JP3196861U - 放水駆動型基板回転治具 - Google Patents

Abstract

【課題】基板全体を十分な支持力で回転させて均等に加工を施す放水駆動型基板回転治具を提供する。【解決手段】外枠１０、内枠２０、少なくとも一つの羽根車３０および放水装置４０を有する。外枠１０は、搬送ユニット上に配置され、搬送ユニットにより移動させられ、複数の支持デバイス１１を有する。内枠２０は、基板２を収納する開口部２００を有し、周縁が支持デバイスに摩擦するように接触することにより、外枠に動くように接続している。羽根車３０は、内枠の周縁位置に対応するように外枠上に設けられている。放水装置４０は、外枠の片側に配置され、羽根車に加えた放水の衝撃により羽根車を回転させる。羽根車が内枠を連動するのにともない、基板が複数の支持デバイス間で回転する。【選択図】図１

Description

本考案は、基板の治具に関し、特に、放水駆動型基板回転治具に関する。

基板は、基板製造のエッチング、洗浄などの工程において、治具により固定されて加工が行われる。直立した状態で搬送ユニット上に配置された基板は、搬送ユニットの駆動により所定のルートで前方へ搬送され、ガラスエッチング、洗浄など加工作業が行われることが多い。

上記の基板は、治具により固定されて搬送される際に、同様の方向および角度で固定されて前進するため、加工過程でエッチングまたは洗浄されていない部分が一部残り、均等に加工を施すことができなかった。そのため、欠陥が生じ、歩留まり率を低下させていた。本考案は、治具により固定されて搬送される基板を回転させることにより、基板全体にエッチングまたは洗浄を行う方法を提供する。

特開２００１−２２１３８９号公報

本考案の第１の目的は、基板全体に均等に加工を施す放水駆動型基板回転治具を提供することにある。
本考案の第２の目的は、十分な支持力で基板を均等に回転させる放水駆動型基板回転治具を提供することにある。

上述の目的を達成するため、本考案は放水駆動型基板回転治具を提供する。本考案の放水駆動型基板回転治具は、基板を搭載するのに用いられ、搬送ユニット上に配置され、外枠、内枠、少なくとも一つの羽根車および放水装置を有する。外枠は、搬送ユニット上に配置され、搬送ユニットにより移動させられ、複数の支持デバイスを設けている。内枠は、基板を収納する開口部を有し、周縁が支持デバイスに摩擦するように接触することにより、外枠に動くように接続している。羽根車は、内枠の周縁位置に対応するように外枠上に設けられている。放水装置は、外枠の片側に配置され、羽根車に加えた放水の衝撃により羽根車を回転させる。羽根車が内枠を連動するのにともない、基板が複数の支持デバイス間で回転する。そのため、基板は、ウェットプロセスを通過しながら、同時に回転することにより全体的に放出される液体を受け、歩留まり率を向上させることができる。

本考案の放水駆動型基板回転治具は、基板がウェットプロセスを通過しながら、同時に回転することにより放出される液体を全体的に受け、歩留まり率を向上させることができる。

本考案の一実施形態による放水駆動型基板回転治具を示す斜視図である。 本考案の一実施形態による放水駆動型基板回転治具を示す正面図である。 本考案の一実施形態による放水駆動型基板回転治具を示す側面図である。 放水駆動型基板回転治具の動作状態を示す正面図である。 放水駆動型基板回転治具の動作状態を示すもう一つの正面図である。

以下、本考案の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１〜３を参照する。図１は、本考案の一実施形態による放水駆動型基板回転治具を示す斜視図である。図２は、本考案の一実施形態による放水駆動型基板回転治具を示す正面図である。図３は、本考案の一実施形態による放水駆動型基板回転治具を示す側面図である。図１〜３に示すように、本実施形態の放水駆動型基板回転治具１は、基板２を搭載するのに用いられ、搬送ユニット３上に配置されている。基板２が回転治具１に搭載されることにより搬送ユニット３上で前進することができるため、加工に便利である。

回転治具１は、外枠１０、内枠２０、少なくとも一つの羽根車３０および放水装置４０を有する。内枠２０および羽根車３０は、外枠１０上に配置され、放水装置４０は、外枠１０の片側に配置されている。

