CN217496921U - 一种可调节的晶圆放置箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于芯片生产的技术领域，具体为一种可调节的晶圆放置箱，所述的上顶板、下底板与左侧板、右侧板内侧壁间隔固定连接有数组调节伸缩杆，所述的左侧板、右侧板上均竖向间隔开设有数组放置槽，数组所述的放置槽内侧壁上设有辅助夹紧装置，用于辅助夹紧晶圆板，所述的左侧板、右侧板内侧壁上均间隔开设有两组滑动槽，两组所述的滑动槽上间隔开设有数组定位孔，两组所述的滑动槽内均滑动连接有滑动块，所述的滑动块上竖向滑动连接有调节板，所述的调节板上固定连接有与定位孔配合的定位柱，所述的调节板与滑动块间固定连接有复位弹簧，所述的调节板上间隔固定连接有与放置槽配合的挡块。

Description

一种可调节的晶圆放置箱

技术领域

本实用新型属于芯片生产的技术领域，具体为一种可调节的晶圆放置箱。

背景技术

单晶硅圆片由普通硅砂提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅，多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶圆。晶圆是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等；

在芯片划切工艺过程中，需要用膜将晶圆贴在贴片环上再放置在晶圆放置箱中进行转运和存放，现有的晶圆放置箱在转运晶圆的过程中，晶圆容易掉落，且现有的晶圆放置箱不能根据晶圆直径大小进行调整不便于使用。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供了一种可调节的晶圆放置箱，解决了现有用晶圆放置箱转运晶圆的过程中，晶圆容易掉落，且现有的晶圆放置箱不能根据晶圆直径大小进行调整不便于使用的技术问题。

本实用新型采取的方案为：一种可调节的晶圆放置箱，包括上顶板、下底板、左侧板、右侧板，其特征在于，所述的上顶板、下底板与左侧板、右侧板内侧壁间隔固定连接有数组调节伸缩杆，所述的左侧板、右侧板上均竖向间隔开设有数组放置槽，数组所述的放置槽内侧壁上设有辅助夹紧装置，用于辅助夹紧晶圆板，所述的左侧板、右侧板内侧壁上均间隔开设有两组滑动槽，两组所述的滑动槽上间隔开设有数组定位孔，两组所述的滑动槽内均滑动连接有滑动块，所述的滑动块上竖向滑动连接有调节板，所述的调节板上固定连接有与定位孔配合的定位柱，所述的调节板与滑动块间固定连接有复位弹簧，所述的调节板上间隔固定连接有与放置槽配合的挡块。

优选的，所述的辅助夹紧装置包括放置槽内侧壁上间隔开设的两组收纳槽，两组所述的收纳槽内侧壁上滑动连接有夹紧板，所述的夹紧板与收纳槽内侧壁间间隔固定连接有两组夹紧弹簧。

优选的，所述的夹紧板顶部间隔转动连接有数组辅助滚轮。

优选的，所述的上顶板上固定连接有手柄。

本实用新型的有益效果：

由于晶圆直径大小不同，在需要进行调整箱体整体尺寸时，通过移动上顶板、下底板与左侧板、右侧板内侧壁间隔固定连接的数组调节伸缩杆，将左侧板、右侧板调节至合适的位置，在放置晶圆贴片环时，通过两组收纳槽内侧壁上滑动连接的夹紧板进行将晶圆贴片环暂时夹紧，便于在移动整个箱体到加工位时，不会将晶圆贴片环掉落在地面上，有效的保护了晶圆不会受到损坏；

在调节左侧板、右侧板后，在调节挡块的距离，通过移动调节板，调节板动作，克服复位弹簧的弹力使得定位柱与定位孔脱离，此时可以移动挡块的位置，将挡块移动至合适的位置，适用于不同直径大小的晶圆；

本装置结构简单，便于操作，在保证晶圆不受到损坏的情况下，同时也提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的立体图视角之一。

图2是图1的A局部放大图。

图3是本实用新型的立体剖图视角之一。

附图标记：1、上顶板；2、下底板；3、左侧板；4、右侧板；5、调节伸缩杆；6、放置槽；7、滑动槽；8、定位孔；9、滑动块；10、调节板；11、定位柱；12、复位弹簧；13、挡块；14、收纳槽；15、夹紧板；16、夹紧弹簧；17、手柄。

