JPH07183694A - 部品実装装置 - Google Patents
部品実装装置Info
- Publication number
- JPH07183694A JPH07183694A JP5326927A JP32692793A JPH07183694A JP H07183694 A JPH07183694 A JP H07183694A JP 5326927 A JP5326927 A JP 5326927A JP 32692793 A JP32692793 A JP 32692793A JP H07183694 A JPH07183694 A JP H07183694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- suction head
- light
- light emitting
- component mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸着ヘッドに装着したノズルに部品を吸着す
る部品実装装置において、単独の検出装置により、吸着
ヘッド部分の各種検出、例えば、ノズルの確認、Ｚ軸原
点出しを可能として、コストダウンに寄与できるように
する。 【構成】 吸着ヘッド１と、この吸着ヘッド１に着脱可
能とするノズル１１と、吸着ヘッド１部分の近傍に向け
て側方からレーザー光Ｌを照射する発光部２２と、この
発光部２２に対して吸着ヘッド１部分を挟んで対向する
位置に配置されて発光部２２が照射したレーザー光Ｌを
受光する受光部２４とからなる光学的検出装置を備えた
部品実装装置において、吸着ヘッド１に装着したノズル
１１の径と長さを測定する検出手段と、その測定値に基
づいてノズル１１の装着の有無を含むノズル１１の確認
と、吸着ヘッド１の上下方向の高さの原点出しを検出す
る制御手段を持つ。
る部品実装装置において、単独の検出装置により、吸着
ヘッド部分の各種検出、例えば、ノズルの確認、Ｚ軸原
点出しを可能として、コストダウンに寄与できるように
する。 【構成】 吸着ヘッド１と、この吸着ヘッド１に着脱可
能とするノズル１１と、吸着ヘッド１部分の近傍に向け
て側方からレーザー光Ｌを照射する発光部２２と、この
発光部２２に対して吸着ヘッド１部分を挟んで対向する
位置に配置されて発光部２２が照射したレーザー光Ｌを
受光する受光部２４とからなる光学的検出装置を備えた
部品実装装置において、吸着ヘッド１に装着したノズル
１１の径と長さを測定する検出手段と、その測定値に基
づいてノズル１１の装着の有無を含むノズル１１の確認
と、吸着ヘッド１の上下方向の高さの原点出しを検出す
る制御手段を持つ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、部品を吸着するノズル
を装着する吸着ヘッド部分の各種検出を可能とした光学
的検出装置を備える部品実装装置に関するものである。
を装着する吸着ヘッド部分の各種検出を可能とした光学
的検出装置を備える部品実装装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体等の表面実装部品を基板に実装す
る装置として、縦横方向および上下方向に移動自在でバ
キューム圧が作用する吸着ヘッドに、部品を吸着するノ
ズルを装着したものが一般的である。
る装置として、縦横方向および上下方向に移動自在でバ
キューム圧が作用する吸着ヘッドに、部品を吸着するノ
ズルを装着したものが一般的である。
【０００３】このような部品実装装置において、従来、
ノズルの確認のため、バキューム圧をノズル有無の判定
に利用していた。また、吸着ヘッドの上下方向、即ち、
Ｚ軸の原点検出には、専用のセンサを用いていた。そし
て、部品の検出には、バキューム圧の変動を基に判定に
利用したり、ビームセンサを用いていた。
ノズルの確認のため、バキューム圧をノズル有無の判定
に利用していた。また、吸着ヘッドの上下方向、即ち、
Ｚ軸の原点検出には、専用のセンサを用いていた。そし
て、部品の検出には、バキューム圧の変動を基に判定に
利用したり、ビームセンサを用いていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のよう
に、バキューム圧を利用するものでは、そのバキューム
圧を検出するセンサが必要となり、コスト高になってし
まう。しかも、その場合、装着したノズルが正しいかど
うかはわからない。また、部品の形状によってその設定
値を変更する必要があり、アナログ出力を処理する電気
回路や、デジタルの多出力タイプのバキュームセンサが
必要となり、この面でも高価なものとなってしまう。
に、バキューム圧を利用するものでは、そのバキューム
圧を検出するセンサが必要となり、コスト高になってし
まう。しかも、その場合、装着したノズルが正しいかど
うかはわからない。また、部品の形状によってその設定
