CN107250007B

CN107250007B - 运输机构、用于处理物品的机构和运输方法

Info

Publication number: CN107250007B
Application number: CN201580067351.7A
Authority: CN
Inventors: 克劳斯·赫苛赫兹
Original assignee: Singulus Technologies AG
Current assignee: Singulus Technologies AG
Priority date: 2014-10-31
Filing date: 2015-10-30
Publication date: 2019-07-05
Anticipated expiration: 2035-10-30
Also published as: CN107250007A; EP3212544A1; WO2016066838A1; EP3212544B1; DE102014222295A1

Abstract

一种运输设备包括被配置成沿运输路径对待运输物品的运输进行支撑的运输装置，其中所述待运输物品是半导体薄片、玻璃板或者聚合物板；和至少一个弹性辊，用于将所述待运输物品压靠所述运输装置。所述弹性辊具有轮毂和辊环，所述辊环通过围绕所述轮毂的圆周分布的多个辐条弹性安装在所述轮毂上。每个所述辐条包括被连接到所述轮毂的第一段、被连接到所述辊环的第二段和位于第一段与第二段之间的第三段，所述第三段比第一和第二段关于径向倾斜得更多。

Description

运输机构、用于处理物品的机构和运输方法

技术领域

本发明涉及一种运输机构、用于处理物品的机构，包括这种运输机构和运输方法。

背景技术

经常需要运输设备运输物品和通过例如加工厂的工厂处理物品。这里已经知道不同的运输装置。US4,089,339示出例如一种清洁工件的设备，其中所述工件是借助于皮带传动来运输的。从US2003/0194309A1已知一种运输设备，这种运输设备包括由运输辊和将板形物品压紧运输辊的压紧辊。WO 2010/009865A1也公开了这样的运输装置，即运输装置能够设置压紧装置或者发生来自顶部的润湿，从而能够省去机械压紧装置。

在借助于辊、皮带、条带或链线性运输轻的、薄的、敏感的刚性或柔性基片通过浸渍、喷洒、溢流或者干燥工序部分的过程中，在各个部分中产生的作用力能够相反地影响基片的通过位置或者可能损坏基片。例如，所述基片可能扭曲、平移或者褶皱(错向)并且所述基片的表面可能分别受到机械影响。由于各自的惯性压力(液体-气体)、湍流(液体-气体)和升起和粘附性能，可能发生这种结果。因此，将轻的、薄的基片压紧在运输装置上是必需的。现有的压紧技术，例如自由支撑的O形环辊衬套表明O形环产生的擦痕可能对基片表面产生不利的性能。进一步地，通过打开和破坏衬套，在所述基片上遭到冲击力，这可能再次不利地影响基片的位置和性能。

一个替代选项是借助于海绵辊实施压紧。然而，由于快速改变的材料性能，借助于海绵辊进行压紧具有缺陷。进一步地，海绵辊具有低的耐磨性，最终分别导致增加的成本和过程不定性。

在化学过程中使用过程流体压力的压紧系统在基片表面上潜在地产生表面图案的形成，这在进一步处理基片过程中可能分别对后续过程步骤产生负面影响或者可能限制它的功能。进一步地，由于单边增加的介质压力(液体-气体)，所述基片可能被损坏。

发明内容

本发明的目的是提供一种构思，它允许方向稳定地机械压紧物品，并因此小心地运输以及小心地处理物品。

这个目的通过根据权利要求1所述的运输设备、根据权利要求12所述的处理设备和根据权利要求13所述的方法解决。

本发明的实施例提供一种被配置成沿着运输路径运输待运输物品的运输设备，所述运输设备包括至少一个弹性辊，用于将待运输物品靠着运输装置保持。所述运输设备能够包括驱动机构，所述驱动机构被配置成驱动所述至少一个弹性辊，从而所述至少一个弹性辊与所述待运输物品同步移动。由此，待运输物品和弹性辊之间的相对运动能够被阻止，允许甚至更小心地保持(例如压紧)物品。这在敏感物品的情形中是特别有利的。所述弹性辊能够主动地(被驱动)或被动地(从动)安装。

