CN108423427A - 真空吸取装置和方法 - Google Patents

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    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/917Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers control arrangements

Abstract

本发明提供一种真空吸取装置和方法。根据一个实施例,一种真空吸取装置包括、真空发生器和控制器。吸取组件用于在移动到接近或接触待吸取的物品的位置时吸取所述物品。真空发生器与所述吸取组件流体式耦合,用于提供吸取所述物品所需的气压,并且在所述吸取组件与所述物品之间的真空度达到真空度阈值时生成反馈信号。控制器与所述吸取组件通信地耦合,用于控制所述吸取组件向所述位置的移动,并且在接收到所述反馈信号时指示所述吸取组件停止向所述位置的移动。

Description

真空吸取装置和方法
技术领域
本发明总体上涉及智能制造领域,更具体地涉及真空吸取技术。
背景技术
随着产业的升级,对智能制造提出更迫切的需求以及更严苛的要求。智能制造系统也向更智能、更高效、更可靠的方向发展。
在涉及工业机器人的各种智能制造场景中,有一种应用场景需要机器人递进式地抓取或吸取堆叠摆放的一系列物品(例如,产品或产品零部件等)。例如,对于在竖直方向上进行的抓取或吸取作业。当被抓取或吸取的物品的厚度一致且为硬质材料时,机器人往往按照预先输入的高度依次下降(后一次多下降一个物品的厚度,故每次下降的高度是可以预先确定的),因此机器人能够较容易地满足该应用场景的要求。
然而,在某些应用场景中,堆叠摆放的一系列待抓取或吸取物品的厚度并不相同(例如,产品的各种厚度不一的零部件)或者甚至是柔性或软质的(例如,产品说明书等)。传统的工业机器人不再能够满足这种要求更高的应用场景,因为通过按照预先输入的高度依次下降来吸取物品的方式不再适用,同时待抓取或吸取的物品的厚度和材质的复杂性进一步加大了操作难度。
因此,本领域中需要一种能够自适应复杂吸取作业应用场景的柔性吸取装置和方法。
发明内容
为了提供一种自适应柔性吸取解决方案,提供本发明。
根据本发明的一方面,提供一种真空吸取装置,
在一个实施例中,一种真空吸取装置包括:吸取组件,用于在移动到接近或接触待吸取的物品的位置时吸取所述物品;真空发生器,与所述吸取组件流体式耦合,用于提供吸取所述物品所需的气压,并且在所述吸取组件与所述物品之间的真空度达到真空度阈值时生成反馈信号;以及控制器,与所述吸取组件通信地耦合,用于控制所述吸取组件向所述位置的移动,并且在接收到所述反馈信号时指示所述吸取组件停止向所述位置的移动。
上述实施例中,所述吸取组件包括:吸盘组件,用于吸取所述物品,以及致动组件,与所述吸盘组件连接,用于致动所述吸盘组件。
上述任一实施例中,还包括:距离传感器,安装在所述吸取组件上,用于感测距所述物品的距离。
上述任一实施例中,所述控制所述吸取组件向所述位置的移动包括:指示所述吸取组件以第一速度向所述位置移动,以及当所感测的距离达到距离阈值时,指示所述吸取组件以第二速度向所述位置移动,其中,所述第二速度小于所述第一速度。
上述任一实施例中,所述第二速度是所述第一速度的30-50%。
上述任一实施例中,所述距离阈值为5-10mm。
上述任一实施例中,所述吸盘组件包括:吸盘,用于吸取所述物品;以及距离补偿器,与所述吸盘和所述致动组件连接,并用于提供补偿距离,所述补偿距离补偿在从所述反馈信号的生成到所述吸取组件停止向所述位置移动期间、所述吸取组件向所述位置移动的距离。
上述任一实施例中,所述吸盘是褶数为1.5-2褶的带褶吸盘。
根据本发明的另一方面,提供一种真空吸取方法。
在一个实施例中,一种真空吸取方法,包括:提供吸取组件吸取待吸取的物品所需的气压;将所述吸取组件移动到接近或接触所述物品的位置;