外枠１０は、搬送ユニット３上に配置され、搬送ユニット３により移動させられる。外枠１０は、複数の支持デバイス１１を設けている。本実施形態において、回転治具１は、接続部５０をさらに含む。接続部５０は、外枠１０に接続する複数の接続棒５１、および搬送ユニット３に配置される移動板５２を有する。外枠１０は、接続部５０により搬送ユニット３の下部に吊設される。外枠１０の形状は、本実施形態に限定されるものではない。

内枠２０は、基板２を収納する開口部２００を有する。内枠２０は、周縁が支持デバイス１１に摩擦するように接触することにより、外枠１０に動くように接続している。本実施形態において、基板２は、長方形である。そのため、内枠２０の開口部２００は、基板２の外形に対応するように長方形として設けられている。

少なくとも一つの羽根車３０は、内枠２０の周縁位置に対応するように外枠１０上に設けられている。支持デバイス１１は、ローラーとして配置されている。内枠２０の周縁と各支持デバイス１１との間は、ローラーがスライドするように接触しているのが好適である。また、羽根車３０は、数量が複数で、支持デバイス１１と間隔をおいて外枠１０の周縁に配置されている。放水装置４０は、複数の羽根車３０を同時に回転させる。本実施形態において、羽根車３０の数量は、それぞれ一対になっており、搬送ユニット３は、外枠１０の頂部に設けられ、対になっている羽根車３０および放水装置４０は、搬送ユニット３に対応して外枠１０の底部に配置されている。支持デバイス１１および羽根車３０は、間隔をおいて内枠２０の周縁に環状に配置されることにより十分な支持力を提供し、外枠１０を均等に回転させることができる。

羽根車３０は、羽根３１、および羽根３１とともに回転する摩擦部３２を有する。摩擦部３２は、内枠２０の周縁に摩擦するように接触している。羽根３１が、回転しだすと摩擦部３２も同時に回転し、内枠２０も摩擦部３２の摩擦により回転させられるのである。

放水装置４０は、外枠１０の片側に配置され、羽根車３０に加えた放水の衝撃により羽根車３０を回転させる。羽根車３０が内枠２０を連動するのにともない、基板２が複数の支持デバイス１１間で回転する。

本実施形態において、放水装置４０は、外枠１０に対して斜めに配置されたノズル４１（図５参照）を複数有する。ノズル４１は、斜めの角度で羽根車３０に加えた放水の衝撃により羽根車３０の回転効率を向上させることができる。

回転治具１は、挟持棒６１、複数のクリップ６２および複数の弾性デバイス６３を設けた挟持部６０をさらに有する。挟持棒６１は、内枠２０の開口部２００の相対する両側に固定されている。クリップ６２は、それぞれ挟持棒６１上に結合されている。内枠２０上で開口部２００に隣接する部分に複数の溝２１が設けられている。弾性デバイス６３は、溝２１内に対応するように配置され、溝２１に沿って弾性を持ちながら移動する。挟持棒６１の一方の端部位は、弾性デバイス６３上に弾性を持ちながら押し付けている。本実施形態において、弾性デバイス６３は、スプリングである。

図４および図５を参照する。図４は、放水駆動型基板回転治具の動作状態を示す正面図である。図５は、放水駆動型基板回転治具の動作状態を示すもう一つの正面図である。図４および図５に示すように、本実施形態の放水駆動型基板回転治具１は、搬送ユニット３の下部に吊設され、直線的に搬送される。外枠１０は、前進移動の際、搬送ユニット３に対して直立した状態を呈している。

本実施形態において、搬送ユニット３は、ローラコンベヤであるが、これに限定されるものではなく、ベルトコンベヤなどの搬送装置でもよい。また、放水装置４０が羽根車３０に加えた放水の衝撃により羽根車３０を回転させると、内枠２０および基板２も連動して回転する。これにより、基板２は、搬送ユニット３上で回転しながら前進し、均等に加工作業が施される。

外枠１０は、接続部５０により搬送ユニット３の下部に吊設され、搬送ユニット３の連動を受け、移動する。放水装置４０は、羽根車３０に加えた放水の衝撃により羽根車３０を回転させると、内枠２０および基板２も連動して回転する。基板２は、内枠２０が羽根車３０の連動を受けるのにともない、複数の支持デバイス１１間で回転する。そのため、基板２は、ウェットプロセスを通過しながら、同時に回転することにより全体的にパイプ４から放出される液体（図示せず）を受け、歩留まり率を向上させることができる。