在本发明的实施例中，所述弹性辊包括轮毂和辊环，所述辊环通过围绕轮毂的周边分布的多个辐条弹性安装在所述轮毂上。每个辐条包括连接到所述轮毂上的第一段、连接到辊环上的第二段；和在第一段和第二段之间的第三段，相对于径向，所述第三段比第一段和第二段倾斜得更多。

通过围绕所述轮毂的周边分布，优选均匀分布多个这种辐条，所述辊环能够弹性安装在所述轮毂上。这分别允许例如使用相应的弹性辊和弹性垫圈,以靠着运输装置小心地保持待运输的物品。相应的弹性辊允许辊环处的与弹性垫圈的弹性变形无关的恒定圆周速度，以及正弦的且非常恒定的接触压力。因而，在没有作用在基片上的任何相对力的条件下，能够保证在运输部分中运输装置上的尽可能恒定的接触压力。

在实施例中，所述第三段能够沿所述弹性辊的周向延伸，同时从所述第一段到所述第二段关于所述轮毂的距离增加。在实施例中，所述辐条的第三段的长度能够使至少分别相邻的辐条的第三段沿径向重叠。在实施例中，所述第三段的长度能够使三个分别相邻的辐条的第三段沿径向重叠。所述第三段能够具有弧形曲线或者能够包括一个或几个直部分。如果所述第三段包括直部分，至少一个弧形段分别能够布置在所述第三段的直部分、第一和第二部分之间。所述第三段的直部分能够相对于径向倾斜大于45°或60°。所述第三段的直部分能够相对于径向倾斜85°到90°的范围内。

在实施例中，所述运输装置能够包括一个或几个被驱动辊、一个或几个条带、一个或几个被驱动皮带或者一个或几个被驱动链。在实施例中，所述运输设备被配置成水平或竖直取向地运输板形运输物品，例如半导体薄片。倾斜或反向运输也是可能的。反向运输是指弹性垫圈和运输辊的位置调换的运输。例如，运输物品能够放置在被布置于运输物品下方的弹性辊上并且靠着被布置在运输物品上方的弹性辊保持。

实施例提供一种用于处理物品的设备，所述设备具有处理站和运输设备，所述运输设备被配置成运输所述物品穿过对所述物品进行处理的处理站。所述处理站能够是干燥站、浸渍站、喷洒站和/或溢流站。

实施例提供一种用于运输待运输物品的方法，所述方法包括沿着运输路径运输待运输物品和借助于至少一个相应弹性辊将待运输物品保持在运输装置上。在这里，所述至少一个弹性辊能够被驱动，使得所述弹性辊与所述待运输物品同步移动。由此，特别小心地运输待运输物品变得可能。

附图说明

下面参照附图，讨论本发明的实施例。附图示出：

图1和2是弹性辊的第一实施例的俯视示意图和立体图；

图3和4是弹性辊的第二实施例的俯视图和立体图；

图5是弹性辊的第三实施例的立体图；

图6是运输设备的实施例的立体图；

图7是图6所示运输设备的侧视示意图；

图8是另一运输设备的立体图；

图9是用于干燥基片的设备的示意图；

图10是使用液体处理物品的设备的示意图；

图11是借助于喷洒过程处理基片的单侧和双侧的示意图；

图12是用于显示通过弹性辊获得的影响的两个弹性辊的示意图。

具体实施方式

本发明的实施例涉及用于运输和/或处理物品的设备和方法，尤其是基片，例如硅薄片、玻璃或箔片。本发明涉及用于运输和/或处理物品的设备和方法，尤其是薄基片，例如硅薄片、玻璃或箔片。这种硅薄片能够例如具有小于130至140μm的厚度。然而，本发明的实施例还能够用于运输或处理其它物品或制品，例如板形本体。板形本体在这里能够指其长度和宽度显著大于其厚度，例如大100倍或200倍的本体。由此，所述板形本体的长度和宽度限定两个基本上相互平行的相对的主表面，所述主表面代表所述板形本体最大区域，它的面积显著大于与所述主表面相连接的任意一个侧表面。在这里，所述侧表面可能是指边缘，而所述主表面可能是指底侧和顶侧。板形处理物品的实例能够是例如在太阳能电池中使用的板形半导体基片。在替代实施例中，所述处理物品能够是玻璃板或者聚合物板。板形处理物品能够具有任意外周形状，例如方形、矩形、半方形或圆周形。