响应于所述吸取组件与所述物品之间的真空度达到真空度阈值而生成反馈信号;以及响应于所述反馈信号而指示所述吸取组件停止向所述位置的移动。
上述实施例中,将所述吸取组件移动到接近或接触所述物品的位置的步骤包括:指示所述吸取组件以第一速度向所述位置移动:以及响应于所述吸取组件与所述物品之间的距离达到距离阈值,指示所述吸取组件以第二速度向所述位置移动,其中,所述第二速度小于所述第一速度。
上述任一实施例中,所述第二速度是所述第一速度的30-50%。
上述任一实施例中,所述距离阈值为5-10mm。
上述任一实施例中,所述方法还包括:提供补偿距离,所述补偿距离用于补偿在从所述反馈信号的生成到所述吸取组件停止向所述位置移动期间、所述吸取组件向所述位置移动的距离。
本发明的各实施例能够在物品性质不一致的复杂应用场景中高效、可靠地实现自适应柔性吸取,有效地提升了制造系统的智能化程度和生产效率。
附图说明
通过附图来阐释本发明的各实施例。应当注意,附图中所示的实施例是示例性而非限制性的。
图1示意性地示出根据本发明的实施例的真空吸取装置。
图2示出根据本发明的一个实施例的真空吸取方法。
图3示出根据本发明的另一实施例的真空吸取方法。
具体实施方式
在描述本发明的各实施例之前,先对本申请中使用的一些术语和短语进行解释。在本申请中,当描述A与B“连接”时,是指A与B以机械方式实体地连在一起;当描述A与B“流体式耦合”时,是指A与B之间存在供流体通过的通道而不规定A与B的具体连接方式(例如,在一个实施例中,A可以与B连接;在另一实施例中,A也可以与B分开或远离B),其中,该流体可以是空气或真空技术中常用的其他气体;当描述A与B“通信地耦合”时,是指A与B之间存在能够传递电信号的通道而不规定A与B的具体连接方式,该通道可以通过任何已知的有线或无线通信方式来提供。此外,在本申请中,提及“在一个实施例中”、“在实施例中”等是指结合该实施例所描述的特征可以被包括在本发明中,但是本领域技术人员也可以实践不包含该特征的本发明;并且在提及“在一个实施例中”或“在实施例中”时,不一定是指同一实施例。在本申请中,当描述“可任选的”时,表明所描述的要素可作为本发明实施例的有益的附加要素而非必要的要素。
以下结合附图和具体实施例对本发明作详细描述。注意,以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的,而不应被理解为对本发明的保护范围进行任何限制。
根据本发明的一个方面,提供一种真空吸取装置。
图1示意性地示出根据本发明的实施例的真空吸取装置100。
在一个实施例中,真空吸取装置100可以包括真空发生器110、吸取组件120和控制器(未示出)。真空发生器110可以与吸取组件120流体式耦合。该控制器可以与吸取组件120通信地耦合。真空发生器110可用于提供吸取物品所需的气压(例如,负压)。在操作时,吸取组件120可以向物品移动,并且当移动到接近或吸取物品的位置时吸取该物品。在该实施例中,随着吸取组件120越来越接近物品,吸取组件120与该物品之间的气压会减小,从而产生真空。当吸取组件120与物品之间的真空达到真空度阈值时,真空发生器110可以生成反馈信号。真空度阈值可以是确保吸取组件120能够可靠地吸取物品的真空度。在该实施例中,控制器可以指示吸取组件120向物品移动,并且在接收到反馈信号时指示吸取组件120停止向该物品的移动。通过指示吸取组件120吸取到物品的反馈信号来及时停止吸取组件120向物品的移动,可实现对厚度、材质不一致的一系列物品的自适应柔性吸取。
在一个实施例中,吸取组件120可以包括吸盘组件121和致动组件(图1中的吸取组件120中除虚线框以外的部分)。吸盘组件121可用于吸取物品。致动组件与吸盘组件121连接,用于致动吸盘组件121。在一些实施例中,致动组件可以是工业机器人,例如,机械手臂等。取决于具体的需要,致动组件可以在一个或多个维度/方向上致动吸盘组件121。
