CN220499589U - 一种多方位照明的晶圆切割工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多方位照明的晶圆切割工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的顶部固定连接支撑装置，所述支撑装置呈对称分布形式，所述支撑装置的内壁连接转轴，所述支撑装置的外部设有支撑杆，所述支撑杆的内部开设槽体，所述支撑杆的外部固定连接万向球套，所述万向球套的内部连接万向球本体，所述万向球本体的外部连接软管。该一种多方位照明的晶圆切割工作台，通过在支撑杆的外部设有万向球套，在万向球套的外部设有万向球本体，在万向球本体的外部设有软管，万向球本体可在万向球套的内部进行三百六十度的角度调节，而软管同时的进行角度的调节，增加了角度调节的方式，能够达到双重调节的效果，使用时非常的方便。

Description

一种多方位照明的晶圆切割工作台

技术领域

本实用新型属于晶圆切割技术领域，尤其涉及一种多方位照明的晶圆切割工作台。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，需要将晶圆放置在切割台上对其进行切割工作，可根据所使用的需求将其切割成需要使用的状态。

现市面上的晶圆切割工作台在使用时大多数存在以下问题：

1.传统的晶圆切割工作台在实际使用时，工作台上本身具备照明结构，而在对照明结构进行调节时，难以根据需求进行任意角度的调节，无法达到双重调节的效果，使用时非常的不方便；

2.传统的晶圆切割工作台在实际使用时，切割结构与工作台之间呈相互对应形式，在对切割完成后的晶圆进行拿取时会与切割结构产生接触，在拿取时存在拿取不方便的现象，从而增加了拿取时的难度。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种多方位照明的晶圆切割工作台，以解决背景技术中所提出的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型的具体技术方案如下：一种多方位照明的晶圆切割工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的顶部固定连接支撑装置，所述支撑装置呈对称分布形式，所述支撑装置的内壁连接转轴，所述支撑装置的外部设有支撑杆，所述支撑杆的内部开设槽体，所述转轴位于槽体的内部，所述支撑杆的外部固定连接万向球套，所述万向球套的内部连接万向球本体，所述万向球本体的外部连接软管，所述软管的外部连接套环，所述套环的外部设有照明本体，所述照明本体的外部固定连接安装块，所述安装块通过镶嵌的方式连接在套环的内部。

优选的，所述工作台本体的顶部固定连接支撑板，所述支撑板的顶部连接滑轨，所述滑轨的外部固定连接限位块，所述支撑板的顶部设有切割台，所述切割台外壁的两侧均连接滑块，所述滑块通过活动的方式连接在滑轨的内部。

优选的，所述支撑装置外壁的两侧均固定连接固定块，所述固定块的顶部连接托盘，所述支撑杆悬挂在托盘的外部。

优选的，所述切割台的外部连接把手，所述切割台的顶部固定连接放置板，所述放置板的顶部连接限位环，所述工作台本体的外部固定连接切割装置，所述切割装置和限位环之间呈相互对应形式。

优选的，所述支撑板的顶部固定连接限位板，所述限位板的内部开设插孔，所述切割台的外部固定连接插杆，所述插杆通过镶嵌的方式连接在插孔的内部。

优选的，所述工作台本体的底部通过焊接的方式连接支撑柱，所述支撑柱呈平均分布形式。

本实用新型的一种多方位照明的晶圆切割工作台具有以下优点：

1.该一种多方位照明的晶圆切割工作台，通过在工作台的顶部设有支撑杆，在支撑杆的外部设有万向球套，在万向球套的外部设有万向球本体，在万向球本体的外部设有软管，在对照明本体进行照明调节时，万向球本体可在万向球套的内部进行三百六十度的角度调节，而软管同时的进行角度的调节，增加了角度调节的方式，能够达到双重调节的效果，使用时非常的方便；

