CN208385379U - 一种硅片载舟翻转推送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片载舟翻转推送机构，包括竖直设置的基板，安装在所述基板上的夹紧翻转组件和顶升推送组件，所述夹紧翻转组件用于夹持竖立的硅片载舟，并将该竖立的硅片载舟翻转至水平状态，同时放置至所述顶升推送组件上，所述夹紧翻转组件包括连接在所述基板上的第一基座、安装在所述第一基座上的夹紧组件和电机，所述电机可驱动所述夹紧组件旋转；所述顶升推送组件用于将所述水平状态的硅片载舟推送至设定位置并顶起，所述顶升推送组件包括连接在所述基板上的第二基座和设在所述第二基座下侧的顶升气缸，在所述第二基座上设有推送组件。该硅片载舟翻转推送机构，可高效翻转及推送硅片载舟，自动化程度高。

Description

一种硅片载舟翻转推送机构

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池领域，具体涉及一种硅片载舟翻转推送机构。

背景技术

晶体硅太阳能电池生产中的某些工序需要将太阳能电池硅片装入至硅片载舟上进行，如在PECVD工艺中，硅片需由石墨舟装载后进行镀减反射膜的操作，在硅片扩散处理中，硅片需由石英舟装载后进行扩散以制作P-N结等，硅片载舟在硅片的加工过程中起着举足轻重的作用。

实际生产中，硅片载舟存放部的硅片载舟通常为竖立放置，将硅片载舟从所述存放部运送至下一指定工位，需要将该处于竖立放置状态的硅片载舟翻转至水平放置状态并推送至设定位置，以便于后续的装片等相关操作。现有技术中，使处于竖立放置状态的硅片载舟翻转至水平放置状态及推送至设定位置是通过人工手动操作完成的，耗费人力、效率低下，不利于自动化生产，而且操作不当容易出现硅片载舟损坏、污染等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于晶体硅太阳能电池制造中的硅片载舟翻转推送机构，以提高硅片载舟的翻转推送效率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：提供一种硅片载舟翻转推送机构，包括竖直设置的基板，在所述基板的左侧安装有顶升推送组件，在所述基板的右侧安装有夹紧翻转组件，其中，

夹紧翻转组件：用于夹持竖立的硅片载舟，并将该竖立的硅片载舟翻转至水平状态，同时将该水平的硅片载舟放置至所述顶升推送组件上；包括连接在所述基板上的第一基座、安装在所述第一基座上的夹紧组件和电机，所述电机可驱动所述夹紧组件旋转；所述夹紧组件包括水平设置的底板、竖直设置的第一侧板、第二侧板以及由所述底板、第一侧板和第二侧板限定出的舟容置部；

顶升推送组件：用于将所述水平的硅片载舟推送至设定位置并顶起；包括连接在所述基板上的第二基座和设在所述第二基座下侧的顶升气缸，所述顶升气缸可驱动所述第二基座沿所述基板上下滑行；在所述第二基座上设有推送组件，所述推送组件包括安装在所述第二基座上用于放置所述水平的硅片载舟的第一支撑板及设置在所述第一支撑板下侧、用于驱动所述第一支撑板相对所述第二基座前后运行的第一气缸。

作为对上述方案的改进，所述夹紧翻转组件还包括与所述电机相连的传动轴，所述夹紧组件穿设在所述传动轴上。

作为对上述方案的改进，在所述第二侧板的末端连接有卡紧件，所述卡紧件包括竖直连接在所述第二侧板末端的连接部及水平安装在所述连接部末端的水平卡突，所述水平卡突和所述底板从上下两侧夹持置于所述舟容置区的硅片载舟。

作为对上述方案的改进，在所述底板底部连接有夹紧气缸，所述夹紧气缸可推动所述底板向上运行以夹紧置于所述舟容置区的硅片载舟。

作为对上述方案的改进，在所述底板顶部设置有三角凸条，用于与置于所述舟容置区的硅片载舟侧板外壁的三角凹槽扣合以确保所述舟容置区硅片载舟的准确定位。

作为对上述方案的改进，在所述基板上设有竖直导轨，所述竖直导轨上连接有升降滑块，所述升降滑块可沿所述竖直导轨上下滑行，所述第二基座连接在所述升降滑块上。

作为对上述方案的改进，所述顶升气缸包括固定在所述基板上的气缸主体和插装在所述气缸主体内的气缸杆，所述气缸杆的自由端固定连接在所述第二基座底部，所述气缸主体驱动所述气缸杆伸出或缩回，以带动所述第二基座上升或下降。

