KR101379232B1 - 웨이퍼 리버스 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 리버스 장치에 관한 것으로, 본 발명은 수직 프레임; 상기 수직 프레임에 회전 가능하게 결합되는 회전부재; 상기 회전부재를 회전시키는 회전 구동유닛; 상기 회전부재에 결합되며 직선 구동력을 발생시키는 직선 구동유닛; 상기 직선 구동유닛의 작동에 따라 직선 왕복 운동하면서 각각 웨이퍼를 집거나 놓는 두 개의 그리퍼들; 상기 두 개의 그리퍼들 사이에 위치하며, 내부에 복수 개의 구멍들이 구비된 차단판; 웨이퍼들을 지지하는 복수 개의 지지핀들이 구비되는 웨이퍼 지지유닛; 및 상기 웨이퍼 지지유닛을 상하로 움직이는 상하 구동유닛을 포함한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼의 양쪽면을 세정하기 위하여 웨이퍼를 뒤집을 때 웨이퍼가 이물질(파티클)에 의해 재오염되는 것을 방지하고, 또한 파티클이 타 부품에 떨어지는 것을 최소화하게 된다.

Description

웨이퍼 리버스 장치{APPARATUS FOR REVERSING WAFER}
본 발명은 웨이퍼 리버스 장치에 관한 것이다.
반도체 칩은 여러 가지 공정들을 거쳐서 제작된다. 반도체 칩을 제조하는 공정들 중에서 기판 또는 웨이퍼의 양쪽 표면에 묻어 있는 파티클을 제거하는 세정 공정이 포함된다. 예를 들면, 웨이퍼를 왁싱한 후 그 왁싱된 웨이퍼를 세정하게 된다.
웨이퍼를 세정하는 공정은, 일반적으로, 세정 장비에서 진행된다. 세정 장비에서 웨이퍼가 세정되는 동작은 다음과 같다.
먼저, 카세트에 적재된 웨이퍼를 이송 로봇이 꺼내어 세정 챔버에 공급한다. 세정 챔버에서 세정 장치에 의해 웨이퍼의 한쪽면이 세정된다. 한쪽면이 세정된 웨이퍼를 이송 로봇이 챔버에서 꺼내어 웨이퍼 리버스 장치로 이동시켜 웨이퍼 리버스 장치에서 웨이퍼를 뒤집는다. 뒤집힌 웨이퍼를 이송 로봇이 다시 세정 챔버로 공급하며 세정 챔버에서 나머지 한쪽면을 세정하게 된다. 양쪽면이 세정된 웨이퍼를 웨이퍼 리버스 장치로 이동시켜 웨이퍼 리버스 장치에서 다시 웨이퍼를 뒤집은 다음 이송 로봇이 웨이퍼를 카세트에 적재시키게 된다.
한국 공개특허 2003-0026451, 한국 공개특허 2003-0027295, 한국 공개특허 2007-0093746 등에는 웨이퍼를 뒤집는 웨이퍼 반전장치(웨이퍼 리버스 장치)가 개시되어 있다.
하지만, 위의 선행기술들은 한 쌍의 척킹 아암이 웨이퍼들을 반복적으로 집게 되므로 척킹 아암에 묻어 있는 이물질(파티클)이 웨이퍼로 다시 달라붙게 되어 웨이퍼를 재오염시키게 되는 단점이 있다. 또한, 한 쌍의 척킹 아암이 웨이퍼를 집을 때 척킹 아암에 묻어 있는 파티클이 아래로 떨어져 타 부품을 오염시키게 되고, 또한 한 쌍의 척킹 아암이 웨이퍼를 집어 회전시킬 때 파티클이 아래로 떨어져 타 부품의 오염을 가중시키게 된다.