2.该一种多方位照明的晶圆切割工作台，通过在支撑板的顶部设有滑轨，在支撑板的顶部设有切割台，在切割台的两侧设有滑块，滑块可在滑轨的内部进行滑动，切割台可利用滑块将其滑出，方便工作人员将需要切割的晶圆放置在限位环的内部，且拉动把手，通过滑块在滑轨内部的滑动，使得切割台移动至外部，方便工作人员对切割后的晶圆进行拿取，避免了切割结构与工作台之间呈相互对应形式，在对切割完成后的晶圆进行拿取时会与切割结构产生接触的现象，从而降低了拿取时的难度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的支撑板结构示意图；

图3为本实用新型的切割台结构示意图；

图4为本实用新型的支撑装置结构示意图；

图5为本实用新型的万向球套结构示意图；

图6为本实用新型的照明本体结构示意图；

图中标记说明：1、工作台本体；2、切割装置；3、支撑柱；4、切割台；5、支撑板；6、支撑杆；7、照明本体；8、滑轨；9、限位板；10、限位块；11、插孔；12、放置板；13、把手；14、限位环；15、滑块；16、插杆；17、转轴；18、固定块；19、托盘；20、万向球套；21、万向球本体；22、软管；23、套环；24、槽体；25、安装块；26、支撑装置。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型实施例的不同结构。为了简化本实用新型实施例的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型实施例。此外，本实用新型实施例可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

为了更好地了解本实用新型的目的、结构及功能，下面结合附图，对本实用新型一种多方位照明的晶圆切割工作台做进一步详细的描述。

如图1-6所示，本实用新型的一种多方位照明的晶圆切割工作台，包括工作台本体1，工作台本体1的顶部固定连接支撑装置26，支撑装置26呈对称分布形式，支撑装置26的内壁连接转轴17，支撑装置26的外部设有支撑杆6，支撑杆6的内部开设槽体24，转轴17位于槽体24的内部，支撑杆6的外部固定连接万向球套20，万向球套20的内部连接万向球本体21，万向球本体21的外部连接软管22，软管22的外部连接套环23，套环23的外部设有照明本体7，照明本体7的外部固定连接安装块25，安装块25通过镶嵌的方式连接在套环23的内部；

其中在对照明本体7进行照明调节时，万向球本体21可在万向球套20的内部进行三百六十度的角度调节，而软管22同时的进行角度的调节，增加了角度调节的方式，能够达到双重调节的效果，使用时非常的方便。

工作台本体1的顶部固定连接支撑板5，支撑板5的顶部连接滑轨8，滑轨8的外部固定连接限位块10，支撑板5的顶部设有切割台4，切割台4外壁的两侧均连接滑块15，滑块15通过活动的方式连接在滑轨8的内部，在切割台4的两侧设有滑块15，滑块15可在滑轨8的内部进行滑动，切割台4可利用滑块15将其滑出，方便工作人员将需要切割的晶圆放置在限位环14的内部，且拉动把手13，通过滑块15在滑轨8内部的滑动，使得切割台4移动至外部，方便工作人员对切割后的晶圆进行拿取。

支撑装置26外壁的两侧均固定连接固定块18，固定块18的顶部连接托盘19，支撑杆6悬挂在托盘19的外部，在不需要对照明本体7进行使用时，通过转轴17将照明本体7旋转至一百八十度，使得支撑杆6悬挂在托盘19的外部进行支撑。

切割台4的外部连接把手13，切割台4的顶部固定连接放置板12，放置板12的顶部连接限位环14，工作台本体1的外部固定连接切割装置2，切割装置2和限位环14之间呈相互对应形式，利用把手13，方便对切割台4进行拉出和推进。

支撑板5的顶部固定连接限位板9，限位板9的内部开设插孔11，切割台4的外部固定连接插杆16，插杆16通过镶嵌的方式连接在插孔11的内部，当切割台4推进时，插杆16可固定在插孔11的内部，能够对切割台4进行固定。