在一个实施例中,一个吸盘组件121可以连接于吸取组件120的、不面向物品的一个侧面上。在其他实施例中,也可以有多个吸盘组件121连接于吸取组件120的、不面向物品的多个侧面上。在另一些实施例中,一个或多个吸盘组件121也可以连接于吸取组件120的面向物品的那个面。
发明人发现,吸取组件120向物品移动的速度对于吸取作业的效率(速度)和可靠性有很大的影响。例如,如果吸取组件120的移动速度过慢,则吸取作业的时间变长,从而影响整个生产的效率。反过来,如果吸取组件120的移动速度过快,则吸取组件120高速接触物品时可能无法有效接触物品,从而导致吸取失败;更糟糕的结果是,在吸取失败的情况下,真空发生器110不会生成反馈信号,控制器也就无法指示吸取组件120向物品移动,从而使吸取组件120撞击到物品上,以致损坏物品并导致生产中断。
基于上述考虑,在本发明的一些实施例中,还通过控制吸取组件120的移动方式来提高真空吸取作业的效率和可靠性。
在一个实施例中,真空吸取装置100还可以包括距离传感器(未示出)。该距离传感器可以安装在吸取组件120上,用于感测距物品的距离。在一些实施例中,距离传感器可以是激光反射距离传感器。
在一个实施例中,当吸取作业开始时,控制器先指示吸取组件120以第一速度向待吸取的物品移动。当由距离传感器130感测到的距离小于距离阈值时,控制器可以指示吸取组件120继续以小于第一速度的第二速度向物品移动。
在一些实施例中,距离阈值可以是5-10mm。过大的距离阈值会减小吸取组件120的移动速度,从而降低吸取作业的效率。另一方面,由于距离传感器感测的指示距离的信号反馈给控制器需要一定时间,并且控制器指示吸取组件120减小移动速度的控制信号传送到吸取组件120也存在一定延时,因此如果该距离阈值过小,则可能导致吸取组件120来不及减速就撞击到物品,从而导致不利的后果。
在一些实施例中,第二速度可以是第一速度的30-50%。过低的第二速度仍会降低吸取操作的效率。另一方面,控制器指示吸取组件120停止向物品移动的控制信号传送到吸取组件120仍需一定的时间,在该时间段内,吸取组件120仍以第二速度向物品移动,因此,过高的第二速度可能导致吸取组件120撞击到物品。
通过控制吸取组件120先以较快的速度向物品移动,并且在接近该物品的合适距离(例如,上述距离阈值)处减小移动速度,可以有效地兼顾吸取作业的效率和可靠性。
发明人进一步注意到,当吸取组件120与物品之间的真空度达到真空度阈值时,真空发生器110生成的反馈信号反馈到控制器以及控制器发出的控制信号传送到吸取组件120以指示吸取组件120完全停止移动仍需一定的时间。也就是说,在吸取组件120吸取到物品之后,吸取组件120仍可能(例如,以上述第二速度)向该物品移动,这样仍存在着潜在的风险。
基于上述考虑,在本发明的一些实施例中,还引入距离补偿机制。
在一些实施例中,吸盘组件121可以包括距离补偿器122和吸盘123。吸盘123可以用于吸取物品。距离补偿器122可以与吸盘123和致动组件连接,用于提供补偿距离。该补偿距离可用于补偿在从真空发生器110生成反馈信号到吸取组件120接收到控制器的控制信号而停止向物品移动期间、吸取组件120向物品移动的距离。
作为示例,在图1中所示的实施例中,物品可以位于吸取组件120下方。在该示例中,吸取组件120竖直向下移动以吸取物品。因此,该补偿距离可以用于补偿从反馈信号生成到吸取组件120完全停止期间吸取组件120向物品下降的高度。利用该距离补偿器122,初始时吸盘123距物品的距离被抬高该补偿距离。在该实施例中,距离补偿器122也可称为高度补偿器,其提供的补偿距离也可称为补偿高度。
在一些实施例中,距离补偿器122可以具有与吸盘123连接的接口以及与致动组件连接的接口。由于致动组件上与距离补偿器122连接的接口位置是固定的,因此一般在开始进行吸取作业前选择具有合适的补偿距离的距离补偿器122来提供距离补偿。由此,可有效避免当吸取组件120吸取到物品之后进一步向该物品移动带来不利影响。
在一个实施例中,一个距离补偿器122可连接于致动组件的、不面向物品的一个侧面上。