具体实施方式

有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图1-3实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。

下面将参照附图描述本实用新型的各示例性的实施例。

实施例一，一种可调节的晶圆放置箱，包括上顶板1、下底板2、左侧板3、右侧板4，其特征在于，所述的上顶板1、下底板2与左侧板3、右侧板4内侧壁间隔固定连接有数组调节伸缩杆5，所述的左侧板3、右侧板4上均竖向间隔开设有数组放置槽6，数组所述的放置槽6内侧壁上设有辅助夹紧装置，用于辅助夹紧晶圆板，所述的左侧板3、右侧板4内侧壁上均间隔开设有两组滑动槽7，两组所述的滑动槽7上间隔开设有数组定位孔8，两组所述的滑动槽7内均滑动连接有滑动块9，所述的滑动块9上竖向滑动连接有调节板10，所述的调节板10上固定连接有与定位孔8配合的定位柱11，所述的调节板10与滑动块9间固定连接有复位弹簧12，所述的调节板10上间隔固定连接有与放置槽6配合的挡块13。

实施例二，在实施例一的基础上，所述的辅助夹紧装置包括放置槽6内侧壁上间隔开设的两组收纳槽14，两组所述的收纳槽14内侧壁上滑动连接有夹紧板15，所述的夹紧板15与收纳槽14内侧壁间间隔固定连接有两组夹紧弹簧16。

实施例三，在实施例二的基础上，所述的夹紧板15顶部间隔转动连接有数组辅助滚轮。

实施例四，在实施例三的基础上，所述的上顶板1上固定连接有手柄17。

该实施例在使用的时候，由于晶圆直径大小不同，在需要进行调整箱体整体尺寸时，通过移动上顶板1、下底板2与左侧板3、右侧板4内侧壁间隔固定连接的数组调节伸缩杆5，将左侧板3、右侧板4调节至合适的位置，在放置晶圆贴片环时，通过两组收纳槽14内侧壁上滑动连接的夹紧板15进行将晶圆贴片环暂时夹紧，便于在移动整个箱体到加工位时，不会将晶圆贴片环掉落在地面上，有效的保护了晶圆不会受到损坏；

在调节左侧板3、右侧板4后，在调节挡块13的距离，通过移动调节板10，调节板10动作，克服复位弹簧12的弹力使得定位柱11与定位孔8脱离，此时可以移动挡块13的位置，将挡块13移动至合适的位置，适用于不同直径大小的晶圆；

本装置结构简单，便于操作，在保证晶圆不受到损坏的情况下，同时也提高工作效率。

上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种可调节的晶圆放置箱，包括上顶板（1）、下底板（2）、左侧板（3）、右侧板（4），其特征在于，所述的上顶板（1）、下底板（2）与左侧板（3）、右侧板（4）内侧壁间隔固定连接有数组调节伸缩杆（5），所述的左侧板（3）、右侧板（4）上均竖向间隔开设有数组放置槽（6），数组所述的放置槽（6）内侧壁上设有辅助夹紧装置，用于辅助夹紧晶圆板，所述的左侧板（3）、右侧板（4）内侧壁上均间隔开设有两组滑动槽（7），两组所述的滑动槽（7）上间隔开设有数组定位孔（8），两组所述的滑动槽（7）内均滑动连接有滑动块（9），所述的滑动块（9）上竖向滑动连接有调节板（10），所述的调节板（10）上固定连接有与定位孔（8）配合的定位柱（11），所述的调节板（10）与滑动块（9）间固定连接有复位弹簧（12），所述的调节板（10）上间隔固定连接有与放置槽（6）配合的挡块（13）。

2.根据权利要求1所述的一种可调节的晶圆放置箱，其特征在于，所述的辅助夹紧装置包括放置槽（6）内侧壁上间隔开设的两组收纳槽（14），两组所述的收纳槽（14）内侧壁上滑动连接有夹紧板（15），所述的夹紧板（15）与收纳槽（14）内侧壁间间隔固定连接有两组夹紧弹簧（16）。

3.根据权利要求2所述的一种可调节的晶圆放置箱，其特征在于，所述的夹紧板（15）顶部间隔转动连接有数组辅助滚轮。

4.根据权利要求3所述的一种可调节的晶圆放置箱，其特征在于，所述的上顶板（1）上固定连接有手柄（17）。

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