CN206893605U - 晶圆上料防呆系统及晶圆上料设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆上料防呆系统及晶圆上料设备，通过该晶圆上料防呆系统可以实现区分薄片晶圆和厚片晶圆，进而实现针对薄片晶圆和厚片晶圆的上料分区控制；通过将其应用在晶圆上料设备即可实现仅通过一台晶圆上料设备同时完成薄片晶圆和厚片晶圆的上料，从而提高设备的利用率，避免了产能浪费，另外，无需停机即可切换薄片晶圆上料和厚片晶圆上料，与现有技术相比，可以避免因专用设备故障而造成的停线可能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆上料防呆系统及晶圆上料设备。
背景技术
MEMS制造过程中，有部分工艺是在晶圆减薄后进行的，当晶圆薄到一定程度(<400μm)后，在重力和应力的作用下，晶圆会变得翘曲，以至于影响到后续的工艺流程。因薄片变形下垂，导致P5000机台(晶圆上料设备)在从晶舟里抓取晶圆时，会擦到晶圆晶背，造成刮伤。而在工艺完成后传回晶圆时也有类似问题。所以在薄片的工艺流程中，需要重新校正手臂的抓取位置。
在机台数量充足的情况下，可以根据需求采取固定一台机台专门做薄片工艺，通过电脑卡关防止薄片运行。这样，机台的手臂位置是专门针对薄片翘曲后来校正的，就可以避免刮伤的问题。但是方案的缺点是，如1.单一机台，可能会造成产能的浪费，2.也存在因机台故障，而无机台可上料的风险。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆上料防呆系统，通过该晶圆上料防呆系统可以区分薄片晶圆、厚片晶圆，并控制两者分别上料，进而通过安装该晶圆上料防呆系统可以仅通过一台晶圆上料设备即可实现薄片和厚片的上料，提高设备的利用率，避免了产能浪费。
为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆上料防呆系统，包括用以承载薄片晶圆或者厚片晶圆的晶舟盒、用于放置所述晶舟盒的上料货口、薄片晶圆上料控制电路和厚片晶圆上料控制电路；所述薄片晶圆上料控制电路包括第一输入回路、第一输出回路及连接所述第一输入回路与第一输出回路上的第一继电器，所述第一继电器具有设置在所述第一输出回路上的常开触点；所述厚片晶圆上料控制电路包括第二输入回路、第二输出回路及连接所述第二输入回路和第二输出回路上的第二继电器，所述第二继电器具有设置在所述第二输出回路上的常闭触点；用以承载薄片晶圆的所述晶舟盒上设置有第一开关触点，所述上料货口包括用以放置承载有薄片晶圆的晶舟盒的薄片晶圆上料货口和用以放置承载有厚片晶圆的晶舟盒的厚片晶圆上料货口，所述薄片晶圆上料货口上设置有第二开关触点，所述厚片晶圆上料货口上设置有第三开关触点，所述第一开关触点与第一开关触点形成第一输入回路的回路开关，所述第一开关触点与第三开关触点形成第二输入回路的回路开关。
进一步的：所述第一开关触点为磁铁，所述第二开关触点、第三开关触点均为磁簧。
进一步的：，所述磁铁位于所述晶舟盒的底部。
进一步的：所述第一开关触点为磁簧，所述第二开关触点、第三开关触点均为磁铁。
进一步的：所述磁铁位于所述晶舟盒的底部。
进一步的：所述第一输出回路上设置有用以感应所述薄片晶圆上料货口的第一感应开关，所述第二输出回路上设置有用以感应所述厚片晶圆上料货口的第二感应开关。
本实用新型还提供了一种晶圆上料设备，具有上述晶圆上料防呆系统。
本实用新型的有益效果在于：通过本实用新型的晶圆上料防呆系统可以实现区分薄片晶圆和厚片晶圆，进而实现针对薄片晶圆和厚片晶圆的上料分区控制；通过将其应用在晶圆上料设备即可实现仅通过一台晶圆上料设备同时完成薄片晶圆和厚片晶圆的上料，从而提高设备的利用率，避免了产能浪费，另外，无需停机即可切换薄片晶圆上料和厚片晶圆上料，与现有技术相比，可以避免因专用设备故障而造成的停线可能。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1为本实用新型一实施例中专用晶舟盒与专用货口的使用状态图；