工作台本体1的底部通过焊接的方式连接支撑柱3，支撑柱3呈平均分布形式，随着使用时间不断的增加，底部的支撑柱3能够起到支撑的效果，从而提升工作台在使用时的稳定性。

该多方位照明的晶圆切割工作台的工作原理：在使用该多方位照明的晶圆切割工作台时，首先拉动把手13，滑块15在滑轨8的内部进行滑动，使得切割台4移动至外部，然后将需要切割的晶圆放置在限位环14的内部，然后再次通过滑动的方式将切割台4移动至内部，而插杆16插入插孔11的内部对切割台4的位置进行固定，然后根据需求对照明本体7进行角度的调节，万向球本体21可在万向球套20的内部进行三百六十度的角度调节，而软管22同时的进行角度的调节，增加了角度调节的方式，能够达到双重调节的效果，使用时非常的方便，然后切割装置2即可对晶圆进行切割工作，切割完成后，工作人员手动拉动把手13，使得插杆16与插孔11分离，将切割台4滑出，方便工作人员对晶圆进行拿取，避免了切割结构与工作台之间呈相互对应形式，在对切割完成后的晶圆进行拿取时会与切割结构产生接触的现象，从而降低了拿取时的难度。

可以理解，本实用新型是通过一些实施例进行描述的，本领域技术人员知悉的，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本实用新型的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本实用新型的精神和范围。因此，本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本实用新型所保护的范围内。

Claims (6)

1.一种多方位照明的晶圆切割工作台，包括工作台本体(1)，其特征在于：所述工作台本体(1)的顶部固定连接支撑装置(26)，所述支撑装置(26)呈对称分布形式，所述支撑装置(26)的内壁连接转轴(17)，所述支撑装置(26)的外部设有支撑杆(6)，所述支撑杆(6)的内部开设槽体(24)，所述转轴(17)位于槽体(24)的内部，所述支撑杆(6)的外部固定连接万向球套(20)，所述万向球套(20)的内部连接万向球本体(21)，所述万向球本体(21)的外部连接软管(22)，所述软管(22)的外部连接套环(23)，所述套环(23)的外部设有照明本体(7)，所述照明本体(7)的外部固定连接安装块(25)，所述安装块(25)通过镶嵌的方式连接在套环(23)的内部。

2.根据权利要求1所述的多方位照明的晶圆切割工作台，其特征在于：所述工作台本体(1)的顶部固定连接支撑板(5)，所述支撑板(5)的顶部连接滑轨(8)，所述滑轨(8)的外部固定连接限位块(10)，所述支撑板(5)的顶部设有切割台(4)，所述切割台(4)外壁的两侧均连接滑块(15)，所述滑块(15)通过活动的方式连接在滑轨(8)的内部。

3.根据权利要求1所述的多方位照明的晶圆切割工作台，其特征在于：所述支撑装置(26)外壁的两侧均固定连接固定块(18)，所述固定块(18)的顶部连接托盘(19)，所述支撑杆(6)悬挂在托盘(19)的外部。

4.根据权利要求2所述的多方位照明的晶圆切割工作台，其特征在于：所述切割台(4)的外部连接把手(13)，所述切割台(4)的顶部固定连接放置板(12)，所述放置板(12)的顶部连接限位环(14)，所述工作台本体(1)的外部固定连接切割装置(2)，所述切割装置(2)和限位环(14)之间呈相互对应形式。

5.根据权利要求2所述的多方位照明的晶圆切割工作台，其特征在于：所述支撑板(5)的顶部固定连接限位板(9)，所述限位板(9)的内部开设插孔(11)，所述切割台(4)的外部固定连接插杆(16)，所述插杆(16)通过镶嵌的方式连接在插孔(11)的内部。

6.根据权利要求1所述的多方位照明的晶圆切割工作台，其特征在于：所述工作台本体(1)的底部通过焊接的方式连接支撑柱(3)，所述支撑柱(3)呈平均分布形式。