TWM588880U - 具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具 - Google Patents

Abstract

本創作為一種具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其包含：能分離地疊合的兩放置架，各放置架其包含外環壁、放置單元及防呆部，放置單元排列受外環壁圍繞，各放置單元包含周壁及周壁圍成的容置空間，防呆部包含複數個卡合凸塊，其凸設在外環壁，卡合凸塊能與輸送該放置架的一傳動裝置相卡合；為改善現有的技術晶圓清洗裝置的缺失，本創作的防呆部能和傳動裝置相卡合，避免放置架在受傳動裝置輸送時滑移或晃動，提升放置架的輸送穩定度。

Description

具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具

本創作係涉及一種晶圓清洗裝置，尤指一種用以清洗裝設有晶圓片的晶圓載片的清洗裝置。

晶圓載片上會裝設有晶圓片。在’完成晶圓片的裝設後，會對晶圓載片進行電路蝕刻，以及將晶圓載片切割成較小的片狀，完成前述步驟後，為了清除蝕刻電路過程所殘留的油墨，以及清除切割晶圓載片過程所產生的碎屑，會對晶圓載片的表面進行清洗，以避免油墨和碎屑影響晶圓和整片晶圓載片的使用效能。

現有技術的清洗過程，請配合參看圖12及圖13，是將晶圓載片80放置並固定在放置架90，放置架90包括有多個格狀的容置空間，並包含位於該容置空間的支撐肋92及通風孔91，以及分別位於放置架90上、下表面的上防呆部93及下防呆部94，支撐肋92連接在容置空間的周壁且為X形，而形成四個通風孔91，晶圓載片80會被放在該容置空間內並受支撐肋92支撐。完成晶圓載片80的放置後，會在放置架90上疊放另一個放置架90，並使放置架90的上防呆部93與另一放置架90的下防呆部94配合而蓋在各晶圓載片80的上方，使該晶圓載片80不會彈出容置空間外。接著，載有晶圓載片80的放置架90會被放入沖洗用的水道，水道中設有可帶動放置架90移動的傳動裝置，傳動裝置通常是會有鏈條或齒盤等結構配合帶動放置架90，而在放置架90移動的同時，水道內會產生聲波的震動以清除晶圓載片80表面上的油墨及碎屑。

但是，現有放置架90的防呆設計在受傳動裝置傳動時，無法與傳動裝置的傳動元件(如：齒盤、鍊條等)卡合，而讓放置架90在受傳動裝置輸送時會滑移或晃動，讓晶圓載片80震動或彈跳而產生瑕疵，降低晶圓載片80的使用效能，以及產品的良率；綜上所述，現有技術晶圓清洗裝置尚有能改善的空間。

為改善現有的技術晶圓清洗裝置的缺失，本創作的防呆部能和傳動裝置相卡合，避免放置架在受傳動裝置輸送時滑移或晃動，提升放置架的輸送穩定度。

為達上述之創作目的，本創作提出一種具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其包含：兩放置架，該兩放置架係能分離地疊合，各放置架其包含一外環壁、複數個放置單元及複數個防呆部；該複數個放置單元排列設在該外環壁內而受該外環壁圍繞，各放置單元包含一周壁及該周壁圍成的一容置空間；以及該複數個防呆部包含複數個卡合凸塊，其凸設在該外環壁，該複數個卡合凸塊能與輸送該放置架的一傳動裝置相卡合。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其包含兩個所述之防呆部，該兩防呆部為一上防呆部及一下防呆部，該上防呆部及該下防呆部分別位於該放置架的上表面及下表面且能相卡合，該上防呆部與另一該上防呆部無法互相卡合。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含複數個限位件，其設在該周壁，該上防呆部包含複數個所述的卡合凸塊， 而該下防呆部包含能與該複數個卡合凸塊相卡合的複數個卡合凹部，各卡合凹部是凹設在該外環壁，各卡合凸塊的位置高於各限位件的上端。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之外環壁的輪廓為矩形，該上防呆部包含四組所述的卡合凸塊，該四組卡合凸塊分別位於該外環壁的四個角落，該下防呆部包含四組卡合凹部，該四組卡合凹部分別能與該四組卡合凸塊相卡合。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之上防呆部的形狀是對稱的。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含至少一遮斷器，該至少一遮斷器設在該外環壁。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含四個所述的遮斷器，該四遮斷器位於該放置架分別位於該放置架的四個角落。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含八個夾制部，該八夾制部設在該外環壁，該外環壁的一側設有兩該夾制部。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各夾制部包含一斜面，該斜面位於該放置架的上表面。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含複數個拿持部，各拿持部包含至少一排水孔。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含兩所述之拿持部，各拿持部包含四排水孔。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各放置單元的周壁為矩形，且該放置單元包含複數個承載件，該複數個承載件不相連，各承載件設在該周壁、突入該容置空間且包含一頂面，該頂面朝向上方且為凸面。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各限位件為柱狀，該限位件的上端為凸面。

