CN220914187U - 一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，公开了一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，包括：平台的一侧设有一处以上的卡块，其中，卡块具有用于与晶圆盒凸出的横条相抵的凸边；驱动机构安装在平台的底面，驱动机构包括驱动件以及推块，推块延伸至卡块位置，推块与凸边相对设置，其中，推块经由驱动件驱动将晶圆盒凸出的横条紧靠在凸边定位。本实用新型有效保证传送的晶圆盒位置准确，便于后续机械手臂抓取，有效避免晶圆掉片的风险。

Description

一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，特别涉及一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台。

背景技术

在半导体晶圆加工厂里，都会用晶圆盒(或叫Cassette，晶片盒，晶舟盒，花篮等)用放置产品(晶片)，它本身也是晶片的载具。当晶片需要某个步骤工序的加工的时候，需要用晶圆盒携带晶片搬运到半导体设备里边。

对于晶圆盒的结构设计中，晶圆盒底部有凸起的横条，设备厂商会在各自的设备上，对应位置设计成凹槽，实现晶圆盒的定位。而采用该结构设计中存在以下技术问题，凹槽的公差如果太小，机械手臂不能很顺利把晶圆盒放进凹槽里，如果公差设计大了，晶圆盒位置不是太好，容易导致晶圆位置偏差，然后影响了后边机械手臂抓取晶圆位置。

故需对此作出改进。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是针对上述现有技术中存在的缺陷，提供一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，在卡块位置处采用驱动机构驱动推块对晶圆盒进行定位，有效保证传送的晶圆盒位置准确。

为解决上述技术问题，本实用新型采取的技术方案如下：一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，包括：平台，所述平台的一侧设有一处以上的卡块，其中，所述卡块具有用于与晶圆盒凸出的横条相抵的凸边；驱动机构，所述驱动机构安装在所述平台的底面，所述驱动机构包括驱动件以及推块，所述推块延伸至所述卡块位置，所述推块与所述凸边相对设置，其中，所述推块经由所述驱动件驱动将晶圆盒凸出的横条紧靠在所述凸边定位。

进一步地，所述平台的一侧前后位置上分别设置所述卡块，所述卡块分别对晶圆盒前后位置凸出的横条相抵定位。

进一步地，所述驱动机构包括连杆，所述驱动件的伸缩端与所述连杆连接，所述连杆的两端分别连接所述推块，所述驱动件驱动所述连杆转动带动所述推块对晶圆盒定位。

进一步地，所述平台于所述卡块位置设置缺口，所述推块设置在所述缺口位置。

进一步地，所述驱动件为气缸。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：在实施中，采用驱动机构与平台上的卡块进行配合，通过驱动件驱动推块将晶圆盒的横条抵在卡块上，从而实现对晶圆盒的定位，能够有效保证传送的晶圆盒位置准确，便于后续机械手臂抓取，有效避免晶圆掉片的风险。

附图说明

图1是晶圆盒结构示意图。

图2是本实用新型与晶圆盒的结构示意图。

图3是本实用新型与晶圆盒的结构示意图。

图4是图3的局部放大结构示意图。

图5是本实用新型的结构示意图。

图6是平台的结构示意图。

图7是驱动机构的结构示意图。

附图标记：1、平台；2、卡块；3、凸边；4、驱动机构；5、驱动件；6、推块；7、连杆；8、缺口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。

通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“若干个”、“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

鉴于背景技术所记载的技术问题，如图1-7所示，提供了一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台1，包括：平台1，所述平台1的一侧设有一处以上的卡块2，其中，所述卡块2具有用于与晶圆盒凸出的横条相抵的凸边3；驱动机构4，所述驱动机构4安装在所述平台1的底面，所述驱动机构4包括驱动件5以及推块6，所述推块6延伸至所述卡块2位置，所述推块6与所述凸边3相对设置，其中，所述推块6经由所述驱动件5驱动将晶圆盒凸出的横条紧靠在所述凸边3定位。

在上述的实施方案中，卡块2采用螺丝固定在平台1上，在使用的过程为晶圆盒在机械手臂的作用下放置在平台1上，参考图1所示，为晶圆盒的凸出的横条，晶圆盒的横条置于卡块2位置上，进而驱动机构4工作，驱动件5驱动推块6进行转动，推块6转动时，在卡块2的凸边3限制作用下，对晶圆盒进行定位，通过上述的结构设置，能够有效保证传送的晶圆盒位置准确，便于后续机械手臂抓取，有效避免晶圆掉片的风险。

进一步地，所述平台1的一侧前后位置上分别设置所述卡块2，所述卡块2分别对晶圆盒前后位置凸出的横条相抵定位。

在优选的实施方案中，优先采用在平台1的一侧进行设置两处卡块2，两处卡块2分别对晶圆盒的一侧的横条进行定位。

如图6所示，所述驱动机构4包括连杆7，所述驱动件5的伸缩端与所述连杆7连接，所述连杆7的两端分别连接所述推块6，所述驱动件5驱动所述连杆7转动带动所述推块6对晶圆盒定位。

在一种实施方式中，可分别在卡块2位置进行设置驱动机构4，如分别设置驱动件5和推块6，由驱动件5驱动推块6进行定位，在另一种实施方式中，增加连杆7，采用连杆7进行连接两处推块6，由唯一驱动件5作为动力，使用时，驱动件5驱动连杆7转动，连杆7带动推块6对晶圆盒定位。

如图5所示，所述平台1于所述卡块2位置设置缺口8，所述推块6设置在所述缺口8位置。为便于对晶圆盒进行定位，在平台1上进行设置缺口8，便于推块6与卡块2相对设置，从而在两者的限位下，完成对晶圆盒定位。

在上述的技术方案中，所述驱动件5为气缸。

以上并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

Claims (5)

1.一种带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，其特征在于，包括：

平台，所述平台的一侧设有一处以上的卡块，其中，所述卡块具有用于与晶圆盒凸出的横条相抵的凸边；

驱动机构，所述驱动机构安装在所述平台的底面，所述驱动机构包括驱动件以及推块，所述推块延伸至所述卡块位置，所述推块与所述凸边相对设置，其中，所述推块经由所述驱动件驱动将晶圆盒凸出的横条紧靠在所述凸边定位。

2.根据权利要求1所述带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，其特征在于：所述平台的一侧前后位置上分别设置所述卡块，所述卡块分别对晶圆盒前后位置凸出的横条相抵定位。

3.根据权利要求2所述带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，其特征在于：所述驱动机构包括连杆，所述驱动件的伸缩端与所述连杆连接，所述连杆的两端分别连接所述推块，所述驱动件驱动所述连杆转动带动所述推块对晶圆盒定位。

4.根据权利要求3所述带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，其特征在于：所述平台于所述卡块位置设置缺口，所述推块设置在所述缺口位置。

5.根据权利要求1-4任一项所述带有晶圆盒位置锁定装置的传送平台，其特征在于：所述驱动件为气缸。