作为对上述方案的改进，在所述第二基座上设有第一水平滑轨，所述第一水平滑轨上连接有第一滑块，所述第一滑块可沿所述第一水平滑轨前后滑行，所述第一支撑板连接在所述第一滑块上。

作为对上述方案的改进，所述推送组件还包括连接在所述第一支撑板上侧的第二支撑板及设在所述第二支撑板下侧的第二气缸，所述第二气缸可驱动所述第二支撑板相对所述第一支撑板前后运行。

作为对上述方案的改进，在所述第一支撑板上设有第二水平导轨，所述第二水平导轨上连接有第二滑块，所述第二滑块可沿所述第二水平导轨前后滑行，所述第二支撑板连接在所述第二滑块上。

本实用新型所提供的硅片载舟翻转推送机构，可高效翻转及推送硅片载舟，自动化程度高，克服了现有人工手动翻转推送硅片载舟效率低下、容易造成硅片载舟损坏、污染的缺陷。

附图说明

图1是本实用新型实施例中硅片载舟翻转推送机构的正视图；

图2是本实用新型实施例中硅片载舟翻转推送机构夹持竖立硅片载舟的状态示意图；

图3是图2中所述硅片载舟翻转推送机构将竖立硅片载舟翻转至水平的状态示意图；

图4、图5是本实用新型实施例中硅片载舟翻转推送机构的立体结构示意图。

附图中各部件的标记如下：100-硅片载舟；1-基座；102-升降滑块；101-竖直导轨；10-夹紧翻转组件；11-第一基座；12-夹紧组件；121-底板；1211-三角凸条；122-第一侧板；123-第二侧板；124-舟容置部；125-卡紧件；1251-连接部；1252-水平卡突；126-夹紧气缸；13-电机；131-传动轴；20-顶升推送组件；21-第二基座；210-第一水平滑轨；22-推送组件；221-第一支撑板；2210-第二水平导轨；222-第一气缸；223-第二支撑板；224-第二气缸；23-顶升气缸。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

本实用新型提供了一种硅片载舟翻转推送机构，设置于硅片载舟存放部与下一指定工位之间，用于自动将竖立状态的硅片载舟翻转至水平状态，并将该水平状态的硅片载舟推送至设定位置备用，提高了硅片载舟的翻转推送效率。

请参阅图1、图2和图3，图1示出了本实施例中所述硅片载舟翻转推送机构的正视结构，图2示出了所述硅片载舟翻转推送机构夹持竖立状态硅片载舟时的结构，图3示出了图2中所述硅片载舟翻转推送机构将所述竖立硅片载舟翻转至水平状态时的结构，所述硅片载舟翻转推送机构包括竖直设置的基板1，在所述基板1的右侧安装有夹紧翻转组件10，在所述基板1的左侧安装有顶升推送组件20。其中，所述夹紧翻转组件10用于夹持由硅片载舟存放部运送来的竖立硅片载舟100、将该竖立硅片载舟100翻转至水平状态并放置至所述顶升推送组件20上；所述顶升推送组件20用于将所述水平状态的硅片载舟100推送至设定位置并顶起，由置于所述设定位置上方的抓取组件抓取所述硅片载舟100至下一指定工位。硅片载舟存放部从所述硅片载舟翻转推送机构的后侧（图1-图3中垂直于纸面向内的方向）将所述竖立的硅片载舟100运送至所述夹紧翻转组件10上，本文中所述的设定位置指将所述水平状态的硅片载舟100转移至所述下一指定工位前的中转位置。

