JPH07157117A - 板状体または箱体の真空チャック装置 - Google Patents
板状体または箱体の真空チャック装置Info
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- JPH07157117A JPH07157117A JP5307894A JP30789493A JPH07157117A JP H07157117 A JPH07157117 A JP H07157117A JP 5307894 A JP5307894 A JP 5307894A JP 30789493 A JP30789493 A JP 30789493A JP H07157117 A JPH07157117 A JP H07157117A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- size
- cups
- adsorbent
- chuck device
- Prior art date
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- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/918—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S294/00—Handling: hand and hoist-line implements
- Y10S294/907—Sensor controlled device
Abstract
(57)【要約】
【目的】 板状体または箱体の真空チャック装置におい
て、被吸着体の大きさに応じてチャックするバキューム
カップの数を自動的に変えるようにする。 【構成】 略中央に固定されたバキュームカップ11と、
その周囲にエアシリンダ21，22を介して上下動可能にチ
ャックフレーム１設けられたバキュームカップ13，12を
設け、吸着しようとする被吸着体の大きさに応じた信号
Ｓを出力する被吸着体サイズ指示手段80と、その信号Ｓ
に基づいて吸着に不必要なバキュームカップ13，12を選
択的に上方に退避させるように、エアシリンダ21，22に
エアを供給する電磁バルブ55の開閉を制御するコントロ
ーラ70を備えてなる。
て、被吸着体の大きさに応じてチャックするバキューム
カップの数を自動的に変えるようにする。 【構成】 略中央に固定されたバキュームカップ11と、
その周囲にエアシリンダ21，22を介して上下動可能にチ
ャックフレーム１設けられたバキュームカップ13，12を
設け、吸着しようとする被吸着体の大きさに応じた信号
Ｓを出力する被吸着体サイズ指示手段80と、その信号Ｓ
に基づいて吸着に不必要なバキュームカップ13，12を選
択的に上方に退避させるように、エアシリンダ21，22に
エアを供給する電磁バルブ55の開閉を制御するコントロ
ーラ70を備えてなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状体または箱体の真空
チャック装置に関し、詳細には板状体または箱体の大き
さに適した数のバキュームカップを選択的に作動させる
機構の改良に関するものである。
チャック装置に関し、詳細には板状体または箱体の大き
さに適した数のバキュームカップを選択的に作動させる
機構の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ガラス板などの板状体や段ボ
ール箱などの箱体をチャックするものとして、バキュー
ムカップを用いた真空チャック装置が知られている。こ
の真空チャック装置は、複数個のバキュームカップがチ
ャックフレームなどのベースに固設され、バキュームカ
ップを上述の板状体や箱体の所定の面に押圧し、カップ
内の空気を吸引することによってカップと板状体や箱体
の所定の面とで囲まれる空間を負圧とし、これら板状体
や箱体を吸引してチャックするものである。
ール箱などの箱体をチャックするものとして、バキュー
ムカップを用いた真空チャック装置が知られている。こ
の真空チャック装置は、複数個のバキュームカップがチ
ャックフレームなどのベースに固設され、バキュームカ
ップを上述の板状体や箱体の所定の面に押圧し、カップ
内の空気を吸引することによってカップと板状体や箱体
の所定の面とで囲まれる空間を負圧とし、これら板状体
や箱体を吸引してチャックするものである。
【０００３】ところでこのような真空チャック装置を搬
送工程において使用する場合、板状体や箱体などの被吸
着体のサイズに適合したものを用いる必要がある。しか
しサイズの異なる被吸着体ごとにそれぞれ適合する真空
チャック装置を工程に設けると、コストの上昇を招き、
またこれらを配置するスペースを大きく確保する必要が
ある。このように、サイズの異なる被吸着体ごとに真空
チャック装置を設けるのは実用上問題が多い。
送工程において使用する場合、板状体や箱体などの被吸
着体のサイズに適合したものを用いる必要がある。しか
しサイズの異なる被吸着体ごとにそれぞれ適合する真空
チャック装置を工程に設けると、コストの上昇を招き、
またこれらを配置するスペースを大きく確保する必要が
ある。このように、サイズの異なる被吸着体ごとに真空
チャック装置を設けるのは実用上問題が多い。
【０００４】そこで１つの真空チャック装置で、複数の
サイズの被吸着体に適合させることが考えられる。この
ようなものとして例えば実公昭47-12624号公報による
と、チャックフレームに設けられた複数のバキュームカ
ップのうち、中心部のバキュームカップは、被吸着体の
サイズに拘らず常に被吸着体を吸着するように固定され
て設けられ、一方端部のバキュームカップには、上方に
退避する位置に固定できるように掛止子が設けられ、サ
イズの小さい被吸着体に対しては、この端部のバキュー
ムカップの掛止子を手動でフレームに係止して、端部の
バキュームカップを上方に退避し、この端部のバキュー
ムカップが非吸着体に吸着しないようにし、サイズの大
きい被吸着体に対しては、この端部のバキュームカップ
の掛止子を手動でフレームから外して、端部のバキュー
ムカップも非吸着体に吸着するようにした構成である。
これにより１つの真空チャック装置で複数のサイズの被
吸着体に適合させることができる。
サイズの被吸着体に適合させることが考えられる。この
ようなものとして例えば実公昭47-12624号公報による
と、チャックフレームに設けられた複数のバキュームカ
ップのうち、中心部のバキュームカップは、被吸着体の