图2为本实用新型一实施例中普通晶舟盒与普通货口的使用状态图；
图3为本实用新型一实施例中薄片晶圆上料控制电路的电路图；
图4为本实用新型一实施例中厚片晶圆上料控制电路的电路图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
请结合图1至图4，本实用新型一较佳实施例所示的晶圆上料设备包括晶圆上料防呆系统，所述晶圆上料防呆系统包括用以承载薄片晶圆(未图示)或者厚片晶圆(未图示)的晶舟盒10、用于放置所述晶舟盒10的上料货口20、薄片晶圆上料控制电路30和厚片晶圆上料控制电路40。所述薄片晶圆上料控制电路30包括第一输入回路31、第一输出回路32及连接所述第一输入回路31与第一输出回路32上的第一继电器K1，所述第一继电器K1具有设置在所述第一输出回路32上的常开触点。所述厚片晶圆上料控制电路40包括第二输入回路41、第二输出回路42及连接所述第二输入回路41和第二输出回路42上的第二继电器K2，所述第二继电器K2具有设置在所述第二输出回路42上的常闭触点。所述晶舟盒10包括用以承载薄片晶圆的专用晶舟盒11和用以承载厚片晶圆的普通晶舟盒12，所述专用晶舟盒11上设置有第一开关触点51。所述上料货口20包括用以放置专用晶舟盒11的薄片晶圆上料货口21(又可称之为专用货口21)和用以放置普通晶舟盒12的厚片晶圆上料货口22(又可称之为普通货口22)，所述专用货口21上设置有第二开关触点52，所述普通货口22上设置有第三开关触点53。所述第一开关触点51与第一开关触点51形成第一输入回路31的第一回路开关S1，所述第一开关触点51与第三开关触点53形成第二输入回路41的第二回路开关S2。
在本实施例中，所述第一开关触点51为磁铁，所述第二开关触点52、第三开关触点53均为磁簧。为了提高第一开关触点51与第二开关触点52、第三开关触点53的电性接触的灵敏性，所述磁铁51位于所述晶舟盒10的底部。当然，在其他实施方案中所述第一开关触点51可以为磁簧，所述第二开关触点52、第三开关触点53可以均为磁铁。进一步的：所述磁铁位于所述晶舟盒10的底部。
在本实施例中，所述第一输出回路32上设置有用以感应所述专用货口21的第一感应开关S3，所述第二输出回路42上设置有用以感应所述普通货口22的第二感应开关S4。
专用晶舟盒11、普通晶舟盒12通过机械手(未图示)将其放置在专用货口21、普通货口22上实现上料。上述晶圆上料防呆系统的上料过程如下：
专用晶舟盒11上料过程：请结合图1，当专用晶舟盒11放到专用货口21，因专用晶舟盒11上有磁铁51，磁铁51与专用货口21上的磁簧52接触，请结合图3，第一回路开关S1闭合，使第一输入回路31导通，进而使第一继电器K1得电，第一继电器K1的常开触点闭合；与此同时，第一感应开关S3检测到专用货口21，第一感应开关S3闭合，第一输出回路32导通，机械手运行，完成薄片晶圆的上料；当专用晶舟盒11的磁铁51与普通货口22上的磁簧53接触时，请参见图4，第二回路开关S2闭合，使第二输入回路41导通，致使第二继电器K2得电，第二继电器K2的常闭触点断开，则此时，虽然第二感应开关S4检测到普通货口22而闭合，但第二输出回路42处于断开状态，机械手不运行，无法完成上料；
普通晶舟盒12上料过程：请结合图2和图4，当普通晶舟盒12放到普通货口22上时，第二感应开关S4检测到普通货口22而闭合，另外，由于普通晶舟盒12上没有磁铁51，所以，不会影响第二继电器K2的常闭触点的状态，所以，当第二感应开关S4闭合后，第二输出回路42导通，机械手运行，完成厚片晶圆的上料。当普通晶舟盒12放到专用货口21上时，由于普通晶舟盒12上没有磁铁51，所以，第一输入回路31状态不变，第一继电器K1状态不变，故机械手不运行，无法上料。