본 발명의 목적은 웨이퍼의 양쪽면을 세정하기 위하여 웨이퍼를 뒤집을 때 웨이퍼가 이물질(파티클)에 의해 재오염되는 것을 방지할 뿐만 아니라 파티클이 타 부품에 떨어지는 것을 최소화하는 웨이퍼 리버스 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 수직 프레임; 상기 수직 프레임에 회전 가능하게 결합되는 회전부재; 상기 회전부재를 회전시키는 회전 구동유닛; 상기 회전부재에 결합되며 직선 구동력을 발생시키는 직선 구동유닛; 상기 직선 구동유닛의 작동에 따라 직선 왕복 운동하면서 각각 웨이퍼를 집거나 놓는 두 개의 그리퍼들; 상기 두 개의 그리퍼들 사이에 위치하며, 내부에 복수 개의 구멍들이 구비된 차단판; 웨이퍼들을 지지하는 복수 개의 지지핀들이 구비되는 웨이퍼 지지유닛; 및 상기 웨이퍼 지지유닛을 상하로 움직이는 상하 구동유닛을 포함하는 웨이퍼 리버스 장치가 제공된다.
상기 직선 구동유닛은 한 개이며, 상기 두 개의 그리퍼들은 상기 직선 구동유닛의 작동에 따라 동시에 움직이는 것이 바람직하다.
상기 차단판은 두 개의 반쪽 차단판으로 이루어진 것이 바람직하다.
상기 차단판에 구비되는 복수 개의 구멍들은 각각 장공인 것이 바람직하다.
상기 직선 구동유닛은 두 개로 구성되며, 상기 두 개의 그리퍼들은 두 개의 직선 구동유닛에 각각 결합되어 두 개의 그러퍼들이 각각 독립적으로 움직일 수도 있다.
상기 차단판은 상기 두 개의 그리퍼들 중간에 위치하며, 상기 회전부재에 고정되는 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 지지유닛은 수평 상태로 위치하며 상기 상하 구동유닛에 결합되는 지지판과, 상기 지지판의 상면에 수직으로 결합되는 상기 복수 개의 지지핀들을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명은 두 개의 그리퍼들이 구비되어 한 개의 그리퍼가 한쪽면만 왁싱된 웨이퍼만을 집어 180도 회전시키고, 다른 한 개의 그리퍼가 양쪽면이 왁싱된 웨이퍼만을 집어 180도 회전시키게 되므로 그리퍼들이 웨이퍼를 집을 때 그리퍼로부터 웨이퍼가 오염되는 것을 최소화시키게 된다.
또한, 한쪽면만 왁싱된 웨이퍼를 그리퍼가 집을 때 그리퍼에 묻은 파티클 또는 웨이퍼에 남아있는 파티클이 떨어질 경우 파티클이 차단판에 떨어지고 타 부품으로 떨어지지 않게 되므로 타부품을 오염시키는 것을 최소화시키게 된다. 차단판에 떨어진 파티클이, 웨이퍼를 180도 회전시 왁싱이 되지 않은 웨이퍼 면에 떨어지게 되므로 그 웨이퍼의 다른 쪽이 왁싱될 때 제거된다.
본 발명은 웨이퍼의 양쪽면을 왁싱하기 위하여 웨이퍼를 뒤집을 때 웨이퍼의 오염을 최소화하게 되므로 장비의 신뢰성 및 제품의 신뢰성을 높이게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 도시한 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 도시한 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 구성하는 그리퍼의 아암을 도시한 단면도,
도 5는 본 발명에 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 구성하는 차단판을 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 도시한 측면도이다. 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예를 도시한 정면도이다.
도 1, 2, 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 일실시예는 수직 프레임(100), 회전부재(200), 회전 구동유닛(300), 직선 구동유닛(400), 두 개의 그리퍼(gripper)들(G1)(G2), 차단판(600), 웨이퍼 지지유닛(700) 그리고 상하 구동유닛(800)을 포함한다.
테이블(10) 상면에 상기 수직 프레임(100)이 설치된다. 상기 수직 프레임(100)은 일정 폭과 높이를 갖는다.
상기 회전부재(200)는 상기 수직 프레임(100)의 한쪽 면 상부에 회전 가능하게 결합된다. 상기 회전부재(200)는 일정 두께를 갖는 원판 형태의 원판부(210)와, 상기 원판부(210)의 한쪽면에 돌출된 연결부(220)를 포함한다.
