JPH07209514A - カラーフィルタ - Google Patents
カラーフィルタInfo
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- JPH07209514A JPH07209514A JP671294A JP671294A JPH07209514A JP H07209514 A JPH07209514 A JP H07209514A JP 671294 A JP671294 A JP 671294A JP 671294 A JP671294 A JP 671294A JP H07209514 A JPH07209514 A JP H07209514A
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- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明のカラーフィルタは、アンダーコート
層の少なくとも一部が除去されていることを特徴とす
る。 【効果】 配向膜形成時の加熱工程の際に、厚さを薄く
した部分のアンダーコート層からアウトガスが逃げやす
くなる。その結果、配向膜形成時の加熱工程の際の突沸
現象や層中の泡の発生を防止できる。
層の少なくとも一部が除去されていることを特徴とす
る。 【効果】 配向膜形成時の加熱工程の際に、厚さを薄く
した部分のアンダーコート層からアウトガスが逃げやす
くなる。その結果、配向膜形成時の加熱工程の際の突沸
現象や層中の泡の発生を防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子等のカラ
ーフィルタに関する。
ーフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般の単純マトリクス型液晶表示装置に
用いるカラーフィルタを、図６を用いて以下に説明す
る。カラーフィルタ１８は、透明基板１１上に遮光層１
７、着色層１２、第１被膜１３、第２被膜１４、所定の
形状にパターニングされた透明電極１５が順次形成され
ている。前記第１被膜１３は着色層に対するオーバーコ
ート層であり、前記第２被膜１４は透明電極１５に対す
るアンダーコート層である。以下、文中では、第１被膜
１３をオーバーコート層１３，第２被膜１４をアンダー
コート層１４と表わす。
用いるカラーフィルタを、図６を用いて以下に説明す
る。カラーフィルタ１８は、透明基板１１上に遮光層１
７、着色層１２、第１被膜１３、第２被膜１４、所定の
形状にパターニングされた透明電極１５が順次形成され
ている。前記第１被膜１３は着色層に対するオーバーコ
ート層であり、前記第２被膜１４は透明電極１５に対す
るアンダーコート層である。以下、文中では、第１被膜
１３をオーバーコート層１３，第２被膜１４をアンダー
コート層１４と表わす。
【０００３】製造方法としてはまず、透明基板１１例え
ば、ソーダライムガラスからなる透明基板１１上にフォ
トリソ法等によりストライプ状の遮光層１７を形成す
る。その後、遮光層１７の間に印刷法や顔料分散法等に
よりＲ，Ｇ，Ｂ各々の着色層１２を形成し、この着色層
１２上に、オーバーコート層１３、ケイ素の酸化物から
なるアンダーコート層１４を、順次形成する。このアン
ダーコート層１４上に、インジウムと錫の酸化物からな
る透明電極１５をスパッタ法により形成し、この透明電
極をフォトリソ法により、上記ストライプ形状の遮光層
１７及び着色層１２と直交するようなストライプ状の透
明電極１５をパターン形成する。
ば、ソーダライムガラスからなる透明基板１１上にフォ
トリソ法等によりストライプ状の遮光層１７を形成す
る。その後、遮光層１７の間に印刷法や顔料分散法等に
よりＲ，Ｇ，Ｂ各々の着色層１２を形成し、この着色層
１２上に、オーバーコート層１３、ケイ素の酸化物から
なるアンダーコート層１４を、順次形成する。このアン
ダーコート層１４上に、インジウムと錫の酸化物からな
る透明電極１５をスパッタ法により形成し、この透明電
極をフォトリソ法により、上記ストライプ形状の遮光層
１７及び着色層１２と直交するようなストライプ状の透
明電極１５をパターン形成する。
【０００４】このようなカラーフィルタ１８上に、液晶
表示素子としたときに所定の向きに液晶を配向させるた
めに、配向膜材料を塗布し約２６０℃で焼成して配向膜
（図示せず）を形成する。
