JP2708283B2 - マイクロフローセンサ付フルイディック流量計 - Google Patents

マイクロフローセンサ付フルイディック流量計

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JP2708283B2
JP2708283B2 JP3023072A JP2307291A JP2708283B2 JP 2708283 B2 JP2708283 B2 JP 2708283B2 JP 3023072 A JP3023072 A JP 3023072A JP 2307291 A JP2307291 A JP 2307291A JP 2708283 B2 JP2708283 B2 JP 2708283B2
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健 安部
雅彦 松下
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Tokyo Gas Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、小流量域での計測はノ
ズル流路内に組み込んだマイクロフローセンサで行うマ
イクロフローセンサ付フルイディック流量計に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】マイクロフローセンサ（以下「フローセ
ンサ」という）は、流速を電気的に捉えて流量を検出す
る方式であることから、ノズル流路の中央にその感応部
を挿入するのが理想である。
【０００３】しかし、ノズル流路の中央まで感応部を挿
入すると、細いリードが長くなり、流速或いは衝撃で変
位して、測定誤差を発生する心配がある。又、これらの
問題を防止するためにリードを太くするとノズル流路内
の流れを乱してフルイディック素子の発振に悪い影響を
及ぼす心配がある。このような理由で、フローセンサ
は、ノズル流路の底壁又は天壁に近い部分に挿入されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このため、流体の流速
は、壁に近い部分において低下することから，壁の影響
を受けて感度が低下するという問題がある。
【０００５】本発明の目的は、フルイディック流量計に
おいて、ノズル部分に組み込まれたフローセンサの感度
を向上させることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は次のとお
りである。
【０００７】ノズル部分にフローセンサを組み込んだフ
ルイディック流量計において、フローセンサが位置する
ノズル流路の一部を他の部分と区画してフローセンサ流
路を形成すると共にこのフローセンサ流路の入口に、他
のノズル流路の入口に比較して大きな入口角を付与して
成るマイクロフローセンサ付フルイディック流量計。
【０００８】
【作用】被測定流体は、ノズル流路内を通り、フルイデ
ィック振動発振室内に噴出してここで流体振動を発生
し、この流体振動は電気的に捕捉されて演算回路に入力
され、流量が演算される。
【０００９】一方、フローセンサは小流量域において、
例えば間欠的に駆動され、ノズル流路内を流れる被測定
流体の流速を検出し、この信号が演算回路に入力され、
流量が演算される。
【００１０】このような測定時に、フローセンサ流路側
は、その流入口が他の部分に比較して大きく開かれてい
るため、流入部における圧力損失が小さくなるが、ノズ
ル部全体の圧力損失は一定であるので、結果的にフロー
センサの取り付けられている流路部での圧力損失が増大
し、被測定流体の流速が流入部分を大きくしていない側
の流路に比べて大きくなる。
【００１１】この結果、フローセンサ部分での流速勾配
が大きくなり、フローセンサは、フローセンサ流路を構
成しない場合に比較して、微小流量域においても高感度
検出を行う。
【００１２】
【実施例】図１はノズル２のノズル流路３内であって、
天壁側にフローセンサ４を挿入したフルイディック素子
にして、５、５′は振動検出口である。
【００１３】図１及び図２において，６はフローセンサ
４が挿入されている天壁側に挿入されたセパレータにし
て、このセパレータ６の後端６′はノズル流路３の噴出
口３ａ前で止っている。
【００１４】７はセパレータ６により形成されたフロー
センサ流路にして、このフローセンサ流路７の入口壁
７′は図４に示すように、他のノズル流路入口壁３′の
広がりＱに対してＱ１と大きく開かれ、流体が流入しや
すいように工夫されている。
【００１５】なお、実施例の場合、ノズル流路３内には
セパレータ６を一枚だけ挿入しているが、これを同じよ
うに多段に挿入してノズル流路を上下方向において分割
し、流れを安定化させてフルイディック素子側の性能を
向上させるようにしてもよい。
【００１６】上記実施例においてはセパレータ６により
フローセンサ流路７が形成され、この流路７内の流速を
高めるように工夫したので、流速勾配は図３に示すよう
に、ｑからｑ１と大きく改善され、この分フローセンサ
４の感度が向上する。
【００１７】
【発明の効果】本発明は以上のように、フローセンサの
挿入された部分において流速を高め、流速勾配が大きく
なるように工夫したので、特に微小流量域での計測精度
が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施したフルイディック素子の説明
図。
【図２】ノズル部分の斜視図。
【図３】ノズル流路内の流速勾配の説明図。
【図４】ノズル流路入口角の説明図。
【符号の説明】
１ フルイディック素子 ２ ノズル ３ ノズル流路 ３′ノズル流路入口壁 ４ フローセンサ ５、５′振動検出口 ６ セパレータ ６ａ 後端 ７ フローセンサ流路 ７′フローセンサ流路入口壁

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ノズル部分にマイクロフローセンサを組
    み込んだフルイディック流量計において、マイクロフロ
    ーセンサが位置するノズル流路の一部を他の部分と区画
    してフローセンサ流路を形成すると共にこのフローセン
    サ流路の入口に、他のノズル流路の入口に比較して大き
    な入口角を付与して成るマイクロフローセンサ付フルイ
    ディック流量計。
JP3023072A 1991-02-18 1991-02-18 マイクロフローセンサ付フルイディック流量計 Expired - Fee Related JP2708283B2 (ja)

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