真空吸引路を構成し、真空ポンプの
吸引停止あるいは吸引能力の低下が生じた際、圧力スイ
ッチＰＳ2の検知により、真空ポンプを停止させ、圧縮
空気で作動するエジェクタＥによるエジェクタポンプを
作動させる。
グ内外の圧力バランスをとるための真空ポンプに吸引停
止あるいは吸引能力の低下等の事態が生じた際、それに
代る吸引圧力を保持させることができる耐薬品性シート
ライニング装置を提供する。 【構成】 タンク外缶１内に設けたライニングシート５
の内外圧力バランスをとるための真空吸引路を、モータ
Ｍで駆動する真空ポンプＡ、リザーブタンクＴ、電気弁
Ｓ1を主要部材として構成し、別にモータ駆動ポンプＭ
Ｐ、圧縮空気貯蔵タンクＡＴ、電気弁Ｓ2、エジェクタ
Ｅを主要部材とする真空吸引路を構成し、真空ポンプの
吸引停止あるいは吸引能力の低下が生じた際、圧力スイ
ッチＰＳ2の検知により、真空ポンプを停止させ、圧縮
空気で作動するエジェクタＥによるエジェクタポンプを
作動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、化学薬品や溶剤などの
腐蝕性液体の貯槽、真空タンク、真空乾燥容器、減圧反
応容器等に使用される耐薬品性シートライニングタンク
装置の改良に関する。
腐蝕性液体の貯槽、真空タンク、真空乾燥容器、減圧反
応容器等に使用される耐薬品性シートライニングタンク
装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の耐薬品性シートライニン
グタンクとして、タンク内壁部にふっ素樹脂等の耐腐蝕
性シートを内張りしたものが多用されている。上記タン
ク内の耐腐蝕性シートは、一般に片面にガラスクロス等
の材料を融着し、そこに浸透性のあるゴム系接着剤を塗
布することにより、タンク内壁面に接着されている。上
記構成の耐薬品性シートライニングタンクにあっては、
タンク内へ薬液を真空吸引操作で入れたり、内部を減圧
状態にして使用したりする場合、タンク内部に生じる負
圧の吸引力により、ライニングシートの接着面が剥離
し、ライニングシートが部分的に内側へ膨らむ現象が発
生する。その現象は、初めは部分的に発生するが時間と
共に剥離の範囲が拡大し、最終的にはタンクが使用不能
になるといった事態にまで発展する。
グタンクとして、タンク内壁部にふっ素樹脂等の耐腐蝕
性シートを内張りしたものが多用されている。上記タン
ク内の耐腐蝕性シートは、一般に片面にガラスクロス等
の材料を融着し、そこに浸透性のあるゴム系接着剤を塗
布することにより、タンク内壁面に接着されている。上
記構成の耐薬品性シートライニングタンクにあっては、
タンク内へ薬液を真空吸引操作で入れたり、内部を減圧
状態にして使用したりする場合、タンク内部に生じる負
圧の吸引力により、ライニングシートの接着面が剥離
し、ライニングシートが部分的に内側へ膨らむ現象が発
生する。その現象は、初めは部分的に発生するが時間と
共に剥離の範囲が拡大し、最終的にはタンクが使用不能
になるといった事態にまで発展する。
【０００３】タンク内部の負圧によるライニングシート
剥離の防止対策として、ライニングシートをタンク内壁
面に接着しない（ルーズライニング）か、または全面に
接着剤を塗布せずに、部分的に接着し、タンク外缶に複
数個の吸引孔を設け、タンク内部減圧時に前記吸引孔を
真空ポンプに接続することにより、ライニングシート内
外の圧力をバランスさせ、ライニングシートの剥離を防
止する手段が設けられている。ここで、上記タンク外缶
の吸引孔に接続される真空ポンプは単体で、常時稼動し
ているか、もしくは吸引路に設けた感圧スイッチにより
断続的に制御されるようになっている。
剥離の防止対策として、ライニングシートをタンク内壁
面に接着しない（ルーズライニング）か、または全面に
接着剤を塗布せずに、部分的に接着し、タンク外缶に複
数個の吸引孔を設け、タンク内部減圧時に前記吸引孔を
真空ポンプに接続することにより、ライニングシート内
外の圧力をバランスさせ、ライニングシートの剥離を防
止する手段が設けられている。ここで、上記タンク外缶