상기 회전 구동유닛(300)은 상기 회전부재(200)와 연결되도록 상기 수직 프레임(100)에 장착된다. 상기 회전 구동유닛(300)은 회전부재(200)가 위치하는 반대편면에 장착된다. 즉, 상기 회전 구동유닛(300)은 수직 프레임(100)의 앞쪽면에 위치하고, 상기 회전부재(200)는 상기 수직 프레임(100)의 뒷쪽면에 위치한다. 상기 회전 구동유닛(300)은 회전 엑츄에이터를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 회전 구동유닛(300)의 다른 실시예로 상기 회전 구동유닛(300)은 랙과 피니언, 상기 랙을 직선왕복 운동시키는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 상기 회전 구동유닛(300)은 다양한 형태로 구현될 수 있다.
상기 직선 구동유닛(400)은 상기 회전부재(200)에 결합된다. 상기 직선 구동유닛(400)의 일실시예로, 상기 회전부재(200)에 결합되는 몸체(410)와, 상기 몸체(410)에 장착되는 에어 실린더(420)와, 상기 몸체(410)에 결합되는 엘엠 가이드(430)와, 상기 엘엠 가이드(430)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 한 쌍의 무빙 블록(440)들을 포함한다. 상기 한 쌍의 무빙 블록(440)을 제1,2 무빙 블록(441)(442)이라 한다.
상기 두 개의 그리퍼들(G1)(G2)은 상기 직선 구동유닛(400)의 한 쌍의 무빙 블록(440)들에 결합된다. 상기 두 개의 그리퍼들을 제1,2 그리퍼(G1)(G2)라 한다.
제1 그리퍼(G1)는 한 쌍의 제1 아암(510)들로 구성된다. 상기 제1 그리퍼(G1)의 한 개의 제1 아암(510)은 제1 무빙 블록(441)에 결합되고, 제1 그리퍼(G1)의 다른 한 개의 제1 아암(510)은 제2 무빙 블록(442)에 결합된다. 상기 제1 그리퍼(G1)의 제1 아암(510)들은 각각 무빙 블록(440)의 한 면에 수직이 되도록 결합되고 두 개의 제1 아암(510)들은 동일 평면상에 위치한다.
제2 그리퍼(G2)는 한 쌍의 제2 아암(520)들로 구성된다. 상기 제2 그리퍼(G2)의 한 개의 제2 아암(520)은 제1 무빙 블록(441)에 결합되고, 제2 그리퍼(G2)의 다른 한 개의 제2 아암(520)은 제2 무빙 블록(442)에 결합된다. 상기 제2 그리퍼(G2)의 제2 아암(520)들은 각각 무빙 블록(440)의 한 면에 수직이 되도록 결합되고, 두 개의 제2 아암(520)들은 동일 평면상에 위치한다.
즉, 제1 무빙 블록(441)에 제1 아암(510)과 제2 아암(520)이 서로 일정 간격을 두고 결합되고, 제2 무빙 블록(442)에 제1 아암(510)과 제2 아암(520)이 서로 일정 간격을 두고 결합된다. 두 개의 제1 아암(510)은 서로 마주보고 위치하며, 두 개의 제2 아암(520) 또한 서로 마주보게 위치하게 된다.
상기 제1,2 무빙 블록(441)(442)이 서로 가까워지도록 움직이게 되면 두 개의 제1 아암(510)들은 서로 가까워지면서 웨이퍼를 집게 되고, 동시에 두 개의 제2 아암(520)들도 서로 가까워지면서 웨이퍼를 집게 된다.
제1 아암(510)의 안쪽 측면에 웨이퍼의 일부분이 삽입되도록 홈(151)이 형성된다. 상기 홈(151)의 단면 형상은 브이자 형상이다. 이와 마찬가지로, 제2 아암(520)의 안쪽 측면에 웨이퍼의 일부분이 삽입되도록 홈이 형성된다. 상기 홈의 단면 형상은 브이자 형상이다.
상기 제1,2 아암(510)(520)의 측면에 웨이퍼의 존재를 감지하는 센서(미도시)들이 각각 구비되는 것이 바람직하다.
