CN219543153U - 一种自动化设备使用的晶圆存放架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种自动化设备使用的晶圆存放架，包括中空状的存放架主体，所述存放架主体内部设置有多根竖直的导向柱，任一所述的导向柱上均设置有多个等间距的层板定位柱，任一所述的导向柱上均套设有多个层板弹簧，所述层板弹簧与层板定位柱一一对应并位于层板定位柱上方，多个所述导向柱内滑动连接有多个上下分布的放置层板，本实用新型提供了一种自动化设备使用的晶圆存放架，在晶圆加工的自动化设备进行拿取与放置过程中，放置层板可以在层板弹簧的作用下轻微下沉，进行缓冲，从而适应自动化加工设备所具备的细微误差，降低存放架与晶圆的损伤，同时可以对自动化设备的拿取部分的精度略微降低，减少计算量，增加自动化设备的寿命。

Description

一种自动化设备使用的晶圆存放架

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是一种自动化设备使用的晶圆存放架。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

晶圆加工过程中对于洁净度要求较高，因此晶圆加工过程几乎全部采用自动化设备进行加工，因此对于每一步加工之间的转运是尤为重要的，当然对于转运除了考虑存放还需要考虑自动化设备可以稳定拿取，需要考虑到自动化设备的拿取的细微误差，否则容易对存放架或者晶圆造成损害。

实用新型内容

为了解决现有技术中转运所使用的存放架并未考虑到自动化设备拿取晶圆过程中的细微误差的问题，本实用新型提供了一种自动化设备使用的晶圆存放架。

本实用新型的技术方案为：一种自动化设备使用的晶圆存放架，包括中空状的存放架主体，所述存放架主体内部设置有多根竖直的导向柱，任一所述的导向柱上均设置有多个等间距的层板定位柱，任一所述的导向柱上均套设有多个层板弹簧，所述层板弹簧与层板定位柱一一对应并位于层板定位柱上方，多个所述导向柱内滑动连接有多个上下分布的放置层板，任一所述放置层板位于同一水平面上的层板弹簧上端并与层板弹簧相接触。

作为上述技术方案的进一步改进：

优选地，所述存放架主体上端与放置层板上设置有相匹配的观察窗。

优选地，所述存放架主体下表面设置有多个定位块。

优选地，所述定位块为圆柱形定位块，多个所述圆柱形定位块采用不对称设计分布。

优选地，所述定位块为V型定位块，三个所述V型定位块关于存放架主体下端中心圆周阵列分布。

优选地，所述放置层板的左右两端与后端设置有挡边。

优选地，所述存放架主体左右两侧设置有把手。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型在存放架上设置上下隔间用于放置放置层板，并通过定位柱进行限位，同时在限位柱上表面设置层板弹簧，由此在晶圆加工的自动化设备进行拿取与放置过程中，放置层板可以在层板弹簧的作用下轻微下沉，进行缓冲，从而适应自动化加工设备所具备的细微误差，降低存放架与晶圆的损伤，同时可以对自动化设备的拿取部分的精度略微降低，减少自动化设备的计算量，增加自动化设备的寿命。

2.存放架底部设置有两种不同的定位块，有利于存放架适用不同的机型进行定位，同时圆柱形定位块采用的不对称设计放置，可以起到防呆的作用。

3.放置层板上的挡边主要对于晶圆起到定位作用，使得自动化设备的机械手臂拿取与放置过程中位置相对确定，同时放置层板与存放架顶端设置的观察窗，可以方便自动化设备的视觉系统进行识别存放架上的晶圆放置或者拿取至第几层，便于快速放置与拿取晶圆。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的整体俯视立体结构示意图；

图2是图1中A区放大结构示意图；

图3是本实用新型的整体仰视立体示意图；

图4是本实用新型的放置层板立体结构示意图。

附图标记：1、存放架主体；2、导向柱；3、层板定位柱；4、层板弹簧；5、放置层板；6、观察窗；7、圆柱形定位块；8、V型定位块；9、挡边；10、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语中“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了方便描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制，本实用新型中各实施例的技术方案可进行组合，实施例中的技术特征亦可进行组合形成新的技术方案。

本实用新型提供如下技术方案：

如附图1所示，主体为存放架主体1，为中空状，一侧留有进口，俯视形状为等腰梯形与方形结合，在存放架主体1左右两侧设置有把手10，存放架上端设置有观察窗6。

如附图2所示，在存放架主体1内部设置有4根平行并且竖直的导向柱2，每一个导向柱2上设置有多个等间距的层板定位柱3，并且在导向柱2上套设有多个层板弹簧4，层板弹簧4与层板定位柱3一一对应并位于上方，放置层板5滑动设置在4个导向柱2内，同时下表面与层板弹簧4相接触，层板定位柱3主要起到定位作用，避免了放置层板5之间的间距不相等，导致设备拿取与放置过程中出现错误现象，也可以减少自动化设备的计算量，同时层板弹簧4主要是起到缓冲作用，当自动化设备的机械手臂下压抓取晶圆时，避免晶圆压坏，去除自动化设备的误差，同时也可以减小机械手臂的精度与计算量，间接的增加其寿命。

如附图3所示，在存放架主体1下端设置有呈圆周阵列的V型定位块8，还设置有不对称设计放置的圆柱形定位块7，两个定位块的设计主要是为了适用不同机型进行定位，至于不对称的圆柱形定位块7还可以在使用过程中起到防呆的作用。

如附图4所示，放置层板5用于承载晶圆，放置层板5的左右两侧与后端设置有挡边9，主要对晶圆起到限位作用，同时在放置层板5上设置有与存放架主体1上表面相同的观察窗6，观察窗6的主要作用是方便自动设备的视觉系统从上方可以看出哪一层由晶圆，方便取放。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，包括中空状的存放架主体(1)，所述存放架主体(1)内部设置有多根竖直的导向柱(2)，任一所述的导向柱(2)上均设置有多个等间距的层板定位柱(3)，任一所述的导向柱(2)上均套设有多个层板弹簧(4)，所述层板弹簧(4)与层板定位柱(3)一一对应并位于层板定位柱(3)上方，多个所述导向柱(2)内滑动连接有多个上下分布的放置层板(5)，任一所述放置层板(5)位于同一水平面上的层板弹簧(4)上端并与层板弹簧(4)相接触。

2.根据权利要求1所述的自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，所述存放架主体(1)上端与放置层板(5)上设置有相匹配的观察窗(6)。

3.根据权利要求1所述的自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，所述存放架主体(1)下表面设置有多个定位块。

4.根据权利要求3所述的自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，所述定位块为圆柱形定位块(7)，多个所述圆柱形定位块(7)采用不对称设计分布。

5.根据权利要求3所述的自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，所述定位块为V型定位块(8)，三个所述V型定位块(8)关于存放架主体(1)下端中心圆周阵列分布。

6.根据权利要求1所述的自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，所述放置层板(5)的左右两端与后端设置有挡边(9)。

7.根据权利要求1所述的自动化设备使用的晶圆存放架，其特征在于，所述存放架主体(1)左右两侧设置有把手(10)。