値を変更する必要があり、アナログ出力を処理する電気
回路や、デジタルの多出力タイプのバキュームセンサが
必要となり、この面でも高価なものとなってしまう。
【０００５】そして、単独でＺ軸の原点検出センサを必
要としていたため、コスト高となっていた。また、単独
で部品検出のためのビームセンサを必要とする場合も、
高価なものとなってしまう。
要としていたため、コスト高となっていた。また、単独
で部品検出のためのビームセンサを必要とする場合も、
高価なものとなってしまう。
【０００６】そこで、本発明の目的は、単独の検出装置
により、吸着ヘッド部分の各種検出、例えば、ノズルの
確認、Ｚ軸原点出しの検出を可能として、コストダウン
に寄与できるようにした部品実装装置を提供することに
ある。
により、吸着ヘッド部分の各種検出、例えば、ノズルの
確認、Ｚ軸原点出しの検出を可能として、コストダウン
に寄与できるようにした部品実装装置を提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
本発明は、吸着ヘッドと、この吸着ヘッドに着脱可能と
するノズルと、前記吸着ヘッド部分の近傍に向けて側方
から、例えば、レーザー光等の光を照射する発光部と、
この発光部に対して前記吸着ヘッド部分を挟んで対向す
る位置に配置されて前記発光部が照射した光を受光す
る、例えば、ＣＣＤラインセンサ等の受光部とからなる
光学的検出装置を備えた部品実装装置において、前記吸
着ヘッドに装着した前記ノズルの径と長さの少なくとも
一方を測定する検出手段と、その測定値に基づいて前記
ノズルの装着の有無を含む前記ノズルの確認と、前記吸
着ヘッドの上下方向の高さの原点出しの少なくとも一方
を検出する制御手段を持つことを特徴としている。
本発明は、吸着ヘッドと、この吸着ヘッドに着脱可能と
するノズルと、前記吸着ヘッド部分の近傍に向けて側方
から、例えば、レーザー光等の光を照射する発光部と、
この発光部に対して前記吸着ヘッド部分を挟んで対向す
る位置に配置されて前記発光部が照射した光を受光す
る、例えば、ＣＣＤラインセンサ等の受光部とからなる
光学的検出装置を備えた部品実装装置において、前記吸
着ヘッドに装着した前記ノズルの径と長さの少なくとも
一方を測定する検出手段と、その測定値に基づいて前記
ノズルの装着の有無を含む前記ノズルの確認と、前記吸
着ヘッドの上下方向の高さの原点出しの少なくとも一方
を検出する制御手段を持つことを特徴としている。
【０００８】
【作用】発光部により側方から吸着ヘッド部分の近傍に
向けて光を照射し、その吸着ヘッド部分を挟んで対向す
る位置に配置された受光部により光を受光する光学的検
出装置を備えた部品実装装置なので、例えば、吸着ヘッ
ドに装着したノズルの径の測定、ノズルの装着の有無を
含むノズルの確認と、吸着ヘッドの上下方向の高さ位置
の原点出しの検出が行える。
向けて光を照射し、その吸着ヘッド部分を挟んで対向す
る位置に配置された受光部により光を受光する光学的検
出装置を備えた部品実装装置なので、例えば、吸着ヘッ
ドに装着したノズルの径の測定、ノズルの装着の有無を
含むノズルの確認と、吸着ヘッドの上下方向の高さ位置
の原点出しの検出が行える。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明に係る部品実装装置の実施例
を図１および図２に基づいて説明する。
を図１および図２に基づいて説明する。
【００１０】先ず、図１は本発明を適用した一例として
の部品実装装置の吸着ヘッドおよびノズルと光学的検出
装置の構成を示すもので、１は吸着ヘッド、２は支持パ
イプ、１０はノズル交換装置、１１，１２，１３，１
４，１５はノズル、２１は発光体ケース、２２は発光
部、２３は受光体ケース、２４は受光部である。
の部品実装装置の吸着ヘッドおよびノズルと光学的検出
装置の構成を示すもので、１は吸着ヘッド、２は支持パ
イプ、１０はノズル交換装置、１１，１２，１３，１
４，１５はノズル、２１は発光体ケース、２２は発光
部、２３は受光体ケース、２４は受光部である。
【００１１】この部品実装装置は、図示しない半導体等
の表面実装部品を基板に実装するためのもので、吸着ヘ
ッド１は、支持パイプ２の下端に取り付けられて、縦横
方向（Ｘ−Ｙ方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動
自在で、図示しない真空ポンプからのバキューム圧が支
持パイプ２を経て作用し、この吸着ヘッド１に挿入嵌合
して装着したノズル１１の先端部１１ａに図示しない部
品を吸着する。吸着ヘッド１には、ノズル交換装置１０
に予めセットされたノズル１２，１３，１４，１５等も
それぞれ自動で装着自在となっている。
の表面実装部品を基板に実装するためのもので、吸着ヘ
ッド１は、支持パイプ２の下端に取り付けられて、縦横
