CN202726719U - 蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具 - Google Patents

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胡浪浪
王联
陈梁
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Abstract

本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具,它包括横卧柱状的夹具体,在夹具体上沿着其长度方向开设有呈圆形的装夹孔,在夹具体上开设有紧固螺栓孔;在夹具体的横截面中,装夹孔对应的圆心角为优角。本实用新型通过锁定螺钉和垫板的配合实现了晶棒的灵活夹持与定向,克服了传统手工粘接晶棒存在的操作误差;将定好向的夹具直接放置于平面磨床上进行定位面的加工后可直接将晶棒从夹具中取出,方便、快捷,避免了上胶固定晶棒加工后需去胶处理晶棒带来的不便。

Description

蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具
技术领域
本实用新型涉及一种晶体加工工装夹具,尤其是一种蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具。
背景技术
蓝宝石晶棒在切片加工前必须对晶棒进行测定结晶方向后进行晶棒的定位面(参考平面)的加工。这样,一方面可以确保其在切片机上的正确位置,另一方面,识别蓝宝石晶棒或晶片上的特定的结晶方向,有利于晶片在后续工序中的识别、定位要求。
对晶棒定位面加工的普遍方法是在定向仪上放置料板,对晶棒进行测定结晶方向后就在定向仪上将晶棒粘接到料板上,再将整体放置于研磨机上进行晶棒定位面的加工。该方法由于人工粘接晶棒存在操作误差,从而对晶棒结晶方向定位会带来一定的偏差,会影响后续晶片的加工;另外,加工后还要对粘接的晶棒进行去胶处理,既费功费力,又生产效率低。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种高精度、高效率的蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具。
按照本实用新型提供的技术方案,所述蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具,它包括横卧柱状的夹具体,在夹具体上沿着其长度方向开设有呈圆形的装夹孔,在夹具体上开设有紧固螺栓孔;在夹具体的横截面中,装夹孔对应的圆心角为优角。
所述紧固螺栓孔的轴线与装夹孔的轴线呈垂直设置。
本实用新型通过锁定螺钉和垫板的配合实现了晶棒的灵活夹持与定向,克服了传统手工粘接晶棒存在的操作误差;将定好向的夹具直接放置于平面磨床上进行定位面的加工后可直接将晶棒从夹具中取出,方便、快捷,避免了上胶固定晶棒加工后需去胶处理晶棒带来的不便。
附图说明
图1是本实用新型的主视图。
图2是本实用新型的俯视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图所示:该蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具,它包括横卧柱状的夹具体1,在夹具体1上沿着其长度方向开设有呈圆形的装夹孔2,在夹具体1上开设有紧固螺栓孔3;在夹具体1的横截面中,装夹孔2对应的圆心角度数大于180°且小于360°,装夹孔2对应的圆心角为优角;即在图1中,装夹孔2穿过夹具体1的上端面。这样,在装夹孔2内装入蓝宝石晶棒后,蓝宝石晶棒的侧壁面部分从夹具体1的上端面上露出。
所述紧固螺栓孔3的轴线与装夹孔2的轴线呈垂直设置。
本实用新型中,夹具体1由磁性材料制成。
所述的夹具体1为上端开口、外方内圆的铁磁材料筒体,平面磨床的磁性吸附加工台可将其牢固吸附。
所述的夹具体1于上端开口一侧前、中、后均匀设置三个紧固螺栓孔3,紧固螺栓孔3与锁定螺钉配合。
工作时,先将放有晶棒的本实用新型的夹具体1放在X定向仪上,通过转动晶棒测定结晶方向,再由锁定螺钉和垫板牢固夹持晶棒,最后将定好向的夹具整体移至平面磨床的磁性吸附加工台上进行定位面的加工,加工完成后,拧松锁定螺钉,直接可将晶棒从中取出进行下一步工序。

Claims (2)

1. 一种蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具,其特征是:它包括横卧柱状的夹具体(1),在夹具体(1)上沿着其长度方向开设有呈圆形的装夹孔(2),在夹具体(1)上开设有紧固螺栓孔(3);在夹具体(1)的横截面中,装夹孔(2)对应的圆心角为优角。
2.如权利要求1所述的蓝宝石晶棒定位面定向加工夹具,其特征是:所述紧固螺栓孔(3)的轴线与装夹孔(2)的轴线呈垂直设置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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