の吸引孔に接続される真空ポンプは単体で、常時稼動し
ているか、もしくは吸引路に設けた感圧スイッチにより
断続的に制御されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記耐薬品性タンクの
ライニングシート内外の圧力をバランスさせる真空ポン
プ単体による真空吸引システムでは、例えば、突発的に
発生する停電や制御回路の故障による真空ポンプの停
止、または真空ポンプの機械的不具合による吸引圧力の
低下という事態が生じる場合がある。
ライニングシート内外の圧力をバランスさせる真空ポン
プ単体による真空吸引システムでは、例えば、突発的に
発生する停電や制御回路の故障による真空ポンプの停
止、または真空ポンプの機械的不具合による吸引圧力の
低下という事態が生じる場合がある。
【０００５】したがって前記真空ポンプ単体での真空吸
引システムでは、前述した事態が生じた場合、吸引の停
止、あるいは吸引能力の低下という現象となって現われ
る。通常、前記真空ポンプの吸引圧力はタンク内の負圧
以上としなければならず、吸引の停止や吸引能力の低下
により吸引圧力が徐々に低下し、タンク内の負圧に抗す
ることができなくなり、やがてライニングシートの剥離
を引き起こす。
引システムでは、前述した事態が生じた場合、吸引の停
止、あるいは吸引能力の低下という現象となって現われ
る。通常、前記真空ポンプの吸引圧力はタンク内の負圧
以上としなければならず、吸引の停止や吸引能力の低下
により吸引圧力が徐々に低下し、タンク内の負圧に抗す
ることができなくなり、やがてライニングシートの剥離
を引き起こす。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、前記耐薬品性シートライニン
グタンクに連通させた真空ポンプ単体に吸引停止、ある
いは吸引能力の低下等の事態が生じた際、それに代わる
吸引圧力を保持させることができるように構成した耐薬
品性シートライニングタンク装置を提供することを主た
る目的としている。
グタンクに連通させた真空ポンプ単体に吸引停止、ある
いは吸引能力の低下等の事態が生じた際、それに代わる
吸引圧力を保持させることができるように構成した耐薬
品性シートライニングタンク装置を提供することを主た
る目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による耐薬品性シ
ートライニングタンク装置は、タンク外缶とその内壁側
に設けたライニングシートの隙間を、タンク外缶に設け
た吸引孔部に連通させて成る耐薬品性シートライニング
タンクと、前記吸引孔部に連通された真空ポンプと、こ
の真空ポンプに並列になるように前記吸引孔部に連通さ
れ、圧縮空気供給部からの圧縮空気の供給によって真空
を発生させるエジェクタポンプと、前記真空ポンプの吸
引停止あるいは吸引力低下が生じたときに、それを検知
して前記真空ポンプを前記エジェクタポンプに自動的に
切換える制御手段とから成ることを要旨としている。前
記圧縮空気供給部としては、モータ駆動ポンプに圧縮空
気貯蔵タンクを組み合わせたもの、あるいはモータ駆動
ポンプが単独で用いられ、それらがエジェクタポンプに
接続される。
ートライニングタンク装置は、タンク外缶とその内壁側
に設けたライニングシートの隙間を、タンク外缶に設け
た吸引孔部に連通させて成る耐薬品性シートライニング
タンクと、前記吸引孔部に連通された真空ポンプと、こ
の真空ポンプに並列になるように前記吸引孔部に連通さ
れ、圧縮空気供給部からの圧縮空気の供給によって真空
を発生させるエジェクタポンプと、前記真空ポンプの吸
引停止あるいは吸引力低下が生じたときに、それを検知
して前記真空ポンプを前記エジェクタポンプに自動的に
切換える制御手段とから成ることを要旨としている。前
記圧縮空気供給部としては、モータ駆動ポンプに圧縮空
気貯蔵タンクを組み合わせたもの、あるいはモータ駆動
ポンプが単独で用いられ、それらがエジェクタポンプに
接続される。
【０００８】
【作用】上記構成の耐薬品性シートライニングタンク装