方向（Ｘ−Ｙ方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動
自在で、図示しない真空ポンプからのバキューム圧が支
持パイプ２を経て作用し、この吸着ヘッド１に挿入嵌合
して装着したノズル１１の先端部１１ａに図示しない部
品を吸着する。吸着ヘッド１には、ノズル交換装置１０
に予めセットされたノズル１２，１３，１４，１５等も
それぞれ自動で装着自在となっている。
【００１２】そして、吸着ヘッド１部分を挟むようにし
て互いに対向する位置には、発光体ケース２１と受光体
ケース２３とが配置されている。発光体ケース２１に
は、吸着ヘッド１部分に向かって側方からほぼ水平方向
にレーザー光Ｌを照射するスリット状の発光部２２が設
けられている。また、受光体ケース２３には、そのレー
ザー光Ｌを受光するスリット状のＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ
Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ：固体撮像素子）ライ
ンセンサ等の受光部２４が設けられている。こうして、
光学的検出装置が構成されている。
て互いに対向する位置には、発光体ケース２１と受光体
ケース２３とが配置されている。発光体ケース２１に
は、吸着ヘッド１部分に向かって側方からほぼ水平方向
にレーザー光Ｌを照射するスリット状の発光部２２が設
けられている。また、受光体ケース２３には、そのレー
ザー光Ｌを受光するスリット状のＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ
Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ：固体撮像素子）ライ
ンセンサ等の受光部２４が設けられている。こうして、
光学的検出装置が構成されている。
【００１３】この光学的検出装置は、所謂レーザーアラ
イン装置と呼ばれるもので、発光部２２から発せられた
レーザー光Ｌが被検出体を越えて受光部２４に受光され
た際に、被検出体の存在による非投影部分を基に被検出
体の形状および寸法等を測定できるものである。従っ
て、このようなレーザーアライン装置による光学的検出
装置を部品実装装置に適用した場合、吸着ヘッド１の形
状や直径φＤZ（図２参照）、ノズル１１，１２，１
３，１４，１５等の形状やノズル先端部１１ａ等の径φ
Ｄや寸法Ｍ（図２参照）、各種部品の形状等を予めデー
タとして得ておく。
イン装置と呼ばれるもので、発光部２２から発せられた
レーザー光Ｌが被検出体を越えて受光部２４に受光され
た際に、被検出体の存在による非投影部分を基に被検出
体の形状および寸法等を測定できるものである。従っ
て、このようなレーザーアライン装置による光学的検出
装置を部品実装装置に適用した場合、吸着ヘッド１の形
状や直径φＤZ（図２参照）、ノズル１１，１２，１
３，１４，１５等の形状やノズル先端部１１ａ等の径φ
Ｄや寸法Ｍ（図２参照）、各種部品の形状等を予めデー
タとして得ておく。
【００１４】以上のようなレーザーアライン装置による
光学的検出装置を備えた部品実装装置によれば、吸着ヘ
ッド１に装着したノズル１１の先端部１１ａの幅測定に
よりその径φＤを測定して、予め与えられたノズル径デ
ータと概略一致するかどうかを調べることができる。以
下に、その与えられたノズル径データとしての＜表１＞
を例示する。
光学的検出装置を備えた部品実装装置によれば、吸着ヘ
ッド１に装着したノズル１１の先端部１１ａの幅測定に
よりその径φＤを測定して、予め与えられたノズル径デ
ータと概略一致するかどうかを調べることができる。以
下に、その与えられたノズル径データとしての＜表１＞
を例示する。
【００１５】 即ち、図１に示すように、発光体ケース２１のスリット
状の発光部２２から、吸着ヘッド１に装着したノズル１
１部分に向かって側方からほぼ水平方向にレーザー光Ｌ
を照射して、そのレーザー光Ｌを受光体ケース２３のス
リット状のＣＣＤラインセンサ等の受光部２４により受
光して、その測定されたノズル先端部１１ａの径φＤが
ノズル径データと概略一致した場合は、ノズル交換は成
功したとみなす。例えば、測定した検出幅が０．３６の
場合は、＜表１＞からノズル（１）が付いていると判断
する。
状の発光部２２から、吸着ヘッド１に装着したノズル１
１部分に向かって側方からほぼ水平方向にレーザー光Ｌ
を照射して、そのレーザー光Ｌを受光体ケース２３のス
リット状のＣＣＤラインセンサ等の受光部２４により受
光して、その測定されたノズル先端部１１ａの径φＤが
ノズル径データと概略一致した場合は、ノズル交換は成
功したとみなす。例えば、測定した検出幅が０．３６の
場合は、＜表１＞からノズル（１）が付いていると判断
する。
【００１６】また、測定値がデータと概略一致しない場
合は、エラーを表示して停止するか、予め決められたエ