サイズに拘らず常に被吸着体を吸着するように固定され
て設けられ、一方端部のバキュームカップには、上方に
退避する位置に固定できるように掛止子が設けられ、サ
イズの小さい被吸着体に対しては、この端部のバキュー
ムカップの掛止子を手動でフレームに係止して、端部の
バキュームカップを上方に退避し、この端部のバキュー
ムカップが非吸着体に吸着しないようにし、サイズの大
きい被吸着体に対しては、この端部のバキュームカップ
の掛止子を手動でフレームから外して、端部のバキュー
ムカップも非吸着体に吸着するようにした構成である。
これにより１つの真空チャック装置で複数のサイズの被
吸着体に適合させることができる。
【０００５】また実公昭47-12625号公報に開示された技
術によると、上記端部のバキュームカップが、吸着平面
内で所定の半径でスイング可能にアームに固定され、こ
のアームのスイング角度を手動で被吸着体のサイズごと
に変えることによって、複数のサイズの被吸着体に適合
させることができる。
術によると、上記端部のバキュームカップが、吸着平面
内で所定の半径でスイング可能にアームに固定され、こ
のアームのスイング角度を手動で被吸着体のサイズごと
に変えることによって、複数のサイズの被吸着体に適合
させることができる。
【０００６】さらに、特開平４-41342号公報に開示され
た技術によれば、バキュームカップを支持する軸の上部
にピニオンギヤが形成され、このピニオンギヤに螺合す
る２つの互いに対向するラックがフレームに設けられ、
軸を手動によって上方に押し上げ、ピニオンギヤをラッ
クから外して２つのラックの延びる方向に軸を移動し、
その移動した後の位置において軸のピニオンギヤを再び
ラックに螺合させることによってバキュームカップの位
置を種々変更し、複数のサイズの被吸着体に適合させる
ものである。
た技術によれば、バキュームカップを支持する軸の上部
にピニオンギヤが形成され、このピニオンギヤに螺合す
る２つの互いに対向するラックがフレームに設けられ、
軸を手動によって上方に押し上げ、ピニオンギヤをラッ
クから外して２つのラックの延びる方向に軸を移動し、
その移動した後の位置において軸のピニオンギヤを再び
ラックに螺合させることによってバキュームカップの位
置を種々変更し、複数のサイズの被吸着体に適合させる
ものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の真
空チャック装置によるサイズの切替えは手動で行う構成
であるが、１つのラインで多品種多サイズの被吸着体が
混流するような工程においては、サイズの異なる被吸着
体が通過する都度、ライン作業を停止してサイズの切替
えを行う必要がある。そのため作業効率は極端に低下
し、また無人の自動設備にこの真空チャック装置を適用
することはできない。
空チャック装置によるサイズの切替えは手動で行う構成
であるが、１つのラインで多品種多サイズの被吸着体が
混流するような工程においては、サイズの異なる被吸着
体が通過する都度、ライン作業を停止してサイズの切替
えを行う必要がある。そのため作業効率は極端に低下
し、また無人の自動設備にこの真空チャック装置を適用
することはできない。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みなされたものであ
って、被吸着体の大きさに応じて、この被吸着体を吸引
するのに適したバキュームカップの数を自動的に切り替
える板状体または箱体の真空チャック装置を提供するこ
とを目的とするものである。
って、被吸着体の大きさに応じて、この被吸着体を吸引
するのに適したバキュームカップの数を自動的に切り替
える板状体または箱体の真空チャック装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の板状体または箱
体の真空チャック装置は、予め被吸着体を吸着可能の位
置に垂下された複数のバキュームカップのうち、被吸着
体のサイズを示す信号に応じて、不必要なバキュームカ
ップを自動的に選択して上方に退避させて、あるいは予
め上方に退避させられた複数のバキュームカップのうち
必要なバキュームカップを自動的に選択して下降させ
て、吸着に必要なバキュームカップの数を変化させるよ
うに構成したことを特徴とするものである。
体の真空チャック装置は、予め被吸着体を吸着可能の位
置に垂下された複数のバキュームカップのうち、被吸着
体のサイズを示す信号に応じて、不必要なバキュームカ
ップを自動的に選択して上方に退避させて、あるいは予
め上方に退避させられた複数のバキュームカップのうち
必要なバキュームカップを自動的に選択して下降させ
て、吸着に必要なバキュームカップの数を変化させるよ
うに構成したことを特徴とするものである。
【００１０】すなわち本発明の第１の真空チャック装置
は請求項１に記載したように、支持部材に上下動可能に
設けられた、真空力により板状体または箱体を吸着しう
る複数のバキュームカップと、この複数のバキュームカ
ップを各別に上下駆動する複数の駆動手段と、吸着しよ
うとする板状体または箱体の大きさに応じた信号を出力
する被吸着体サイズ指示手段と、被吸着体サイズ指示手
段より出力された信号に基づいて、上記複数のバキュー
ムカップのうち吸着に不必要なバキュームカップを選択
的に、上方に退避させるように駆動手段を制御する制御
手段とを備えてなることを特徴とするものである。
は請求項１に記載したように、支持部材に上下動可能に
設けられた、真空力により板状体または箱体を吸着しう
る複数のバキュームカップと、この複数のバキュームカ
ップを各別に上下駆動する複数の駆動手段と、吸着しよ
うとする板状体または箱体の大きさに応じた信号を出力
する被吸着体サイズ指示手段と、被吸着体サイズ指示手
段より出力された信号に基づいて、上記複数のバキュー
ムカップのうち吸着に不必要なバキュームカップを選択
的に、上方に退避させるように駆動手段を制御する制御
手段とを備えてなることを特徴とするものである。
【００１１】ここで上記被吸着体サイズ指示手段は、単
に外部から与えられた被吸着体のサイズ情報に基づい
て、予め定められた複数のサイズ信号のうちの１つを出
力するものであってもよいし、あるいは被吸着体のサイ
ズをそれぞれ検知したうえでサイズ信号を出力するよう
な構成のものであってもよい。
に外部から与えられた被吸着体のサイズ情報に基づい
て、予め定められた複数のサイズ信号のうちの１つを出
力するものであってもよいし、あるいは被吸着体のサイ
ズをそれぞれ検知したうえでサイズ信号を出力するよう