置にあっては、突発的な停電や真空ポンプの不具合によ
る吸引能力の低下が生じたとき、真空ポンプに代わって
圧縮空気供給部からの圧縮空気によるエジェクタポンプ
が自動的に作動し、吸引圧力は一定値に保持される。
置にあっては、突発的な停電や真空ポンプの不具合によ
る吸引能力の低下が生じたとき、真空ポンプに代わって
圧縮空気供給部からの圧縮空気によるエジェクタポンプ
が自動的に作動し、吸引圧力は一定値に保持される。
【０００９】
【実施例】図１〜図２に、本発明の一実施例を示す。図
１は、耐薬品性シートライニングタンクと、これに接続
された真空操作ユニットの構成を概略的に示したもので
ある。図１において、１はタンク本体を構成している金
属製の外缶、２は金属製の蓋板、３は液入れ口部、４は
排液口部、５，６は外缶および蓋板の内側にそれぞれ所
要の隙間をとるようにして配設されたふっ素樹脂等の耐
薬品ライニングシート、７は外缶および蓋板に設けられ
た吸引孔用ソケットである。前記真空操作ユニットは、
真空ポンプ系ユニットとエジェクタポンプ系ユニットと
の組み合わせから成る。
１は、耐薬品性シートライニングタンクと、これに接続
された真空操作ユニットの構成を概略的に示したもので
ある。図１において、１はタンク本体を構成している金
属製の外缶、２は金属製の蓋板、３は液入れ口部、４は
排液口部、５，６は外缶および蓋板の内側にそれぞれ所
要の隙間をとるようにして配設されたふっ素樹脂等の耐
薬品ライニングシート、７は外缶および蓋板に設けられ
た吸引孔用ソケットである。前記真空操作ユニットは、
真空ポンプ系ユニットとエジェクタポンプ系ユニットと
の組み合わせから成る。
【００１０】真空ポンプ系ユニットは、真空ポンプＡ、
その駆動モータＭ、チェック弁Ｖ1、リザーブタンク
Ｔ、電磁弁Ｓ1を主要な構成部材としている。ＰＳ1は前
記リザーブタンク側にあって、真空ポンプの吸引圧力を
感知し、設定された上限・下限値により切換え作動する
圧力スイッチ、ＰＳ2は、薬液タンク側にあって、タン
ク外缶とライニングシート間の圧力を感知して作動する
圧力スイッチである。
その駆動モータＭ、チェック弁Ｖ1、リザーブタンク
Ｔ、電磁弁Ｓ1を主要な構成部材としている。ＰＳ1は前
記リザーブタンク側にあって、真空ポンプの吸引圧力を
感知し、設定された上限・下限値により切換え作動する
圧力スイッチ、ＰＳ2は、薬液タンク側にあって、タン
ク外缶とライニングシート間の圧力を感知して作動する
圧力スイッチである。
【００１１】エジェクタポンプ系ユニットは、モータ駆
動ポンプＭＰ、そのポンプで得られた圧縮空気を貯蔵す
る圧縮空気貯蔵タンクＡＴ、電磁弁Ｓ2、エジェクタ
Ｅ、チェック弁Ｖ2を主要な構成部材としている。Ｆは
フィルターである。
動ポンプＭＰ、そのポンプで得られた圧縮空気を貯蔵す
る圧縮空気貯蔵タンクＡＴ、電磁弁Ｓ2、エジェクタ
Ｅ、チェック弁Ｖ2を主要な構成部材としている。Ｆは
フィルターである。
【００１２】図２は、前記真空操作ユニットの制御回路
の一例を示したもので、図１と同じ部材には共通符号が
付されている。なお、同図中、ＭＳはマグネットスイッ
チ、ｍｓはその励磁コイル、ＴＲはサーマルリレー、ｔ
ｒはその接点、Ｒ1〜Ｒ5はリレー、ｒ1〜ｒ5はその接
点、Ｌ1〜Ｌ3はランプ、ＳＷは電源スイッチ、ＳＷ1は
起動スイッチである。なお、前記エジェクタポンプ系ユ
ニットのモータ駆動ポンプＭＰは、独立した給電回路に
よって操作されるようになっている。
の一例を示したもので、図１と同じ部材には共通符号が
付されている。なお、同図中、ＭＳはマグネットスイッ
チ、ｍｓはその励磁コイル、ＴＲはサーマルリレー、ｔ
ｒはその接点、Ｒ1〜Ｒ5はリレー、ｒ1〜ｒ5はその接
点、Ｌ1〜Ｌ3はランプ、ＳＷは電源スイッチ、ＳＷ1は
起動スイッチである。なお、前記エジェクタポンプ系ユ
ニットのモータ駆動ポンプＭＰは、独立した給電回路に
よって操作されるようになっている。
【００１３】次に耐薬品性シートライニングタンクへの
真空操作を、図１の真空操作ユニットおよび図２の制御
回路に基づいて説明する。まず、起動に当って電源スイ