表示素子としたときに所定の向きに液晶を配向させるた
めに、配向膜材料を塗布し約２６０℃で焼成して配向膜
（図示せず）を形成する。
【０００５】以上のようなカラーフィルタの製造工程に
は、着色層形成工程の前，オーバーコート層形成工程の
前後，透明電極形成の後にそれぞれ水洗浄工程が含まれ
ている。
は、着色層形成工程の前，オーバーコート層形成工程の
前後，透明電極形成の後にそれぞれ水洗浄工程が含まれ
ている。
【０００６】上記オーバーコート層には、有機樹脂例え
ばアクリル樹脂，エポキシ樹脂などが用いられ、オーバ
ーコート層は着色層の保護及び平坦化を目的に形成され
ている。また、上記アンダーコート層には、無機材料例
えばケイ素の酸化物，ケイ素の窒化物等が用いられ、ス
パッタ法により成長される。このアンダーコート層の存
在により透明電極形成時の着色層等からのアウトガスの
発生を防止して、透明電極の結晶構造を均一化して膜質
が安定し、次工程のパターニングにおけるエッジむらが
なくなりエッジのきれが良くなる。
ばアクリル樹脂，エポキシ樹脂などが用いられ、オーバ
ーコート層は着色層の保護及び平坦化を目的に形成され
ている。また、上記アンダーコート層には、無機材料例
えばケイ素の酸化物，ケイ素の窒化物等が用いられ、ス
パッタ法により成長される。このアンダーコート層の存
在により透明電極形成時の着色層等からのアウトガスの
発生を防止して、透明電極の結晶構造を均一化して膜質
が安定し、次工程のパターニングにおけるエッジむらが
なくなりエッジのきれが良くなる。
【０００７】ここでアウトガスとは、透明電極よりも先
に形成した層に残留した水分が透明電極形成時の加熱工
程で蒸発したものである。透明電極よりも先に形成した
層に水分が残留する理由として、以下のようなことが推
定できる。即ち、カラーフィルタ形成工程中の水洗浄工
程において遮光層，着色層，オーバーコート層のうち少
なくとも１つの層が水分を吸収する場合、製造工程時の
雰囲気中の水分を遮光層，着色層，オーバーコート層の
うち少なくとも１つの層が吸収する場合などが考えられ
る。
に形成した層に残留した水分が透明電極形成時の加熱工
程で蒸発したものである。透明電極よりも先に形成した
層に水分が残留する理由として、以下のようなことが推
定できる。即ち、カラーフィルタ形成工程中の水洗浄工
程において遮光層，着色層，オーバーコート層のうち少
なくとも１つの層が水分を吸収する場合、製造工程時の
雰囲気中の水分を遮光層，着色層，オーバーコート層の
うち少なくとも１つの層が吸収する場合などが考えられ
る。
【０００８】オーバーコート層はアウトガスの通過性が
良いので、このようなアウトガスを防止するアンダーコ
ート層をオーバーコート層上に形成することによって、
アウトガスを遮り、透明電極形成時のアウトガスの影響
をなくし結晶構造の均一な透明電極を得ることができ
る。
良いので、このようなアウトガスを防止するアンダーコ
ート層をオーバーコート層上に形成することによって、
アウトガスを遮り、透明電極形成時のアウトガスの影響
をなくし結晶構造の均一な透明電極を得ることができ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、透明電極のパ
ターン形成後の配向膜形成における配向膜材料塗布後の
加熱工程の際、アンダーコート層に遮られていたアンダ
ーコート層より先に形成された層に残留した水分が突沸
して、着色層，オーバーコート層，アンダーコート層等
が破裂したり、突沸までにはいたらないが層中に泡が発
生したりするときがある。本発明は上記事情に鑑みなさ
れたもので、配向膜形成時の加熱工程の際におきる上記
のような突沸現象や泡の発生を防止することを目的とす
る。
ターン形成後の配向膜形成における配向膜材料塗布後の
加熱工程の際、アンダーコート層に遮られていたアンダ
ーコート層より先に形成された層に残留した水分が突沸
して、着色層，オーバーコート層，アンダーコート層等
が破裂したり、突沸までにはいたらないが層中に泡が発
生したりするときがある。本発明は上記事情に鑑みなさ
れたもので、配向膜形成時の加熱工程の際におきる上記
のような突沸現象や泡の発生を防止することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
は、透明基板上に着色層が形成され、この着色層上に第