本发明的实施例分别提供一种弹性辊和弹性垫圈，允许在例如在工厂的液相或气相处理中通过浸渍部分、喷洒部分、溢流部分或干燥部分的线性运输过程中，方向稳定地机械保持，确切地，压紧薄的、触摸敏感的基片。为此目的，各弹性辊能够用作弹性辊压紧设备。本发明实施例的弹性辊包括轮毂和刚性硬辊环，所述辊环能够沿径向朝向所述轮毂变形，并具有弹性常数。该弹性常数通过围绕所述轮毂的周边分布的多个辐条提供。所述辐条能够围绕所述轮毂的周边均匀地分布，使得当弹性辊滚动时，所述弹性常数尽可能恒定。为了支持所述弹性辊，所述第一段连接到所述轮毂的位置能够从所述第二段连接到所述辊环的位置方位偏移，即这两个位置不在径向线上。在这里，径向是指关于轮毂中心的径向。

所述辐条提供的弹性的弹性常数能够通过所述辐条的设计进行调整。一般地，尽可能单调的弹性常数能够是理想的，以允许尽可能小心地运输物品。下面讨论允许弹性常数尽可能单调的实施例，例如参照图1至4。

这种弹性辊能够用于在运输装置上压下线性传输的基片，而运输装置能够例如是用于待运输物品的辊传动、条带传动、皮带传动或者链传动。在实施例中，所述运输装置和弹性辊能够布置成使得所述基片不牢固地夹持在所述运输装置和弹性辊之间。因而能够通过杆在关键的处理部分中从顶部压下线性传输的基片，使压紧弹性辊与基片的速度同步，而所述压紧弹性辊布置在对于所述基片合适的距离处。在这里，线性传输系统能够在相对的基片侧上设置用于压紧弹性辊的固定的逆序系统，而所述逆序系统能够例如通过从动支撑辊实现。

所述弹性辊能够由选择的适当材料制成，从而分别相对于运输物品和处理物品进行执行的方法对材料特性不具有或几乎不具有影响。所述辊环的材料能够以适当的方式选择，以便不在基片上留下任何干扰的磨损。合适材料的选择对本领域技术人员而言是显而易见的。

在这里，这种弹性辊允许小心地压紧待运输的基片。进一步地，非圆形基片运动在线性驱动系统中例如因运行错误引起，以及基片中的不规则性能够通过所述辊的弹性效应进行补偿。因而，基片的损坏能够分别被减小和阻止。

所述辐条具有长形延伸部，并且所述辐条的各段也具有长形形状。长形形状是指其长度分别比高度、宽度和直径大许多倍的形状。每个段能够是直的或弯曲的。沿着这个长形延伸部，所述第三段位于所述第一段和第二段之间。所述第一段的第一端能够连接到所述轮毂，所述第一段的第二端能够直接连接到所述第三段的第一端或者经由另外的连接段连接到所述第三段的第一端。所述第二段的第一端能够连接到所述辊环，所述第一段的第二端能够直接连接到所述第三段的第二端或者经由另外的连接段连接到所述第三段的第二端。

参照图1和2描述弹性辊的第一实施例。所述弹性辊包括轮毂10和辊环12。多个辐条14，在图示实施例中4个辐条14，将轮毂10连接到辊环12。辐条14具有将辊环12弹性安装在轮毂10上的曲线。辐条14包括第一段14a、第二段14b和第三段14c。辐条14的第一端，即第一段14a，连接到轮毂10处的连接点16。连接点16优选围绕轮毂10的周边均匀分布。第一段14a能够才能够连接点16沿径向或者关于径向特定倾斜地延伸。进一步地，每个辐条14包括在连接点18连接到辊环12的第二段14b。所述辐条的连接点18优选围绕所述辊环的周边均匀分布。进一步地，在辐条14连接到轮毂10的连接点16和辐条14连接到辊环12的连接点18之间提供方位偏移。所述辐条的第三段14c在第一段14a和第二段14b之间延伸，第三段14c比第一段14a和第二段14b关于径向倾斜更多。