所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各限位件的外徑由其上端向下逐漸遞增。

本創作的技術手段能帶來的功效增進在於：本創作的防呆部包含複數個卡合凸塊，其能和傳動裝置的傳動元件(如：齒盤、鍊條等)相卡合，讓放置架能更穩定地被傳動裝置輸送，避免晶圓載片震動或彈跳而產生瑕疵的情形，提升放置架的輸送穩定度。

本創作的遮斷器及夾制部讓放置架能以機械手臂搬運及定位，而不受限只能以人力來搬運放置架，且在設計放置架時能加大外環壁的大小，間接能提升一放置架所能承載的晶圓載片數量，提升晶圓載片的清洗量而達到提升製程效率的功效。

此外，夾制部的斜面和拿持部的排水孔皆能讓放置架離開清洗用的水道時輔助排水，而降低晾乾放置架所需要的時間。

10‧‧‧放置架

11‧‧‧外環壁

12‧‧‧放置單元

121‧‧‧周壁

122‧‧‧承載件

13‧‧‧限位件

14‧‧‧上防呆部

141、141A、142、142A‧‧‧卡合凸塊

15‧‧‧下防呆部

151、151A、152、152A‧‧‧卡合凹部

16‧‧‧遮斷器

17‧‧‧夾制部

171‧‧‧斜面

18‧‧‧拿持部

181‧‧‧排水孔

50‧‧‧水道

70‧‧‧傳動裝置

71、71A‧‧‧傳動元件

80‧‧‧晶圓載片

90‧‧‧放置架

91‧‧‧通風孔

92‧‧‧支撐肋

93‧‧‧上防呆部

94‧‧‧下防呆部

圖1為本創作較佳實施例的立體示意圖。

圖2為本創作較佳實施例的俯視平面圖。

圖3為本創作較佳實施例放置架一角落的俯視局部立體圖。

圖4為本創作較佳實施例放置架另一角落的俯視局部立體圖。

圖5為本創作較佳實施例的仰視平面圖。

圖6為本創作較佳實施例放置架一角落的仰視局部立體圖。

圖7為本創作較佳實施例放置架另一角落的仰視局部立體圖。

圖8至圖10為本創作較佳實施例放置晶圓載片的連續動作圖。

圖11為本創作較佳實施例放置於水道清洗的使用狀態圖。

圖12為現有技術的放置架的局部放大圖。

圖13為晶圓載片放置於現有技術的放置架上之剖面側視示意圖。

以下配合圖式以及本創作之較佳實施例，進一步闡述本創作為達成預定創作目的所採取的技術手段。

請參閱圖1，本創作包含兩放置架10，一該放置架10能分離地疊合在另一該放置架10。

請參閱圖2，各放置架10包含一外環壁11、複數個放置單元12、複數個限位件13、一上防呆部14、一下防呆部15、四遮斷器16、八夾制部17及兩拿持部18。

該外環壁11的輪廓為矩形，該複數個放置單元12排列在該外環壁11內而設該外環壁11環繞，請配合圖3參看，各放置單元12包含一周壁121及複數個承載件122，該周壁121為矩形，且圍成能放置一晶圓載片80的容置空間，該複數個承載件122環繞地設在該周壁121，各承載件122突入該容置空間，且該承載件122包含一頂面，該頂面朝向上方且為凸面，而能提高該晶圓載片80和該承載件122之間的水分蒸散效率。該複數個限位件13環繞地設在該周壁121，各限位件13是直立的柱狀，其頂端為凸面，且該限位件13的外徑是由其上端向下逐漸遞增。該複數個放置單元12及該複數個限位件13的設置方式已為習知技術，在此便不再贅述。

