JPH07187759A - アルミナセラミックスおよびその製造方法 - Google Patents
アルミナセラミックスおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH07187759A JPH07187759A JP5333079A JP33307993A JPH07187759A JP H07187759 A JPH07187759 A JP H07187759A JP 5333079 A JP5333079 A JP 5333079A JP 33307993 A JP33307993 A JP 33307993A JP H07187759 A JPH07187759 A JP H07187759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alumina
- hafnium oxide
- alumina ceramics
- magnesia
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 破壊靱性が大きなアルミナセラミックスを得
る。 【構成】 アルミナ単独もしくは０．１重量％以下のマ
グネシアが固溶したアルミナに、０．０５〜１重量％の
酸化ハフニウムを添加して、有機バインダーを加えて成
形し、得られた成形体を脱脂後１３００〜１３５０℃で
焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００℃、１００
０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水圧圧縮をす
ることにより、酸化ハフニウムが分散してアルミナセラ
ミックスを得る。 【効果】 ボンディングキャピラリーとして好適なアル
ミナセラミックス焼結体が得られる。
る。 【構成】 アルミナ単独もしくは０．１重量％以下のマ
グネシアが固溶したアルミナに、０．０５〜１重量％の
酸化ハフニウムを添加して、有機バインダーを加えて成
形し、得られた成形体を脱脂後１３００〜１３５０℃で
焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００℃、１００
０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水圧圧縮をす
ることにより、酸化ハフニウムが分散してアルミナセラ
ミックスを得る。 【効果】 ボンディングキャピラリーとして好適なアル
ミナセラミックス焼結体が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルミナセラミックスに
関し、とくに大きな強度が要求されるボンディングキャ
ピラリー、ノズルおよびそれらの製造方法に関するもの
である。
関し、とくに大きな強度が要求されるボンディングキャ
ピラリー、ノズルおよびそれらの製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】アルミナセラミックスは、各種の分野に
おいて用いられているが、とくに硬度や強度が必要な分
野において広く用いられている。たとえば、ＬＳＩ、Ｉ
Ｃ等のような半導体装置の製造では、半導体素子の電極
部とリードフレームの接続部とを金、アルミニウム等の
１０〜１００μｍの細い導線を用いてワイヤボンディン
グ装置によって接続しているが、ワイヤボンディング装
置では、導線の直径と同等の細孔を有するボンディング
キャピラリーの先端から導線を送り出し、電極と圧着を
行っている。ワイヤボンディングでは電極との接続は、
１秒間に十数回に及ぶために、キャピラリーの先端部は
高温となり、大きな熱ショックを受けるとともに、電
極、導線から金属が付着し、また磨耗が激しいので、硬
度が大きく熱ショックにも強いアルミナセラミックス製
品が主に用いられている。そこで、強度が大きな単結晶
アルミナをキャピラリーに加工したり、アルミナをイン
ジェクション成形した成形体を脱脂、焼成、加工するこ
とによって製造しているが、単結晶アルミナは加工が困
難であるとともに高価であるので、アルミナにバインダ
ーを加え、インジェクション成形によって成形し、焼成
したものが一般的に使用されている。
おいて用いられているが、とくに硬度や強度が必要な分
野において広く用いられている。たとえば、ＬＳＩ、Ｉ
Ｃ等のような半導体装置の製造では、半導体素子の電極
部とリードフレームの接続部とを金、アルミニウム等の
１０〜１００μｍの細い導線を用いてワイヤボンディン
グ装置によって接続しているが、ワイヤボンディング装
置では、導線の直径と同等の細孔を有するボンディング
キャピラリーの先端から導線を送り出し、電極と圧着を
行っている。ワイヤボンディングでは電極との接続は、
１秒間に十数回に及ぶために、キャピラリーの先端部は
高温となり、大きな熱ショックを受けるとともに、電
極、導線から金属が付着し、また磨耗が激しいので、硬
度が大きく熱ショックにも強いアルミナセラミックス製
品が主に用いられている。そこで、強度が大きな単結晶
アルミナをキャピラリーに加工したり、アルミナをイン