在所示实施例中，第三段14c以弧形在第一段14a和第二段14b之间延伸，使得第三段14c到轮毂的距离在弹性辊的周向上增大。也就是说，第三段14c以半径增大的螺旋形在第一段14a和第二段14b之间的延伸。

如图1所示，弧形的第三段14c具有使相应地相邻的辐条的弧形段重叠的长度。进一步地，在图1所示的实施例中，弧形的第三段14c的长度使相应地相邻的辐条发生重叠。在替代实施例中，弧形的第三段14c的长度能够更小，使得发生与只有一个相邻的辐条的弧形段的重叠，或者使得不发生重叠，例如如图5所示。

如图1所示，第一段14a能够是弯曲的，其中第一段14a的弯曲方向对应第三段14c的弯曲方向。另一弧形段14d能够布置在第二段14b和第三段14c之间，弧形段14d的弯曲方向不同于第三段的弯曲方向，并且弧形段14d的曲率半径小于第三段14c的半径。在替代途径中，段14d能够被认为是第二段14b的组成部分。

在卸载状态中，轮毂10和辊环12同心地布置。在装载状态中，中心由于所述辐条提供的弹性效应而平移。

代替弧形的曲线，图1和2所示实施例中的第二段能够还包括多个直部分，每个直部分具有关于径向的不同倾角，以便获得第三段从第一段沿弹性辊的周向增大对于轮毂的距离地延伸到第二段。如果这些直部分变得无限小，则会再次得到弧形曲线。

垂直于长形延伸部的圆柱形部分能够在图1和2中看到，例如部分20，可能是由于制造而出现的，但与功能没有相关性。在这里进一步应当注意的是，所述轮毂和所述辊环每个在内表面和外表面上都具有如图所示的涂层，以得到理想的性能。例如，轮毂和/或辊环能够在内侧上设有涂层。

在本发明的实施例中，所述轮毂、辊环和辐条能够用合适的材料制成，例如塑料材料，使得所述辊环提供刚性外表面，并且关于所述轮毂弹性地安装。例如，创新的弹性辊的实施例能够经由弹性辊的注射模制方法制造。

参照图3和4，将讨论弹性辊的第二实施例，其中布置在轮毂10和辊环12之间的辐条具有不同的曲线。所述弹性辊包括在轮毂10和辊环12之间延伸的6个辐条24。每个辐条24包括被连接到轮毂10的第一端24a和被连接到辊环12的第二段24b。每个辐条24安装在轮毂10上的位置和每个辐条24安装在辊环12上的位置在所示的实例中近似位于径向线上。在替代实例中，能够提供这些位置的方位偏移。

进一步地，每个辐条24包括被布置在第一段24a和第二段24b之间的第三段24c。在这个实例中，第三段24c包括直部分。直部分24c以对于径向基本上成90°的角度进行布置。在替代实施例中，所述直部分能够以不同的角度布置，例如大于45°的角度或者大于60°的角度或者例如以85°到90°的角度。

其它段设置在第三段24c和第一段24a之间，以及在第三段24c和第二段24b之间。第一段24a是弧形的，并且弧形的第四段24d设置在第一段24a和第三段24c之间，第四段24d的弯曲方向与第一段24a的弯曲方向相反。同样地，弧形的第五段24e设置在第三段24c和第二段24b之间，第五段24e的弯曲方向与第二段24b的弯曲方向不同。在所示实施例中，第四段24d的曲率半径小于第一段24a的曲率半径。在所示实施例中，第五段24e的曲率半径小于第二段24b的曲率半径。在所示实施例中，第四和第五段的曲率半径基本上相同。在实施例中，第一段24a的曲率半径和第二段24b的曲率半径基本上相同。