請參看圖1及圖2，該上防呆部14凸設在該外環壁11的上表面，其包含四組卡合凸塊141、141A、142、142A，該四組卡合凸塊141、141A、142、142A分別位於該外環壁11的四個角落，其形狀請配合圖3及圖4參看；其中，該兩組卡合凸塊141、141A是對稱地設置，另該兩組卡合凸塊142、142A也是對稱地設置。

該四組卡合凸塊141、141A、142、142A的形狀設計請參閱圖3及圖4，其能對應一傳動裝置70的齒盤或鍊條等傳動元件71使用，並請參看圖8，各組卡合凸塊142的位置是高於各限位件13的上端，而能讓該兩放置架10在以該傳動裝置70輸送時，各傳動元件71僅會與該四組卡合凸塊141、141A、142、142A相卡合而不會與該複數個限位件13相接觸，避免該複數個限位件13損壞。

接著請參看圖1及圖5，該下防呆部15凹設在該外環壁11的下表面，其包含四組卡合凹部151、151A、152、152A，該四組卡合凹部151、151A、152、152A分別位於該外環壁11的四個角落，其形狀請配合圖6及圖7參看；其中，該兩組卡合凹部151、151A是對稱地設置，另該兩組卡合凹部152、152A也是對稱地設置。該四組卡合凹部151、151A、152、152A形狀分別能配合該四組卡合凸塊141、141A、142、142A而能相卡合。

在其他實施例中，該四組卡合凸塊141、141A、142、142A及該四組卡合凹部151、151A、152、152A只要能相組裝卡合而限定兩該放置架10不一定要對稱地設置，形狀亦能和本創作不同。

請參看圖1到圖3，該四遮斷器16設在該外環壁11的上表面，且分別靠近該外環壁11的四個角落。該八夾制部17設在該外環壁11，該外環壁11的一該側邊上有兩個夾制部17，且該兩夾制部17分別靠近該側邊上的兩角落，各夾制部17一斜面171，該斜面171位於該外環壁11的上表面而能助於排水。在 以機械手臂等夾具疊放該放置架10時，該放置架10的各夾制部17是機械手臂能夾制的位置，通常在疊放的過程中，會以紅外線感應該放置架10是否被放置定位；以本創作的較佳實施例為例，該外環壁11是矩形，通常會以四個紅外線偵測點偵測該外環壁11的四個角落是否被放到定位，當該放置架10的四個角落皆移動到指定的位置，該四遮斷器16能遮斷紅外線，讓機械手臂判斷該放置架10以放到定位，即能再搬運另一該放置架10並以相同的方法將其定位，確保該兩放置架10正確的疊放；各遮斷器16及夾制部17的形狀和數量本創作不做特別限制。

該兩拿持部18設在該外環壁11的相對兩側，各拿持部18包含一兩凹槽及四個排水孔181，該兩凹槽分別朝向該放置架10的上方及下方，該個排水孔181貫穿該兩凹槽的底面，而能讓該放置架10從水中拿起時，使該拿持部18不積水；設置該四排水孔181的目的是為了讓該拿持部18不積水，該拿持部18的形狀及該排水孔181的數量及形狀本創作不做特別限制。

本創作的使用狀態，請參看圖8及圖9，將初步加工後的複數個該晶圓載片80放入該放置單元12的容置空間時，由於各限位件13是外徑由上端向下逐漸遞增的柱體，各放置單元12會被該複數個限位件13導入容置空間並受該複數個承載件122支撐，完成放置後，請參看圖10，疊置另一該放置架10以遮罩該複數個晶圓載片80，接著，請參看圖11，將該兩放置架10及該複數個晶圓載片80一同放入一清洗用的水道50並受該傳動裝置70傳動，位於上方的該放置架10的上防呆部14會與各傳動元件71相卡合，位於下方的該放置架10的下防呆部15能與另一該傳動元件71A相配合，而讓該放置架10被持續向前輸送。

