CN215578492U - 一种硅部件放置托架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅部件放置托架,包括用于容纳硅部件的容纳架，所述容纳架上设有至少两个用于支撑硅部件的支撑杆，所述支撑杆可移动设于所述容纳架上以适用不同规格的硅部件；本实用新型通过设置可移动调节位置的支撑杆以支撑不同规格的硅部件，防止较大的硅部件放置时放置不稳，防止较小的硅部件放置时下端超出容纳架与外部物品碰撞而损坏，又或者在搬运过程中因晃动而掉落。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种硅部件放置托架。
背景技术
用于作为芯片刻蚀的硅部件在研磨、抛光，刻蚀等工艺加工表面会有残留物，或脏污，如不及时去清洗会残留在表面导致最终无法去除，导致产品清洁度不良，从而影响芯片刻蚀机轰击芯片的刻蚀效果。所以需要对硅部件进行清洗，清除其表面附着的不需要的物质，保证其洁净纯度。硅部件在洗净过程中需要放置在放置架上，但是通常使用的放置没法适用不同规格的硅部件，可能使得硅部件放置不稳出现损坏的情况。
实用新型内容
因此，针对上述的问题，本实用新型提出一种硅部件放置托架。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种硅部件放置托架,包括用于容纳硅部件的容纳架，所述容纳架上设有至少两个用于支撑硅部件的支撑杆，所述支撑杆可移动设于所述容纳架上以适用不同规格的硅部件。
进一步改进的是：所述容纳架上设有一对供所述支撑杆移动的支撑移动槽，所述支撑杆两端螺纹连接有用于将所述支撑杆固定于所述支撑移动槽上的支撑固定帽。
进一步改进的是：所述容纳架上位于所述支撑移动槽一侧设有用于确定所述支撑杆在所述支撑移动槽上移动距离的支撑刻度尺。
进一步改进的是：所述支撑杆上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述支撑杆上将硅部件隔开的支撑隔开板。
进一步改进的是：所述容纳架两端设有用于分别定位所述硅部件侧边的定位装置。
进一步改进的是：所述定位装置包括至少一对设于所述容纳架上的定位移动槽、可移动设于任意一对定位移动槽上的定位杆，所述定位移动槽由内至外向上倾斜，内侧的所述定位移动槽向外侧的所述定位移动槽的规格逐步增大。
进一步改进的是：所述定位杆两端螺纹连接有用于将所述定位杆固定于所述定位移动槽上的定位固定帽。
进一步改进的是：所述容纳架上位于所述定位移动槽一侧设有用于确定所述定位杆在所述定位移动槽上移动距离的定位刻度尺。
进一步改进的是：所述定位杆上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述定位杆上将硅部件隔开的定位隔开板。
进一步改进的是：所述容纳架上设有用于方便提起所述容纳架的提手，所述容纳架包括容纳底座、上下贯穿于所述容纳底座用于容纳硅部件的容纳槽。
本实用新型所述的一种硅部件放置托架，具有以下有益效果：
1、本实用新型通过设置支撑杆、支撑移动槽，通过在支撑移动槽上移动调节支撑杆位置以支撑不同规格的硅部件，防止较大的硅部件放置时因为支撑杆之间的间距较小导致硅部件放置不稳，防止较小的硅部件放置时因为支撑杆之间的间距较大导致硅部件放置时下端超出容纳架与外部物品碰撞而损坏，又或者无法完全支撑硅部件在搬运硅部件过程中因晃动而掉落。
2、本实用新型通过在支撑杆上设置支撑隔开板，使得在多个硅部件同时置于所述支撑杆上时可以很好的将硅部件隔开，防止相邻的硅部件之间出现碰撞划伤的风险。
3、本实用新型通过设置定位杆、定位移动槽，通过在定位移动槽上移动调节定位杆位置，以此用于对不同规格的硅部件的侧边进行定位，防止硅部件放置时因为定位杆之间的间距与硅部件不匹配，起不到定位作用，导致硅部件放置不稳产生晃动碰撞而损坏。
4、本实用新型通过在定位杆上设置定位隔开板，使得在多个硅部件同时置于所述定位杆上时可以很好的将硅部件隔开，防止相邻的硅部件之间出现碰撞划伤的风险。
5、本实用新型通过设置支撑刻度尺和定位刻度尺，可以更好的确定支撑杆和定位杆分别支撑移动槽和定位移动槽上的位置，从而保证了硅部件放置时的安全性。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型中容纳架的结构示意图；
图3为本实用新型中容纳架的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
参考图1至图3所示，一种硅部件放置托架,包括用于容纳硅部件的容纳架1，所述容纳架1上设有用于方便提起所述容纳架的提手2，所述容纳架1包括容纳底座11、上下贯穿于所述容纳底座11用于容纳硅部件的容纳槽12；
所述容纳架1上设有至少两个用于支撑硅部件的支撑杆131，所述支撑杆131可移动设于所述容纳架1上以适用不同规格的硅部件，所述容纳架1上设有一对供所述支撑杆131移动的支撑移动槽132，所述支撑杆131两端螺纹连接有用于将所述支撑杆131固定于所述支撑移动槽132上的支撑固定帽133；所述容纳架1上位于所述支撑移动槽132一侧设有用于确定所述支撑杆131在所述支撑移动槽132上移动距离的支撑刻度尺134；所述支撑杆131上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述支撑杆131上将硅部件隔开的支撑隔开板135；