な構成のものであってもよい。
【００１２】またこの真空チャック装置において、複数
のバキュームカップのうち略中央領域に分布する少なく
とも１つのバキュームカップは、上方に退避されないよ
うに上下方向の位置が固定されているように構成しても
よい。
のバキュームカップのうち略中央領域に分布する少なく
とも１つのバキュームカップは、上方に退避されないよ
うに上下方向の位置が固定されているように構成しても
よい。
【００１３】さらに本発明の第２の真空チャック装置は
請求項２に記載したように、支持部材に上下動可能に設
けられ、略中央領域以外に分布するものについては予め
上方に退避された、真空力により板状体または箱体を吸
着しうる複数のバキュームカップと、上方に退避された
複数のバキュームカップを各別に上下駆動する複数の駆
動手段と、被吸着体の大きさに応じた信号を出力する被
吸着体サイズ指示手段と、被吸着体サイズ指示手段より
出力された信号に基づいて、上方に退避された複数のバ
キュームカップのうち吸着に必要なバキュームカップを
選択的に、下降させるように駆動手段を制御する制御手
段とを備えてなることを特徴とするものである。
請求項２に記載したように、支持部材に上下動可能に設
けられ、略中央領域以外に分布するものについては予め
上方に退避された、真空力により板状体または箱体を吸
着しうる複数のバキュームカップと、上方に退避された
複数のバキュームカップを各別に上下駆動する複数の駆
動手段と、被吸着体の大きさに応じた信号を出力する被
吸着体サイズ指示手段と、被吸着体サイズ指示手段より
出力された信号に基づいて、上方に退避された複数のバ
キュームカップのうち吸着に必要なバキュームカップを
選択的に、下降させるように駆動手段を制御する制御手
段とを備えてなることを特徴とするものである。
【００１４】なお駆動手段としては、エアシリンダを使
用してもよく、単動引込型エアシリンダや複動型エアシ
リンダなどを用いることができる。複動型エアシリンダ
を使用した場合は、バキュームカップを被吸着体に押圧
する押圧力を微調整することができ、特に被吸着体が脆
弱なもの、傷付き易いもの、あるいは軟質のものである
場合は、バキュームカップの押圧による被吸着体の損傷
を防止することができる。
用してもよく、単動引込型エアシリンダや複動型エアシ
リンダなどを用いることができる。複動型エアシリンダ
を使用した場合は、バキュームカップを被吸着体に押圧
する押圧力を微調整することができ、特に被吸着体が脆
弱なもの、傷付き易いもの、あるいは軟質のものである
場合は、バキュームカップの押圧による被吸着体の損傷
を防止することができる。
【００１５】
【作用】本発明の真空チャック装置は、被吸着体サイズ
指示手段から制御手段に被吸着体の大きさに応じた信号
が入力され、制御手段はその入力された信号に応じて、
被吸着体を吸引するのに不必要なバキュームカップを選
択し、その選択したバキュームカップを上方に退避させ
るように駆動手段を制御する。この作用によって本発明
の真空チャック装置によれば、被吸着体のサイズに応じ
て被吸着体の吸引作用を行うバキュームカップの数を自
動的に変えることができ、１つの真空チャック装置で複
数のサイズの被吸着体に適したチャックを自動的に選択
して行うことができるため、工程においては段取替えの
時間および人手を削減することができる。
指示手段から制御手段に被吸着体の大きさに応じた信号
が入力され、制御手段はその入力された信号に応じて、
被吸着体を吸引するのに不必要なバキュームカップを選
択し、その選択したバキュームカップを上方に退避させ
るように駆動手段を制御する。この作用によって本発明
の真空チャック装置によれば、被吸着体のサイズに応じ
て被吸着体の吸引作用を行うバキュームカップの数を自
動的に変えることができ、１つの真空チャック装置で複
数のサイズの被吸着体に適したチャックを自動的に選択
して行うことができるため、工程においては段取替えの
時間および人手を削減することができる。
【００１６】以下、本発明の板状体または箱体の真空チ
ャック装置の実例について図面を用いて説明する。
ャック装置の実例について図面を用いて説明する。
【００１７】図１は本発明の真空チャック装置の要部の
構成を示す斜視透視図、図２は図１に示した真空チャッ
ク装置を矢印Ｙ方向より視た要部側面図、図３は図１に
示した真空チャック装置のバキュームカップの配置を示
す平面図である。図示の真空チャック装置は、全体が図
示しない昇降手段によって昇降可能に設けられたチャッ
クフレーム１と、このフレーム１の下面に対向するよう
に下面と所定の間隔をもってフレーム１に固設されたサ
ブフレーム２とからなる支持部材を有し、この支持部材
のうちサブフレーム２にバキュームカップホルダ14を介
して固設された４つのバキュームカップ11と、このバキ
ュームカップ11の周囲に、フレーム１に設けられた８つ
の上下動可能のバキュームカップ12，13とを備えてな
る。
構成を示す斜視透視図、図２は図１に示した真空チャッ
ク装置を矢印Ｙ方向より視た要部側面図、図３は図１に
示した真空チャック装置のバキュームカップの配置を示
す平面図である。図示の真空チャック装置は、全体が図
示しない昇降手段によって昇降可能に設けられたチャッ
クフレーム１と、このフレーム１の下面に対向するよう
に下面と所定の間隔をもってフレーム１に固設されたサ
ブフレーム２とからなる支持部材を有し、この支持部材
のうちサブフレーム２にバキュームカップホルダ14を介
して固設された４つのバキュームカップ11と、このバキ
ュームカップ11の周囲に、フレーム１に設けられた８つ
の上下動可能のバキュームカップ12，13とを備えてな
る。
【００１８】ここで各バキュームカップ11，12，13につ
いて詳説する。バキュームカップ11は前述したように、
サブフレーム２にカップ11の吸着面を下方に向けてバキ
ュームカップホルダ14を介して固定され、バキュームポ
ンプ40に接続されたバキューム用電磁バルブ37を介して
複数のバキュームホース35，36にそれぞれ接続されてい
る。このバキュームラインは、図３に示す互いに対角の
位置にある２組のバキュームカップ11同士が同一のバキ
ュームホース36で接続されている。バキューム用電磁バ
ルブ37は、所定の制御信号に応じて開閉するように構成
されている。
いて詳説する。バキュームカップ11は前述したように、
サブフレーム２にカップ11の吸着面を下方に向けてバキ
ュームカップホルダ14を介して固定され、バキュームポ
ンプ40に接続されたバキューム用電磁バルブ37を介して
