CN105196176A - 用于蓝宝石晶棒of面加工的定向夹具 - Google Patents

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葛姚刚
朱文辉
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明涉及晶棒夹具技术领域，尤其涉及一种用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，包括可拆卸连接的上夹具和下夹具，下夹具上表面上开设有V型槽，上夹具用于将蓝宝石晶棒固定在V型槽内。本发明的有益效果是，本发明的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，通过上、下夹具配合固定的方式实现了晶棒的灵活夹持与定向，螺钉安装在上、下夹具的两侧上，与晶棒无接触，避免晶棒磨损，而且夹具定位精准，提高加工效率。

Description

用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具
技术领域
本发明涉及晶棒夹具技术领域，尤其涉及一种用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具。
背景技术
蓝宝石晶体为各向异性的晶体材料，并具有优异的电、光、热、力学特性。近几年来，随着晶体在光电子、信息产业中应用的扩展，对晶片加工精度提出了很高要求，而作为外延生长基板的晶体材料对晶面角度取向加工精度更是提出了严格要求。因此确保晶体从毛坯加工成成品中晶面角度取向精度是生产高质量器件和基板的重要环节。
蓝宝石晶棒的加工工艺为：晶锭掏棒→晶棒切两端→晶棒端面研磨→磨OF基准面→切片。蓝宝石晶棒在切片加工前必须对晶棒进行测定结晶方向后进行晶棒的定位面(参考平面)的加工。这样，一方面可以确保其在切片机上的正确位置，另一方面，识别蓝宝石晶棒或晶片上的特定的结晶方向，有利于晶片在后续工序中的识别、定位要求。
对晶棒定位面加工的普遍方法是在定向仪上放置料板，对晶棒进行测定结晶方向后就在定向仪上将晶棒粘接到料板上，再将整体放置于研磨机上进行晶棒定位面的加工。该方法由于人工粘接晶棒存在操作误差，从而对晶棒结晶方向定位会带来一定的偏差，会影响后续晶片的加工；另外，加工后还要对粘接的晶棒进行去胶处理，既费功费力，又生产效率低。
公告号为CN202726719U，公告日为2013年02月13日的中国发明专利公开了一种蓝宝石晶棒定位面定向加工的卡具，虽然改变了传统的晶棒粘接的方法，采用夹具进行定向，但是该夹具的螺钉对晶棒表面容易产生磨损，一边固定的方式使得晶棒的轴线不是位于夹具中心，容易导致定位不准。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中蓝宝石晶棒定位夹具定位不准，生产效率低的技术问题，本发明提供一种用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，包括可拆卸连接的上夹具和下夹具，所述下夹具上表面上开设有V型槽，上夹具用于将蓝宝石晶棒固定在V型槽内。本发明将蓝宝石晶棒定位夹具分成上下两部分，更有利于蓝宝石晶棒加工前的位置调整，定位精准。
为了便于安装上夹具，所述V型槽的长度L1与下夹具的长度L2一致，V型槽槽口的左侧至下夹具的左端设有左平面，V型槽槽口的右侧至下夹具的右端设有右平面，所述的左平面和右平面上开设有螺钉安装孔。
为了使得蓝宝石晶棒左右固定牢固，位置不易偏移，所述上夹具分为左固定块和右固定块，左固定块的下底面与左平面相配合且固定连接，左固定块的右端面呈斜面，且右端面与V型槽内的左侧面形成开口向右的V形开口，右固定块的下底面与右平面相配合且固定连接，右固定块的左端面呈斜面，且左端面与V型槽内的右侧面形成开口向左的V形开口。
为了便于安装螺钉，所述左固定块和右固定块等高均为h1，所述左固定块的左端面和右固定块的右端面均开设有U型槽，U型槽的长度为h1，所述U型槽的内壁上设有U型卡台，U型槽与螺钉安装孔相配合，所述U型槽的槽宽d1略大于待安装螺钉的螺帽的外径，U型卡台卡口的宽度d2略大于待安装螺钉的螺杆的外径且略小于待安装螺钉的螺帽的外径。
为了便于排泄，所述V型槽的底部还开设有排泄槽。
为了便于调整蓝宝石晶棒的高度，便于加工，所述下夹具的底部还安装有升降调节装置。
本发明的有益效果是，本发明的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，通过上、下夹具配合固定的方式实现了晶棒的灵活夹持与定向，螺钉安装在上、下夹具的两侧上，与晶棒无接触，避免晶棒磨损，而且夹具定位精准，提高加工效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具的结构示意图。
图2是本发明用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具的下夹具的俯视图。
图3是本发明用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具的上夹具的俯视图。
图中：11、左固定块，12、右固定块，13、开口向右的V形开口，14、开口向左的V形开口，15、U型槽，16、U型卡台，2、下夹具，21、V型槽，22、左平面，23、右平面，24、螺钉安装孔，25、排泄槽，3、升降调节装置。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1-3所示，是本发明最优实施例，一种用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，包括可拆卸连接的上夹具和下夹具2，下夹具2上表面上开设有V型槽21，上夹具用于将蓝宝石晶棒固定在V型槽21内。V型槽21的长度L1与下夹具的长度L2一致，V型槽21槽口的左侧至下夹具2的左端设有左平面22，V型槽21槽口的右侧至下夹具2的右端设有右平面23，左平面22和右平面23上开设有螺钉安装孔24。V型槽21的底部还开设有排泄槽25，下夹具2的底部还安装有升降调节装置3。
上夹具分为左固定块11和右固定块12，左固定块11的下底面与左平面22相配合且固定连接，左固定块11的右端面呈斜面，且右端面与V型槽21内的左侧面形成开口向右的V形开口13，右固定块12的下底面与右平面23相配合且固定连接，右固定块12的左端面呈斜面，且左端面与V型槽21内的右侧面形成开口向左的V形开口14。
左固定块11和右固定块12等高均为h1，左固定块11的左端面和右固定块12的右端面均开设有U型槽15，U型槽15的长度为h1，U型槽15的内壁上设有U型卡台16，U型槽15与螺钉安装孔24相配合，U型槽15的槽宽d1略大于待安装螺钉的螺帽的外径，U型卡台16卡口的宽度d2略大于待安装螺钉的螺杆的外径且略小于待安装螺钉的螺帽的外径。
工作时，将蓝宝石晶棒先放在V型槽21内，找到其定位面，再将左固定块11和右固定块12通过螺钉固定在下夹具2上。调整升降调节装置3使得蓝宝石晶棒达到要求的高度，再进行OF面加工。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (6)