综上所述：通过上述晶圆上料防呆系统可以实现区分薄片晶圆和厚片晶圆，进而实现针对薄片晶圆和厚片晶圆的上料分区控制；通过将其应用在晶圆上料设备即可实现仅通过一台晶圆上料设备同时完成薄片晶圆和厚片晶圆的上料，从而提高设备的利用率，避免了产能浪费，另外，无需停机即可切换薄片晶圆上料和厚片晶圆上料，与现有技术相比，可以避免因专用设备故障而造成的停线可能。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种晶圆上料防呆系统，其特征在于：包括用以承载薄片晶圆或者厚片晶圆的晶舟盒、用于放置所述晶舟盒的上料货口、薄片晶圆上料控制电路和厚片晶圆上料控制电路；所述薄片晶圆上料控制电路包括第一输入回路、第一输出回路及连接所述第一输入回路与第一输出回路上的第一继电器，所述第一继电器具有设置在所述第一输出回路上的常开触点；所述厚片晶圆上料控制电路包括第二输入回路、第二输出回路及连接所述第二输入回路和第二输出回路上的第二继电器，所述第二继电器具有设置在所述第二输出回路上的常闭触点；用以承载薄片晶圆的所述晶舟盒上设置有第一开关触点，所述上料货口包括用以放置承载有薄片晶圆的晶舟盒的薄片晶圆上料货口和用以放置承载有厚片晶圆的晶舟盒的厚片晶圆上料货口，所述薄片晶圆上料货口上设置有第二开关触点，所述厚片晶圆上料货口上设置有第三开关触点，所述第一开关触点与第一开关触点形成第一输入回路的回路开关，所述第一开关触点与第三开关触点形成第二输入回路的回路开关。
2.如权利要求1所述的晶圆上料防呆系统，其特征在于，所述第一开关触点为磁铁，所述第二开关触点、第三开关触点均为磁簧。
3.如权利要求2所述的晶圆上料防呆系统，其特征在于，所述磁铁位于所述晶舟盒的底部。
4.如权利要求1所述的晶圆上料防呆系统，其特征在于，所述第一开关触点为磁簧，所述第二开关触点、第三开关触点均为磁铁。
5.如权利要求4所述的晶圆上料防呆系统，其特征在于，所述磁铁位于所述晶舟盒的底部。
6.如权利要求1至5项中任意一项所述的晶圆上料防呆系统，其特征在于，所述第一输出回路上设置有用以感应所述薄片晶圆上料货口的第一感应开关，所述第二输出回路上设置有用以感应所述厚片晶圆上料货口的第二感应开关。
7.一种晶圆上料设备，其特征在于：具有如权利要求1至6项中任意一项所述的晶圆上料防呆系统。
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| CN201720773769.6U CN206893605U (zh) | 2017-06-29 | 2017-06-29 | 晶圆上料防呆系统及晶圆上料设备 |
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| CN201720773769.6U CN206893605U (zh) | 2017-06-29 | 2017-06-29 | 晶圆上料防呆系统及晶圆上料设备 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112713114A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-27 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 晶圆箱的防呆结构 |
| CN113707576A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-11-26 | 矽品科技（苏州）有限公司 | 一种上片机料盒误用防呆装置 |
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| CN112713114B (zh) * | 2020-12-16 | 2022-07-19 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 晶圆箱的防呆结构 |
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