상기 차단판(600)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 균일한 두께를 갖는 사각판으로 내부에 복수 개의 관통된 구멍(611)들이 구비된다. 상기 복수 개의 구멍(611)들은 그리퍼가 움직이는 방향으로 일정 길이를 갖는 장공이다. 상기 차단판(600)은 제1 그리퍼(G1)과 제2 그리퍼(G2) 사이에 위치하게 된다. 상기 차단판(600)은 반으로 나누어져 두 개의 반쪽 차단판(610)들로 이루어지는 것이 바람직하다. 한 개의 반쪽 차단판(610)은 제1 무빙 블록(441)에 결합되고 다른 한 개의 반쪽 차단판(610)은 제2 무빙 블록(442)에 결합됨이 바람직하다. 상기 두 개의 반쪽 차단판(610)들은 동일 평면 상에 위치하도록 제1,2 무빙 블록들(441)(442)에 결합된다. 따라서, 상기 제1,2 무빙 블록들(441)(442)이 설정된 거리만큼 서로 가까워졌을 때 두 개의 반쪽 차단판(610)들은 한 개의 평판, 즉 하나의 차단판(600)을 이루게 된다.
한편, 다른 실시예로, 상기 회전부재(200)에 상기 직선 구동유닛(400)이 두 개 설치되고, 한 개의 직선 구동유닛(400)에 제1 그리퍼(G1)가 결합되고, 다른 한 개의 직선 구동유닛(400)에 제2 그리퍼(G2)가 결합될 수 있다. 이와 같은 경우 제1,2 그리퍼(G1)(G2)가 각각 독립적으로 움직일 수 있다. 상기 제1 그리퍼(G1)와 제2 그리퍼(G2) 사이에 위치하도록 상기 회전부재(200)에, 복수 개의 관통된 구멍들이 구비된 차단판(600)이 결합된다. 상기 차단판(600)은 두 개로 분리되지 않는 것이 바람직하며, 구멍들은 각각 원형이다.
상기 웨이퍼 지지유닛(700)은 지지판(710)과, 상기 지지판(710)의 상면에 수직으로 결합되는 복수 개의 지지핀(720)들을 포함한다. 상기 지지핀(720)들의 수는 상기 차단판(600)의 구멍(611)들의 수와 같은 것이 바람직하다. 상기 지지핀(720)들은 4개 또는 6개가 될 수 있다. 상기 지지핀(720)이 4개인 경우 지지판(710)의 상면 한쪽에 두 개의 지지핀(720)들이 위치하고 상기 지지판(710)의 상면 다른 한쪽에 나머지 두 개의 지지핀(720)들이 위치하게 된다. 한편, 상기 지지핀(720)들이 6개인 경우 상기 지지판(710)의 상면 한쪽에 세 개의 지지핀(720)들이 위치하고 상기 지지판(710)의 상면 다른 한쪽에 나머지 세 개의 지지핀(720)들이 위치하게 된다. 상기 지지핀(720)들의 수에 따라 상기 차단판(600)의 구멍(611)들의 수가 결정된다.
상기 상하 구동유닛(800)은 상기 웨이퍼 지지유닛(700)을 상하로 움직인다. 상기 상하 구동유닛(800)은 상기 테이블(10)의 상판(11) 하면에 고정 결합됨이 바람직하다. 상기 상하 구동유닛(800)의 일부분은 테이블(10)의 상판(11)에 형성된 관통 구멍(12)을 통해 상하로 움직이게 된다. 상기 상하 구동유닛(800)은 상기 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지판(710) 하면에 연결된다. 상기 상하 구동유닛(800)은 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 리버스 장치의 작동과 효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제1 그리퍼(G1)가 제2 그리퍼(G2)보다 상측에 위치하고 제1,2 그리퍼들이 각각 벌어진 상태에서 상하 구동유닛(800)이 웨이퍼 지지유닛(700)을 제1 그리퍼(G1)의 위치까지 위로 이동시킨다. 이때, 상기 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들은 차단판(600)의 구멍들을 관통하여 차단판(600) 위로 돌출된 상태가 된다. 이송 로봇이 한쪽면의 왁싱 공정이 끝난 웨이퍼를 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들 위에 올려 놓는다. 지지핀(720)들에 놓여진 웨이퍼는 윗면이 왁싱된 면이고 아래면은 왁싱이 되지 않은 면이다. 직선 구동유닛(400)의 작동에 의해 제1 그리퍼(G1)가 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들 위에 놓여진 웨이퍼를 집는다. 이때, 웨이퍼의 한쪽 끝부분은 제1 그리퍼(G1)의 한 개의 제1 아암(510)의 홈(151)에 삽입되어 그 홈(151) 내벽에 지지되고 상기 웨이퍼의 다른 한쪽 끝부분은 제1 그리퍼(G1)의 다른 한 개의 제1 아암(510)의 홈(151)에 삽입되어 그 홈(151) 내벽에 지지된다. 상기 반쪽 차단판(610)의 구멍(611)들이 장공이므로 지지핀(720)이 구멍(611)에 삽입된 상태에서 제1,2 그리퍼(G1)(G2) 및 반쪽 차단판(610)들의 움직임이 가능하게 된다. 제1 그리퍼(G1)의 제1 아암(510)들이 웨이퍼를 집을 때 제1 아암(510)의 홈(151)에 묻어 있는 파티클이나 웨이퍼에 묻어 있는 파티클이 아래로 떨어지게 되며 그 파티클은 차단판(600)에 떨어지게 된다. 상기 상하 구동유닛(800)의 작동에 의해 웨이퍼 지지유닛(700)이 아래로 이동한다.