参考图2所示，每对所述支撑移动槽132为两个支撑移动槽132对称设于所述容纳架1两侧，在放置硅部件时，将两个支撑杆131在各自的支撑移动槽132上通过支撑刻度尺134确定间距，再调节两个支撑杆131之间的间距，然后将支撑杆131两端的支撑固定帽133锁紧，以此用于支撑不同规格的硅部件，防止较大的硅部件放置时因为两个支撑杆131之间的间距较小导致硅部件放置不稳，防止较小的硅部件放置时因为两个支撑杆131之间的间距较大导致硅部件放置时下端超出容纳架1与外部物品碰撞而损坏，又或者无法完全支撑硅部件在搬运硅部件过程中因晃动而掉落；
所述容纳架1两端设有用于分别定位所述硅部件侧边的定位装置，所述定位装置包括至少一对设于所述容纳架1上的定位移动槽141、可移动设于任意一对定位移动槽141上的定位杆142，所述定位移动槽141由内至外向上倾斜，内侧的所述定位移动槽141向外侧的所述定位移动槽141的规格逐步增大；所述定位杆142两端螺纹连接有用于将所述定位杆142固定于所述定位移动槽141上的定位固定帽143；所述容纳架1上位于所述定位移动槽141一侧设有用于确定所述定位杆142在所述定位移动槽141上移动距离的定位刻度尺144；所述定位杆142上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述定位杆142上将硅部件隔开的定位隔开板145；
参考图2所示，本实用新型实施例中定位移动槽141有两对，每对定位移动槽141为两个定位移动槽141对称设于所述容纳架1两侧，根据不同规格的硅部件选用不同的定位移动槽141，在放置硅部件时，将两个定位杆142在各自选定的定位移动槽141上通过定位刻度尺144确定间距，再调节两个定位杆142之间的间距，然后将定位杆142两端的定位固定帽143锁紧，以此用于对不同规格的硅部件的侧边进行定位，防止硅部件放置时因为两个定位杆142之间的间距与硅部件不匹配，起不到定位作用，导致硅部件放置不稳产生晃动碰撞而损坏。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征及其优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (10)
1.一种硅部件放置托架,包括用于容纳硅部件的容纳架，所述容纳架上设有至少两个用于支撑硅部件的支撑杆，其特征在于：所述支撑杆可移动设于所述容纳架上以适用不同规格的硅部件。
2.根据权利要求1所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述容纳架上设有一对供所述支撑杆移动的支撑移动槽，所述支撑杆两端螺纹连接有用于将所述支撑杆固定于所述支撑移动槽上的支撑固定帽。
3.根据权利要求2所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述容纳架上位于所述支撑移动槽一侧设有用于确定所述支撑杆在所述支撑移动槽上移动距离的支撑刻度尺。
4.根据权利要求1所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述支撑杆上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述支撑杆上将硅部件隔开的支撑隔开板。
5.根据权利要求1所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述容纳架两端设有用于分别定位所述硅部件侧边的定位装置。
6.根据权利要求5所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述定位装置包括至少一对设于所述容纳架上的定位移动槽、可移动设于任意一对定位移动槽上的定位杆，所述定位移动槽由内至外向上倾斜，内侧的所述定位移动槽向外侧的所述定位移动槽的规格逐步增大。
7.根据权利要求6所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述定位杆两端螺纹连接有用于将所述定位杆固定于所述定位移动槽上的定位固定帽。
8.根据权利要求6所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述容纳架上位于所述定位移动槽一侧设有用于确定所述定位杆在所述定位移动槽上移动距离的定位刻度尺。
9.根据权利要求6所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述定位杆上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述定位杆上将硅部件隔开的定位隔开板。
10.根据权利要求1所述的一种硅部件放置托架，其特征在于：所述容纳架上设有用于方便提起所述容纳架的提手，所述容纳架包括容纳底座、上下贯穿于所述容纳底座用于容纳硅部件的容纳槽。
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| CN202122067734.XU Active CN215578492U (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 一种硅部件放置托架 |
Country Status (1)
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2021
- 2021-08-30 CN CN202122067734.XU patent/CN215578492U/zh active Active
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