请一并参阅图1-图5，所述夹紧翻转组件10包括连接在所述基板1上的第一基座11、安装在所述第一基座11上的夹紧组件12和电机13，所述电机13可驱动所述夹紧组件12旋转。本实施例中，所述电机13驱动所述夹紧组件12逆时针旋转90°将所述竖立硅片载舟100翻转至水平状态并放置至所述顶升推送组件20上，而后所述电机13驱动所述夹紧组件12顺时针旋转90°复位。图4、图5示出了所述夹紧组件12逆时针旋转90°后的所述硅片载舟推送机构的立体结构。进一步的，所述夹紧翻转组件10还包括与所述电机13相连的传动轴131，所述夹紧组件12穿设在所述传动轴131上，所述电机13通过驱动所述传动轴131转动带动所述夹紧组件12旋转。

所述夹紧组件12包括水平设置的底板121、竖直设置的第一侧板122、第二侧板123以及由所述底板121、第一侧板122和第二侧板123限定出的舟容置部124，硅片载舟存放部运送来的竖立硅片载舟100置于所述舟容置部124内，由所述底板121、第一侧板122和第二侧板123夹持固定。

请继续参阅图1和图2，本实施例中，在所述第二侧板123的末端连接有卡紧件125，所述卡紧件125包括竖直连接在所述第二侧板123末端的连接部1251及水平安装在所述连接部1251末端的水平卡突1252，所述水平卡突1252和所述底板121从上下两侧将置于所述舟容置区124的硅片载舟100夹持，所述第一侧板122、第二侧板123从左右两侧将所述硅片载舟100夹持。

进一步的，在所述底板121底部连接有夹紧气缸126，所述夹紧气缸126可推动所述底板121向上运行以夹紧置于所述舟容置区124的硅片载舟100。

本实施例中，在所述底板121顶部设置有三角凸条1211，用于与置于所述舟容置区124的硅片载舟100侧板外壁的三角凹槽扣合以确保所述舟容置区硅片载舟100的准确定位，防止硅片载舟100移位导致翻转推送操作异常。

请继续参阅图1-图5，所述顶升推送组件20包括连接在所述基板1上的第二基座21和设在所述第二基座21下侧的顶升气缸23，所述顶升气缸23可驱动所述第二基座21沿所述基板1上下滑行，在所述第二基座21上设有推送组件22，所述推送组件22用于将由所述夹紧翻转组件10翻转至水平的所述硅片载舟100向后（图1-图3中垂直于纸面向内的方向）推送。

所述推送组件22包括安装在所述第二基座21上的第一支撑板221及设置在所述第一支撑板221下侧、驱动所述第一支撑板221相对所述第二基座21前后运行的第一气缸222。由所述夹紧翻转组件10翻转至水平的所述硅片载舟100放置在所述第一支撑板221上，所述第一气缸222驱动所述第一支撑板221相对所述第二基座21向后运行以推送所述水平硅片载舟100至设定位置，而后所述顶升气缸23驱动所述第二基座21沿所述基板1向上滑行，将所述第一支撑板221及其上的所述硅片载舟100顶起，由置于所述设定位置上方的抓取组件抓取所述硅片载舟100至下一指定工位，而后所述顶升气缸23驱动所述第二基座21沿所述基板1向下滑行复位，所述第一气缸222驱动所述第一支撑板221相对所述第二基座21向前运行复位。

本实施例中，在所述基板1上设有竖直导轨101，所述竖直导轨101上连接有升降滑块102，所述升降滑块102可沿所述竖直导轨101上下滑行，所述第二基座21连接在所述升降滑块102上。进一步的，所述顶升气缸23包括固定在所述基板1上的气缸主体和插装在所述气缸主体内的气缸杆，所述气缸杆的自由端固定连接在所述第二基座21底部，所述气缸主体驱动所述气缸杆伸出或缩回，当所述气缸杆伸出时，其推动所述第二基座21上升以顶起所述第一支撑板221及其上的所述硅片载舟100，当所述气缸杆缩回时，其拉动所述第二基座21下降复位。

进一步的，在所述第二基座21上设有第一水平滑轨210，所述第一水平滑轨210上连接有第一滑块，所述第一滑块可沿所述第一水平滑轨210前后滑行，所述第一支撑板221连接在所述第一滑块上。