图3和4中示出的辐条的曲线还包含辊环12关于轮毂10的弹性安装。

图5示出辐条的可能曲线的另一实施例。根据图5，辊环12经由四个辐条34连接到轮毂10。辐条34的曲线类似于图1所示的辐条的曲线，其中每个辐条34包括第一段34a、第二段34b和第三段34c。然而，根据图5，所述辐条的第三段34c的长度小于图1和2中所示的实例，使得各相邻的辐条的第三段34c不重叠。由于第三段34c的更小长度，能够获得更大的弹性常数和因而更高的弹性刚度。

由于第三段的长度，所述辐条形成的弹簧的弹性刚度能够被调整。通过增大第三段的长度，所述弹簧能够被制造得更软，而通过减小第三段的长度，所述弹簧能够获得更高的弹性刚度。

如上所述，弹性辊能够例如有利地分别使用在运输设备和传输设备中。这些弹性辊能够在运输设备中例如有利地用作压紧辊。这些弹性辊能够使用在例如辊运输系统中，其中柔性基片，例如硅薄片、箔薄片或者玻璃薄片，具有小于150μm的厚度，通过各弹性辊以限定的方式按压到辊环上，使得能够保证在处理过程中使所述基片前进的牵引力。这种处理的实例是浸渍处理、喷洒处理、溢流处理和干燥处理。

图6示出运输设备30的立体示意图，运输设备30包括被安装在各相应杆34上的多个传输辊32。至少一些杆34能够被运动，以便影响板形物品36沿着传输方向38的运输。相应的驱动机构在图6中示意性地显示为块35。设置多个压紧辊40，在运输过程中将板形物品36压靠运输辊32。在所示实施例中，压紧辊40对应上面参照图1和2所描述的弹性辊。为此目的，在所示实施例中，几个弹性辊40安装在相应的杆42上。替换地，每个轴线也能够设置仅仅一个弹性辊。

在实施例中能够设置用于杆42的驱动机构43，驱动机构43驱动杆42，使得所述弹性辊与物品36同步移动，以便阻止所述物品和弹性辊之间的相对移动。例如，为此目的，驱动机构35和43能够通过经由各齿轮驱动杆34和42的共同的马达形成。旋转的相应方向在图6中用箭头表示。

在操作过程中，能够例如是半导体薄片的板形物品36，被运输辊32沿运输方向38传输。弹性辊40以距离运输辊32的特定距离进行布置，以便允许板形物品36经过弹性辊40和运输辊32之间，其中所述距离能够被调整，使得板形运输物品不牢固地夹持在所述辊之间。

在图7中示出图6所示运输设备的侧视示意图，其中在图7中，相应辊被布置于其上的杆34和42的相应支承用参考数字44示意性地显示。

图8示出这种运输设备的另一立体示意图。如图8所示，所述运输设备还能够用于允许具有其他尺寸的运输物品，例如更宽的基片，从而更大数量的弹性辊接合所述运输物品。进一步地，运输辊和弹性辊之间的距离能够被调整以便允许具有改变厚度的运输物品。

图6至8示出运输设备，其中运输装置是运输辊，待运输物品借助于弹性辊压靠运输辊。在替代实施例中，所述运输装置能够通过不同的装置实施，例如待运输物品放置于其上的从动条带、从动带或者从动链，或者移动用于待运输物品的支撑。相应的运输装置对本领域技术人员而言是已知的，并且能够特别地被配置成，如参照图6至8描述的，运输水平对准的板形运输物品。

相应的运输设备能够例如是用于处理物品的设备的一部分，所述用于处理物品的设备被配置成运输所述物品通过一个或几个对物品进行处理的处理站。下面参照图9至11讨论这种处理设备的实例。应当注意的是，图9至11中所示的处理设备仅仅是示例性的，本发明不限于这些处理设备。根据其他实施例，例如，处理设备能够被配置成用于气相处理。进一步地，在实施例中，所示运输设备和/或处理设备能够被配置成运输所述物品到竖向或倾斜位置中，其中所述物品通过抵靠运输装置的弹性辊，例如相应的运输辊，被水平、竖向或倾斜地保持在相应位置中。