複数のバキュームホース35，36にそれぞれ接続されてい
る。このバキュームラインは、図３に示す互いに対角の
位置にある２組のバキュームカップ11同士が同一のバキ
ュームホース36で接続されている。バキューム用電磁バ
ルブ37は、所定の制御信号に応じて開閉するように構成
されている。
【００１９】一方、バキュームカップ11の外側に配され
たバキュームカップ12，13は、それぞれ単動引込型エア
シリンダ22，21を介してフレーム１にカップ11の吸着面
を下方に向けて設けられており、通常時は図２の実線で
示される吸着可能位置まで垂下されているが、吸着しよ
うとする板状体または箱体などの被吸着体100 の大きさ
に応じて不必要の時は、エアポンプ60から排出されるエ
アによってエアシリンダ22，21がバキュームカップ12，
13を点線位置まで引き上げて退避させる。
たバキュームカップ12，13は、それぞれ単動引込型エア
シリンダ22，21を介してフレーム１にカップ11の吸着面
を下方に向けて設けられており、通常時は図２の実線で
示される吸着可能位置まで垂下されているが、吸着しよ
うとする板状体または箱体などの被吸着体100 の大きさ
に応じて不必要の時は、エアポンプ60から排出されるエ
アによってエアシリンダ22，21がバキュームカップ12，
13を点線位置まで引き上げて退避させる。
【００２０】このエアポンプ60からエアシリンダ22，21
に至るエアラインは、図３に示す中央部により近い位置
に配されたバキュームカップ12に接続されたエアシリン
ダ22と、中央部からより遠い位置に配されたバキューム
カップ13に接続されたエアシリンダ21とで、各別の系統
で配管されており、各系統ごとに所定の制御信号に応じ
て開閉する電磁バルブ55がそれぞれ設けられている。ま
たバキュームカップ12，13は、バキュームポンプ40に接
続されたバキューム用電磁バルブ38，39を介してバキュ
ームホース34にそれぞれ接続されている。バキューム用
電磁バルブ38，39は、バキューム用電磁バルブ37と同様
に、所定の制御信号に応じてそれぞれ開閉するように構
成されている。
に至るエアラインは、図３に示す中央部により近い位置
に配されたバキュームカップ12に接続されたエアシリン
ダ22と、中央部からより遠い位置に配されたバキューム
カップ13に接続されたエアシリンダ21とで、各別の系統
で配管されており、各系統ごとに所定の制御信号に応じ
て開閉する電磁バルブ55がそれぞれ設けられている。ま
たバキュームカップ12，13は、バキュームポンプ40に接
続されたバキューム用電磁バルブ38，39を介してバキュ
ームホース34にそれぞれ接続されている。バキューム用
電磁バルブ38，39は、バキューム用電磁バルブ37と同様
に、所定の制御信号に応じてそれぞれ開閉するように構
成されている。
【００２１】また被吸着体100 の大きさを示すサイズ信
号Ｓを出力する被吸着体サイズ指示手段80、このサイズ
信号Ｓに応じて電磁バルブ55およびバキューム用電磁バ
ルブ37，38，39の開閉を制御する制御信号を各電磁バル
ブ55，37，38，39に出力するコントローラ70を備えてい
る。
号Ｓを出力する被吸着体サイズ指示手段80、このサイズ
信号Ｓに応じて電磁バルブ55およびバキューム用電磁バ
ルブ37，38，39の開閉を制御する制御信号を各電磁バル
ブ55，37，38，39に出力するコントローラ70を備えてい
る。
【００２２】なお上記被吸着体サイズ指示手段80は、被
吸着体100 の大きさを検出して所定のサイズ信号Ｓを出
力するものであってもよいし、単に、管理者や他の被吸
着体サイズ検出手段など外部の手段から与えられた被吸
着体100 の大きさを、その大きさに応じたサイズ信号Ｓ
に置換して出力するものであってもよい。
吸着体100 の大きさを検出して所定のサイズ信号Ｓを出
力するものであってもよいし、単に、管理者や他の被吸
着体サイズ検出手段など外部の手段から与えられた被吸
着体100 の大きさを、その大きさに応じたサイズ信号Ｓ
に置換して出力するものであってもよい。
【００２３】次に本実例の真空チャック装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２４】真空チャック装置は、その下方に配された
被吸着体100 （図２参照）の天板に中央部のバキューム
カップ11が当接するまで、図示しない昇降手段によりチ
ャックフレーム１が下降される。ここでバキュームカッ
プ11が当接した後もさらにチャックフレームは略10ｍｍ
程度下降して、被吸着体100 の天板をバキュームカップ
11を押圧する。この押圧のためのストローク量は一般に
バッファストロークと呼ばれる。
被吸着体100 （図２参照）の天板に中央部のバキューム
カップ11が当接するまで、図示しない昇降手段によりチ
ャックフレーム１が下降される。ここでバキュームカッ
プ11が当接した後もさらにチャックフレームは略10ｍｍ
程度下降して、被吸着体100 の天板をバキュームカップ
11を押圧する。この押圧のためのストローク量は一般に
バッファストロークと呼ばれる。
【００２５】この被吸着体100 の天板をバキュームカッ
プ11で押圧した状態において、バキューム用電磁バルブ
37がコントローラ70からの制御信号により開状態とさ
れ、それによって各バキューム主ホース36とバキューム
ポンプ40が連通する。そしてバキュームカップ11の吸着
面とこの吸着面が押圧している被吸着体100 の天板とに
よって囲まれる空間内の空気がバキュームポンプ40によ
り、バキューム主ホース36およびバキュームホース35を
通じて吸引され、被吸着体100 はバキュームカップ11に
吸着される。被吸着体100 はこのバキュームカップ11に
吸着された状態に保持され、図示しない昇降手段により
チャックフレーム１が上昇されることによって、被吸着
体100 も上方に引き上げられる。
プ11で押圧した状態において、バキューム用電磁バルブ
37がコントローラ70からの制御信号により開状態とさ
れ、それによって各バキューム主ホース36とバキューム
ポンプ40が連通する。そしてバキュームカップ11の吸着
面とこの吸着面が押圧している被吸着体100 の天板とに
よって囲まれる空間内の空気がバキュームポンプ40によ
り、バキューム主ホース36およびバキュームホース35を
通じて吸引され、被吸着体100 はバキュームカップ11に
吸着される。被吸着体100 はこのバキュームカップ11に
吸着された状態に保持され、図示しない昇降手段により
チャックフレーム１が上昇されることによって、被吸着
体100 も上方に引き上げられる。