ッチＳＷをオンにすると、リレーＲ4の付勢により接点
ｒ4が閉じ、真空ポンプ側の電磁弁Ｓ1は開放状態とさ
れ、エジェクタポンプ側の電磁弁Ｓ2は閉成状態とされ
る。ここで起動スイッチＳＷ1をオンにすると、リレー
Ｒ1の付勢により接点ｒ1が閉じ、保持回路が形成され、
オン状態が保持される。同時に、リレーＲ1の付勢によ
りマグネットスイッチコイルｍｓが付勢され、スイッチ
ＭＳが閉じ、真空ポンプ用モータＭが起動し、真空ポン
プＡの駆動により、チェック弁Ｖ1−リザーブタンク
Ｔ、電磁弁Ｓ1−フィルターＦを経て、タンク外缶とラ
イニングシートの間の隙間に至る真空吸引路が形成され
る。
真空操作を、図１の真空操作ユニットおよび図２の制御
回路に基づいて説明する。まず、起動に当って電源スイ
ッチＳＷをオンにすると、リレーＲ4の付勢により接点
ｒ4が閉じ、真空ポンプ側の電磁弁Ｓ1は開放状態とさ
れ、エジェクタポンプ側の電磁弁Ｓ2は閉成状態とされ
る。ここで起動スイッチＳＷ1をオンにすると、リレー
Ｒ1の付勢により接点ｒ1が閉じ、保持回路が形成され、
オン状態が保持される。同時に、リレーＲ1の付勢によ
りマグネットスイッチコイルｍｓが付勢され、スイッチ
ＭＳが閉じ、真空ポンプ用モータＭが起動し、真空ポン
プＡの駆動により、チェック弁Ｖ1−リザーブタンク
Ｔ、電磁弁Ｓ1−フィルターＦを経て、タンク外缶とラ
イニングシートの間の隙間に至る真空吸引路が形成され
る。
【００１４】ここで、前記真空吸引路の吸引圧力が圧力
スイッチＰＳ1の上限設定値以上になると、圧力スイッ
チＰＳ1が作動し、接点が「下限」から「上限」に切り
換わり、モータＭは停止する。同時にリレーＲ2の付勢
により接点ｒ2が閉じ、上限表示ランプＬ2が点灯される
と共にリレーＲ3の付勢により保持回路が形成され、オ
ン状態が保持される。この状態になるまでに圧力スイッ
チＰＳ2の接点はオンになっているので、リレーＲ3が付
勢されても、リレーＲ4，Ｒ5は引き続き付勢状態が維持
される。このようにして真空ポンプ用モータＭのオン・
オフは圧力スイッチＰＳ1が切り換わることにより自動
的に制御される。
スイッチＰＳ1の上限設定値以上になると、圧力スイッ
チＰＳ1が作動し、接点が「下限」から「上限」に切り
換わり、モータＭは停止する。同時にリレーＲ2の付勢
により接点ｒ2が閉じ、上限表示ランプＬ2が点灯される
と共にリレーＲ3の付勢により保持回路が形成され、オ
ン状態が保持される。この状態になるまでに圧力スイッ
チＰＳ2の接点はオンになっているので、リレーＲ3が付
勢されても、リレーＲ4，Ｒ5は引き続き付勢状態が維持
される。このようにして真空ポンプ用モータＭのオン・
オフは圧力スイッチＰＳ1が切り換わることにより自動
的に制御される。
【００１５】次に前記真空ポンプＡの不具合により、吸
引圧力が低下し、圧力スイッチＰＳ2の下限設定値を下
回った場合は、圧力スイッチＰＳ2がオフとなり、リレ
ーＲ4，Ｒ5の消勢により接点ｒ4が開き、リレーＲ1の保
持回路が解除され、モータＭは直ちに停止し、真空ポン
プ側の電磁弁Ｓ1は閉成状態とされ、同時にエジェクタ
ポンプ側の電磁弁Ｓ2は開放状態とされるので、圧縮空
気貯蔵タンクＡＴの圧縮空気は電磁弁Ｓ2を経てエジェ
クタＥに供給され、圧縮空気の供給に比例した吸引圧力
が発生し、チェック弁Ｖ2−フィルターＦを経て、タン
ク外缶とライニングシートの間の隙間に至る真空吸引路
が新たに形成され、吸引力は一定値に保持される。これ
と同時に吸引圧力低下の警報表示ランプＬ3が点灯され
ると共に遠隔モニタ用接点がオン（閉成）される。
引圧力が低下し、圧力スイッチＰＳ2の下限設定値を下
回った場合は、圧力スイッチＰＳ2がオフとなり、リレ
ーＲ4，Ｒ5の消勢により接点ｒ4が開き、リレーＲ1の保
持回路が解除され、モータＭは直ちに停止し、真空ポン
プ側の電磁弁Ｓ1は閉成状態とされ、同時にエジェクタ
ポンプ側の電磁弁Ｓ2は開放状態とされるので、圧縮空
気貯蔵タンクＡＴの圧縮空気は電磁弁Ｓ2を経てエジェ
クタＥに供給され、圧縮空気の供給に比例した吸引圧力
が発生し、チェック弁Ｖ2−フィルターＦを経て、タン