상기 회전 구동유닛(300)이 회전부재(200)를 180도 회전시킨다. 상기 회전부재(200)가 180도 회전함에 의해 제1 그리퍼(G1)가 180도 회전하면서 웨이퍼를 180도 회전시킨다. 상기 웨이퍼가 180도 회전됨에 따라 웨이퍼의 왁싱면이 아래로 위치하고 왁싱하지 않은 면이 위로 위치하게 된다. 이때, 제1 그리퍼(G1)가 제2 그리퍼(G2)보다 아래쪽에 위치하게 된다. 상기 상하 구동유닛(800)의 작동에 의해 웨이퍼 지지유닛(700)이 위로 이동하면서 제1 그리퍼(G1)에 지지된 웨이퍼를 지지하게 된다. 상기 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들이 웨이퍼를 지지한 상태에서 직선 구동유닛(400)의 작동에 의해 제1 그리퍼(G1)의 제1 아암(510)들이 웨이퍼의 지지를 해제하게 된다.
이송 로봇이 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들에 지지된 웨이퍼를 왁싱 챔버로 이송시킨다.
상기 이송 로봇이 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들에 지지된 웨이퍼를 왁싱 챔버로 이동시킨 후 상하 구동유닛(800)의 작동에 의해 웨이퍼 지지유닛(700)을 위로 이동하여 제2 그리퍼(G2)에 위치시킨다.
웨이퍼의 나머지 한쪽면의 왁싱 공정이 끝나고 나면 이송로봇이 양쪽면의 왁싱 공정이 끝난 웨이퍼를 이송시켜 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들 위에 올려 놓는다. 직선 구동유닛(400)의 작동에 의해 제2 그리퍼(G2)가 지지핀(720)들에 놓여진 웨이퍼를 집는다. 상하 구동유닛(800)의 작동에 의해 웨이퍼 지지유닛(700)이 아래로 움직인다.
상기 회전 구동유닛(300)이 회전부재(200)를 180도 회전시킨다. 상기 회전부재(200)가 180도 회전함에 의해 제2 그리퍼(G2)가 180도 회전하면서 웨이퍼를 180도 회전시킨다. 이때, 제2 그리퍼(G2)가 제1 그리퍼(G1)보다 아래쪽에 위치하게 된다. 상기 상하 구동유닛(800)의 작동에 의해 웨이퍼 지지유닛(700)이 위로 이동하면서 제2 그리퍼(G2)에 지지된 웨이퍼를 지지하게 된다. 상기 웨이퍼 지지유닛(700)의 지지핀(720)들이 웨이퍼를 지지한 상태에서 직선 구동유닛(400)의 작동에 의해 제2 그리퍼(G2)가 웨이퍼의 지지를 해제하게 된다.
이송 로봇이 지지핀(720)들에 놓여진 웨이퍼를 이송시켜 카세트에 적재시킨다.
이와 같은 동작이 반복되면서 카세트에 적재된 웨이퍼들의 각 양쪽면을 왁싱하여 카세트에 적재시키게 된다.