１被膜，第２被膜，所定の形状にパターニングされた透
明電極が順次形成され、前記パターニングにより透明電
極が除去されている部分の第２被膜の少なくとも一部が
除去されていることを特徴とする。
は、透明基板上に着色層が形成され、この着色層上に第
１被膜，第２被膜，所定の形状にパターニングされた透
明電極が順次形成され、前記パターニングにより透明電
極が除去されている部分の第２被膜の少なくとも一部が
除去されていることを特徴とする。
【００１１】
【作用】配向膜を形成する工程より前の工程で、第２被
膜の一部の厚さを薄くするので、配向膜形成時の加熱工
程の際に厚さを薄くした部分の第２被膜からアウトガス
が逃げやすくなる。その結果、配向膜形成時の加熱工程
の際の突沸現象や層中に泡が発生することを防止でき
る。
膜の一部の厚さを薄くするので、配向膜形成時の加熱工
程の際に厚さを薄くした部分の第２被膜からアウトガス
が逃げやすくなる。その結果、配向膜形成時の加熱工程
の際の突沸現象や層中に泡が発生することを防止でき
る。
【００１２】
【実施例】本実施例のカラーフィルタの構造を図１、図
２、図３を用いて説明する。尚、図中では従来と同一箇
所には同一符号を付してある。図１に示すように、本実
施例のカラーフィルタは透明基板１１上に遮光層１７，
着色層１２，第１被膜１３，第２被膜１４，パターニン
グされた透明電極１５が形成されており、透明電極が形
成されていない部分の第２被膜１４は除去されている。
前記第１被膜１３は着色層に対するオーバーコート層で
あり、前記第２被膜１４は透明電極１５に対するアンダ
ーコート層である。以下、文中では、第１被膜１３をオ
ーバーコート層１３，第２被膜１４をアンダーコート層
１４と表わす。尚、図２は図１のカラーフィルタ１８に
配向膜を形成し、線１−１で切った状態を示す横断面
図、図３は図１のカラーフィルタに配向膜を形成し、線
２−２で切った状態を示す横断面図である。
２、図３を用いて説明する。尚、図中では従来と同一箇
所には同一符号を付してある。図１に示すように、本実
施例のカラーフィルタは透明基板１１上に遮光層１７，
着色層１２，第１被膜１３，第２被膜１４，パターニン
グされた透明電極１５が形成されており、透明電極が形
成されていない部分の第２被膜１４は除去されている。
前記第１被膜１３は着色層に対するオーバーコート層で
あり、前記第２被膜１４は透明電極１５に対するアンダ
ーコート層である。以下、文中では、第１被膜１３をオ
ーバーコート層１３，第２被膜１４をアンダーコート層
１４と表わす。尚、図２は図１のカラーフィルタ１８に
配向膜を形成し、線１−１で切った状態を示す横断面
図、図３は図１のカラーフィルタに配向膜を形成し、線
２−２で切った状態を示す横断面図である。
【００１３】次に、図４を用いて本実施例のカラーフィ
ルタ１８の製造方法について説明する。尚、図４は、本
実施例の製造工程を、図１の線１−１の方向でカラーフ
ィルタ１８を切った場合の製造工程を表わす。
ルタ１８の製造方法について説明する。尚、図４は、本
実施例の製造工程を、図１の線１−１の方向でカラーフ
ィルタ１８を切った場合の製造工程を表わす。
【００１４】図４（ａ）に示すように、ケイ素の酸化物
がコートしてあるソーダライムガラスからなる透明基板
１１上に黒色顔料を含む樹脂を塗布，乾燥し、その後フ
ォトリソ方式でストライプ状にパターニングし、遮光層
（図示せず）を形成する。遮光層が形成された透明基板
１１を水洗浄し乾燥した後、このストライプ状の遮光層
の間にＲ，Ｇ，Ｂの着色層１２を印刷法により形成し
た。その後、着色層１２が形成された透明基板上のゴミ
等の異物を取り除くため水洗浄を行なった。次に、着色
層の表面を研磨した後、研磨に用いた砥粒を落とすため
水洗浄を行ない、乾燥した。次に、着色層の保護と表面
の平滑性を得るため、有機樹脂例えばアクリル樹脂を主
成分とする材料からなるオーバーコート層材料を、スピ
ンコート法により着色層１２上に形成し、約２５０℃で
加熱してオーバーコート層１３を得た。その後、このオ
ーバーコート層１３上にスパッタ法により１００〜３０
０オングストローム、例えば２００オングストロームの
厚さの無機材料例えばケイ素の酸化物からなるアンダー
コート層１４を形成し、このアンダーコート層１４上に
スパッタ法により２００〜３０００オングストローム、
例えば１５００オングストロームの厚さのインジウムと