【００２６】被吸着体100 の引上げが不必要になると、
昇降手段によりチャックフレーム１が下降され、それに
伴って被吸着体100 も下降して所定の位置に着地され
る。ここでバキューム用電磁バルブ37はコントローラ70
からの制御信号に基づいて閉状態となり、バキュームポ
ンプ40によるバキュームカップ11の吸着面における空気
の吸引が中止され、図示しない給気口を通じてバキュー
ムカップ11の吸着面に空気が流入し、被吸着体100 はバ
キュームカップ11の吸着面から離脱する。
昇降手段によりチャックフレーム１が下降され、それに
伴って被吸着体100 も下降して所定の位置に着地され
る。ここでバキューム用電磁バルブ37はコントローラ70
からの制御信号に基づいて閉状態となり、バキュームポ
ンプ40によるバキュームカップ11の吸着面における空気
の吸引が中止され、図示しない給気口を通じてバキュー
ムカップ11の吸着面に空気が流入し、被吸着体100 はバ
キュームカップ11の吸着面から離脱する。
【００２７】上述した作用は、通常の真空チャック装置
の基本的な動作であるが、本実施例の真空チャック装置
では、フレーム１の中央部に配され、サブフレーム２に
固設された４つのバキュームカップ11が常に上述の作用
をなす。すなわちこれら４つのバキュームカップ11は、
吸着しようとする被吸着体の大きさに拘らず常に吸着作
用をなす。
の基本的な動作であるが、本実施例の真空チャック装置
では、フレーム１の中央部に配され、サブフレーム２に
固設された４つのバキュームカップ11が常に上述の作用
をなす。すなわちこれら４つのバキュームカップ11は、
吸着しようとする被吸着体の大きさに拘らず常に吸着作
用をなす。
【００２８】ここで図３に示すａ〜ｄなる大きさの被吸
着体100 のうちｄなる大きさの被吸着体100 を吸着する
場合について説明する。まず被吸着体サイズ指示手段80
より被吸着体100 の大きさｄを示すサイズ信号Ｓd が出
力され、この信号Ｓd はコントローラ70に入力される。
コントローラ70は、このサイズ信号Ｓd により、チャッ
クフレーム１およびサブフレーム２に装備された総ての
バキュームカップ11，12，13により被吸着体100 を吸着
する制御を行う。すなわち具体的には、バキュームカッ
プ12，13をそれぞれチャックフレーム１に支持するエア
シリンダ22，21に、エアポンプ60から排出されるエアが
供給されないように、電磁バルブ55に電磁バルブ55を閉
状態にする信号を出力し、かつ全てのバキュームカップ
11，12，13が作動するようにバキューム用電磁バルブ3
7，38，39を開状態にする信号を出力する。
着体100 のうちｄなる大きさの被吸着体100 を吸着する
場合について説明する。まず被吸着体サイズ指示手段80
より被吸着体100 の大きさｄを示すサイズ信号Ｓd が出
力され、この信号Ｓd はコントローラ70に入力される。
コントローラ70は、このサイズ信号Ｓd により、チャッ
クフレーム１およびサブフレーム２に装備された総ての
バキュームカップ11，12，13により被吸着体100 を吸着
する制御を行う。すなわち具体的には、バキュームカッ
プ12，13をそれぞれチャックフレーム１に支持するエア
シリンダ22，21に、エアポンプ60から排出されるエアが
供給されないように、電磁バルブ55に電磁バルブ55を閉
状態にする信号を出力し、かつ全てのバキュームカップ
11，12，13が作動するようにバキューム用電磁バルブ3
7，38，39を開状態にする信号を出力する。
【００２９】このコントローラ70の制御により、総ての
エアシリンダ22，21は伸長状態を維持し、総て（12個）
のバキュームカップ11，12，13の吸着面は上下方向で略
同一の平面上に位置する。ここで真空チャック装置は、
その下方に配された大きさｄの被吸着体100 の天板に各
バキュームカップ11，12，13が当接し、所定のバッファ
ストロークだけこの天板を押圧するまで、図示しない昇
降手段によりチャックフレーム１が下降される。そして
天板をバキュームカップ11，12，13で押圧した状態にお
いて、バキュームポンプ40によりバキューム用電磁バル
ブ37，38，39を介して、各バキュームカップ11，12，13
が真空引きされて、被吸着体100 は各バキュームカップ
11，12，13に吸着される。以下の作用については上述し
た通常の真空チャック装置の基本的な動作と同様である
ので説明を省略する。
エアシリンダ22，21は伸長状態を維持し、総て（12個）
のバキュームカップ11，12，13の吸着面は上下方向で略
同一の平面上に位置する。ここで真空チャック装置は、
その下方に配された大きさｄの被吸着体100 の天板に各
バキュームカップ11，12，13が当接し、所定のバッファ
ストロークだけこの天板を押圧するまで、図示しない昇
降手段によりチャックフレーム１が下降される。そして
天板をバキュームカップ11，12，13で押圧した状態にお
いて、バキュームポンプ40によりバキューム用電磁バル
ブ37，38，39を介して、各バキュームカップ11，12，13
が真空引きされて、被吸着体100 は各バキュームカップ
11，12，13に吸着される。以下の作用については上述し
た通常の真空チャック装置の基本的な動作と同様である
ので説明を省略する。
【００３０】次に図３に示すａ〜ｄなる大きさの被吸着
体100 のうちｃなる大きさの被吸着体100 を吸着する場
合について説明する。まず被吸着体サイズ指示手段80よ
り被吸着体100 の大きさｃを示すサイズ信号Ｓc が出力
され、この信号Ｓc はコントローラ70に入力される。コ
ントローラ70は、このサイズ信号Ｓc により、チャック
フレーム１およびサブフレーム２に装備された総てのバ
キュームカップ11，12，13のうち、大きさｃの被吸着体
100 を吸着するのに適した配置のバキュームカップ11，
13以外のバキュームカップ（すなわちバキュームカップ
12）を上方に退避させる制御を行う。すなわち具体的に
は、バキュームカップ12をチャックフレーム１に支持す
るエアシリンダ22に、エアポンプ60から排出されるエア
が供給されるように、エアシリンダ22に通じる電磁バル
ブ55にその電磁バルブ55を開状態にする信号を出力し、
かつバキュームカップ11，13が作動するようにバキュー
ム用電磁バルブ37，39を開状態とし、電磁バルブ38は閉
状態とする信号を出力する。
体100 のうちｃなる大きさの被吸着体100 を吸着する場
合について説明する。まず被吸着体サイズ指示手段80よ