ジェクション成形した成形体を脱脂、焼成、加工するこ
とによって製造しているが、単結晶アルミナは加工が困
難であるとともに高価であるので、アルミナにバインダ
ーを加え、インジェクション成形によって成形し、焼成
したものが一般的に使用されている。
【０００３】アルミナ系のボンディングキャピラリー
は、アルミナ単独もしくはアルミナにマグネシアを焼結
助剤として添加、固溶させたものが特開昭６１−２９１
４４９号公報、特開昭６２−２０２５３４号公報、特開
昭６３−２３６７５７号公報等に記載されているが、ア
ルミナ単独の焼結体は、異常粒子成長が起こりやすく、
気孔の成長や強度低下を引き起こすので、アルミナにマ
グネシアを添加することによってこれらの問題点を改善
しようとしても、アルミナの靱性を高めることはできな
い。
は、アルミナ単独もしくはアルミナにマグネシアを焼結
助剤として添加、固溶させたものが特開昭６１−２９１
４４９号公報、特開昭６２−２０２５３４号公報、特開
昭６３−２３６７５７号公報等に記載されているが、ア
ルミナ単独の焼結体は、異常粒子成長が起こりやすく、
気孔の成長や強度低下を引き起こすので、アルミナにマ
グネシアを添加することによってこれらの問題点を改善
しようとしても、アルミナの靱性を高めることはできな
い。
【０００４】また、アルミナの靱性を高めるために酸化
アルミニウムに酸化クロムが固溶した結晶の粒界に部分
安定化ジルコニアを有するアルミナセラミックスが特開
昭６３−２３６７５５号公報において記載されている
が、アルミナの強度および靱性は向上するものの、アル
ミナの硬度の低下を引き起こすという問題があった。ま
た、ノズルについては、従来、金属の細線の製造に用い
られているが、溶融した金属線との摩擦、磨耗が激し
く、靱性向上が求められている。
アルミニウムに酸化クロムが固溶した結晶の粒界に部分
安定化ジルコニアを有するアルミナセラミックスが特開
昭６３−２３６７５５号公報において記載されている
が、アルミナの強度および靱性は向上するものの、アル
ミナの硬度の低下を引き起こすという問題があった。ま
た、ノズルについては、従来、金属の細線の製造に用い
られているが、溶融した金属線との摩擦、磨耗が激し
く、靱性向上が求められている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ボンディン
グキャピラリー等に使用可能な強度および靱性が大き
く、硬度も高い緻密なアルミナセラミックスを製造する
ことを課題とするするものである。
グキャピラリー等に使用可能な強度および靱性が大き
く、硬度も高い緻密なアルミナセラミックスを製造する
ことを課題とするするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、アルミナセラ
ミックスにおいて、アルミナ単独もしくは０．１重量％
以下のマグネシアが固溶したアルミナに、０．０５〜１
重量％の酸化ハフニウムを分散したアルミナセラミック
スである。酸化ハフニウムは、イットリウム、マグネシ
ウム、カルシウム、イッテルビウム、ランタン、セリウ
ム、プルセオジムからなる群から選ばれた少なくとも１
種の金属酸化物を６ｍｏｌ％以下添加し、部分安定化し
ているアルミナセラミックスである。また、マグネシア
０〜０．１重量％、酸化ハフニウム０．０５〜１重量
％、残部がアルミナからなる混合粉末に有機バインダー
を加えて成形し、得られた成形体を脱脂後１３００〜１
３５０℃で焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００
℃、１０００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水
圧圧縮をするアル ミナセラミックスの製造方法であ
る。また、前記酸化ハフニウムは、未安定化もしくは金
属酸化物によって部分安定化したものであるアルミナセ
ラミックスである。
ミックスにおいて、アルミナ単独もしくは０．１重量％
以下のマグネシアが固溶したアルミナに、０．０５〜１
重量％の酸化ハフニウムを分散したアルミナセラミック
スである。酸化ハフニウムは、イットリウム、マグネシ
ウム、カルシウム、イッテルビウム、ランタン、セリウ
ム、プルセオジムからなる群から選ばれた少なくとも１
種の金属酸化物を６ｍｏｌ％以下添加し、部分安定化し
ているアルミナセラミックスである。また、マグネシア
０〜０．１重量％、酸化ハフニウム０．０５〜１重量
％、残部がアルミナからなる混合粉末に有機バインダー
を加えて成形し、得られた成形体を脱脂後１３００〜１
３５０℃で焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００
℃、１０００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水
圧圧縮をするアル ミナセラミックスの製造方法であ
る。また、前記酸化ハフニウムは、未安定化もしくは金
属酸化物によって部分安定化したものであるアルミナセ
ラミックスである。
【０００７】すなわち、本発明のアルミナセラミックス
は、アルミナ単独もしくはマグネシアを固溶したアルミ