ラー処理ルーチンへ処理を移行する。
合は、エラーを表示して停止するか、予め決められたエ
ラー処理ルーチンへ処理を移行する。
【００１７】そして、ノズルが無いと判定された場合
は、吸着ヘッド１に再度ノズルを取り付けに行く。その
場合、数回のトライで駄目であれば、エラー処理ルーチ
ンへ移行する。
は、吸着ヘッド１に再度ノズルを取り付けに行く。その
場合、数回のトライで駄目であれば、エラー処理ルーチ
ンへ移行する。
【００１８】なお、ノズル交換の際のノズル取り外しの
成否の確認にも同様にレーザーアライン装置を用いるこ
とができる。
成否の確認にも同様にレーザーアライン装置を用いるこ
とができる。
【００１９】以上の通り、レーザーアライン装置による
光学的検出装置を用いたことにより、交換したノズルが
正しいものであるかどうかの判別ができる。そして、従
来のバキューム圧を検出するセンサが不要となり、コス
トダウンができる。
光学的検出装置を用いたことにより、交換したノズルが
正しいものであるかどうかの判別ができる。そして、従
来のバキューム圧を検出するセンサが不要となり、コス
トダウンができる。
【００２０】次に、図２は本発明によるＺ軸の原点出し
を示したもので、３はフランジ、４はラック、５はＺ軸
駆動モータ、６は駆動軸、７はピニオンであり、図１と
同様に、光学的検出装置を構成する発光体ケース２１、
発光部２２、受光体ケース２３、受光部２４を備えてい
る。
を示したもので、３はフランジ、４はラック、５はＺ軸
駆動モータ、６は駆動軸、７はピニオンであり、図１と
同様に、光学的検出装置を構成する発光体ケース２１、
発光部２２、受光体ケース２３、受光部２４を備えてい
る。
【００２１】吸着ヘッド１を下端に取り付けた支持パイ
プ２にはフランジ３を介して上下方向のラック４が設け
られ、このラック４には、モータ５の駆動軸６に設けた
ピニオン７が噛み合っている。こうして、吸着ヘッド１
のＺ軸駆動装置が構成されている。
プ２にはフランジ３を介して上下方向のラック４が設け
られ、このラック４には、モータ５の駆動軸６に設けた
ピニオン７が噛み合っている。こうして、吸着ヘッド１
のＺ軸駆動装置が構成されている。
【００２２】以上のようなレーザーアライン装置による
光学的検出装置を備えた部品実装装置によれば、吸着ヘ
ッド１に装着したノズル１１の先端部１１ａの幅測定に
よりその径φＤを測定するとともに、吸着ヘッド１の幅
測定によりその径φＤZを測定し、さらに、ノズル先端
部１１ａの長さ寸法Ｍも測定して、予め与えられたノズ
ル径データおよびノズル長さデータと概略一致するかど
うかを調べることができる。以下に、その与えられたノ
ズル径データおよびノズル長さデータとしての＜表２＞
を例示する。
光学的検出装置を備えた部品実装装置によれば、吸着ヘ
ッド１に装着したノズル１１の先端部１１ａの幅測定に
よりその径φＤを測定するとともに、吸着ヘッド１の幅
測定によりその径φＤZを測定し、さらに、ノズル先端
部１１ａの長さ寸法Ｍも測定して、予め与えられたノズ
ル径データおよびノズル長さデータと概略一致するかど
うかを調べることができる。以下に、その与えられたノ
ズル径データおよびノズル長さデータとしての＜表２＞
を例示する。
【００２３】 即ち、図２に示すように、発光体ケース２１のスリット
状の発光部２２から、吸着ヘッド１部分に向かって側方
からほぼ水平方向にレーザー光Ｌを照射して、そのレー
ザー光Ｌを受光体ケース２３のスリット状のＣＣＤライ
ンセンサ等の受光部２４により受光して、その受光部２
４に何らかの幅が映っていれば、モータ５を駆動して、
その駆動軸６に設けたピニオン７とラック４の噛み合い
を介してフランジ３と一体の支持パイプ２の上方向移動
に変換する。このようにして、吸着ヘッド１を上に上げ
て行き、検出幅が０になるところを原点とする。
状の発光部２２から、吸着ヘッド１部分に向かって側方
からほぼ水平方向にレーザー光Ｌを照射して、そのレー
ザー光Ｌを受光体ケース２３のスリット状のＣＣＤライ
ンセンサ等の受光部２４により受光して、その受光部２
４に何らかの幅が映っていれば、モータ５を駆動して、
その駆動軸６に設けたピニオン７とラック４の噛み合い
を介してフランジ３と一体の支持パイプ２の上方向移動
に変換する。このようにして、吸着ヘッド１を上に上げ
て行き、検出幅が０になるところを原点とする。
【００２４】また、検出幅が始めから０であれば、前記
と逆にして、吸着ヘッド１を下に下げて行き、検出幅が
出てから少し下げたところから再び上に上げて原点出し
を行う。
と逆にして、吸着ヘッド１を下に下げて行き、検出幅が
出てから少し下げたところから再び上に上げて原点出し
を行う。
【００２５】レーザーアライン装置による光学的検出装
置を用いているので、バキューム圧の検出を用いずに、
吸着ヘッド１の太さ（幅）を用いて、ノズルの有無、種
類を決定し、そのノズルに合わせた長さで原点出しを行
うことができる。
