JPH07167691A - フルイディック流量計における流体振動検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微小流量検出時におけるマイクロフローセン
サの感度を高める。 【構成】 左右の流体振動検出孔７、７ａとこれを結ぶ
流路８内の断面積を同一に設定し、流路８内において流
速が減速するのを防止してマイクロフローセンサ１０の
感度を高める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、都市ガス、ＬＰガス等
のような気体の流量計測用に用いられるフルイディック
流量計における流体振動検出装置に適用される。

【０００２】

【従来の技術】フルイディック素子のノズル部分から被
計測流体を噴出させてコアンダ効果により流体振動を発
生させ、この流体振動（パルス）から流量を演算するフ
ルイディック流量計が公知である。この公知のフルイデ
ィック流量計の場合、流体振動を電気信号に変換する手
段として、圧電膜に流体振動を作用させ、この時圧電膜
に発生する電気信号をパルスとして検出し、このパルス
数から流量を演算する方式が一般的であるが、このよう
な圧電膜を利用する流体振動検出手段の場合、外部から
振動がフルイディック流量計に加わると、この外部振動
で圧電膜が変位（振動）してしまい、パルスを発生し、
計測誤差を生むことがある。

【０００３】この公知例の欠点を改善するものとして、
左右の流体振動検出孔を流路で結び、この流路内にマイ
クロフローセンサを組み込み、流路内に発生する流速の
変化をマイクロフローセンサで検出し、この変化量を基
にして流量を演算するようにした流量測定装置の提案が
ある（特開平４−５８１１１号公報）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記提案にお
いては、次のような欠点がある。 ａ．流体振動検出孔の入口と流路との断面積を比較した
場合、流体振動検出孔の断面積は流路に比較して数分の
１と小さい。このため、この検出孔から流路内に入った
流体の速度は急激に減速すると共に位相変化によりマイ
クロフローセンサの感度が低下する。特にこの傾向は微
小流量計測時に顕著に表れる。

【０００５】本発明の目的は、マイクロフローセンサの
感度の向上を図ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に提案する本発明の構成は次のとおりである。フルイデ
ィック素子の流体振動検出孔間を流路で結び、この流路
内にマイクロフローセンサを組み込んで成るフルイディ
ック流量計における流体振動検出装置において、前記流
体振動検出孔と流路部分の断面積を同一に形成したこと
を特徴とするフルイディック流量計における流体振動検
出装置。

【０００７】

【作用】フルイディック素子のノズル部分から流体振動
発生室内に被計測流体が噴出すると、コアンダ効果によ
り流体振動が発生し、この流体振動に基づく被計測流体
の流れが流体振動検出孔間を結ぶ流路内に発生する。マ
イクロフローセンサは、この流路内の流速の変化を検出
し、これを電気信号に変換して流量演算回路側に送出す
る。流量演算回路は、電気信号の変化量（パルス数）を
基に流量を演算し、これを例えば表示回路で表示し、同
時に積算値を書き換える。

【０００８】上記作用において、本発明の場合、流体振
動検出孔の断面積と流路の断面積を同一に形成したこと
により、流体振動検出孔から流入した流体の流速は流路
内に入っても減速せず、そのままの流速でマイクロフロ
ーセンサのところに至る。この結果、特に微小流量計測
時において、マイクロフローセンサの感度が向上する。

【０００９】

【実施例】図１は、本発明を実施したフルイディック流
量計におけるフルイディック素子の説明図であって、１
はフルイディック素子本体、２は被計測流体流入口、３
はノズル、４はノズル３の噴出側に形成された流体振動
発生室、５は流体振動発生室４の中央に配置されたター
ゲット、６、６ａはフィードバック流路、７、７ａは流
体振動検出孔（圧力検出孔）であって、この流体振動検
出孔７、７ａは流路８により結ばれている。

【００１０】９は流体振動検出装置であって、この流体
振動検出装置９は、図２に示すように、流路８の断面積
と前記した流体振動検出孔７、７ａの断面積は同一に形
成され、流路８内にマイクロフローセンサ１０を組み込
んだ構成である。図中１１は流体流出口、１２は流量演
算回路、１３は流量表示回路である。

【００１１】上記実施例の場合、左右の流体振動検出孔
７、７ａの間に流体振動に基づく差圧が発生すると、流
路８内に流速が発生する。この流速の変化をマイクロフ
ローセンサ１０で検出し、このマイクロフローセンサ１
０で発生した電気信号を流量演算回路１２側に送出す
る。流量演算回路１２で演算された流量は流量表示回路
１３で表示される。

【００１２】上記実施例において、流体振動検出孔７、
７ａの断面積と流路８の断面積は同一に設定されている
ため、流体振動検出孔７、７ａから流入した流体の速度
は、流路８内に入っても減速しない。マイクロフローセ
ンサ１０はこの減速しない流速をそのまま検出すること
になるため、特に微小流量計測時の感度が向上する。

【００１３】

【発明の効果】本発明は以上のように、左右の流体振動
検出孔の断面積と流路の断面積を同一に設定したことに
より、流体振動検出孔から流路内に流入する流体の速度
は減速しない。この結果、特に微小流量計測時における
マイクロフローセンサの感度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施したフルイディック素子の説明
図。

【図２】流体振動検出装置の説明図。

【符号の説明】

１ フルイディック素子 ２ 被計測流体流入口 ３ ノズル ４ 流体振動発生室 ５ ターゲット ６、６ａ フィードバック流路 ７、７ａ 流体振動検出孔 ８ 流路 ９ 流体振動検出装置 １０ マイクロフローセンサ １１ 流体流出口 １２ 流量演算回路 １３ 流量表示回路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フルイディック素子の流体振動検出孔間
   を流路で結び、この流路内にマイクロフローセンサを組
   み込んで成るフルイディック流量計における流体振動検
   出装置において、前記流体振動検出孔と流路部分の断面
   積を同一に形成したことを特徴とするフルイディック流
   量計における流体振動検出装置。