CN216747480U - 一种掩模缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种掩模缺陷检测装置，包括：承载组件，包括升降台和围绕所述升降台的固定台；承片组件，包括底板及扣合在所述底板上的保护罩，所述底板与所述保护罩之间通过锁扣连接，所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版，所述保护罩的侧壁位于所述固定台上；至少两个压感组件，位于所述承载组件上，用于检测所述底板是否倾斜；解锁组件，包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器，所述解锁器包括驱动单元及锁钩，所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对所述锁扣进行解锁，使所述底板和保护罩分离。设置至少两个压感组件，检测所述底板是否倾斜，防止所述底板倾斜时出现单侧解锁及所述掩模版滑落的情况。

Description

一种掩模缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种掩模缺陷检测装置。

背景技术

掩模版是半导体加工中常用的光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明的基板上形成掩模图形结构，再通过曝光工艺将图形信息转移到产品基片上。在对产品基片进行曝光之前，需要通过掩模缺陷检测装置来检测掩模版上是否存在表面缺陷，例如表面颗粒等，避免在光刻过程中掩模版的表面缺陷影响曝光过程，造成产品缺陷。

在对掩模版进行缺陷检测时需要将盛放掩模板的承片组件转移至掩模检测设备上，现有掩模检测设备在单侧设置一个压感组件用于检测承片组件的底板是否发生倾斜，但单侧压感组件不能检测所述底板的另一侧是否倾斜，容易在后续步骤中造成掩模版的滑落，甚至造成整个掩模缺陷检测装置的宕机，增加不必要的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩模缺陷检测装置，检测所述底板是否倾斜。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种掩模缺陷检测装置，包括：

承载组件，包括升降台和围绕所述升降台的固定台；

承片组件，包括底板及扣合在所述底板上的保护罩，所述底板与所述保护罩之间通过锁扣连接，所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版，所述保护罩的侧壁位于所述固定台上；

至少两个压感组件，位于所述承载组件上，用于检测所述底板是否倾斜；

显示组件，设置于所述固定台上，用于显示所述压感组件的检测结果；

解锁组件，包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器，所述解锁器包括驱动单元及锁钩，所述驱动单元驱动所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对所述锁扣进行解锁，使所述底板和所述保护罩分离。

可选的，所述底板的每一侧均对应两个锁扣。

可选的，所述底板的底部具有若干横向的盲孔，所述锁扣的一端伸入所述盲孔内，另一端向上延伸形成限位件，所述限位件位于所述保护罩的外侧，所述底板的每一侧的两个所述锁扣均通过一Y形支架连接，所述Y形支架的底部与所述保护罩的内壁连接，所述锁钩钩住对应的所述锁扣的限位件并拉动所述锁扣，两个所述锁扣连接的Y形支架变形，以使所述锁扣的一端伸出对应的所述盲孔。

可选的，其特征在于，所述压感组件位于所述承片组件下方，且分布在所述承载组件的相对的两侧，当全部的所述压感组件均检测到压力时，所述显示组件显示所述底板未倾斜。

可选的，所述压感组件设置于所述升降台上，且位于所述底板下方。

可选的，所述底板与所述升降台之间具有间隙，所述压感组件位于所述间隙内，且压感组件的高度大于或等于所述间隙的高度。

可选的，所述压感组件的高度为6～9mm

可选的，所述压感组件设置于所述固定台上且位于所述保护罩下方。

可选的，所述压感组件与所述承载组件之间可拆卸连接。

可选的，所述掩模缺陷检测装置还包括：报警组件，设置于所述固定台上，当所述显示组件显示所述底板倾斜时进行声光报警。

本实用新型提供的一种掩模缺陷检测装置，包括：承载组件，包括升降台和围绕所述升降台的固定台；承片组件，包括底板及扣合在所述底板上的保护罩，所述底板与所述保护罩之间通过锁扣连接，所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版，所述保护罩的侧壁位于所述固定台上；至少两个压感组件，位于所述承载组件上，用于检测所述底板是否倾斜；显示组件，设置于所述固定台上，用于显示所述压感组件的检测结果；解锁组件，包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器，所述解锁器包括驱动单元及锁钩，所述驱动单元驱动所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对所述锁扣进行解锁，使所述底板和所述保护罩分离。所述压感组件至少具有两个，可以同时检测所述底板的两个位置，避免在所述底板倾斜时出现的误检情况，进而避免所述掩模版在后续进程中出现滑落的情况。