本実施形態において、放水装置４０は、ノズル４１に接続する接続パイプ４２、接続パイプ４２に接続するタンク４３、およびポンプ４４をさらに有する。複数のノズル４１が放出した液体は、接続パイプ４２を解してタンク４３に回収され、ポンプ４４の作用によりタンク４３内の液体が再びノズル４１に送られ、繰り返し放出が行われる。

本考案では好適な実施形態を前述の通りに開示したが、これらは決して本考案を限定するものではなく、当該技術を熟知する者は誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の保護の範囲は、実用新案請求の範囲で指定した内容を基準とする。

１ 回転治具
２ 基板
３ 搬送ユニット
４ パイプ
１０ 外枠
１１ 支持デバイス
２０ 内枠
２１ 溝
３０ 羽根車
３１ 羽根
３２ 摩擦部
４０ 放水装置
４１ ノズル
４２ 接続パイプ
４３ タンク
４４ ポンプ
５０ 接続部
５１ 接続棒
５２ 移動板
６０ 挟持部
６１ 挟持棒
６２ クリップ
６３ 弾性デバイス
２００ 開口部

Claims (10)

1. 搬送ユニット上に配置される放水駆動型基板回転治具であって、
   前記搬送ユニット上に配置され、前記搬送ユニットにより移動させられ、複数の支持デバイスを設ける外枠と、
   基板を収納する開口部を有し、周縁が前記支持デバイスに摩擦するように接触することにより、前記外枠に動くように接続している内枠と、
   前記内枠の周縁位置に対応するように前記外枠上に設けられている少なくとも一つの羽根車と、
   前記外枠の片側に配置され、前記羽根車に加えた放水の衝撃により前記羽根車を回転させ、前記羽根車が前記内枠を連動するのにともない、前記基板が複数の支持デバイス間で回転する放水装置と、を有することを特徴とする放水駆動型基板回転治具。
2. 前記外枠に接続する複数の接続棒、および前記搬送ユニットに配置される移動板を設けた接続部を、さらに有することを特徴とする請求項１に記載の放水駆動型基板回転治具。
3. 前記内枠の周縁と前記各支持デバイスとの間は、ローラーがスライドするように接触し、前記支持デバイスはローラーであることを特徴とする請求項１に記載の放水駆動型基板回転治具。
4. 前記複数の羽根車は、数量が複数で、前記支持デバイスと間隔をおいて前記内枠の周縁に環状に配置され、前記放水装置により同時に回転させられることを特徴とする請求項１に記載の放水駆動型基板回転治具。
5. 前記羽根車は、数量がそれぞれ一対になっており、前記搬送ユニットは前記外枠の頂部に設けられ、対になっている前記羽根車および前記放水装置は前記搬送ユニットに対応して前記外枠の底部に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の放水駆動型基板回転治具。
6. 前記羽根車は、羽根、および前記羽根とともに回転する摩擦部を有し、前記摩擦部は前記内枠の周縁に摩擦するように接触していることを特徴とする請求項１に記載の放水駆動型基板回転治具。
7. 前記放水装置は、前記外枠に対して斜めに配置され、前記羽根車に放水を行う複数のノズルを有することを特徴とする請求項１に記載の放水駆動型基板回転治具。
8. 前記放水装置は、前記複数のノズルに接続する接続パイプ、複数接続パイプに接続するタンク、およびポンプをさらに有し、複数ポンプは複数タンクおよび複数接続パイプに接続していることを特徴とする請求項７に記載の放水駆動型基板回転治具。
9. 前記開口部の相対する両側に固定されている挟持棒、および前記挟持棒上に結合されている複数のクリップを、さらに有することを特徴とする請求項１に記載の放水駆動型基板回転治具。
10. 前記内枠上で前記開口部に隣接する部分に設けられた複数の溝内に対応するように配置され、前記溝に沿って弾性を持ちながら移動し、前記挟持棒の一方の端部に弾性を持ちながら押し付けられている複数の弾性デバイスを、さらに有することを特徴とする請求項９に記載の放水駆動型基板回転治具。

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