り被吸着体100 の大きさｃを示すサイズ信号Ｓc が出力
され、この信号Ｓc はコントローラ70に入力される。コ
ントローラ70は、このサイズ信号Ｓc により、チャック
フレーム１およびサブフレーム２に装備された総てのバ
キュームカップ11，12，13のうち、大きさｃの被吸着体
100 を吸着するのに適した配置のバキュームカップ11，
13以外のバキュームカップ（すなわちバキュームカップ
12）を上方に退避させる制御を行う。すなわち具体的に
は、バキュームカップ12をチャックフレーム１に支持す
るエアシリンダ22に、エアポンプ60から排出されるエア
が供給されるように、エアシリンダ22に通じる電磁バル
ブ55にその電磁バルブ55を開状態にする信号を出力し、
かつバキュームカップ11，13が作動するようにバキュー
ム用電磁バルブ37，39を開状態とし、電磁バルブ38は閉
状態とする信号を出力する。
【００３１】このコントローラ70の制御により、エアシ
リンダ22はエアポンプ60から排出された圧縮エアが供給
され、エアシリンダ22は短縮してその下端に固定された
バキュームカップ12が上方の破線位置（図２参照）に引
上げられる。これによってバキュームカップ12の吸着面
が、他のバキュームカップ11，13の吸着面の位置より上
方に退避されるとともに、バキュームカップ12のバキュ
ームラインのみが閉じられて、バキュームカップ12は被
吸着体100 の吸着には関与しない状態を得ることができ
る。以下の作用は上述した吸着動作と同様であり、バキ
ュームカップ11，13によって被吸着体100 が吸着され
る。
リンダ22はエアポンプ60から排出された圧縮エアが供給
され、エアシリンダ22は短縮してその下端に固定された
バキュームカップ12が上方の破線位置（図２参照）に引
上げられる。これによってバキュームカップ12の吸着面
が、他のバキュームカップ11，13の吸着面の位置より上
方に退避されるとともに、バキュームカップ12のバキュ
ームラインのみが閉じられて、バキュームカップ12は被
吸着体100 の吸着には関与しない状態を得ることができ
る。以下の作用は上述した吸着動作と同様であり、バキ
ュームカップ11，13によって被吸着体100 が吸着され
る。
【００３２】また図３に示すｂなる大きさの被吸着体10
0 を吸着する場合について説明する。被吸着体サイズ指
示手段80より被吸着体100 の大きさｂを示すサイズ信号
Ｓbが出力され、この信号Ｓb はコントローラ70に入力
される。コントローラ70は、このサイズ信号Ｓb によ
り、チャックフレーム１およびサブフレーム２に装備さ
れた総てのバキュームカップ11，12，13のうち、大きさ
ｂの被吸着体100 を吸着するのに適した配置のバキュー
ムカップ11，12以外のバキュームカップ（すなわちバキ
ュームカップ13）を上方に退避させる制御を行う。すな
わち具体的には、バキュームカップ13をチャックフレー
ム１に支持するエアシリンダ21に、エアポンプ60から排
出されるエアが供給されるように、エアシリンダ21に通
じる電磁バルブ55にその電磁バルブ55を開状態にする信
号を出力し、かつバキュームカップ11，12が作動するよ
うにバキューム用電磁バルブ37，39を開状態とし、電磁
バルブ38は閉状態とする信号を出力する。
0 を吸着する場合について説明する。被吸着体サイズ指
示手段80より被吸着体100 の大きさｂを示すサイズ信号
Ｓbが出力され、この信号Ｓb はコントローラ70に入力
される。コントローラ70は、このサイズ信号Ｓb によ
り、チャックフレーム１およびサブフレーム２に装備さ
れた総てのバキュームカップ11，12，13のうち、大きさ
ｂの被吸着体100 を吸着するのに適した配置のバキュー
ムカップ11，12以外のバキュームカップ（すなわちバキ
ュームカップ13）を上方に退避させる制御を行う。すな
わち具体的には、バキュームカップ13をチャックフレー
ム１に支持するエアシリンダ21に、エアポンプ60から排
出されるエアが供給されるように、エアシリンダ21に通
じる電磁バルブ55にその電磁バルブ55を開状態にする信
号を出力し、かつバキュームカップ11，12が作動するよ
うにバキューム用電磁バルブ37，39を開状態とし、電磁
バルブ38は閉状態とする信号を出力する。
【００３３】このコントローラ70の制御により、エアシ
リンダ21はエアポンプ60から排出された圧縮エアが供給
され、エアシリンダ21は短縮してその下端に固定された
バキュームカップ13が上方の破線位置（図２参照）に引
上げられる。これによってバキュームカップ13の吸着面
が、他のバキュームカップ11，12の吸着面の位置より上
方に退避されるとともに、バキュームカップ13のバキュ
ームラインのみが閉じられて、バキュームカップ13は被
吸着体100 の吸着には関与しない状態となる。以下の作
用は上述した吸着動作と同様であり、バキュームカップ
11，12によって被吸着体100 が吸着される。
リンダ21はエアポンプ60から排出された圧縮エアが供給
され、エアシリンダ21は短縮してその下端に固定された
バキュームカップ13が上方の破線位置（図２参照）に引
上げられる。これによってバキュームカップ13の吸着面
が、他のバキュームカップ11，12の吸着面の位置より上
方に退避されるとともに、バキュームカップ13のバキュ
ームラインのみが閉じられて、バキュームカップ13は被
吸着体100 の吸着には関与しない状態となる。以下の作
用は上述した吸着動作と同様であり、バキュームカップ
11，12によって被吸着体100 が吸着される。
【００３４】さらに図３に示すａなる大きさの被吸着体
100 を吸着する場合について説明する。被吸着体サイズ
指示手段80より被吸着体100 の大きさａを示すサイズ信
号Ｓa が出力され、この信号Ｓa はコントローラ70に入
力される。コントローラ70は、このサイズ信号Ｓa によ
り、チャックフレーム１およびサブフレーム２に装備さ
れた総てのバキュームカップ11，12，13のうち、大きさ
ａの被吸着体100 を吸着するのに適した配置のバキュー
ムカップ11以外のバキュームカップ（すなわちバキュー
ムカップ12，13）を上方に退避させる制御を行う。すな
わち具体的には、バキュームカップ12をチャックフレー
ム１に支持するエアシリンダ22に、エアポンプ60から排
出されるエアが供給されるように、エアシリンダ22に通
じる電磁バルブ55にその電磁バルブ55を開状態にする信
号を出力するとともに、バキュームカップ13をチャック
フレーム１に支持するエアシリンダ21に、エアポンプ60