ク外缶とライニングシートの間の隙間に至る真空吸引路
が新たに形成され、吸引力は一定値に保持される。これ
と同時に吸引圧力低下の警報表示ランプＬ3が点灯され
ると共に遠隔モニタ用接点がオン（閉成）される。
【００１６】次に前記真空ポンプ系ユニットに停電が発
生した場合は、圧力スイッチＰＳ2により、真空ポンプ
側の電磁弁Ｓ1が閉成状態とされ、エジェクタポンプ側
の電磁弁Ｓ2が開放状態とされ、圧縮空気貯蔵タンクＡ
Ｔの圧縮空気が電磁弁Ｓ2を経てエジェクタＥに供給さ
れ、瞬時に圧縮空気の流量に比例した吸引圧力が発生す
るので、タンク外缶の吸引圧力の低下を招くことはな
い。
生した場合は、圧力スイッチＰＳ2により、真空ポンプ
側の電磁弁Ｓ1が閉成状態とされ、エジェクタポンプ側
の電磁弁Ｓ2が開放状態とされ、圧縮空気貯蔵タンクＡ
Ｔの圧縮空気が電磁弁Ｓ2を経てエジェクタＥに供給さ
れ、瞬時に圧縮空気の流量に比例した吸引圧力が発生す
るので、タンク外缶の吸引圧力の低下を招くことはな
い。
【００１７】前記実施例では、圧縮空気供給部としてモ
ータ駆動ポンプでつくった圧縮空気を貯蔵タンクを介し
てエジェクタポンプ側に供給するシステムを適用してい
るが、貯蔵タンクを省いてモータ駆動ポンプをエジェク
タポンプ側に直接接続するシステムを適用することがで
きる。なお、前者の圧縮空気供給部の場合、万一、モー
タ駆動ポンプが停電あるいは故障で停止したとき、貯蔵
タンクと空気配管の残存空気により、短時間でもタンク
側の吸引力を保持できる利点がある。
ータ駆動ポンプでつくった圧縮空気を貯蔵タンクを介し
てエジェクタポンプ側に供給するシステムを適用してい
るが、貯蔵タンクを省いてモータ駆動ポンプをエジェク
タポンプ側に直接接続するシステムを適用することがで
きる。なお、前者の圧縮空気供給部の場合、万一、モー
タ駆動ポンプが停電あるいは故障で停止したとき、貯蔵
タンクと空気配管の残存空気により、短時間でもタンク
側の吸引力を保持できる利点がある。
【００１８】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
真空ポンプまたはその周辺で発生する電気的な原因、例
えば電気ケーブルの断線、接続端子の緩み、スイッチの
故障等の予測できない事故が突発的に発生し、真空ポン
プ系による吸引圧力の停止あるいは吸引圧力の低下を招
いた際、それに代わって圧縮空気供給部に接続されてい
るエジェクタポンプ系が作動するので、前記事故発生に
よる耐薬品線シートライニングタンクにおけるシートの
膨らみや剥離を確実に防止することができる。特に本発
明によれば、真空ポンプ系をバックアップするエジェク
タポンプ系に必要な圧縮空気供給部は工場内の圧縮空気
設備を利用して設けることができ、エジェクタ自体も構
造が簡単なものであることから、真空ポンプ系の故障に
確実に対処できる耐薬品性シートライニングタンク装置
を安価に得ることができる。
真空ポンプまたはその周辺で発生する電気的な原因、例
えば電気ケーブルの断線、接続端子の緩み、スイッチの
故障等の予測できない事故が突発的に発生し、真空ポン
プ系による吸引圧力の停止あるいは吸引圧力の低下を招
いた際、それに代わって圧縮空気供給部に接続されてい
るエジェクタポンプ系が作動するので、前記事故発生に
よる耐薬品線シートライニングタンクにおけるシートの
膨らみや剥離を確実に防止することができる。特に本発
明によれば、真空ポンプ系をバックアップするエジェク
タポンプ系に必要な圧縮空気供給部は工場内の圧縮空気
設備を利用して設けることができ、エジェクタ自体も構
造が簡単なものであることから、真空ポンプ系の故障に
確実に対処できる耐薬品性シートライニングタンク装置
を安価に得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示すもので、真空操作ユニ
ットを設けた耐薬品性シートライニングタンク装置の構
成図である。
ットを設けた耐薬品性シートライニングタンク装置の構
成図である。
【図２】真空操作ユニットの制御回路図である。