在一个实施例中,也可以有多个距离补偿器122连接于致动组件的、不面向物品的多个侧面上。在该实施例中,每一个距离补偿器122都可连接一个吸盘123。
在一个实施例中,一个或多个距离补偿器122也可以连接于致动组件的面向物品的那个面上。在该实施例中,每一个距离补偿器122都可以连接一个吸盘123。
在一些实施例中,吸盘123可以是带褶吸盘(如图1中所示)。
在进一步的实施例中,该带褶的吸盘123的褶数可以是1.5-2褶。选择具有1.5-2褶的吸盘既可以降低吸盘123与物品不完全垂直地接触时带来的不利影响(例如,影响密闭性从而妨碍真空吸取)(即使吸盘123吸取物品时是略微倾斜的,该吸盘123的下端仍可较好地吸附在该物品的表面上),又可以增大吸盘123在操作时的排气体积以提高吸附力。
在一些实施例中,还可以提供改善真空能力的机制。
在一些实施例中,真空发生器110可包括喷射脉冲发生器(未示出)。该喷射脉冲发生器可用于产生喷射脉冲以使吸盘123内的真空度迅速消失,从而在需要释放物品时迅速且可靠地释放该物品。这增加了释放物品的效率和可靠性,从而进一步提高生产效率。
在一些实施例中,真空发生器110还可包括压阻式真空开关(未示出)。该压阻式真空开关可用于监控真空。在一些实施例中,该压阻式真空开关可带有可调开关点和可调迟滞。其中,可调开关点可用于设定反馈时的压力值(例如,在一个实施例中,可以是0-0.9bar)。可调迟滞可用于调节可靠的操作范围(迟滞反映真空发生器能够可靠操作的真空度范围,一旦真空度处于该范围内,就可保证物品的可靠传送)。
在一些实施例中,真空发生器110可以既包括喷射脉冲发生器又包括压阻式真空开关,并且这两者分别由两个单独的电磁阀控制。
以上描述的本发明的实施例适用于自适应地吸取厚度、材质(例如,柔性)不同的物品。作为非限制性示例,物品可以是非常薄的,例如,薄至一张纸。
应当注意的是,尽管在图1中所示的实施例中示出吸取组件120竖直向下移动以吸取位于下方的物品,但是可以理解的是,吸取组件120与物品的相对定位不限于此。在其他实施例中,吸取组件120也可以与物品位于相对于竖直线倾斜的直线上。
根据本发明的另一方面,还提供一种真空吸取方法。
图2示出根据本发明的一个实施例的真空吸取方法200。方法200可包括步骤210-240。
在步骤210中,提供吸取组件(例如,吸取组件120)吸取待吸取的物品所需的气压。该气压可通过真空发生器(例如,真空发生器110)来提供。
在步骤220中,将该吸取组件移动到接近或接近该物品的位置。
在一些实施例中,步骤220可包括:指示吸取组件以第一速度向物品移动,并且当吸取组件距物品距离阈值时,指示吸取组件以第二速度向物品移动,其中,第二速度小于第一速度。
在一些实施例中,第二速度可以是第一速度的30-50%。
在一些实施例中,距离阈值可以是5-10mm。
在一些实施例中,可使用安装在吸取组件上的距离传感器(例如,距离传感器130)来感测吸取组件距物品的距离。
在步骤230中,响应于吸取组件与物品之间的真空度达到真空度阈值而生成反馈信号。该反馈信号可以例如由真空发生器提供。真空度阈值可以是确保吸取组件能够可靠地吸取物品的真空度。
在步骤240中,响应于反馈信号而指示吸取组件停止向物品的移动。
在一个实施例中,可由控制器(例如,上文中所述的控制器)指示吸取组件停止向物品的移动。
随后,吸取组件还可以吸取物品,将该物品传送到收集位置处并释放该物品。
此后,可重复进行上述步骤以实现对一系列物品的连续吸取。
值得注意的是,以上参照图2描述的方法200的步骤的顺序是可以改变的。
图3示出根据本发明的另一实施例的真空吸取方法300。方法300可包括步骤310-340以及可任选的步骤350。
在步骤310中,将吸取组件(例如,吸取组件120)移动到接近或接触待吸取物品的位置。
在一些实施例中,步骤310可以包括:指示吸取组件以第一速度向物品移动,并且当吸取组件距物品距离阈值时,指示吸取组件以第二速度向物品移动,其中,第二速度小于第一速度。