ナに酸化ハフニウムを含有したものであり、アルミナに
は、粒径０．１〜０．３μｍのものを使用することが好
ましく、粒径が０．１μｍ未満であると微粒となりすぎ
インジェクション成形が困難であり好ましくなく、０．
３μｍを超えると焼成温度が高くなり、機械的特性が低
下し好ましくない。
は、アルミナ単独もしくはマグネシアを固溶したアルミ
ナに酸化ハフニウムを含有したものであり、アルミナに
は、粒径０．１〜０．３μｍのものを使用することが好
ましく、粒径が０．１μｍ未満であると微粒となりすぎ
インジェクション成形が困難であり好ましくなく、０．
３μｍを超えると焼成温度が高くなり、機械的特性が低
下し好ましくない。
【０００８】また、添加する酸化ハフニウムは、０．１
〜０．３重量％とすることが好ましく、０．１重量％未
満であると酸化ハフニウムの添加による効果が得られ
ず、０．３重量％を超えると焼結温度を高くしなければ
ならず、また硬度が低下して好ましくない。酸化ハフニ
ウムには、イットリウム、マグネシウム、カルシウム、
イッテルビウム、ランタン、セリウム、プルセオジウム
から選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物を２〜３ｍ
ｏｌ％添加して固溶することが好ましい。アルミナをマ
グネシアで固溶する場合には、マグネシアの含有量は
０．０２〜０．１重量％とすることが好ましく、０．０
２重量％未満であるとアルミナの異常粒成長の抑制効果
が現れず、焼結時の緻密化に寄与せず好ましくない。ま
た、０．１重量％を超えると強度および硬度の低下を引
き起こし好ましくない。
〜０．３重量％とすることが好ましく、０．１重量％未
満であると酸化ハフニウムの添加による効果が得られ
ず、０．３重量％を超えると焼結温度を高くしなければ
ならず、また硬度が低下して好ましくない。酸化ハフニ
ウムには、イットリウム、マグネシウム、カルシウム、
イッテルビウム、ランタン、セリウム、プルセオジウム
から選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物を２〜３ｍ
ｏｌ％添加して固溶することが好ましい。アルミナをマ
グネシアで固溶する場合には、マグネシアの含有量は
０．０２〜０．１重量％とすることが好ましく、０．０
２重量％未満であるとアルミナの異常粒成長の抑制効果
が現れず、焼結時の緻密化に寄与せず好ましくない。ま
た、０．１重量％を超えると強度および硬度の低下を引
き起こし好ましくない。
【０００９】本発明アルミナセラミックスの成形には、
これらの焼成材料に有機バインダーを混合するが、有機
バインダーとしてはポリエチレン、ポリスチレン、ステ
アリン酸、ワックス等を用いることができる。有機バイ
ンダーは、成形原料に対して３５〜４５容量％の量を用
いることが好ましく、有機バインダーが３５容量％未満
であると流動性が悪いので好ましくなく、４５容量％を
超えると成型時の金型への付着や焼結時の亀裂の発生な
どの点で好ましくない。とくに、本発明の方法では、特
定の比表面積を有するアルミナを原料を使用したので、
成形性が良好であり、インジェクション成形の原料とし
て使用することが可能であり、高精度の成形体を得るこ
とができる。
これらの焼成材料に有機バインダーを混合するが、有機
バインダーとしてはポリエチレン、ポリスチレン、ステ
アリン酸、ワックス等を用いることができる。有機バイ
ンダーは、成形原料に対して３５〜４５容量％の量を用
いることが好ましく、有機バインダーが３５容量％未満
であると流動性が悪いので好ましくなく、４５容量％を
超えると成型時の金型への付着や焼結時の亀裂の発生な
どの点で好ましくない。とくに、本発明の方法では、特
定の比表面積を有するアルミナを原料を使用したので、
成形性が良好であり、インジェクション成形の原料とし
て使用することが可能であり、高精度の成形体を得るこ
とができる。
【００１０】本発明のアルミナセラミックスは、所定の
原料を配合して成形した後に、脱脂後、１３００〜１３
５０℃で焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００
℃、１０００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水
圧圧縮をすることによって、粉末粒子同士の充填の密度
が高く気孔が少ない焼結体が得られる。また、本発明の
アルミナセラミックスは強度および硬度が大きいので、
ボンディング装置用のキャピラリーに限らず強度と硬度
が要求されるノズル、ワイヤーガイド等の用途において
使用することができる。
原料を配合して成形した後に、脱脂後、１３００〜１３
５０℃で焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００
℃、１０００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水
圧圧縮をすることによって、粉末粒子同士の充填の密度
が高く気孔が少ない焼結体が得られる。また、本発明の
アルミナセラミックスは強度および硬度が大きいので、