置を用いているので、バキューム圧の検出を用いずに、
吸着ヘッド１の太さ（幅）を用いて、ノズルの有無、種
類を決定し、そのノズルに合わせた長さで原点出しを行
うことができる。
【００２６】即ち、具体的には、Ｚ軸の原点出しに当た
ってもレーザーアライン装置による機能を用いており、
Ｚ軸の下端を検出した高さをＺ軸の原点の基準として用
いる。ここで、図１に示したように、自動ノズル交換装
置１０があると、Ｚ軸下端である吸着ヘッド１にはノズ
ルが有ったり無かったりするため、基準として用いるに
は、ノズルの有無を同時に検出する必要がある。そこ
で、ノズルを取り外した状態の吸着ヘッド１の径をどの
ノズルとも異なる径φＤZにすることで、ノズルの有無
も確認し、ノズルが付いているときは、事前に与えられ
た＜表２＞のデータから、ノズルの径φＤとノズル先端
部１１ａの長さ寸法ｌを使用して、ノズルがあってもな
くても同一のＺ軸の原点出し用の高さデータが取得でき
るようにする。
ってもレーザーアライン装置による機能を用いており、
Ｚ軸の下端を検出した高さをＺ軸の原点の基準として用
いる。ここで、図１に示したように、自動ノズル交換装
置１０があると、Ｚ軸下端である吸着ヘッド１にはノズ
ルが有ったり無かったりするため、基準として用いるに
は、ノズルの有無を同時に検出する必要がある。そこ
で、ノズルを取り外した状態の吸着ヘッド１の径をどの
ノズルとも異なる径φＤZにすることで、ノズルの有無
も確認し、ノズルが付いているときは、事前に与えられ
た＜表２＞のデータから、ノズルの径φＤとノズル先端
部１１ａの長さ寸法ｌを使用して、ノズルがあってもな
くても同一のＺ軸の原点出し用の高さデータが取得でき
るようにする。
【００２７】以上の通り、レーザーアライン装置による
光学的検出装置を用いたことにより、Ｚ軸のセンサが不
要となり、コストダウンができる。
光学的検出装置を用いたことにより、Ｚ軸のセンサが不
要となり、コストダウンができる。
【００２８】なお、以上の実施例においては、レーザー
アライン装置による光学的検出装置としたが、本発明は
これに限定されるものではなく、同様の機能が得られる
他の光学的検出装置であってもよい。また、吸着ヘッド
のＺ軸駆動方式等も任意であり、その他、具体的な細部
構造等についても適宜に変更可能であることは勿論であ
る。
アライン装置による光学的検出装置としたが、本発明は
これに限定されるものではなく、同様の機能が得られる
他の光学的検出装置であってもよい。また、吸着ヘッド
のＺ軸駆動方式等も任意であり、その他、具体的な細部
構造等についても適宜に変更可能であることは勿論であ
る。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る部品実装装
置によれば、発光部により側方から吸着ヘッド部分の近
傍に向けて光を照射し、その吸着ヘッド部分を挟んで対
向する位置に配置された受光部により光を受光する光学
的検出装置を備えたため、例えば、吸着ヘッドに装着し
たノズルの径の測定、ノズルの装着の有無を含むノズル
の確認と、吸着ヘッドの上下方向の高さ位置の原点出し
とを、単独の検出装置により行うことができ、従って、
コストダウンを図ることができる。
置によれば、発光部により側方から吸着ヘッド部分の近
傍に向けて光を照射し、その吸着ヘッド部分を挟んで対
向する位置に配置された受光部により光を受光する光学
的検出装置を備えたため、例えば、吸着ヘッドに装着し
たノズルの径の測定、ノズルの装着の有無を含むノズル
の確認と、吸着ヘッドの上下方向の高さ位置の原点出し
とを、単独の検出装置により行うことができ、従って、
コストダウンを図ることができる。
【図１】本発明を適用した一例としての部品実装装置の
吸着ヘッドおよびノズルと光学的検出装置の構成を示す
もので、本発明によるノズルの確認を示した概略斜視図
である。
吸着ヘッドおよびノズルと光学的検出装置の構成を示す
もので、本発明によるノズルの確認を示した概略斜視図
である。
【図２】本発明によるＺ軸の原点出しを示した概略斜視
図である。
図である。
１ 吸着ヘッド ２ 支持パイプ ３ フランジ ４ ラック ５ Ｚ軸駆動モータ ６ 駆動軸 ７ ピニオン １０ ノズル交換装置 １１，１２，１３，１４，１５ ノズル ２１ 発光体ケース ２２ 発光部 ２３ 受光体ケース ２４ 受光部
Claims (1)
- 【請求項１】 吸着ヘッドと、この吸着ヘッドに着脱可
能とするノズルと、前記吸着ヘッド部分の近傍に向けて
側方から光を照射する発光部と、この発光部に対して前
記吸着ヘッド部分を挟んで対向する位置に配置されて前
記発光部が照射した光を受光する受光部とからなる光学
的検出装置を備えた部品実装装置において、 前記吸着ヘッドに装着した前記ノズルの径と長さの少な
くとも一方を測定する検出手段と、その測定値に基づい
て前記ノズルの装着の有無を含む前記ノズルの確認と、