图9示出处理设备50，其中处理设备50包括运输设备30并被配置成用于在两侧干燥处理物品36，处理物品36例如能够是半导体基片。基片36借助于运输辊32沿着运输方向38运输，运输辊32也能够称为支撑辊，其中运输辊32中的全部或一些被沿着箭头52所示的方向驱动。弹性辊40能够被用箭头53所示地同步驱动。

用于压缩气体的分布管54设置在基片36在其中运输的运输平面上方和下方。气体喷嘴56设置在分布管54的相应出口处，气体喷嘴56被配置成产生指向基片36的顶部和底部的气流。在操作过程中，基片36沿传输方向38传输，其中液体能够布置在图9中用箭头58表示的基片上。气体喷嘴56影响基片36的顶部和底部上气流，从而发生基片的干燥。在图9所示的设备中，基片在两侧被干燥。在替代实施例中，基片能够只在一侧上被干燥，例如只干燥基片的顶部。

图10示出被设置用于浸渍处理的处理设备60。再次，设备60包括具有运输辊32和弹性辊40的运输设备30。设置具有排放头64的分布系统62，其中分布系统62被配置成提供处理液体以产生图10中用箭头66表示的液面。分布系统62能够被配置成例如在浸渍盆中产生相应的液面66。无论如何，在所示实施例中，基片36通过运输设备30沉浸到液体中，使得基片36使用液体在两侧处理。这里，基片36通过弹性辊40被抵靠运输辊42保持，使得保证基片沉浸到液体中，并防止基片上升。在替代实施例中，处理设备60能够被配置成调整液面66，使得基片36使用处理液只处理基片36的一侧。

图11示出被配置成分别用于基片的喷洒处理和清洁的处理设备。再次，提供相应的运输设备30。在处理设备70的处理区域中设置分布管72和喷嘴74。所述分布管用于分布喷洒液体，并且喷嘴74被配置成将喷洒也喷洒在基片36的顶部和底部上。通过运输设备30，基片36移动穿过所述处理区域，使得基片36的顶部和底部被用喷洒液喷洒。在替代实施例中，相应的喷洒装置能够只分别设置在基片36的运输平面的上方和下方，使得只处理基片36的一侧。

在替代实施例中，喷嘴74能够被这样的装置替换，即被配置成例如通过将处理液的射流引导到基片上，使所述基片溢流。

图12示意性地示出两个弹性辊的侧视图，其中一个弹性辊包括第一轮毂(轮毂1)和第二轮毂(轮毂2)。轮毂1和轮毂2这两个轮毂被布置在轮毂平面上。所述轮毂的位置能够通过运输设备的机械结构固定。进一步地，图12示意性地示出物品在其中运输的运输平面。在相应辊环12的底部上，所述弹性辊能够与待运输物品接触。如图12所示，以夸张的方式示出例如由于待运输物品36的改变厚度，能够得到图12显示的两个弹性辊的不同位置。所述弹性辊分别施加F_k1和F_k2于待运输物品上。相应辊环12的外侧分别以速度V_u1和V_u2移动。

通过所述弹性辊的创新结构，获得所述弹性辊的单调的弹性常数，从而能够获得所述轮毂相对于物品36的表面的位置与弹性常数无关，即与轮毂距离物品表面的距离无关，并因而能够获得相同的力(F_k1＝F_k2)和相同的圆周速度(V_u1＝V_u2)。也就是说，所述弹性辊的创新结构具有的效果是所述轮毂相对于所述辊环的位置能够在特定区域中改变，例如在与辊环同心的、具有辊环的直径20％的圆中，而所述弹性常数和圆周速度不依赖于所述轮毂的相对位置，在这个区域中保持相同。

因而，本发明的实施例允许滚动速度，在运输平面上方的高度没有改变的情形下不依赖于辊环的水平面地保持恒定。

在本发明的实施例中，运输装置被主动驱动以便沿着运输路径运输物品。在替代实施例中，如果所述弹性辊被驱动，所述运输装置也能够不被驱动，并且能够被配置成沿着运输路径被动地支撑物品的运输。在这些实施例中，所述运输装置能够包括非从动辊、非从动条带、非从动带或者非从动链。

