CN210272284U - 具有防呆装置的晶圆载片清洗治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其包含：能分离地叠合的两放置架，各放置架包含外环壁、放置单元及防呆部，放置单元排列受外环壁围绕，各放置单元包含周壁及周壁围成的容置空间，防呆部包含多个卡合凸块，其凸设在外环壁，卡合凸块能与输送该放置架的一传动装置相卡合；为改善现有的技术晶圆清洗装置的缺失，实用新型的防呆部能和传动装置相卡合，避免放置架在受传动装置输送时滑移或晃动，提升放置架的输送稳定度。

Description

具有防呆装置的晶圆载片清洗治具

技术领域

实用新型涉及一种晶圆清洗装置，尤指一种用以清洗装设有晶圆片的晶圆载片的清洗装置。

背景技术

晶圆载片上会装设有晶圆片。在完成晶圆片的装设后，会对晶圆载片进行电路蚀刻，以及将晶圆载片切割成较小的片状，完成前述步骤后，为了清除蚀刻电路过程所残留的油墨，以及清除切割晶圆载片过程所产生的碎屑，会对晶圆载片的表面进行清洗，以避免油墨和碎屑影响晶圆和整片晶圆载片的使用效能。

现有技术的清洗过程，请配合参看图12及图13，是将晶圆载片80放置并固定在放置架90，放置架90包括有多个格状的容置空间，并包含位于该容置空间的支撑肋91及通风孔92，以及分别位于放置架90上、下表面的上防呆部93及下防呆部94，支撑肋91连接在容置空间的周壁且为X形，而形成四个通风孔92，晶圆载片80会被放在该容置空间内并受支撑肋91支撑。完成晶圆载片80的放置后，会在放置架90上叠放另一个放置架90，并使放置架90的上防呆部93与另一放置架90的下防呆部94配合而盖在各晶圆载片80的上方，使该晶圆载片80不会弹出容置空间外。接着，载有晶圆载片80的放置架90会被放入冲洗用的水道，水道中设有可带动放置架90移动的传动装置，传动装置通常是会有链条或齿盘等结构配合带动放置架90，而在放置架90移动的同时，水道内会产生声波的震动以清除晶圆载片80表面上的油墨及碎屑。

但是，现有放置架90的防呆设计在受传动装置传动时，无法与传动装置的传动组件(如：齿盘、链条等)卡合，而让放置架90在受传动装置输送时会滑移或晃动，让晶圆载片80震动或弹跳而产生瑕疵，降低晶圆载片80的使用效能，以及产品的良率；综上所述，现有技术晶圆清洗装置尚有能改善的空间。

实用新型内容

为改善现有的技术晶圆清洗装置的缺失，实用新型的防呆部能和传动装置相卡合，避免放置架在受传动装置输送时滑移或晃动，提升放置架的输送稳定度。

为达上述目的，实用新型提出一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，包含：

两放置架，该两放置架能分离地叠合，各放置架包含一外环壁及多个放置单元，该多个放置单元排列设在该外环壁内而受该外环壁围绕，各放置单元包含一周壁及该周壁围成的一容置空间；

各放置架包含多个防呆部，该多个防呆部包含多个卡合凸块，其凸设在该外环壁，该多个卡合凸块能与输送该放置架的一传动装置相卡合。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，包含两个所述的防呆部，该两防呆部为一上防呆部及一下防呆部，该上防呆部及该下防呆部分别位于该放置架的上表面及下表面且能相卡合，该上防呆部与另一该上防呆部无法互相卡合。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含多个限位件，其设在该周壁，该上防呆部包含多个所述的卡合凸块，而该下防呆部包含能与该多个卡合凸块相卡合的多个卡合凹部，各卡合凹部是凹设在该外环壁，各卡合凸块的位置高于各限位件的上端。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的外环壁的轮廓为矩形，该上防呆部包含四组所述的卡合凸块，该四组卡合凸块分别位于该外环壁的四个角落，该下防呆部包含四组卡合凹部，该四组凹部分别能与该四组卡合凸块相卡合。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含至少一遮断器，所述遮断器设在该外环壁。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含多个夹制部，该多个夹制部设在该外环壁。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，各夹制部包含一斜面，该斜面位于该放置架的上表面。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含多个拿持部，各拿持部包含至少一排水孔。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，各放置单元的周壁为矩形，且该放置单元包含多个承载件，该多个承载件不相连，各承载件设在该周壁、突入该容置空间且包含一顶面，该顶面朝向上方且为凸面。

所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，各限位件为柱状，该限位件设在该周壁的顶面，且该限位件的上端为凸面。

附图说明

图1为实用新型较佳实施例的立体示意图。

图2为实用新型较佳实施例的俯视平面图。

图3为实用新型较佳实施例放置架一角落的俯视局部立体图。

图4为实用新型较佳实施例放置架另一角落的俯视局部立体图。

图5为实用新型较佳实施例的仰视平面图。

图6为实用新型较佳实施例放置架一角落的仰视局部立体图。

图7为实用新型较佳实施例放置架另一角落的仰视局部立体图。

图8至图10为实用新型较佳实施例放置晶圆载片的连续动作图。

图11为实用新型较佳实施例放置于水道清洗的使用状态图。

图12为现有技术的放置架的局部放大图。

图13为晶圆载片放置于现有技术的放置架上的剖面侧视示意图。

主要组件符号说明：

10放置架 11外环壁

12放置单元 121周壁

122承载件 13限位件

14上防呆部 141、141A、142、142A卡合凸块

15下防呆部 151、151A、152、152A卡合凹部

16遮断器 17夹制部

171斜面 18拿持部

181排水孔 50水道

70传动装置 71、71A传动组件

80晶圆载片 90放置架

91通风孔 92支撑肋

93上防呆部 94下防呆部

具体实施方式

以下配合图式及本实用新型的较佳实施例，进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段。

参阅图1，本实用新型包含两放置架10，一该放置架10能分离地叠合在另一该放置架10。

请参阅图1、图2及图3，各放置架10包含一外环壁11、多个放置单元12、多个限位件13、一上防呆部14、一下防呆部15、四遮断器16、八夹制部17及两拿持部18。

，该外环壁11的轮廓为矩形，该多个放置单元12排列在该外环壁11内而受该外环壁11环绕，各放置单元12包含一周壁121及多个承载件122，该周壁121为矩形，且围成能放置一晶圆载片的容置空间，该多个承载件122环绕地设在该周壁121，各承载件122突入该容置空间，且该承载件122包含一顶面，该顶面朝向上方且为凸面，而能提高该晶圆载片80和该承载件122之间的水分蒸散效率。该多个限位件13环绕地设在该周壁121，各限位件13是直立的柱状，其顶端为凸面，且该限位件13的外径是由其上端向下逐渐递增。

该上防呆部14凸设在该外环壁11的上表面，其包含四组卡合凸块141、141A、142、142A，该四组卡合凸块141、141A、142、142A分别位于该外环壁11的四个角落，其形状请配合图3及图4参看；其中，该两组卡合凸块141、141A是对称地设置，另该两组卡合凸块142、142A也是对称地设置。

该四组卡合凸块141、141A、142、142A的形状设计请参阅图3及图4，其能对应如图11所示的一传动装置70的齿盘或链条等传动组件71使用，并请参看图8，各组卡合凸块142的位置是高于各限位件13的上端，而能让该两放置架10在以该传动装置70输送时，各传动组件71仅会与该四组卡合凸块141、141A、142、142A相卡合而不会与该多个限位件13相接触，避免该多个限位件13损坏。

接着请参看图1及图5，该下防呆部15凹设在该外环壁11的下表面，其包含四组卡合凹部151、151A、152、152A，该四组卡合凹部151、151A、152、152A分别位于该外环壁11的四个角落，其形状请配合图6及图7参看；其中，该两组卡合凹部151、151A是对称地设置，另该两组卡合凹部152、152A也是对称地设置。该四组卡合凹部151、151A、152、152A形状分别能配合该四组卡合凸块141、141A、142、142A而能相卡合。

在其他实施例中，该四组卡合凸块141、141A、142、142A及该四组卡合凹部151、151A、152、152A只要能相组装卡合而限定两该放置架10不一定要对称地设置，形状也能和本实用新型不同。

请参看图1到图3，该四遮断器16设在该外环壁11的上表面，且分别靠近该外环壁11的四个角落。该八夹制部17设在该外环壁11，该外环壁11的一该侧边上有两个夹制部17，且该两夹制部17分别靠近该侧边上的两角落，各夹制部17一斜面171，该斜面171位于该外环壁11的上表面而能助于排水。在以机械手臂等夹具叠放该放置架10时，该放置架10的各夹制部17是机械手臂能夹制的位置，而通常在叠放的过程中，会以红外线感应该放置架10是否被放置定位；以本实用新型的较佳实施例为例，该外环壁11是矩形，通常会以四个红外线侦测点侦测该外环壁11的四个角落是否被放到定位，当该放置架10的四个角落皆移动到指定的位置，该四遮断器16能遮断红外线，让机械手臂判断该放置架10已放到定位，即能再搬运另一该放置架10，并以相同的方法定位，确保该两放置架10正确的叠放；各遮断器16及夹制部17的形状和数量本实用新型不做特别限制。

该两拿持部18设在该外环壁11的相对两侧，各拿持部18包含两凹槽及四个排水孔181，该两凹槽分别朝向该放置架10的上方及下方，该四个排水孔181贯穿该两凹槽的底面，而能让该放置架10从水中拿起时，使该拿持部18不积水；设置该四排水孔181的目的是为了让该拿持部18不积水，而本实用新型对该拿持部18的形状及该排水孔181的数量及形状不做特别限制。

本实用新型的使用状态，请参看图8及图9，将初步加工后的多个该晶圆载片80放入该放置单元12的容置空间时，由于各限位件13是外径由上端向下逐渐递增的柱体，各放置单元12会被该多个限位件13导入容置空间并受该多个承载件122支撑，完成放置后，请参看图10，叠置另一该放置架10以屏蔽该多个晶圆载片80，接着，请配合参看图11，将该两放置架10及该多个晶圆载片80一同放入一清洗用的水道50并受该传动装置70传动，位于上方的该放置架10的上防呆部14会与各传动组件71相卡合，位于下方的该放置架10的下防呆部15能与另一该传动组件71A相配合，而让该放置架10被持续向前输送。

清洗完成后，将该两放置架10从水中取出，并放置于荫凉处晾干，以利进行后续的加工流程。

本实用新型的卡合凸块141、141A、142、142A能和该传动装置70的传动组件(如：齿盘、链条等)相卡合，让该放置架10能更稳定地被该传动装置70输送，避免该多个晶圆载片80震动或弹跳而产生瑕疵的情形，提升该两放置架10的输送稳定度。

本实用新型的四遮断器16及八夹制部17能让该放置架10能以机械手臂搬运及定位，而不受限只能以人力来搬运该放置架10，且在设计该放置架10时能加大该外环壁11的大小，间接能提升一该放置架10所能承载的晶圆载片80数量，提升晶圆载片80的清洗量而达到提升制程效率的功效。

各夹制部17的斜面171和各拿持部18的排水孔181皆能让该放置架10离开该水道95时辅助排水，而降低晾干该放置架10所需要的时间。

以上所述仅是本实用新型的优选实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，虽然本实用新型已以优选实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，包含：

两放置架，该两放置架能分离地叠合，各放置架包含一外环壁及多个放置单元，该多个放置单元排列设在该外环壁内而受该外环壁围绕，各放置单元包含一周壁及该周壁围成的一容置空间；

其特征在于，各放置架包含多个防呆部，该多个防呆部包含多个卡合凸块，其凸设在该外环壁，该多个卡合凸块能与输送该放置架的一传动装置相卡合。

2.根据权利要求1所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，包含两个所述的防呆部，该两防呆部为一上防呆部及一下防呆部，该上防呆部及该下防呆部分别位于该放置架的上表面及下表面且能相卡合，该上防呆部与另一上防呆部无法互相卡合。

3.根据权利要求2所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含多个限位件，其设在该周壁，该上防呆部包含多个所述的卡合凸块，而该下防呆部包含能与该多个卡合凸块相卡合的多个卡合凹部，各卡合凹部是凹设在该外环壁，各卡合凸块的位置高于各限位件的上端。

4.根据权利要求3所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的外环壁的轮廓为矩形，该上防呆部包含四组所述的卡合凸块，该四组卡合凸块分别位于该外环壁的四个角落，该下防呆部包含四组卡合凹部，该四组凹部分别能与该四组卡合凸块相卡合。

5.根据权利要求4所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含至少一遮断器，所述遮断器设在该外环壁。

6.根据权利要求4所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含多个夹制部，该多个夹制部设在该外环壁。

7.根据权利要求4所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，各夹制部包含一斜面，该斜面位于该放置架的上表面。

8.根据权利要求4所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，所述的放置架包含多个拿持部，各拿持部包含至少一排水孔。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，各放置单元的周壁为矩形，且各放置单元包含多个承载件，该多个承载件不相连，各承载件设在该周壁、突入该容置空间且包含一顶面，该顶面朝向上方且为凸面。

10.根据权利要求9所述的具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其特征在于，各限位件为柱状，各限位件设在该周壁的顶面，且各限位件的上端为凸面。

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