附图说明

图1为本实用新型实施例一提供的一种掩模缺陷检测装置的剖视图；

图2为本实用新型实施例一提供的掩模缺陷检测装置承载组件的俯视图；

图3为本实用新型实施例一提供的掩模缺陷检测装置的承片组件的底部结构图；

图4为本实用新型实施例二提供的掩模缺陷检测装置承载组件的俯视图；

图5为本实用新型实施例三提供的掩模缺陷检测装置承载组件的俯视图；

其中，附图说明为：

10-承载组件；100-升降台；102-固定台；106-解锁器；30-压感组件；

20-承片组件；200-底板；202-保护罩；204-锁扣；203-盲孔；205-限位件； 206-Y形支架；

300-掩模版。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

实施例一

图1为本实施例提供的掩模缺陷检测装置的剖视图，如图1所示，所述掩模缺陷检测装置包括：承载组件10、承片组件20、至少两个压感组件30、解锁组件及显示组件。

图2为本实施例提供的掩模缺陷检测装置承载组件的俯视图，如图2所示，所述承载组件10包括：升降台100和围绕所述升降台100的固定台102。所述固定台102固定，所述升降台100可以相对所述固定台102上下运动。

所述解锁组件包括设置于所述固定台102上的解锁器106，所述解锁器106 包括驱动单元及锁钩，所述驱动单元驱动所述锁钩。

图3为本实施例提供的掩模缺陷检测装置的承片组件的底部结构图，如图3 所示，所述承片组件包括：底板200及扣合在所述底板200上的保护罩202，所述底板200与所述保护罩202之间通过锁扣204连接。所述承片组件用于承载掩模版，所述掩模版具体是设置于所述底板200上。

进一步地，所述底板200位于所述升降台100上，所述保护罩202的侧壁位于所述固定台102上。所述解锁组件可以解锁所述锁扣204，使得所述保护罩 202与所述底板200分离，如此当所述升降台100向下运动时，即可转移所述掩模版。

具体的，所述底板200的每一侧均对应两个锁扣204，所述底板200的底部具有若干横向的盲孔203，所述锁扣204的一端伸入所述盲孔203内，另一端向上延伸形成限位件，所述限位件位于所述保护罩202的外侧，所述底板200的每一侧的两个所述锁扣204均通过一Y形支架206连接，所述Y形支架206的底部与所述保护罩202的内壁连接。

继续参阅图1，将所述承片组件20放置在所述承载组件10上时，所述解锁器106内的所述锁钩与所述锁扣204一一对应。

所述底板200与所述升降台100之间具有间隙，所述压感组件30位于所述底板200下方的所述升降台100上，也即位于所述间隙内，且所述压感组件30 的高度大于或等于所述间隙的高度。

其中，所述压感组件30的高度为6～9mm，且所述压感组件30与所述升降台100之间可拆卸连接。

进一步的，所述显示组件设置于所述固定台102上，用于显示压感组件30 的检测结果。举例而言，所述显示组件可以是显示面板或显示灯。

所述压感组件30位于所述升降台100相对的两侧，当所述承片组件20放置在所述承载组件10上，并且所述底板200未倾斜时，全部的所述压感组件30 检测均检测到压力，所述显示组件显示所述压感组件30的检测结果。例如，当所述显示组件为LED灯时，可以设置所述压感组件30检测到压力时，所述压感组件对应的所述LED灯亮起，当所有的所述LED灯亮起时，表示所述底板200未倾斜。

若所述显示组件显示所述压感组件30检测均检测到压力，则所述解锁组件解锁所述锁扣204。

具体的，当所述底板200未倾斜时，所述驱动单元驱动所述锁钩钩住对应的所述锁扣204的所述限位件205并拉动所述锁扣204，连接两个所述锁扣204 的Y形支架变形，以使所述锁扣204的一端伸出对应的所述盲孔；所述底板200 与所述保护罩202分离，所述掩模版300与所述底板200跟随所述升降台100 移动并开始后续检测步骤。

若只在所述升降台100的单侧设置所述压感组件30，当所述底板200倾斜时，单侧的所述压感组件30检测到压力，所述显示组件显示所述底板200未倾斜，并开始进行解锁，但此时所述锁钩无法钩到倾斜侧的所述锁扣204并进行解锁，当所述升降板100带动所述底板200及所述掩模版300移动时，所述底板200与所述保护罩202之间未完全分离，所述掩模版300会从所述底板200 上滑落。

至少两个设置于所述升降台100相对的两侧的所述压感组件30可以同时检测所述底板200两侧的情况，避免单侧所述压感组件30在所述底板200倾斜时出现误检的情况，进而避免所述锁钩无法解锁所述锁扣204引起的单侧解锁及所述掩模版300滑落的情况。

所述掩模缺陷检测装置还包括：报警组件，设置于所述固定台102上，当所述显示组件显示所述底板200倾斜时进行声光报警。

实施例二

图4为本实施例提供的掩模缺陷检测装置承载组件的俯视图，如图4所示，本实施例与实施例一的区别仅在于，所述压感组件30位于所述固定台102上且位于所述保护罩下方。

进一步地，所述压感组件30与所述固定台102之间可拆卸连接。

实施例三

图5为本实施例提供的掩模缺陷检测装置承载组件的俯视图，如图5所示，本实施例与实施例一及实施例二的区别仅在于，所述压感组件30分别设置在所述底板下方的升降台100上与所述保护罩下方的固定台102上。

进一步地，所述压感组件30与所述升降台100及所述固定台102之间可拆卸连接。

综上，本实用新型提供的一种掩模缺陷检测装置，包括：承载组件10，包括升降台100和围绕所述升降台100的固定台102；承片组件20，包括底板200 及扣合在所述底板200上的保护罩202，所述底板200与所述保护罩202之间通过锁扣204连接，所述底板200位于所述升降台100上且用于承载掩模版300，所述保护罩202的侧壁位于所述固定台102上；至少两个压感组件30，位于所述承载组件10上，用于检测所述底板200是否倾斜；显示组件，设置于所述固定台102上，用于显示所述压感组件30的检测结果；解锁组件，包括设置于所述固定台102上且与所述锁扣204一一对应的解锁器106，所述解锁器106包括驱动单元及锁钩，所述驱动单元驱动所述锁钩拉动对应的所述锁扣204以对所述锁扣204进行解锁，使所述底板200和所述保护罩202分离。所述压感组件 30位于所述承载组件10相对的两侧，同时检测所述底板200两侧，避免在所述底板200倾斜时出现的误检情况，进而避免所述掩模版300在后续进程中出现滑落的情况。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，包括：

承载组件，包括升降台和围绕所述升降台的固定台；

承片组件，包括底板及扣合在所述底板上的保护罩，所述底板与所述保护罩之间通过锁扣连接，所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版，所述保护罩的侧壁位于所述固定台上；

至少两个压感组件，位于所述承载组件上，用于检测所述底板是否倾斜；

显示组件，设置于所述固定台上，用于显示所述压感组件的检测结果；

解锁组件，包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器，所述解锁器包括驱动单元及锁钩，所述驱动单元驱动所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对所述锁扣进行解锁，使所述底板和所述保护罩分离。

2.如权利要求1所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述底板的每一侧均对应两个锁扣。

3.如权利要求2所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述底板的底部具有若干横向的盲孔，所述锁扣的一端伸入所述盲孔内，另一端向上延伸形成限位件，所述限位件位于所述保护罩的外侧，所述底板的每一侧的两个所述锁扣均通过一Y形支架连接，所述Y形支架的底部与所述保护罩的内壁连接，所述锁钩钩住对应的所述锁扣的限位件并拉动所述锁扣，两个所述锁扣连接的Y形支架变形，以使所述锁扣的一端伸出对应的所述盲孔。

4.如权利要求1-3中的任一项所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述压感组件位于所述承片组件下方，且分布在所述承载组件的相对的两侧，当全部的所述压感组件均检测到压力时，所述显示组件显示所述底板未倾斜。

5.如权利要求4所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述压感组件设置于所述升降台上，且位于所述底板下方。

6.如权利要求5所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述底板与所述升降台之间具有间隙，所述压感组件位于所述间隙内，且压感组件的高度大于或等于所述间隙的高度。

7.如权利要求6所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述压感组件的高度为6～9mm。

8.如权利要求4所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述压感组件设置于所述固定台上且位于所述保护罩下方。

9.如权利要求1所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，所述压感组件与所述承载组件之间可拆卸连接。

10.如权利要求1所述的一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，还包括：报警组件，设置于所述固定台上，当所述显示组件显示所述底板倾斜时进行声光报警。

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