錫の酸化物からなる透明電極１５を形成した。
がコートしてあるソーダライムガラスからなる透明基板
１１上に黒色顔料を含む樹脂を塗布，乾燥し、その後フ
ォトリソ方式でストライプ状にパターニングし、遮光層
（図示せず）を形成する。遮光層が形成された透明基板
１１を水洗浄し乾燥した後、このストライプ状の遮光層
の間にＲ，Ｇ，Ｂの着色層１２を印刷法により形成し
た。その後、着色層１２が形成された透明基板上のゴミ
等の異物を取り除くため水洗浄を行なった。次に、着色
層の表面を研磨した後、研磨に用いた砥粒を落とすため
水洗浄を行ない、乾燥した。次に、着色層の保護と表面
の平滑性を得るため、有機樹脂例えばアクリル樹脂を主
成分とする材料からなるオーバーコート層材料を、スピ
ンコート法により着色層１２上に形成し、約２５０℃で
加熱してオーバーコート層１３を得た。その後、このオ
ーバーコート層１３上にスパッタ法により１００〜３０
０オングストローム、例えば２００オングストロームの
厚さの無機材料例えばケイ素の酸化物からなるアンダー
コート層１４を形成し、このアンダーコート層１４上に
スパッタ法により２００〜３０００オングストローム、
例えば１５００オングストロームの厚さのインジウムと
錫の酸化物からなる透明電極１５を形成した。
【００１５】その後、透明電極上にレジストを塗布し、
上記ストライプ形状の遮光層１７に直交するストライプ
形状になるように、レジスト上にパターンマスクを被覆
して露光し、未露光部を塩酸系エッチング液でエッチン
グし、その後レジストを除去して、図４（ｂ）に示すよ
うに透明電極１５をパターニング形成した。次に、透明
電極１５をパターニング形成した後、図４（ｃ）に示す
ように、１〜５％のＮａＯＨの５０℃水溶液に２０分浸
漬することで、透明電極パターンのない部分のアンダー
コート層を除去した。
上記ストライプ形状の遮光層１７に直交するストライプ
形状になるように、レジスト上にパターンマスクを被覆
して露光し、未露光部を塩酸系エッチング液でエッチン
グし、その後レジストを除去して、図４（ｂ）に示すよ
うに透明電極１５をパターニング形成した。次に、透明
電極１５をパターニング形成した後、図４（ｃ）に示す
ように、１〜５％のＮａＯＨの５０℃水溶液に２０分浸
漬することで、透明電極パターンのない部分のアンダー
コート層を除去した。
【００１６】ここでは、エッチングしたアンダーコート
層部分の厚さを０オングストロームとしたが、次工程の
配向膜形成時の加熱工程で発生するアウトガスが通過す
る厚さであれば良く、ケイ素の酸化物またはケイ素の窒
化物からなるアンダーコート層では、除去した後のアン
ダーコート層の厚さが５０オングストローム以下であれ
ば良い。この厚さは、ＮａＯＨ水溶液の濃度、温度、浸
漬時間により調整することができ、アンダーコート層の
厚さが５０オングストロームより大きいと、突沸現象が
防止できるのに十分なアウトガスの通過が得られない。
層部分の厚さを０オングストロームとしたが、次工程の
配向膜形成時の加熱工程で発生するアウトガスが通過す
る厚さであれば良く、ケイ素の酸化物またはケイ素の窒
化物からなるアンダーコート層では、除去した後のアン
ダーコート層の厚さが５０オングストローム以下であれ
ば良い。この厚さは、ＮａＯＨ水溶液の濃度、温度、浸
漬時間により調整することができ、アンダーコート層の
厚さが５０オングストロームより大きいと、突沸現象が
防止できるのに十分なアウトガスの通過が得られない。
【００１７】このように一部のアンダーコート層の厚さ
をガスが通過する程度の厚さにすることにより、図５に
示すように、次工程の配向膜１６形成時の加熱工程で突
沸現象の原因となっていた残留水分によるアウトガス
は、ガスが通過する程度の厚さのアンダーコート層を通
過することができる。
をガスが通過する程度の厚さにすることにより、図５に
示すように、次工程の配向膜１６形成時の加熱工程で突
沸現象の原因となっていた残留水分によるアウトガス
は、ガスが通過する程度の厚さのアンダーコート層を通
過することができる。
【００１８】尚、実施例ではアンダーコート層にケイ素
の酸化物を用いたが、ケイ素の窒化物を用いた場合で
も、同様に配向膜形成時の加熱工程の際の突沸現象や層
中の泡の発生を防止できる。
の酸化物を用いたが、ケイ素の窒化物を用いた場合で
も、同様に配向膜形成時の加熱工程の際の突沸現象や層
中の泡の発生を防止できる。