因而，本发明的实施例能够是运输设备和用于处理物品的设备，其中所述物品能够使用这里所述的弹性辊被压紧。在本发明的实施例中，各压紧辊能够分别使用在水平浸渍处理的入口区域和出口区域中，以固定薄的基片，例如参照图10所述的那样。

根据第一方面，这里公开了弹性辊，所述弹性辊包括：轮毂和辊环，所述辊环通过沿轮毂的周边分布的多个辐条弹性安装在所述轮毂上，每个辐条包括：被连接到所述轮毂的第一段，被连接到所述辊环的第二段，和位于所述第一段和第二段之间的第三段，所述第三段比所述第一段和第二段关于径向倾斜得更多。根据第二方面，在根据第一方面的弹性辊中，所述第三段从所述第一段沿着所述弹性辊的圆周方向延伸到所述第二段，同时距离所述轮毂的距离增大。根据第三方面，在根据第二方面的弹性辊中，所述辐条的第三段的长度被设置成使至少分别相邻的辐条的第三段沿径向重叠。根据第四方面，在根据第三方面的弹性辊中，所述第三段的长度被设置成使三个分别相邻的辐条的第三段沿径向重叠。根据第五方面，在根据第一至第四方面中任一方面的弹性辊中，所述第三段具有弧形曲线。根据第六方面，在根据第一至第四方面中任一方面的弹性辊中，所述第三段包括至少一个直部分。根据第七方面，在根据第六方面的弹性辊中，至少一个弧形段分别布置在第三段的直部分与第一和第二部分之间。根据第八方面，在根据第六或第七方面的弹性辊中，所述第三段的直部分关于径向倾斜大于45°或者大于60°。根据第九方面，在根据第八方面的弹性辊中，所述第三段24c的直部分的倾斜角在85°到90°的范围内。根据第十方面，在根据第一至第九方面种任一方面的弹性辊中，所述轮毂的位置能够关于所述辊环在特定区域中改变，而所述弹性常数和圆周速度与所述轮毂在这个区域内的位置无关地保持恒定。根据第十一方面，运输设备包括被配置成对沿着运输路径运输待运输物品进行支撑的运输装置和根据第一至第十方面种任一方面的至少一个弹性辊，以便抵靠所述运输装置保持待运输物品。根据第十二方面，根据第十一方面的运输设备包括驱动机构，所述驱动机构被配置成驱动所述至少一个弹性辊，从而使所述弹性辊与待运输物品的移动同步地移动。根据第十三方面，在根据第十二方面的运输设备中，所述运输装置包括从动辊、从动带或者从动链。根据第十四方面，根据第十一至十三方面中任一方面的运输设备被配置成，运输水平定向的板形运输物品。根据第十五方面，一种用于处理物品的设备包括处理站和根据第十一至十四方面中任一方面的运输设备，所述运输设备被配置成运输所述物品通过所述物品被处理的处理站。根据第十六方面，在根据第十五方面的设备中，所述处理站包括干燥站、浸渍站、喷洒站和/或溢流站。根据第十七方面，一种用于运输待运输物品的方法，包括沿着运输路径运输待运输物品，和借助于根据第一至第十方面中任一方面的至少一个弹性辊，抵靠运输装置保持待运输物品。根据第十八方面，根据第十七方面的方法包括驱动所述至少一个弹性辊，从而所述弹性辊与待运输物品的移动同步地移动。

Claims

1.一种使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，所述运输设备包括：

运输装置(32)，所述运输装置(32)被配置成支撑待运输物品(36)沿运输路径的运输，和

至少一个弹性辊(40)，所述弹性辊(40)用于抵靠所述运输装置保持所述待运输物品(36)，所述弹性辊包括：

轮毂(10)和辊环(12)，所述辊环(12)借助于围绕所述轮毂的周边分布的多个辐条(14、34)弹性安装在所述轮毂(10)上，

每个所述辐条(14、34)包括：

被连接到所述轮毂(10)的第一段(14a、34a)；

被连接到所述辊环(12)的第二段(14b、34b)；和

第三段(14c、34c)，第三段(14c、34c)位于所述第一段(14a、34a)和第二段(14b、34b)之间，

其中，伴随着距离所述轮毂(10)的距离增大，所述第三段(14c、34c)从所述第一段(14a、34a)沿所述弹性辊的圆周方向延伸到所述第二段(14b、34b)，并且所述第三段(14c、34c)包括弧形曲线，