前記吸着ヘッドの上下方向の高さの原点出しの少なくと
も一方を検出する制御手段を持つことを特徴とする部品
実装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5326927A JP2764000B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5326927A JP2764000B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 部品実装装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07183694A true JPH07183694A (ja) | 1995-07-21 |
| JP2764000B2 JP2764000B2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=18193322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5326927A Expired - Fee Related JP2764000B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 部品実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2764000B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998024292A1 (fr) * | 1996-11-29 | 1998-06-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede d'installation et de montage de pieces, et appareil-monteur correspondant |
| JPH11204996A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置におけるノズル取付状態の検査方法 |
| WO2002056663A1 (de) * | 2001-01-09 | 2002-07-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Bauelementeaufnahmeeinrichtung mit einem optischen sensormittel |
| JP2003008292A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | I-Pulse Co Ltd | 表面実装機用ノズル及び表面実装機 |
| JP2009021438A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Juki Corp | 部品吸着状態判定方法及び装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132897A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Toshiba Corp | 部品実装装置 |
| JPH06104596A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-04-15 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品装着方法及び同装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP5326927A patent/JP2764000B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132897A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Toshiba Corp | 部品実装装置 |
| JPH06104596A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-04-15 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品装着方法及び同装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998024292A1 (fr) * | 1996-11-29 | 1998-06-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede d'installation et de montage de pieces, et appareil-monteur correspondant |