본 발명은 두 개의 그리퍼들이 구비되어 한 개의 그리퍼가 한쪽면만 왁싱된 웨이퍼만을 집어 180도 회전시키고, 다른 한 개의 그리퍼가 양쪽면이 왁싱된 웨이퍼만을 집어 180도 회전시키게 되므로 그리퍼들이 웨이퍼를 집을 때 그리퍼로부터 웨이퍼가 오염되는 것을 최소화시키게 된다.
또한, 한쪽면만 왁싱된 웨이퍼를 그리퍼가 집을 때 그리퍼에 묻은 파티클 또는 웨이퍼에 남아있는 파티클이 떨어질 경우 파티클이 차단판에 떨어지고 타 부품으로 떨어지지 않게 되므로 타부품을 오염시키는 것을 최소화시키게 된다. 차단판에 떨어진 파티클이, 웨이퍼를 180도 회전시 왁싱이 되지 않은 웨이퍼 면에 떨어지게 되므로 그 웨이퍼의 다른 쪽이 왁싱될 때 제거된다.
본 발명은 웨이퍼의 양쪽면을 왁싱하기 위하여 웨이퍼를 웨이퍼를 뒤집을 때 웨이퍼의 오염을 최소화하게 되므로 장비의 신뢰성 및 제품의 신뢰성을 높이게 된다.
100; 수직 프레임 200; 회전부재
300; 회전 구동유닛 400; 직선 구동유닛
600; 차단판 700; 웨이퍼 지지유닛
800; 상하 구동유닛 G1; 제1 그리퍼
G2; 제2 그리퍼

Claims (7)

  1. 수직 프레임;
    상기 수직 프레임에 회전 가능하게 결합되는 회전부재;
    상기 회전부재를 회전시키는 회전 구동유닛;
    상기 회전부재에 결합되며 직선 구동력을 발생시키는 직선 구동유닛;
    상기 직선 구동유닛의 작동에 따라 직선 왕복 운동하면서 각각 웨이퍼를 집거나 놓는 두 개의 그리퍼들;
    상기 두 개의 그리퍼들 사이에 위치하며, 내부에 복수 개의 구멍들이 구비된 차단판;
    웨이퍼를 지지하는 복수 개의 지지핀들이 구비된 웨이퍼 지지유닛;
    상기 웨이퍼 지지유닛을 상하로 움직이는 상하 구동유닛을 포함하며,
    상기 차단판은 두 개로 나누어진 두 개의 반쪽 차단판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리버스 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 직선 구동유닛은 한 개이며, 상기 두 개의 그리퍼들은 상기 직선 구동유닛의 작동에 따라 동시에 움직이는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리버스 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 차단판에 구비되는 복수 개의 구멍들은 각각 장공인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리버스 장치.
  5. 수직 프레임;
    상기 수직 프레임에 회전 가능하게 결합되는 회전부재;
    상기 회전부재를 회전시키는 회전 구동유닛;
    상기 회전부재에 결합되며 직선 구동력을 발생시키는 직선 구동유닛;
    상기 직선 구동유닛의 작동에 따라 직선 왕복 운동하면서 각각 웨이퍼를 집거나 놓는 두 개의 그리퍼들;
    상기 두 개의 그리퍼들 사이에 위치하며, 내부에 복수 개의 구멍들이 구비된 차단판;
    웨이퍼를 지지하는 복수 개의 지지핀들이 구비된 웨이퍼 지지유닛;
    상기 웨이퍼 지지유닛을 상하로 움직이는 상하 구동유닛을 포함하며,
    상기 직선 구동유닛은 두 개로 구성되며, 상기 두 개의 그리퍼들은 두 개의 직선 구동유닛에 각각 결합되어 두 개의 그러퍼들이 각각 독립적으로 움직이는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리버스 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 두 개의 그리퍼들 사이에 위치하는 차단판은 상기 회전부재에 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리버스 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지유닛은 상기 상하 구동유닛에 결합되어 수평 상태로 위치하는 지지판과, 상기 지지판의 상면에 수직으로 결합되는 상기 복수 개의 지지핀들을 포함하는 웨이퍼 리버스 장치.
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