1.一种用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，其特征在于：包括可拆卸连接的上夹具和下夹具(2)，所述下夹具(2)上表面上开设有V型槽(21)，上夹具用于将蓝宝石晶棒固定在V型槽(21)内。
2.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，其特征在于：所述V型槽(21)的长度L1与下夹具的长度L2一致，V型槽(21)槽口的左侧至下夹具(2)的左端设有左平面(22)，V型槽(21)槽口的右侧至下夹具(2)的右端设有右平面(23)，所述的左平面(22)和右平面(23)上开设有螺钉安装孔(24)。
3.如权利要求2所述的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，其特征在于：所述上夹具分为左固定块(11)和右固定块(12)，左固定块(11)的下底面与左平面(22)相配合且固定连接，左固定块(11)的右端面呈斜面，且右端面与V型槽(21)内的左侧面形成开口向右的V形开口(13)，右固定块(12)的下底面与右平面(23)相配合且固定连接，右固定块(12)的左端面呈斜面，且左端面与V型槽(21)内的右侧面形成开口向左的V形开口(14)。
4.如权利要求3所述的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，其特征在于：所述左固定块(11)和右固定块(12)等高均为h1，所述左固定块(11)的左端面和右固定块(12)的右端面均开设有U型槽(15)，U型槽(15)的长度为h1，所述U型槽(15)的内壁上设有U型卡台(16)，U型槽(15)与螺钉安装孔(24)相配合，所述U型槽(15)的槽宽d1略大于待安装螺钉的螺帽的外径，U型卡台(16)卡口的宽度d2略大于待安装螺钉的螺杆的外径且略小于待安装螺钉的螺帽的外径。
5.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，其特征在于：所述V型槽(21)的底部还开设有排泄槽(25)。
6.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，其特征在于：所述下夹具(2)的底部还安装有升降调节装置(3)。
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