| JPH11204996A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置におけるノズル取付状態の検査方法 |
| WO2002056663A1 (de) * | 2001-01-09 | 2002-07-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Bauelementeaufnahmeeinrichtung mit einem optischen sensormittel |
| JP2003008292A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | I-Pulse Co Ltd | 表面実装機用ノズル及び表面実装機 |
| JP2009021438A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Juki Corp | 部品吸着状態判定方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2764000B2 (ja) | 1998-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR910003000B1 (ko) | 전자 부품 장착 장치 | |
| JPH08213800A (ja) | 実装機の部品状態検出装置 | |
| US8136219B2 (en) | Electronic component mounter and mounting method | |
| JP2009027015A (ja) | 電子部品装着方法及び電子部品装着装置 | |
| JP5052302B2 (ja) | 部品実装方法及び装置 | |
| JP4634204B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
| US8701275B2 (en) | Surface mounting apparatus | |
| JPH07183694A (ja) | 部品実装装置 | |
| JP2007043076A (ja) | 電子部品の実装装置 | |
| US5038380A (en) | Method for recognizing position of component and apparatus therefor | |
| JP2006210705A (ja) | 電子部品実装装置 | |
| JP3115960B2 (ja) | 部品認識装置の基準点調整装置 | |
| JP3046688B2 (ja) | チップマウンター | |
| JP2007311472A (ja) | 部品認識データ作成用画像取得方法及び部品実装機 | |
| JPH08181493A (ja) | 部品搭載方法および装置 | |
| JP2001156498A (ja) | 表面実装部品装着機における持ち帰り電子部品の検出方法 | |
| JP4633912B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
| JPH07162200A (ja) | 電子部品の装着方法及び装置 | |
| JP2000101298A (ja) | 部品位置整合装置及びこれを用いた部品位置整合方法 | |
| JP2006054302A (ja) | 部品実装装置 | |
| JP4008722B2 (ja) | 電子部品の電極浮き検出方法及び装置 | |
| JP2000059099A (ja) | 部品搭載装置 | |
| JP4675833B2 (ja) | 部品の厚み測定方法、実装方法、部品の厚み測定装置、および、部品実装機 | |
| JPH11297774A (ja) | 半田ボール吸着検査装置 | |
| JP3891689B2 (ja) | ボンディング装置及び方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100327 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100327 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110327 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110327 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130327 Year of fee payment: 15 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |