CN217023324U - 一种等离子清洗机及其托盘 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种等离子清洗机及其托盘，所述托盘放置于所述等离子清洗机的密封腔内，所述托盘包括平板和连接于所述平板的上表面的限位件，所述限位件开设有用于放置待清洗物体的限位槽，所述限位件的外壁开设有多个连通所述限位槽且用于夹具夹取所述待清洗物体的夹取槽。本申请提供的等离子清洗机及其托盘，以解决现有技术中托盘承载待清洗物体时，待清洗物体清洗效果差和导致等离子清洗机故障的问题。

Description

一种等离子清洗机及其托盘

技术领域

本申请涉及等离子清洗机的领域，具体涉及一种等离子清洗机及其托盘。

背景技术

等离子清洗机利用高能等离子体轰击待清洗物体表面，实现对物体表面的清洗，待清洗物体一般被放置在托盘上，再将托盘放入密封的等离子清洗机内，现有技术中的托盘一般是一个放置有多个待清洗物体的平板，当待清洗物体在清洗的过程中，待清洗物体容易沿平板的平面移动，待清洗物体移动将可能造成多个待清洗物体相互重叠遮挡而影响最终的清洗效果，并且，当待清洗物体移动接触到等离子清洗机内的电极板时，容易导致等离子清洗机故障。

实用新型内容

为此，本申请提供一种等离子清洗机及其托盘，以解决现有技术中托盘承载待清洗物体时，待清洗物体清洗效果差和导致等离子清洗机故障的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种等离子清洗机的托盘，所述托盘放置于所述等离子清洗机的密封腔内，所述托盘包括平板和多个连接于所述平板的上表面的限位件，所述限位件开设有用于放置待清洗物体的限位槽，所述限位件的外壁开设有多个连通所述限位槽且用于夹具夹取所述待清洗物体的夹取槽。

优选地，所述限位件于所述限位槽的槽底处开设有让位槽，所述限位槽与所述让位槽之间形成有用于放置所述待清洗物体的台阶，所述夹取槽连通所述限位槽和所述让位槽。

优选地，所述限位件为圆柱体，所述限位槽为第一圆形槽，所述第一圆形槽开设于所述圆柱体的上表面，所述让位槽为第二圆形槽，所述第一圆形槽的圆心、所述第二圆形槽的圆心和所述圆柱体的圆心共线，多个所述夹取槽开设于所述圆柱体的外周壁。

优选地，多个所述夹取槽为两两成对布置，每对所述夹取槽之间的连线为所述圆柱体的直径。

优选地，所述第一圆形槽的高度为6-8mm。

一种等离子清洗机，包括本体和如上所述的等离子清洗机的托盘，所述密封腔设置于所述本体内，所述密封腔的腔壁形成有多对滑槽，每对所述滑槽位于同一平面，所述平板的两侧分别嵌入两个成对布置的所述滑槽内。

本申请具有如下优点：

本申请提供了一种等离子清洗机的托盘，使用者将多个待清洗物体放置在对应限位件的限位槽内，限位槽的槽壁可以限制待清洗物体的移动，这样可以解决现有技术中托盘承载待清洗物体时，多个待清洗物体由于移动而相互重叠或者待清洗物体触碰到等离子清洗机内的电极板，进而造成待清洗物体清洗效果差和导致等离子清洗机故障的问题，其中，待清洗物体可以通过夹具夹取，限位件的夹取槽给夹具的夹取和放置提供了空间。

附图说明

为了更直观地说明现有技术以及本申请，下面给出几个示例性的附图。应当理解，附图中所示的具体形状、构造，通常不应视为实现本申请时的限定条件；例如，本领域技术人员基于本申请揭示的技术构思和示例性的附图，有能力对某些单元(部件)的增/减/归属划分、具体形状、位置关系、连接方式、尺寸比例关系等容易作出常规的调整或进一步的优化。

图1为本申请一个实施例提供的一种等离子清洗机的托盘的整体结构示意图；

图2图1中A处放大图；

图3为本申请一个实施例提供的等离子清洗机与托盘配合的示意图。

附图标记说明：

1、本体；11、密封腔；12、滑槽；2、托盘；21、平板；22、限位件；221、限位槽；222、让位槽；223、夹取槽。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请的描述中：术语“内”、“外”指的是限位件相应轮廓的内和外，“上表面”指的是托盘正常放置时重力方向的上表面，术语“第一”、“第二”旨在区别指代的对象，术语“包括”、“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包括了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于已明确列出的那些步骤或单元，而是还可包含虽然并未明确列出的但对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元，或者基于本实用新型构思进一步的优化方案所增加的步骤或单元。

参考图1和图2，本申请提供了一种等离子清洗机的托盘2，托盘2放置于等离子清洗机的密封腔11内，托盘2包括平板21和多个连接于平板21的上表面的限位件22，限位件22开设有用于放置待清洗物体的限位槽221，限位件22的外壁开设有多个连通限位槽221且用于夹具夹取待清洗物体的夹取槽223。

使用者将多个待清洗物体放置在对应限位件22的限位槽221内，限位槽221的槽壁可以限制待清洗物体的移动，这样可以解决现有技术中托盘2承载待清洗物体时，多个待清洗物体由于移动而相互重叠或者待清洗物体触碰到等离子清洗机内的电极板，进而造成待清洗物体清洗效果差和导致等离子清洗机故障的问题，其中，待清洗物体可以通过夹具夹取，限位件22的夹取槽223给夹具的夹取和放置提供了空间。

限位件22于限位槽221的槽底处开设有让位槽222，限位槽221与让位槽222之间形成有用于放置待清洗物体的台阶，夹取槽223连通限位槽221和让位槽222。待清洗物体被放置在台阶上，夹取槽223连通让位槽222，这样，夹具更稳定地夹取待清洗物体，本实施例中以镊子为例，镊子的端部在夹取待清洗物体时，由于夹取槽223连通让位槽222，让位槽222位于台阶的下面，则镊子的端部可以伸到待清洗物体的下面，如此，镊子在夹取待清洗物体时，待清洗物体不会刚好位于镊子的端部，否则，这样的夹取方式，很容易造成待清洗物体从镊子的端部脱离，尤其对于晶圆这类厚度较小的待清洗物体。

限位件22为圆柱体，限位槽221为第一圆形槽，第一圆形槽开设于圆柱体的上表面，让位槽222为第二圆形槽，第一圆形槽的圆心、第二圆形槽的圆心和圆柱体的圆心共线，多个夹取槽223开设于圆柱体的外周壁。限位件22还可以是方形体，或者其他形状的结构体，限位槽221可以根据待清洗物体的形状而形成相应形状的槽，对此，本申请不做限制。

多个夹取槽223为两两成对布置，每对夹取槽223之间的连线为圆柱体的直径。这样，夹具可以夹取到待清洗物体的两个对称的边缘，这样，夹具在夹取待清洗物体时，待清洗物体的受力均匀，夹取比较稳定。

第一圆形槽的高度为6-8mm。

本申请还提供一种等离子清洗机，包括本体1和如上所述的等离子清洗机的托盘2，密封腔11设置于本体1内，密封腔11的腔壁形成有多对滑槽12，每对滑槽12位于同一平面，平板21的两侧分别嵌入两个成对布置的滑槽12内。使用者可以将托盘2沿滑槽12的长度延伸方向推放到等离子清洗机的密封腔11内。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合(只要这些技术特征的组合不存在矛盾)，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述；这些未明确写出的实施例，也都应当认为是本说明书记载的范围。

上文中通过一般性说明及具体实施例对本申请作了较为具体和详细的描述。应当理解，基于本申请的技术构思，还可以对这些具体实施例作出若干常规的调整或进一步的创新；但只要未脱离本申请的技术构思，这些常规的调整或进一步的创新得到的技术方案也同样落入本申请的权利要求保护范围。

Claims (6)

1.一种等离子清洗机的托盘，所述托盘(2)放置于所述等离子清洗机的密封腔(11)内，其特征在于，所述托盘(2)包括平板(21)和多个连接于所述平板(21)的上表面的限位件(22)，所述限位件(22)开设有用于放置待清洗物体的限位槽(221)，所述限位件(22)的外壁开设有多个连通所述限位槽(221)且用于夹具夹取所述待清洗物体的夹取槽(223)。

2.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述限位件(22)于所述限位槽(221)的槽底处开设有让位槽(222)，所述限位槽(221)与所述让位槽(222)之间形成有用于放置所述待清洗物体的台阶，所述夹取槽(223)连通所述限位槽(221)和所述让位槽(222)。

3.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于，所述限位件(22)为圆柱体，所述限位槽(221)为第一圆形槽，所述第一圆形槽开设于所述圆柱体的上表面，所述让位槽(222)为第二圆形槽，所述第一圆形槽的圆心、所述第二圆形槽的圆心和所述圆柱体的圆心共线，多个所述夹取槽(223)开设于所述圆柱体的外周壁。

4.根据权利要求3所述的托盘，其特征在于，多个所述夹取槽(223)为两两成对布置，每对所述夹取槽(223)之间的连线为所述圆柱体的直径。

5.根据权利要求3所述的托盘，其特征在于，所述第一圆形槽的高度为6-8mm。

6.一种等离子清洗机，其特征在于，包括本体(1)和根据权利要求1-5中任意一项所述的等离子清洗机的托盘，所述密封腔(11)设置于所述本体(1)内，所述密封腔(11)的腔壁形成有多对滑槽(12)，每对所述滑槽(12)位于同一平面，所述平板(21)的两侧分别嵌入两个成对布置的所述滑槽(12)内。

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