から排出されるエアが供給されるように、エアシリンダ
21に通じる電磁バルブ55にその電磁バルブ55を開状態に
する信号を出力し、かつバキュームカップ11のみが作動
するようにバキューム用電磁バルブ37のみを開状態と
し、電磁バルブ38，39は閉状態とする信号を出力する。
100 を吸着する場合について説明する。被吸着体サイズ
指示手段80より被吸着体100 の大きさａを示すサイズ信
号Ｓa が出力され、この信号Ｓa はコントローラ70に入
力される。コントローラ70は、このサイズ信号Ｓa によ
り、チャックフレーム１およびサブフレーム２に装備さ
れた総てのバキュームカップ11，12，13のうち、大きさ
ａの被吸着体100 を吸着するのに適した配置のバキュー
ムカップ11以外のバキュームカップ（すなわちバキュー
ムカップ12，13）を上方に退避させる制御を行う。すな
わち具体的には、バキュームカップ12をチャックフレー
ム１に支持するエアシリンダ22に、エアポンプ60から排
出されるエアが供給されるように、エアシリンダ22に通
じる電磁バルブ55にその電磁バルブ55を開状態にする信
号を出力するとともに、バキュームカップ13をチャック
フレーム１に支持するエアシリンダ21に、エアポンプ60
から排出されるエアが供給されるように、エアシリンダ
21に通じる電磁バルブ55にその電磁バルブ55を開状態に
する信号を出力し、かつバキュームカップ11のみが作動
するようにバキューム用電磁バルブ37のみを開状態と
し、電磁バルブ38，39は閉状態とする信号を出力する。
【００３５】このコントローラ70の制御により、エアシ
リンダ21，22にはそれぞれ、エアポンプ60から排出され
た圧縮エアが、各エア主ホース54，56、各エアホース5
1，52、および各エア主管53を介して供給され、各エア
シリンダ21，22は短縮してその下端にそれぞれ固定され
たバキュームカップ13，12が上方の破線位置に引上げら
れる。これによってバキュームカップ12，13の吸着面
が、固定のバキュームカップ11の吸着面の位置より上方
に退避されるとともに、バキュームカップ12，13のバキ
ュームラインが閉じられて、バキュームカップ12，13は
被吸着体100 の吸着には関与しない状態となる。以下の
作用は上述した吸着動作と同様であり、バキュームカッ
プ11のみによって被吸着体100 が吸着される。
リンダ21，22にはそれぞれ、エアポンプ60から排出され
た圧縮エアが、各エア主ホース54，56、各エアホース5
1，52、および各エア主管53を介して供給され、各エア
シリンダ21，22は短縮してその下端にそれぞれ固定され
たバキュームカップ13，12が上方の破線位置に引上げら
れる。これによってバキュームカップ12，13の吸着面
が、固定のバキュームカップ11の吸着面の位置より上方
に退避されるとともに、バキュームカップ12，13のバキ
ュームラインが閉じられて、バキュームカップ12，13は
被吸着体100 の吸着には関与しない状態となる。以下の
作用は上述した吸着動作と同様であり、バキュームカッ
プ11のみによって被吸着体100 が吸着される。
【００３６】
【実施例】図１においてバキュームカップ11はウレタン
ゴム製で、直径80ｍｍのものを、バキュームカップ12，
13はウレタンゴム製で、直径50ｍｍのものを用いた。ま
たエアシリンダ21，22は、直径20ｍｍ×ストローク25ｍ
ｍのものを用いた。さらに真空チャック装置は外形 500
ｍｍ× 450ｍｍ× 150ｍｍ× 1.6ｔの薄鉄板製溶接構造
の筐体に納められ、重量は約35kgとなった。
ゴム製で、直径80ｍｍのものを、バキュームカップ12，
13はウレタンゴム製で、直径50ｍｍのものを用いた。ま
たエアシリンダ21，22は、直径20ｍｍ×ストローク25ｍ
ｍのものを用いた。さらに真空チャック装置は外形 500
ｍｍ× 450ｍｍ× 150ｍｍ× 1.6ｔの薄鉄板製溶接構造
の筐体に納められ、重量は約35kgとなった。
【００３７】この真空チャック装置を用いて以下の寸
法、重量の感光材料入り段ボール箱をハンドリングし
た。
法、重量の感光材料入り段ボール箱をハンドリングし
た。
【００３８】 （ａ）寸法 100ｍｍ× 150ｍｍ× 150ｍｍ、重量８kg （ｂ）寸法 210ｍｍ× 270ｍｍ× 170ｍｍ、重量10kg （ｃ）寸法 300ｍｍ× 440ｍｍ× 300ｍｍ、重量15kg （ｄ）寸法 500ｍｍ× 600ｍｍ× 200ｍｍ、重量20kg 動力としては、商用周波数の交流電源と、５kg／cm2 の
空気圧の得られるエアコンプレッサを用い、サイズ切替
速度は１秒以内で、バキュームカップ11のみ、バキュー
ムカップ11と12、バキュームカップ11と12と13によって
得られる吸着力は、それぞれ40kg，52kg，64kg（いずれ
も真空圧）であった。
空気圧の得られるエアコンプレッサを用い、サイズ切替
速度は１秒以内で、バキュームカップ11のみ、バキュー
ムカップ11と12、バキュームカップ11と12と13によって
得られる吸着力は、それぞれ40kg，52kg，64kg（いずれ
も真空圧）であった。
【００３９】またこの真空チャック装置の可搬重量は最
大60kgであり、上昇速度は1000ｍｍ／sec 、垂直軸回り
および各水平軸回りの旋回速度はいずれも2.44 rad／se
c （140°／sec ）まで可能であった。また被吸着体の
位置決め精度は±１ｍｍ以内であった。
大60kgであり、上昇速度は1000ｍｍ／sec 、垂直軸回り
および各水平軸回りの旋回速度はいずれも2.44 rad／se
c （140°／sec ）まで可能であった。また被吸着体の
位置決め精度は±１ｍｍ以内であった。
【００４０】
【発明の効果】このように本発明の真空チャック装置に
よれば、被吸着体サイズ指示手段から出力された被吸着
体の大きさを示すサイズ信号に応じて、被吸着体を吸引
するのに不必要なバキュームカップを自動的に選択し、
その選択したバキュームカップを上方に退避させること
によって、常に被吸着体の大きさに適した配置、数のバ
キュームカップを作動させることができる。このため、
１つの真空チャック装置で複数のサイズの被吸着体に適
したチャックを自動的に選択して行うことができるとと
もに、工程においては段取替えの時間および人手を削減
することができるコスト低減、作業効率を大幅に向上す
ることができる。
よれば、被吸着体サイズ指示手段から出力された被吸着
体の大きさを示すサイズ信号に応じて、被吸着体を吸引
するのに不必要なバキュームカップを自動的に選択し、
その選択したバキュームカップを上方に退避させること