ボンディング装置用のキャピラリーに限らず強度と硬度
が要求されるノズル、ワイヤーガイド等の用途において
使用することができる。
【００１１】
【作用】アルミナセラミックスにおいて、アルミナ単独
もしくは０．１重量％以下のマグネシアが固溶したアル
ミナに、０．０５〜１重量％の酸化ハフニウムを添加し
た混合粉末に有機バインダーを加えてインジェクション
成形し、得られた成形体を脱脂後１３００〜１３５０℃
で焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００℃、１０
００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水圧圧縮を
することにより、アルミナ組織中に酸化ハフニウムの分
散した強度、硬度および破壊靱性が大きなアルミナセラ
ミックスを得ることができる。
もしくは０．１重量％以下のマグネシアが固溶したアル
ミナに、０．０５〜１重量％の酸化ハフニウムを添加し
た混合粉末に有機バインダーを加えてインジェクション
成形し、得られた成形体を脱脂後１３００〜１３５０℃
で焼成し、さらに焼結体を１２５０〜１３００℃、１０
００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件下で熱間静水圧圧縮を
することにより、アルミナ組織中に酸化ハフニウムの分
散した強度、硬度および破壊靱性が大きなアルミナセラ
ミックスを得ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を実施例と比較例により詳細に
説明する。 実施例１ ０．０５重量％のマグネシアと０〜１．５重量％の酸化
ハフニウムおよび残部が純度９９．９９％以上のアルミ
ナ（平均粒径０．２μｍ）となるように秤量し、エタノ
ール中で２４時間ボールミル混練を行った。混練後乾燥
し、有機バインダーとしてポリエチレンを混練物の全量
に対して４０容量％を加え、インジェクション成形を行
った。この成形体を脱脂後１３２０℃で焼成し、さらに
１２５０℃、１０００ｋｇ／ｃｍ2 の条件で熱間静水圧
圧縮処理をし、試料番号１〜７の焼結体を得た。得られ
た焼結体に研削加工を施し、テストピース形状（３×４
×３６ｍｍ）とした。焼結体の評価は、それぞれＪＩＳ
に規定する３点曲げ試験（ＪＩＳ Ｒ１６０１）、ビッ
カース硬さ試験（ＪＩＳ Ｒ１６１０）、破壊靱性試験
（ＪＩＳ Ｒ１６０７）により行った。
説明する。 実施例１ ０．０５重量％のマグネシアと０〜１．５重量％の酸化
ハフニウムおよび残部が純度９９．９９％以上のアルミ
ナ（平均粒径０．２μｍ）となるように秤量し、エタノ
ール中で２４時間ボールミル混練を行った。混練後乾燥
し、有機バインダーとしてポリエチレンを混練物の全量
に対して４０容量％を加え、インジェクション成形を行
った。この成形体を脱脂後１３２０℃で焼成し、さらに
１２５０℃、１０００ｋｇ／ｃｍ2 の条件で熱間静水圧
圧縮処理をし、試料番号１〜７の焼結体を得た。得られ
た焼結体に研削加工を施し、テストピース形状（３×４
×３６ｍｍ）とした。焼結体の評価は、それぞれＪＩＳ
に規定する３点曲げ試験（ＪＩＳ Ｒ１６０１）、ビッ
カース硬さ試験（ＪＩＳ Ｒ１６１０）、破壊靱性試験
（ＪＩＳ Ｒ１６０７）により行った。
【００１３】酸化ハフニウムの添加量の違いによる曲げ
強度、硬度、靱性測定の結果を表１に示す。これより酸
化ハフニウム無添加の従来品に比べ、わずか０．３重量
％の添加量で強度は１．１倍、靱性は１．２倍の向上が
認められた。一方、硬度はわずか１％未満の低下であ
り、硬度はほとんど変化せずに強度と破壊靱性が向上し
た。
強度、硬度、靱性測定の結果を表１に示す。これより酸
化ハフニウム無添加の従来品に比べ、わずか０．３重量
％の添加量で強度は１．１倍、靱性は１．２倍の向上が
認められた。一方、硬度はわずか１％未満の低下であ
り、硬度はほとんど変化せずに強度と破壊靱性が向上し
た。
【００１４】
【表１】
【００１５】実施例２ マグネシアを使用しなかった点を除いて実施例１の試料
番号４と同様の組成の試料番号８の試料を作製し、実施
例１と同様にして評価を行い、その結果を表１に示す。
試料番号８の試料は、試料番号４の試料に比して硬度に
おいて優れているものの破壊靱性は小さく、試料番号４
の試料はマグネシア添加により酸化アルミニウムの粒子
の成長を抑制し、強度と靱性が向上することを示してい
る。
番号４と同様の組成の試料番号８の試料を作製し、実施
例１と同様にして評価を行い、その結果を表１に示す。
試料番号８の試料は、試料番号４の試料に比して硬度に
おいて優れているものの破壊靱性は小さく、試料番号４
の試料はマグネシア添加により酸化アルミニウムの粒子
の成長を抑制し、強度と靱性が向上することを示してい
る。
【００１６】実施例３ 酸化ハフニウムへの酸化イットリウムの添加量を変化さ
せた点を除いて実施例１の試料番号８の試料と同様に試
料番号９〜１１の試料を作製し、実施例１と同様にして
試験を行った。酸化イットリウムの添加により、強度お
よび靱性が増加し、２ｍｏｌ％でピークが認められる
が、硬度の低下はわずかである。
