JPH07167690A - フルイディック流量計における流体振動検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微小流量検出時におけるマイクロフローセン
サの感度を高める。 【構成】 左右の流体振動検出孔７、７ａを結ぶ流路８
内に流速を高めるための絞り１０を形成し、マイクロフ
ローセンサ１１をこの絞り１０の部分に組み込む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、都市ガス、ＬＰガス等
のような気体の流量計測用に用いられるフルイディック
流量計における流体振動検出装置に適用される。

【０００２】

【従来の技術】フルイディック素子のノズル部分から被
計測流体を噴出させてコアンダ効果により流体振動を発
生させ、この流体振動（パルス）から流量を演算するフ
ルイディック流量計が公知である。この公知のフルイデ
ィック流量計の場合、流体振動を電気信号に変換する手
段として、圧電膜に流体振動を作用させ、この時圧電膜
に発生する電気信号をパルスとして検出し、このパルス
数から流量を演算する方式が一般的であるが、このよう
な圧電膜を利用する流体振動検出手段の場合、外部から
振動がフルイディック流量計に加わると、この外部振動
で圧電膜が変位（振動）してしまい、パルスを発生し、
計測誤差を生むことがある。

【０００３】この公知例の欠点を改善するものとして、
左右の流体振動検出孔を流路で結び、この流路内にマイ
クロフローセンサを組み込み、流路内に発生する流速の
変化をマイクロフローセンサで検出し、この変化量を基
にして流量を演算するようにした流量測定装置の提案が
ある（特開平４−５８１１１号公報）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記提案にお
いては、次のような欠点がある。 ａ．微小流量計測時に発生する流路内の流速は極めて小
さくなるため、マイクロフローセンサの感度が低下す
る。

【０００５】本発明の目的は、微小流量計測時におい
て、マイクロフローセンサの感度が低下するのを防止す
ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に提案する本発明の構成は次のとおりである。フルイデ
ィック素子の流体振動検出孔間を流路で結び、この流路
内にマイクロフローセンサを組み込んで成るフルイディ
ック流量計における流体振動検出装置において、前記マ
イクロフローセンサが組み込まれた流路部分の断面積を
他の流路部分よりも小さく設定して絞りを形成したこと
を特徴とするフルイディック流量計における流体振動検
出装置。

【０００７】

【作用】フルイディック素子のノズル部分から流体振動
発生室内に被計測流体が噴出すると、コアンダ効果によ
り流体振動が発生し、この流体振動に基づく被計測流体
の流れが流体振動検出孔間を結ぶ流路内に発生する。マ
イクロフローセンサは、この流路内の流速の変化を検出
し、これを電気信号に変換して流量演算回路側に送出す
る。流量演算回路は、電気信号の変化量（パルス数）を
基に流量を演算し、これを例えば表示回路で表示し、同
時に積算値を書き換える。

【０００８】上記作用において、本発明の場合、マイク
ロフローセンサが組み込まれた部分の流路に絞りが形成
されているため、この部分においては他の流路部分より
も流速が高まる。この結果、微小流量計測時において、
流路内の流速が小さい場合でも、マイクロフローセンサ
部分の流速は高まり、この高まった分マイクロフローセ
ンサの感度が向上する。

【０００９】

【実施例】図１は、本発明を実施したフルイディック流
量計におけるフルイディック素子の説明図であって、１
はフルイディック素子本体、２は被計測流体流入口、３
はノズル、４はノズル３の噴出側に形成された流体振動
発生室、５は流体振動発生室４の中央に配置されたター
ゲット、６、６ａはフィードバック流路、７、７ａは流
体振動検出孔（圧力検出孔）であって、この流体振動検
出孔７、７ａは流路８により結ばれている。

【００１０】９は流体振動検出装置であって、この流体
振動検出装置９は、図２に示すように、流路８の断面積
を他の部分よりもゆるやかに小さく設定して絞り１０を
形成し、マイクロフローセンサ１１をこの絞り１０内に
位置させて組み込んだ構成である。図中１２は流体流出
口、１３は流量演算回路、１４は流量表示回路である。

【００１１】上記実施例の場合、左右の流体振動検出孔
７、７ａの間に流体振動に基づく差圧が発生すると、流
路８内に流速が発生する。この流速の変化をマイクロフ
ローセンサ１１で検出し、このマイクロフローセンサ１
１から電気信号を流量演算回路１３側に送出する。流量
演算回路１３で演算された流量は流量表示回路１４で表
示される。

【００１２】上記実施例において、流路８のマイクロフ
ローセンサ１１部分に絞り１０が形成されているため、
流路８内の流速はこの絞り１０の部分において高まる。

【００１３】マイクロフローセンサ１１はこの高まった
流速を検出することになるため、その分感度が向上し、
微小流量計測が可能になる。

【００１４】

【発明の効果】本発明は以上のように、左右の流体振動
検出孔間を結ぶ流路内の一部の断面積を他の部分よりも
ゆるやかに小さく設定して絞りを形成し、この絞り部分
にマイクロフローセンサを組み込んだので、微小流量に
より流路内の流速が極めて小さい場合でも、絞り部分に
おいては流速が高まり、この分マイクロフローセンサの
感度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施したフルイディック素子の説明
図。

【図２】流体振動検出装置の説明図。

【符号の説明】

１ フルイディック素子 ２ 被計測流体流入口 ３ ノズル ４ 流体振動発生室 ５ ターゲット ６、６ａ フィードバック流路 ７、７ａ 流体振動検出孔 ８ 流路 ９ 流体振動検出装置 １０ 絞り １１ マイクロフローセンサ １２ 流体流出口 １３ 流量演算回路 １４ 流量表示回路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フルイディック素子の流体振動検出孔間
   を流路で結び、この流路内にマイクロフローセンサを組
   み込んで成るフルイディック流量計における流体振動検
   出装置において、前記マイクロフローセンサが組み込ま
   れた流路部分の断面積を他の流路部分よりも小さく設定
   して絞りを形成したことを特徴とするフルイディック流
   量計における流体振動検出装置。