清洗完成後，將該兩放置架10從水中取出，並放置於蔭涼處晾乾，以利進行後續的加工流程。

本創作的卡合凸塊141、141A、142、142A能和該傳動裝置70的傳動元件(如：齒盤、鍊條等)相卡合，讓該放置架10能更穩定地被該傳動裝置70輸送，避免該複數個晶圓載片80震動或彈跳而產生瑕疵的情形，提升該兩放置架10的輸送穩定度。

本創作的四遮斷器16及八夾制部17能讓該放置架10能以機械手臂搬運及定位，而不受限只能以人力來搬運該放置架10，且在設計該放置架10時能加大該外環壁11的大小，間接能提升一該放置架10所能承載的晶圓載片80數量，提升晶圓載片80的清洗量而達到提升製程效率的功效。

各夾制部17的斜面171和各拿持部18的排水孔181皆能讓該放置架10離開該水道50時輔助排水，而降低晾乾該放置架10所需要的時間。

10‧‧‧放置架

11‧‧‧外環壁

12‧‧‧放置單元

14‧‧‧上防呆部

141、141A、142、142A‧‧‧卡合凸塊

15‧‧‧下防呆部

151、151A、152、152A‧‧‧卡合凹部

16‧‧‧遮斷器

17‧‧‧夾制部

18‧‧‧拿持部

Claims (14)

1. 一種具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其包含：兩放置架，該兩放置架係能分離地疊合，各放置架其包含一外環壁、複數個放置單元及複數個防呆部；該複數個放置單元排列設在該外環壁內而受該外環壁圍繞，各放置單元包含一周壁及該周壁圍成的一容置空間；以及該複數個防呆部包含複數個卡合凸塊，其凸設在該外環壁，該複數個卡合凸塊能與輸送該放置架的一傳動裝置相卡合。
2. 如請求項1所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其包含兩個所述之防呆部，該兩防呆部為一上防呆部及一下防呆部，該上防呆部及該下防呆部分別位於該放置架的上表面及下表面且能相卡合，該上防呆部與另一該上防呆部無法互相卡合。
3. 如請求項2所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含複數個限位件，其設在該周壁，該上防呆部包含複數個所述的卡合凸塊，而該下防呆部包含能與該複數個卡合凸塊相卡合的複數個卡合凹部，各卡合凹部是凹設在該外環壁，各卡合凸塊的位置高於各限位件的上端。
4. 如請求項3所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之外環壁的輪廓為矩形，該上防呆部包含四組所述的卡合凸塊，該四組卡合凸塊分別位於該外環壁的四個角落，該下防呆部包含四組卡合凹部，該四組卡合凹部分別能與該四組卡合凸塊相卡合。
5. 如請求項4所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之上防呆部的形狀是對稱的。
6. 如請求項5所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含至少一遮斷器，該至少一遮斷器設在該外環壁。
7. 如請求項6所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含四個所述的遮斷器，該四遮斷器位於該放置架分別位於該放置架的四個角落。
8. 如請求項6所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含八個夾制部，該八夾制部設在該外環壁，該外環壁的一側設有兩該夾制部。
9. 如請求項8所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各夾制部包含一斜面，該斜面位於該放置架的上表面。
10. 如請求項8所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含複數個拿持部，各拿持部包含至少一排水孔。
11. 如請求項10所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，其中所述之放置架包含兩所述之拿持部，各拿持部包含四排水孔。
12. 如請求項11所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各放置單元的周壁為矩形，且該放置單元包含複數個承載件，該複數個承載件不相連，各承載件設在該周壁、突入該容置空間且包含一頂面，該頂面朝向上方且為凸面。
13. 如請求項12所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各限位件為柱狀，該限位件的上端為凸面。
14. 如請求項13所述之具有防呆裝置之晶圓載片清洗治具，各限位件的外徑由其上端向下逐漸遞增。

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