せた点を除いて実施例１の試料番号８の試料と同様に試
料番号９〜１１の試料を作製し、実施例１と同様にして
試験を行った。酸化イットリウムの添加により、強度お
よび靱性が増加し、２ｍｏｌ％でピークが認められる
が、硬度の低下はわずかである。
【００１７】実施例４ 試料番号１および試料番号９の原料配合の試料に有機バ
インダーとして、ポリエチレンをセラミックス原料に対
して４０容量％を添加して、キャピラリー形状にインジ
ェクション成形を行い、実施例１と同様の条件で焼成お
よび熱間静水圧加圧処理を行い、先端の孔径が５１μｍ
のボンディンクキャピラリーを製造し、ワイヤボンディ
ング装置によってワイヤボンディングに使用した。試料
番号１の組成のものは、使用時に欠け、割れにより破損
するものが多く、性能のばらつきが大きく、パッド部と
リードフレームの接続部を６０万〜１００万本の結線で
使用不可能となったが、試料番号９の組成のものは、欠
け、割れが起こりにくく、耐久性が大きく、性能のばら
つきが小さく、１４０万〜１５０万本の結線を行うこと
ができた。
インダーとして、ポリエチレンをセラミックス原料に対
して４０容量％を添加して、キャピラリー形状にインジ
ェクション成形を行い、実施例１と同様の条件で焼成お
よび熱間静水圧加圧処理を行い、先端の孔径が５１μｍ
のボンディンクキャピラリーを製造し、ワイヤボンディ
ング装置によってワイヤボンディングに使用した。試料
番号１の組成のものは、使用時に欠け、割れにより破損
するものが多く、性能のばらつきが大きく、パッド部と
リードフレームの接続部を６０万〜１００万本の結線で
使用不可能となったが、試料番号９の組成のものは、欠
け、割れが起こりにくく、耐久性が大きく、性能のばら
つきが小さく、１４０万〜１５０万本の結線を行うこと
ができた。
【００１８】比較例１ 試料番号９の原料組成の試料を１０００ｋｇ／ｃｍ2 で
ＣＩＰ（冷間静水圧圧縮）によって成形の後に、実施例
１と同様の条件で焼成を行い試料番号１２の試料を作製
し、実施例１と同様に評価を行い、その結果を表１に示
す。ＣＩＰによる成形品は曲げ強度、硬度、破壊靱性の
いずれもがインジェクション成形品に劣っていた。
ＣＩＰ（冷間静水圧圧縮）によって成形の後に、実施例
１と同様の条件で焼成を行い試料番号１２の試料を作製
し、実施例１と同様に評価を行い、その結果を表１に示
す。ＣＩＰによる成形品は曲げ強度、硬度、破壊靱性の
いずれもがインジェクション成形品に劣っていた。
【００１９】
【発明の効果】本発明のアルミナセラミックスおよびそ
の製造方法によれば、アルミナ組織中に酸化ハフニウム
が分散し、アルミナの異常な粒子成長を抑制しているの
で、アルミナの有する曲げ強度、硬度を低下させること
なく、破壊靱性を増加させることができ、ボンディング
キャピラリー等に使用可能なアルミナセラミックスを得
ることができ。
の製造方法によれば、アルミナ組織中に酸化ハフニウム
が分散し、アルミナの異常な粒子成長を抑制しているの
で、アルミナの有する曲げ強度、硬度を低下させること
なく、破壊靱性を増加させることができ、ボンディング
キャピラリー等に使用可能なアルミナセラミックスを得
ることができ。
Claims (3)
- 【請求項１】 アルミナセラミックスにおいて、アルミ
ナ単独もしくは０．１重量％以下のマグネシアが固溶し
たアルミナに、０．０５〜１重量％の酸化ハフニウムを
分散したことを特徴とするアルミナセラミックス。 - 【請求項２】 酸化ハフニウムは、イットリウム、マグ
ネシウム、カルシウム、イッテルビウム、ランタン、セ
リウム、プルセオジムからなる群から選ばれた少なくと
も１種の金属酸化物を６ｍｏｌ％以下添加し、部分安定
化していることを特徴とする請求項１記載のアルミナセ
ラミックス。 - 【請求項３】 アルミナセラミックスの製造方法におい
て、マグネシア０〜０．１重量％、酸化ハフニウム０．
０５〜１重量％、残部がアルミナからなる混合粉末に有
機バインダーを加えて成形し、得られた成形体を脱脂後
１３００〜１３５０℃で焼成し、さらに焼結体を１２５
０〜１３００℃、１０００〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 条件
下で熱間静水圧圧縮をすることを特徴とするアルミナセ
ラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5333079A JPH07187759A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5333079A JPH07187759A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07187759A true JPH07187759A (ja) | 1995-07-25 |
Family
