CN112713114B - 晶圆箱的防呆结构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆箱的防呆结构，所述晶圆箱放置于载台上，晶圆箱底部镂空；在晶圆箱的侧面具有一开口，供机械手或者操作人员取放晶圆，在晶圆箱开口的两侧，各具有一个门状的铁扣；所述门状的铁扣能门轴为轴心向内旋转并贴合于晶圆箱的内壁，或者是向外旋转打开至少90度；所述在晶圆箱开口处的载台上，两侧各对应设置有一个防呆块；所述晶圆箱内部的底面上，即载台上，还设置有一传感器。本发明通过在晶圆箱铁扣活动范围的适当位置设置适当大小的防呆块，当铁扣打开时能顶起晶圆箱，使得内部设置的传感器能感应到晶圆箱的不同状态，从而发出对应的警示功能，防止机械手取放晶圆时发生意外的碰撞事故，达到防呆的目的。

Description

晶圆箱的防呆结构
技术领域
本发明涉及半导体器件制造领域，特别是指一种晶圆箱的防呆结构。
背景技术
在背面减薄工艺后，需要对晶圆表面进行检测。AVI设备是自动光学检测设备，用于检测晶圆表面缺陷。从创建任务开始，然后系统扫描晶圆选定区域，通过和标准画面进行对比，来检测晶圆的表面缺陷。检查到这些缺陷后，可以对缺陷进行复检，然后使用过程控制（SPC)对缺陷进行分类并生成报告。
一般工作流程如下:
任务预备→任务建立→定义扫描条件→扫描开始→再分类→导出缺陷图。
AVI设备检测的是带铁环的晶圆，晶圆在晶圆箱cassette里放在载台作业。晶圆箱两边设计有铁扣，如图1中箭头所示，铁扣的作用是防止在搬运的过程中，晶圆从晶圆箱中掉落。但晶圆箱在放入载台前需要将铁扣收回，避免机械臂在取片时碰撞到铁扣。目前都是人为操作，设备没有防呆功能，会存在铁扣忘记收回的可能，造成机械臂取片与铁扣碰撞。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种晶圆箱的防呆结构，防止由于晶圆箱取放晶圆时发生碰撞。
为解决上述问题，本发明所述的晶圆箱的防呆结构，所述晶圆箱放置于载台上，晶圆箱底部镂空。
在晶圆箱的一侧面具有一开口，供机械手或者操作人员取放晶圆，在晶圆箱开口的两侧，各具有一个门状的铁扣；所述门状的铁扣能门轴为轴心向内旋转并贴合于晶圆箱的内壁，或者是向外旋转打开至少90度。
所述在晶圆箱开口处的载台上，两侧各对应设置有一个防呆块。
所述晶圆箱内部的底面上，即载台上，还设置有一传感器。
进一步的改进是，所述门状的铁扣向内旋转贴合于晶圆箱内壁时，为铁扣的收回状态，此时晶圆箱开口处畅通，机械手能向晶圆箱取放晶圆。
进一步的改进是，所述的晶圆为带铁环的晶圆。
进一步的改进是，当所述的铁扣向外打开至少90度时，在晶圆箱的开口处形成阻挡，此时对晶圆箱内的晶圆进行保护，防止晶圆箱内的晶圆意外掉出晶圆箱；同时，在铁扣打开状态时，机械手无法取放晶圆。
进一步的改进是，所述防呆块设置于铁扣打开状态下的铁扣下方，当铁扣打开时铁扣落于防呆块上，防呆块将铁扣顶起，同时铁扣带动晶圆箱，使晶圆箱底部脱离载台。
进一步的改进是，所述防呆块的尺寸根据铁扣的位置以及需要垫高的角度进行调整。
进一步的改进是，当所述铁扣收回时，铁扣与防呆块脱离，晶圆箱与载台贴合，传感器检测到晶圆箱与载台贴合，此时传感器感应正常，当铁扣打开与防呆块接触导致被顶起时，晶圆箱与载台脱离，此时传感器感应异常。
进一步的改进是，所述传感器还连接有一警报装置，当传感器感应异常时，通过警报装置发出警报。
进一步的改进是，所述警报包括声和/或光的警报。
进一步的改进是，所述的传感器为红外传感器。
本发明所述的晶圆箱的防呆结构，通过在晶圆箱铁扣活动范围的适当位置设置适当大小的防呆块，当铁扣打开时能顶起晶圆箱，使得内部设置的传感器能感应到晶圆箱的不同状态，从而发出对应的警示功能，防止机械手取放晶圆时发生意外的碰撞事故，达到防呆的目的。
附图说明
图1 是晶圆箱cassette的实物图，在开口处两边设置有铁扣。
图2 是本发明在晶圆箱底部设置传感器的示意图。
图3 是本发明在晶圆箱载台上设置防呆块的示意图。
图4 是防呆块的尺寸示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
空间关系术语例如“在…下”、“在…下面”、“下面的”、“在…之下”、“在…之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在…下面”和4“在…下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。
AVI设备是自动光学检测设备，用于检测晶圆表面缺陷。AVI设备检测的是带铁环的晶圆。本发明所述的晶圆箱的防呆结构，所述晶圆箱为一箱体结构，其放置于一载台上，晶圆箱底部镂空，以载台作为其底面。
