CN203636625U - 一种高效磨削碳化硅晶体定位边的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于新材料加工技术领域，具体涉及一种磨削碳化硅晶体定位边的装置，该装置由带有弧槽结构的基座，以及可以连接在基座顶端的定位安装板组成，所述的基座上还设置有夹紧机构，采用这种结构的装置，可以将多个碳化硅晶锭进行独立定向标记工序后统一安装在基座的弧形槽内，通过快速装夹定向板依次装夹成一个整体，之后即可进行磨削作业，整个过程快速简单，且不需要二次装夹即可完成对主次定位边的磨削，节省了装夹时间，减少了二次装夹带来的误差，提高了加工精度和效率，减轻了操作者的劳动强度。
Description
技术领域
本实用新型属于新材料晶体加工领域，具体涉及一种高效磨削碳化硅晶体定位边的装置。
背景技术
碳化硅晶体具有击穿电压高、热导率高、电子饱和电子率高等优良的物理化学性质以及与硅集成电路工艺兼容等特点，成为国际上新材料、微电子和光电子领域的研究热点。
将碳化硅晶体应用于器件需加工成一定尺寸的晶片，基本工艺包括晶体生长、晶锭外径滚磨、定向，定位边的磨削、切片、表层研磨、抛光、倒角等步骤。碳化硅的定位边主要用于识别晶片的结晶方向，其一般采用X射线衍射法标定，其中主定位边平行于
面，副定位边平行于面。通过主、副定位边来识别碳化硅晶片的硅面和碳面。由于碳化硅晶体硬度很高，仅次于金刚石，这为晶体加工带来很大的困难，尤其是晶锭整形、定位边定向磨削阶段，加工速度缓慢，耗用时间长。传统的定位边磨削方法是无论晶块厚薄，都是单独的一块一块的磨削，工作效率较低，设备利用率较低，不利于专业化批量生产，大大限制了企业的效益。
为了克服上述制备工艺和设备存在的不足，需要研发一种新的磨削碳化硅晶体定位边的方法及装置。
发明内容
根据现有技术存在的不足和空白，本实用新型的发明人提供了一种磨削碳化硅晶体定位边的装置，以及利用该装置磨削碳化硅晶体定位边的方法，该装置的具体结构包括带有弧槽结构的基座，以及可以连接在基座顶端的定位安装板组成，所述的基座上还设置有夹紧机构，采用这种结构的装置，可以将多个碳化硅晶锭进行独立定向标记工序后统一安装在基座的弧形槽内，通过快速装夹定向板依次装夹成一个整体，之后即可进行磨削作业，整个过程快速简单，且不需要二次装夹即可完成对主次定位边的磨削，节省了装夹时间，减少了二次装夹带来的误差，提高了加工精度和效率，减轻了操作者的劳动强度。
本实用新型的具体技术方案如下：
一种磨削碳化硅晶体定位边的装置，所述的装置主要包括带有弧槽结构的基座，以及可以连接在基座顶端的定位安装板组成，所述的基座上还设置有夹紧机构，
其中所述的基座上设置有两端封闭的弧槽，且基座一端设置有夹紧块，所述的夹紧块上连接有夹紧螺栓，所述的夹紧块和夹紧螺栓构成夹紧机构，使用时可以将多个碳化硅晶锭放入弧槽内，通过调整夹紧螺栓将其夹紧固定，一般为了方便加工可以对每个碳化硅晶锭进行独立定向标记，然后以晶锭圆周和定位边标记线作为基准，可以使多个晶锭精确定型并固定在夹紧装置中，使各晶锭的定位磨削边高度平行，因而能保证各个晶锭的取向一致，磨削出的定位变定向偏差小。
所述的定位安装板可通过螺栓固定在基座弧槽的上方，利用定位安装板的顶端对碳化硅晶锭进行准确的定位，具体的操作方法是将待加工的晶锭放入弧槽内后，定位安装板通过基座上两个不在同一直线上的定位销孔用定位销安装在基座上，把定位安装板的顶尖线作为基准线，转动晶锭使其各自的定向标记线对准基准线，然后利用夹紧机构把多块晶锭夹紧成一个整体，然后拔掉定位销，撤下定位安装板，此时已经将所有的多块晶锭进行了准确的定位，便可进行晶体加工。此设计方案装夹方便，定向准确。所述的定位安装板顶端与晶锭的圆周面相适应，这样可以更好的与晶锭贴合在一起，提高定位的精度。
所述基座的端面均为正方形，采用这种结构后主定位边磨削完毕后，不需二次装夹，只需翻转90°便可进行次定位边的磨削，也就是可以首先将晶锭上标示了定向标记线的一端作为主定位边进行磨削，之后将其右侧成九十度的次定位边进行磨削，节省了装夹时间，减少了二次装夹带来的误差，提高了加工精度和效率，减轻了操作者的劳动强度。
综上所述，采用这种结构的磨削碳化硅晶体定位边的装置，可以将多个碳化硅晶锭进行独立定向标记工序后统一安装在基座的弧形槽内，通过快速装夹定向板依次装夹成一个整体，之后即可进行磨削作业，整个过程快速简单，且不需要二次装夹即可完成对主次定位边的磨削，节省了装夹时间，减少了二次装夹带来的误差，提高了加工精度和效率，减轻了操作者的劳动强度。
附图说明
图1为本实用新型所述装置的主视图；
图2为本实用新型所述装置基座的主视图；
图3为本实用新型所述装置定位安装板的主视图；
图4为本实用新型所述装置定位安装板的侧视图；
图5为图1中A-A的剖视图；
图6为图1中B-B的剖视图；
图7为本实用新型所述装置定位晶体时的示意图；
图中1为基座，2为定位安装板，3为定位销，4为夹紧块，5为夹紧螺栓。
具体实施方式
一种磨削碳化硅晶体定位边的装置，所述的装置主要包括带有弧槽结构的基座1，以及可以连接在基座1顶端的定位安装板2组成，所述的基座1上还设置有夹紧机构；
其中所述的基座1上设置有两端封闭的弧槽，且基座一端设置有夹紧块4，所述的夹紧块4上连接有夹紧螺栓5，所述的夹紧块4和夹紧螺栓5构成夹紧机构；
所述的定位安装板2通过定位销3固定在基座弧槽的上方；
所述基座1的端面均为正方形。
Claims (3)
1.一种磨削碳化硅晶体定位边的装置，其特征在于：主要由带有弧槽结构的基座（1），以及可以连接在基座（1）顶端的定位安装板（2）组成，所述的基座（1）上还设置有夹紧机构；
其中所述的基座（1）上设置有两端封闭的弧槽，且基座（1）一端设置有夹紧块（4），所述的夹紧块（4）上连接有夹紧螺栓（5），所述的夹紧块（4）和夹紧螺栓（5）构成夹紧机构。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的定位安装板（2）通过定位销（3）固定在基座弧槽的上方。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述基座（1）的端面均为正方形。
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|---|---|---|---|
| CN201420020490.7U CN203636625U (zh) | 2014-01-14 | 2014-01-14 | 一种高效磨削碳化硅晶体定位边的装置 |
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| CN (1) | CN203636625U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104827397A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-08-12 | 山东大学 | 一种用于打磨碳化硅单晶定位边的夹具及其应用 |
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2014
- 2014-01-14 CN CN201420020490.7U patent/CN203636625U/zh not_active Expired - Lifetime
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