によって、常に被吸着体の大きさに適した配置、数のバ
キュームカップを作動させることができる。このため、
１つの真空チャック装置で複数のサイズの被吸着体に適
したチャックを自動的に選択して行うことができるとと
もに、工程においては段取替えの時間および人手を削減
することができるコスト低減、作業効率を大幅に向上す
ることができる。
【００４１】なお本発明の真空チャック装置は、上記実
施例のように単動引込型エアシリンダを使用するものの
ほか、例えば複動型エアシリンダを用いることができ
る。この場合、バキュームカップを被吸着体に押圧する
押圧力を、エアシリンダに供給するエア圧の調整によっ
て微調整することができ、特に被吸着体が脆弱なもの、
傷付き易いもの、あるいは軟質のものである場合は、バ
キュームカップの押圧による被吸着体の損傷を防止する
ことができる。
施例のように単動引込型エアシリンダを使用するものの
ほか、例えば複動型エアシリンダを用いることができ
る。この場合、バキュームカップを被吸着体に押圧する
押圧力を、エアシリンダに供給するエア圧の調整によっ
て微調整することができ、特に被吸着体が脆弱なもの、
傷付き易いもの、あるいは軟質のものである場合は、バ
キュームカップの押圧による被吸着体の損傷を防止する
ことができる。
【００４２】またバキュームカップを上下に駆動可能な
駆動手段であれば、単動引込型エアシリンダや複動型エ
アシリンダなどのエアシリンダに限らず、油圧式のもの
や機械駆動式のものを用いることができる。
駆動手段であれば、単動引込型エアシリンダや複動型エ
アシリンダなどのエアシリンダに限らず、油圧式のもの
や機械駆動式のものを用いることができる。
【図１】本発明の真空チャック装置の一実施態様を示す
斜視透視図
斜視透視図
【図２】図１に示した真空チャック装置の矢視Ｙからの
側面図
側面図
【図３】図１に示した真空チャック装置のバキュームカ
ップの配置を示す平面図
ップの配置を示す平面図
１ チャックフレーム ２ サブフレーム 11〜13 バキュームカップ 14 バキュームカップホルダ 21，22 単動引込型エアシリンダ 31，32，35 バキュームホース 33 バキューム主管 34，36 バキューム主ホース 37，38，39 バキューム用電磁バルブ 40 バキュームポンプ 51，52 エアホース 53 エア主管 54，56 エア主ホース 55 電磁バルブ 60 エアポンプ 70 バルブコントローラ 80 被吸着体サイズ指示手段 100 被吸着体 Ｓ サイズ信号 a.b,c,d 被吸着体のサイズ
Claims (3)
- 【請求項１】 支持部材に上下動可能に設けられた、真
空力により板状体または箱体を吸着しうる複数のバキュ
ームカップと、 該複数のバキュームカップを各別に上下駆動する複数の
駆動手段と、 該吸着しようとする板状体または箱体の大きさに応じた
信号を出力する被吸着体サイズ指示手段と、 該被吸着体サイズ指示手段より出力された信号に基づい
て、前記複数のバキュームカップのうち不必要なバキュ
ームカップを選択的に、上方に退避させるように前記駆
動手段を制御する制御手段とを備えてなることを特徴と
する板状体または箱体の真空チャック装置。 - 【請求項２】 前記複数のバキュームカップのうち略中
央領域に分布する少なくとも１つのバキュームカップ
が、上方に退避されないように上下方向の位置が固定さ
れてなることを特徴とする請求項１記載の板状体または
箱体の真空チャック装置。 - 【請求項３】 支持部材に上下動可能に設けられ、略中
央領域以外に分布するものについては予め上方に退避さ
れた、真空力により板状体または箱体を吸着しうる複数
のバキュームカップと、 該上方に退避された複数のバキュームカップを各別に上
下駆動する複数の駆動手段と、 該吸着しようとする板状体または箱体の大きさに応じた
信号を出力する被吸着体サイズ指示手段と、 該被吸着体サイズ指示手段より出力された信号に基づい
て、前記上方に退避された複数のバキュームカップのう
ち必要なバキュームカップを選択的に、下降させるよう
に前記駆動手段を制御する制御手段とを備えてなること
を特徴とする板状体または箱体の真空チャック装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307894A JPH07157117A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 板状体または箱体の真空チャック装置 |
| DE69423704T DE69423704T2 (de) | 1993-12-08 | 1994-12-07 | Sauggreifer |
| EP94119351A EP0657373B1 (en) | 1993-12-08 | 1994-12-07 | Vacuum chuck apparatus |
| US08/351,698 US5609377A (en) | 1993-12-08 | 1994-12-08 | Vacuum chuck apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307894A JPH07157117A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 板状体または箱体の真空チャック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07157117A true JPH07157117A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=17974451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5307894A Pending JPH07157117A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 板状体または箱体の真空チャック装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5609377A (ja) |
| EP (1) | EP0657373B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07157117A (ja) |
| DE (1) | DE69423704T2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011030 |