ID=18262038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5333079A Pending JPH07187759A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07187759A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI511826B (zh) * | 2013-01-25 | 2015-12-11 | Toto Ltd | Welding needle |
| CN111302777A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-19 | 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 | 氧化铝陶瓷及其制备方法和陶瓷轴承 |
| CN116621566A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-08-22 | 苏州晶瓷超硬材料有限公司 | 一种高韧性氧化铝陶瓷及其制备方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5333079A patent/JPH07187759A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI511826B (zh) * | 2013-01-25 | 2015-12-11 | Toto Ltd | Welding needle |
| CN111302777A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-19 | 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 | 氧化铝陶瓷及其制备方法和陶瓷轴承 |
| CN116621566A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-08-22 | 苏州晶瓷超硬材料有限公司 | 一种高韧性氧化铝陶瓷及其制备方法 |
| CN116621566B (zh) * | 2023-05-30 | 2023-12-05 | 苏州晶瓷超硬材料有限公司 | 一种高韧性氧化铝陶瓷及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4951753B2 (ja) | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPH07232959A (ja) | アルミナ基セラミックス及びその製造方法 | |
| KR0127871B1 (ko) | 질화규소기 소결체 및 그 제조방법 | |
| JPH0645389A (ja) | ボンディングツール | |
| JPH09268072A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP2592223B2 (ja) | ボンディングキャピラリー用アルミナセラミックスおよびその製造方法 | |
| JPH07187759A (ja) | アルミナセラミックスおよびその製造方法 | |
| JPS6077174A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
| KR101852040B1 (ko) | 가공성 세라믹 복합체 및 그 제조방법 | |
| US5403792A (en) | Low thermal conductivity ceramic and process for producing the same | |
| JP2671929B2 (ja) | ジルコニア系セラミック材料とその製造法 | |
| JPS61256963A (ja) | 高強度アルミナ焼結体及びその製造方法 | |
| JP3111741B2 (ja) | 高強度陶磁器及びその製造方法 | |
| JP5150020B2 (ja) | ＡｌＮ−Ａｌ２Ｏ３複合材料の製造法 | |
| JP2743666B2 (ja) | タービン用セラミックス材料およびその製造方法 | |
| JP2955917B2 (ja) | 異粒子添加による高破壊靱性を持った窒化珪素焼結体とその製造方法 | |
| KR910003901B1 (ko) | 고인성 탄화규소질 소결체의 제조방법 | |
| JP3009046B2 (ja) | セラミックス複合焼結体およびその製造方法 | |
| JP2851721B2 (ja) | 切削工具用窒化珪素質焼結体 | |
| JP3735397B2 (ja) | 窒化チタン焼結体及びその製造方法 | |
| JPH05194022A (ja) | セラミックス複合材料及びその製造方法 | |
| KR970010354B1 (ko) | 강도 및 전기적 물성이 개선된 세라믹스 증착 용기 및 그의 제조방법 | |
| JPH01157466A (ja) | 切削工具用窒化ケイ素焼結体 | |
| JPH0640770A (ja) | アルミナ基複合焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0331669B2 (ja) |