在晶圆箱的一侧面具有一开口，供机械手或者操作人员取放晶圆。在晶圆箱开口的内部两侧，各具有一个门状的铁扣；所述门状的铁扣能门轴为轴心向内旋转并贴合于晶圆箱的内壁，或者是向外旋转打开至少90度，如图2及图3所示。所述门状的铁扣向内旋转贴合于晶圆箱内壁时，为铁扣的收回状态，此时晶圆箱开口处畅通，机械手能向晶圆箱取放晶圆。当所述的铁扣向外打开至少90度时，为铁扣的打开状态，在晶圆箱的开口处形成阻挡，此时对晶圆箱内的晶圆进行保护，防止晶圆箱内的晶圆意外掉出晶圆箱；同时，在铁扣打开状态时，机械手无法取放晶圆。
所述晶圆箱内部的底面上，即载台上，还设置有一传感器。该传感器是能感应物体运动或者位置状态的传感器，如光电传感器等。
在晶圆箱开口处的载台上，两侧各对应设置有一个防呆块，所述防呆块设置于铁扣打开状态下的铁扣下方，当铁扣打开时铁扣落于防呆块上，防呆块将铁扣顶起，同时铁扣带动晶圆箱，使晶圆箱底部脱离载台。
当所述铁扣收回时，铁扣与防呆块脱离，晶圆箱复位，晶圆箱与载台贴合，传感器检测到晶圆箱与载台贴合，此时传感器感应正常，当铁扣打开与防呆块接触导致被顶起时，此时传感器感应到晶圆箱与载台脱离的异常状态。所述传感器还能连接有一警报装置，当传感器感应异常时，通过警报装置发出声和/或光的警报，以提醒注意。
所述防呆块的尺寸根据铁扣的打开时的位置以及需要垫高的角度进行调整。当需要将晶圆箱顶得高一些时，可以适当调大防呆块的尺寸，当需要降低晶圆箱顶起高度时，可以选用尺寸稍小的防呆块，但防呆块的尺寸不能影响机械手正常取放晶圆。
本发明所述的晶圆箱的防呆结构，通过在晶圆箱铁扣活动范围的适当位置设置适当大小的防呆块，当铁扣打开时能顶起晶圆箱，使得内部设置的传感器能感应到晶圆箱的不同状态，从而发出对应的警示功能，防止机械手取放晶圆时发生意外的碰撞事故，达到防呆的功能。比如，如图4所示，本发明一实施例的防呆块尺寸为长宽高15*20*55mm。设计防呆块的尺寸和安装位置，要求晶圆箱铁扣收回时能够正常作业，未收回时设备能够报警而无法作业。
以上仅为本发明的优选实施例，并不用于限定本发明。对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述晶圆箱为一箱体结构，放置于载台上，晶圆箱底部镂空；
在晶圆箱的侧面具有一开口，供机械手或者操作人员取放晶圆，在晶圆箱开口的两侧，各具有一个门状的铁扣；所述门状的铁扣能以门轴为轴心向内旋转并贴合于晶圆箱的内壁，或者是向外旋转打开至少90度；
所述在晶圆箱开口处的载台上，两侧各对应设置有一个防呆块；所述防呆块设置于铁扣打开状态下的铁扣下方，当铁扣打开时铁扣落于防呆块上，防呆块将铁扣顶起，同时铁扣带动晶圆箱，使晶圆箱底部脱离载台；当所述铁扣收回时，铁扣与防呆块脱离，晶圆箱与载台贴合，传感器检测到晶圆箱与载台贴合，此时传感器感应正常，当铁扣打开与防呆块接触导致被顶起时，晶圆箱与载台脱离，此时传感器感应异常；
所述晶圆箱内部的底面上，即载台上，还设置有一传感器。
2.如权利要求1所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述门状的铁扣向内旋转贴合于晶圆箱内壁时，为铁扣的收回状态，此时晶圆箱开口处畅通，机械手能向晶圆箱取放晶圆。
3.如权利要求1或2所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述的晶圆为带铁环的晶圆。
4.如权利要求1所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：当所述的铁扣向外打开至少90度时，在晶圆箱的开口处形成阻挡，此时对晶圆箱内的晶圆进行保护，防止晶圆箱内的晶圆意外掉出晶圆箱；同时，在铁扣打开状态时，机械手无法取放晶圆。
5.如权利要求1所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述防呆块的尺寸根据铁扣的位置以及需要垫高的角度进行调整。
6.如权利要求1所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述传感器还连接有一警报装置，当传感器感应异常时，通过警报装置发出警报。
7.如权利要求6所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述警报包括声和/或光的警报。
8.如权利要求1所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述的传感器为能感应物体运动或者位置状态的传感器。
9.如权利要求8所述的晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述的传感器为红外传感器。
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