其中，所述第一段(14a、34a)是弯曲的，所述第一段(14a、34a)的弯曲方向与所述第三段(14c、34c)的弯曲方向对应；

其中，另一弧形段(14d)布置在所述第二段(14b、34b)和第三段(14c、34c)之间，所述另一弧形段(14d)的弯曲方向与所述第三段(14c、34c)的弯曲方向不同，并且所述另一弧形段(14d)的曲率半径小于所述第三段(14c、34c)的曲率半径，

所述方法包括：

沿运输路径在水平方向上运输所述待运输物品(36)；和

借助于所述至少一个弹性辊，抵靠所述运输装置保持所述待运输物品，

其中，所述待运输物品(36)是半导体薄片、玻璃板或者聚合物板。

2.根据权利要求1所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中所述运输设备包括驱动机构，所述驱动机构被配置成驱动至少一个弹性辊(40)，从而所述至少一个弹性辊(40)与所述待运输物品的移动同步地移动。

3.根据权利要求2所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述运输装置包括从动辊、从动带或者从动链。

4.根据权利要求1所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述辐条的第三段(14c)的长度被设置成使至少分别相邻的辐条的第三段沿径向重叠。

5.根据权利要求4所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述第三段(14c)的长度被设置成使三个分别相邻的辐条的第三段沿径向重叠。

6.根据权利要求1所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，包括：

驱动所述至少一个弹性辊，使得所述至少一个弹性辊与所述待运输物品的移动同步地移动。

7.根据权利要求1所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述物品被运输通过对所述物品进行处理的处理站，其中所述处理站包括干燥站、浸渍站、喷洒站和/或溢流站。

8.一种使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，所述运输设备包括：

至少一个弹性辊(40)，所述弹性辊(40)用于抵靠所述运输装置保持所述待运输物品(36)，所述弹性辊包括轮毂(10)和辊环(12)，所述辊环(12)通过围绕所述轮毂的周边分布的多个辐条(24)弹性安装在所述轮毂(10)上，每个所述辐条(24)包括被连接到所述轮毂(10)的第一段(24a)；被连接到所述辊环(12)的第二段(24b)；和第三段(24c)，第三段(24c)位于所述第一段(24a)和第二段(24b)之间，

其中，所述第三段(24c)是直部分，

其中，所述第一段(24a)是弧形的，所述第一段通过弧形的第四段(24d)连接到所述第三段(24c)的第一端，其中，所述第四段(24d)的弯曲方向与所述第一段(24a)的弯曲方向相反，和

其中，所述第二段(24b)是弧形的，所述第二段(24b)通过弧形的第五段(24e)连接到所述第三段(24c)的第二端，其中所述第五段(24e)的弯曲方向与所述第二段的弯曲方向不同，

所述方法包括：

沿运输路径在水平方向上运输所述待运输物品(36)；和

9.根据权利要求8所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中所述运输设备包括驱动机构，所述驱动机构被配置成驱动至少一个弹性辊(40)，从而所述至少一个弹性辊(40)与所述待运输物品的移动同步地移动。

10.根据权利要求9所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述运输装置包括从动辊、从动带或者从动链。

11.根据权利要求8所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述第三段(24c)的直部分相对于径向倾斜大于45°或者大于60°。

12.根据权利要求11所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述第三段(24c)的直部分相对于径向的倾角在85°到90°的范围内。

13.根据权利要求8所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，包括：

14.根据权利要求8所述的使用运输设备(30)运输待运输物品的方法，其中，所述物品被运输通过对所述物品进行处理的处理站，其中所述处理站包括干燥站、浸渍站、喷洒站和/或溢流站。