１ タンク外缶 ２ タンクの蓋板 ３ 液入れ口部 ４ 排液口部 ５，６ ライニングシート ７ 吸引孔用ソケット ８ 配管 Ａ 真空ポンプ Ｍ モータ Ｖ1，Ｖ2 チェック弁 Ｔ リザーブタンク Ｓ1，Ｓ2 電磁弁 Ｅ エジェクタ ＰＳ1，ＰＳ2 圧力スイッチ ＭＰ モータ駆動ポンプ ＡＴ 圧縮空気貯蔵タンク Ｆ フィルター ＭＳ マグネットスイッチ ｍｓ コイル ＴＲ サーマルリレー ｔｒ 接点 Ｒ1〜Ｒ5 リレー ｒ1〜ｒ5 接点 Ｌ1〜Ｌ3 警告表示ランプ
Claims (2)
- 【請求項１】 タンク外缶とその内壁側に設けたライニ
ングシートの隙間を、タンク外缶に設けた吸引孔部に連
通させて成る耐薬品性シートライニングタンクと、前記
吸引孔部に連通された真空ポンプと、この真空ポンプに
並列になるように前記吸引孔部に連通され、圧縮空気供
給部からの圧縮空気の供給によって真空を発生させるエ
ジェクタポンプと、前記真空ポンプの吸引停止あるいは
吸引力低下が生じたときに、それを検知して前記真空ポ
ンプを前記エジェクタポンプに自動的に切換える制御手
段とから成ることを特徴とする耐薬品性シートライニン
グタンク装置。 - 【請求項２】 前記圧縮空気供給部が、モータ駆動ポン
プに圧縮空気貯蔵タンクに組み合わせたもの、あるいは
モータ駆動ポンプ単体で構成されている請求項１に記載
の耐薬品性シートライニングタンク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6026218A JPH07215395A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 耐薬品性シートライニングタンク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6026218A JPH07215395A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 耐薬品性シートライニングタンク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07215395A true JPH07215395A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=12187269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6026218A Pending JPH07215395A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 耐薬品性シートライニングタンク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07215395A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009179335A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 貯蔵タンク、その制御方法及び半導体装置の製造方法 |
| CN109229777A (zh) * | 2018-07-09 | 2019-01-18 | 南京氟源化工管道设备有限公司 | 一种耐真空内衬ptfe容器及其制作工艺 |
-
1994
- 1994-01-28 JP JP6026218A patent/JPH07215395A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009179335A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 貯蔵タンク、その制御方法及び半導体装置の製造方法 |
| CN109229777A (zh) * | 2018-07-09 | 2019-01-18 | 南京氟源化工管道设备有限公司 | 一种耐真空内衬ptfe容器及其制作工艺 |
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