进一步的，本实施例中，所述推送组件22还包括连接在所述第一支撑板221上侧的第二支撑板223及设在所述第二支撑板223下侧的第二气缸224，所述第二气缸224可驱动所述第二支撑板223相对所述第一支撑板221前后运行。由所述夹紧翻转组件10翻转至水平的所述硅片载舟100放置在所述第二支撑板223上，所述第一气缸222驱动所述第一支撑板221相对所述第二基座21向后运行，带动所述第二支撑板223及其上的所述硅片载舟100向后运行，同时所述第二气缸224驱动所述第二支撑板223相对所述第一支撑板221向后运行，两个气缸同时运行，提高了所述硅片载舟100推送至设定位置的效率。所述推送组件22采用双层支撑板、双气缸结构对所述硅片载舟100的进行水平推送，使该硅片载舟翻转推送机构结构紧凑，占用空间小。

更进一步的，在所述第一支撑板221上设有第二水平导轨2210，所述第二水平导轨2210上连接有第二滑块，所述第二滑块可沿所述第二水平导轨2210前后滑行，所述第二支撑板223连接在所述第二滑块上。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，包括竖直设置的基板，在所述基板的左侧安装有顶升推送组件，在所述基板的右侧安装有夹紧翻转组件，其中，

夹紧翻转组件：用于夹持竖立的硅片载舟，并将该竖立的硅片载舟翻转至水平状态，同时将该水平的硅片载舟放置至所述顶升推送组件上；包括连接在所述基板上的第一基座、安装在所述第一基座上的夹紧组件和电机，所述电机可驱动所述夹紧组件旋转；所述夹紧组件包括水平设置的底板、竖直设置的第一侧板、第二侧板以及由所述底板、第一侧板和第二侧板限定出的舟容置部；

顶升推送组件：用于将所述水平的硅片载舟推送至设定位置并顶起；包括连接在所述基板上的第二基座和设在所述第二基座下侧的顶升气缸，所述顶升气缸可驱动所述第二基座沿所述基板上下滑行；在所述第二基座上设有推送组件，所述推送组件包括安装在所述第二基座上用于放置所述水平的硅片载舟的第一支撑板及设置在所述第一支撑板下侧、用于驱动所述第一支撑板相对所述第二基座前后运行的第一气缸。

2.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，所述夹紧翻转组件还包括与所述电机相连的传动轴，所述夹紧组件穿设在所述传动轴上。

3.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，在所述第二侧板的末端连接有卡紧件，所述卡紧件包括竖直连接在所述第二侧板末端的连接部及水平安装在所述连接部末端的水平卡突，所述水平卡突和所述底板从上下两侧夹持置于所述舟容置区的硅片载舟。

4.根据权利要求3所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，在所述底板底部连接有夹紧气缸，所述夹紧气缸可推动所述底板向上运行以夹紧置于所述舟容置区的硅片载舟。

5.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，在所述底板顶部设置有三角凸条，用于与置于所述舟容置区的硅片载舟侧板外壁的三角凹槽扣合以确保所述舟容置区硅片载舟的准确定位。

6.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，在所述基板上设有竖直导轨，所述竖直导轨上连接有升降滑块，所述升降滑块可沿所述竖直导轨上下滑行，所述第二基座连接在所述升降滑块上。

7.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，所述顶升气缸包括固定在所述基板上的气缸主体和插装在所述气缸主体内的气缸杆，所述气缸杆的自由端固定连接在所述第二基座底部，所述气缸主体驱动所述气缸杆伸出或缩回，以带动所述第二基座上升或下降。

8.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，在所述第二基座上设有第一水平滑轨，所述第一水平滑轨上连接有第一滑块，所述第一滑块可沿所述第一水平滑轨前后滑行，所述第一支撑板连接在所述第一滑块上。

9.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，所述推送组件还包括连接在所述第一支撑板上侧的第二支撑板及设在所述第二支撑板下侧的第二气缸，所述第二气缸可驱动所述第二支撑板相对所述第一支撑板前后运行。

10.根据权利要求9所述的硅片载舟翻转推送机构，其特征在于，在所述第一支撑板上设有第二水平导轨，所述第二水平导轨上连接有第二滑块，所述第二滑块可沿所述第二水平导轨前后滑行，所述第二支撑板连接在所述第二滑块上。