在一些实施例中,第二速度可以是第一速度的30-50%。
在一些实施例中,距离阈值可以是5-10mm。
在一些实施例中,可使用安装在吸取组件上的距离传感器(例如,距离传感器130)来感测吸取组件距物品的距离。
在步骤320中,提供吸取组件吸取物品所需的气压。
在一些实施例中,步骤320可在方法300开始后与步骤310同时进行。例如,可在吸取组件以第一速度向物品移动时向该吸取组件提供吸取物品的气压;或者也可以在吸取组件以第二速度向物品移动时向该吸取组件提供吸取物品的气压。
在步骤330中,响应于吸取组件与物品之间的真空度达到真空度阈值而生成反馈信号。该反馈信号可以例如由真空发生器(例如,真空发生器110)提供。真空度阈值可以是确保吸取组件能够可靠地吸取物品的真空度。
在步骤340中,响应于反馈信号而指示吸取组件停止向物品的移动。
在一个实施例中,可由控制器(例如,上文中所述的控制器)指示吸取组件停止向物品的移动。
在一些实施例中,方法300还可包括可任选的步骤350。在步骤350中,提供补偿距离。该补偿距离用于补偿在从反馈信号的生成到吸取组件停止向物品移动期间、吸取组件向物品移动的距离。可以通过选择具有合适补偿距离的距离补偿器(例如,距离补偿器122)来完成步骤350。
在一些实施例中,方法300还可以包括:吸取物品,将该物品传送到收集位置处并释放该物品。
此后,可重复进行上述步骤以实现对一系列物品的连续吸取。
本领域技术人员将可理解,控制信号可使用各种不同技术和手段来表示。例如,以上描述中描述的控制信号可由电压、电流、电磁波、磁场或磁粒子、光场或光学粒子、或其任何组合来表示。
本领域技术人员将进一步领会,结合本文中所公开的实施例来描述的各种解说性逻辑板块、模块、电路、和算法步骤可实现为电子硬件、计算机软件、或这两者的组合。为清楚地解说硬件与软件的这一可互换性,各种解说性组件、框、模块、电路、和步骤在上面是以其功能性的形式作一般化描述的。此类功能性是被实现为硬件还是软件取决于具体应用和施加于整体系统的设计约束。技术人员对于每种特定应用可用不同的方式来实现所描述的功能性,但这样的实现决策不应被解读成导致脱离了本发明的范围。
结合本文所公开的实施例描述的各种说明性逻辑模块和控制电路可用通用处理器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其它可编程逻辑控器件(例如,PLC)、分立的门或晶体管逻辑、分立的硬件组件、或其设计成执行本文所描述功能的任何组合来实现或执行。通用处理器可以是微处理器,但在替换方案中,该处理器可以是任何常规的处理器、控制器、微控制器、或状态机。处理器还可以被实现为计算设备的组合,例如DSP与微处理器的组合、多个微处理器、与DSP核心协作的一个或多个微处理器、或任何其他此类配置。
结合本文中公开的实施例描述的方法或算法的步骤可直接在硬件中、在由处理器执行的软件模块中、或在这两者的组合中体现。软件模块可驻留在RAM存储器、闪存、ROM存储器、EPROM存储器、EEPROM存储器、寄存器、硬盘、可移动盘、CD-ROM、或本领域中所知的任何其他形式的存储介质中。示例性存储介质耦合到处理器以使得该处理器能从/向该存储介质读取和写入信息。在替换方案中,存储介质可以被整合到处理器。处理器和存储介质可驻留在ASIC中。ASIC可驻留在用户终端中。在替换方案中,处理器和存储介质可作为分立组件驻留在用户终端中。
在一个或多个示例性实施例中,所描述的功能可在硬件、软件、固件或其任何组合中实现。如果在软件中实现为计算机程序产品,则各功能可以作为一条或更多条指令或代码存储在计算机可读介质上或藉其进行传送。计算机可读介质包括计算机存储介质和通信介质两者,其包括促成计算机程序从一地向另一地转移的任何介质。存储介质可以是能被计算机访问的任何可用介质。作为示例而非限定,这样的计算机可读介质可包括RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其它光盘存储、磁盘存储或其它磁存储设备、或能被用来携带或存储指令或数据结构形式的合意程序代码且能被计算机访问的任何其它介质。