【００１９】このように、配向膜を形成する工程より前
の工程で、アンダーコート層の一部の厚さを薄くするの
で、配向膜形成時の加熱工程の際に厚さを薄くした部分
のアンダーコート層からアウトガスが逃げやすくなる。
その結果、配向膜形成時の加熱工程の際の突沸現象や層
中に泡が発生することを防止できる。
の工程で、アンダーコート層の一部の厚さを薄くするの
で、配向膜形成時の加熱工程の際に厚さを薄くした部分
のアンダーコート層からアウトガスが逃げやすくなる。
その結果、配向膜形成時の加熱工程の際の突沸現象や層
中に泡が発生することを防止できる。
【００２０】
【発明の効果】配向膜を形成する工程より前の工程で、
アンダーコート層の一部の厚さを薄くするので、配向膜
形成時の加熱工程の際に厚さを薄くした部分のアンダー
コート層からアウトガスが逃げやすくなる。その結果、
配向膜形成時の加熱工程の際の突沸現象や層中の泡の発
生を防止できる。
アンダーコート層の一部の厚さを薄くするので、配向膜
形成時の加熱工程の際に厚さを薄くした部分のアンダー
コート層からアウトガスが逃げやすくなる。その結果、
配向膜形成時の加熱工程の際の突沸現象や層中の泡の発
生を防止できる。
【図１】 本発明の方法を用いて製造したカラーフィル
タの斜視図。
タの斜視図。
【図２】 図１のカラーフィルタに配向膜を形成して、
線２−２で切った状態を示す横断面図。
線２−２で切った状態を示す横断面図。
【図３】 図１のカラーフィルタに配向膜を形成して、
線３−３で切った状態を示す横断面図。
線３−３で切った状態を示す横断面図。
【図４】（ａ）本発明のカラーフィルタの一製造工程を
示す横断面図。 （ｂ）図４（ｂ）の次の製造工程を示す横断面図。 （ｃ）図４（ｃ）の次の製造工程を示す横断面図。
示す横断面図。 （ｂ）図４（ｂ）の次の製造工程を示す横断面図。 （ｃ）図４（ｃ）の次の製造工程を示す横断面図。
【図５】 本発明の方法を用いて製造したカラーフィル
タで、アウトガスが通過する状態を示す横断面図。
タで、アウトガスが通過する状態を示す横断面図。
【図６】 従来のカラーフィルタの斜視図。
１１…透明基板 １２…着色層 １３…オーバーコート層 １４…アンダーコート層 １５…透明電極 １８…カラーフィルタ
Claims (5)
- 【請求項１】透明基板上に、着色層、前記着色層に対す
るオーバーコート層である第１被膜，次に形成する透明
電極のアンダーコート層である第２被膜，所定の形状に
パターニングされた透明電極が順次形成されているカラ
ーフィルタにおいて、前記パターニングにより透明電極
が除去されている部分の第２被膜の少なくとも一部が除
去されているカラーフィルタ。 - 【請求項２】前記第１被膜は、有機樹脂からなる請求項
１記載のカラーフィルタ。 - 【請求項３】前記第２被膜は無機樹脂からなる請求項１
または請求項２記載のカラーフィルタ。 - 【請求項４】第２被膜はケイ素の酸化物またはケイ素の
窒化物である請求項３記載のカラーフィルタ。 - 【請求項５】パターニングにより透明電極が除去されて
いる部分のアンダーコート層の少なくとも一部の厚さ
が、０〜５０オングストロームである請求項４記載のカ
ラーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00671294A JP3489745B2 (ja) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00671294A JP3489745B2 (ja) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209514A true JPH07209514A (ja) | 1995-08-11 |
| JP3489745B2 JP3489745B2 (ja) | 2004-01-26 |
Family
ID=11645900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00671294A Expired - Fee Related JP3489745B2 (ja) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3489745B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076432A (ja) * | 2007-01-18 | 2009-04-09 | Nitto Denko Corp | 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル |
| JP2010085702A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2010085701A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2010085703A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2010085700A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| US9513747B2 (en) | 2010-11-04 | 2016-12-06 | Nitto Denko Corporation | Transparent conductive film and touch panel |
-
1994
- 1994-01-26 JP JP00671294A patent/JP3489745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8467005B2 (en) | 2007-01-18 | 2013-06-18 | Nitto Denko Corporation | Transparent conductive film, method for production thereof and touch panel therewith |
| US8467006B2 (en) | 2007-01-18 | 2013-06-18 | Nitto Denko Corporation | Transparent conductive film, method for production thereof and touch panel therewith |
| TWI449627B (zh) * | 2007-01-18 | 2014-08-21 | Nitto Denko Corp | A transparent conductive film, a method for manufacturing the same, and a touch panel provided with the same |
| TWI449626B (zh) * | 2007-01-18 | 2014-08-21 | Nitto Denko Corp | Transparent conductive film and its touch panel |
| US8462278B2 (en) | 2007-01-18 | 2013-06-11 | Nitto Denko Corporation | Transparent conductive film, method for production thereof and touch panel therewith |
| JP4667471B2 (ja) * | 2007-01-18 | 2011-04-13 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル |
| JP2009076432A (ja) * | 2007-01-18 | 2009-04-09 | Nitto Denko Corp | 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル |
| JP2011142089A (ja) * | 2007-01-18 | 2011-07-21 | Nitto Denko Corp | 透明導電性フィルム、その製造方法およびタッチパネル |
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| JP2010085700A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2010085703A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
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