任何连接也被正当地称为计算机可读介质。例如,如果软件是使用同轴电缆、光纤电缆、双绞线、数字订户线(DSL)、或诸如红外、无线电、以及微波之类的无线技术从web网站、服务器、或其它远程源传送而来,则该同轴电缆、光纤电缆、双绞线、DSL、或诸如红外、无线电、以及微波之类的无线技术就被包括在介质的定义之中。如本文中所使用的盘(disk)和碟(disc)包括压缩碟(CD)、激光碟、光碟、数字多用碟(DVD)、软盘和蓝光碟,其中盘(disk)往往以磁的方式再现数据,而碟(disc)用激光以光学方式再现数据。上述的组合也应被包括在计算机可读介质的范围内。
提供对本发明的先前描述是为使得本领域任何技术人员能够实践或使用本公开。对本发明的各种修改对本领域技术人员来说都将是显而易见的,且本文中所定义的普适原理可被应用到其他变体而不会脱离本公开的精神或范围。由此,本发明并非旨在被限定于说明书中所描述的示例和设计,而是应被授予与本文中所公开的原理和新颖性特征相一致的最广范围。

Claims (13)

1.一种真空吸取装置,包括:
吸取组件,用于在移动到接近或接触待吸取的物品的位置时吸取所述物品;
真空发生器,与所述吸取组件流体式耦合,用于提供吸取所述物品所需的气压,并且在所述吸取组件与所述物品之间的真空度达到真空度阈值时生成反馈信号;以及
控制器,与所述吸取组件通信地耦合,用于控制所述吸取组件向所述位置的移动,并且在接收到所述反馈信号时指示所述吸取组件停止向所述位置的移动。
2.如权利要求1所述的真空吸取装置,其特征在于,所述吸取组件包括:
吸盘组件,用于吸取所述物品,以及
致动组件,与所述吸盘组件连接,用于致动所述吸盘组件。
3.如权利要求1或2所述的真空吸取装置,其特征在于,还包括:
距离传感器,安装在所述吸取组件上,用于感测距所述物品的距离。
4.如权利要求3所述的真空吸取装置,其特征在于,所述控制所述吸取组件向所述位置的移动包括:
指示所述吸取组件以第一速度向所述位置移动,以及
当所感测的距离达到距离阈值时,指示所述吸取组件以第二速度向所述位置移动,其中,所述第二速度小于所述第一速度。
5.如权利要求4所述的真空吸取装置,其特征在于,所述第二速度是所述第一速度的30-50%。
6.如权利要求4所述的真空吸取装置,其特征在于,所述距离阈值为5-10mm。
7.如权利要求2所述的真空吸取装置,其特征在于,所述吸盘组件包括:
吸盘,用于吸取所述物品;以及
距离补偿器,与所述吸盘和所述致动组件连接,并用于提供补偿距离,所述补偿距离补偿在从所述反馈信号的生成到所述吸取组件停止向所述位置移动期间、所述吸取组件向所述位置移动的距离。
8.如权利要求7所述的真空吸取装置,其特征在于,所述吸盘是褶数为1.5-2褶的带褶吸盘。
9.一种真空吸取方法,包括:
提供吸取组件吸取待吸取的物品所需的气压;
将所述吸取组件移动到接近或接触所述物品的位置;
响应于所述吸取组件与所述物品之间的真空度达到真空度阈值而生成反馈信号;以及
响应于所述反馈信号而指示所述吸取组件停止向所述位置的移动。
10.如权利要求9所述的真空吸取方法,其特征在于,将所述吸取组件移动到接近或接触所述物品的位置的步骤包括:
指示所述吸取组件以第一速度向所述位置移动:以及
响应于所述吸取组件与所述物品之间的距离达到距离阈值,指示所述吸取组件以第二速度向所述位置移动,其中,所述第二速度小于所述第一速度。
11.如权利要求10所述的真空吸取方法,其特征在于,所述第二速度是所述第一速度的30-50%。
12.如权利要求10所述的真空吸取方法,其特征在于,所述距离阈值为5-10mm。
13.如权利要求9所述的真空吸取方法,其特征在于,还包括:
提供补偿距离,所述补偿距离用于补偿在从所述反馈信号的生成到所述吸取组件停止向所述位置移动期间、所述吸取组件向所述位置移动的距离。
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