JPH07153550A - 電気ヒ−タの温度制御方法 - Google Patents
電気ヒ−タの温度制御方法Info
- Publication number
- JPH07153550A JPH07153550A JP30287793A JP30287793A JPH07153550A JP H07153550 A JPH07153550 A JP H07153550A JP 30287793 A JP30287793 A JP 30287793A JP 30287793 A JP30287793 A JP 30287793A JP H07153550 A JPH07153550 A JP H07153550A
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- electric
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気ヒ−タ自体を温度センサ−として機能さ
せることにより、熱電対などの別個の温度センサ−を用
いずに、電気ヒ−タの温度制御の精度を向上させること
を目的とする。 【構成】 上記目的を果たすため、電気ヒ−タ１の電源
２から電気ヒ−タ１に通電されている電流と、電源２か
ら電気ヒ−タ１に印加されている電圧とを検出し、その
検出電流と検出電圧とから電気ヒ−タ１の電気抵抗値を
演算したうえ、その電気抵抗値対応の温度を、予め設定
された目標温度に一致させるように電源２から電気ヒ−
タ１に通電される電流を制御する。
せることにより、熱電対などの別個の温度センサ−を用
いずに、電気ヒ−タの温度制御の精度を向上させること
を目的とする。 【構成】 上記目的を果たすため、電気ヒ−タ１の電源
２から電気ヒ−タ１に通電されている電流と、電源２か
ら電気ヒ−タ１に印加されている電圧とを検出し、その
検出電流と検出電圧とから電気ヒ−タ１の電気抵抗値を
演算したうえ、その電気抵抗値対応の温度を、予め設定
された目標温度に一致させるように電源２から電気ヒ−
タ１に通電される電流を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、白金、あるいはニクロ
ム線等の電気ヒ−タの温度制御方法に係り、詳しくは熱
電対等の別個の温度センサ−を設置することなく、電気
ヒ−タ自体に温度センサ−の機能を持たせた電気ヒ−タ
の温度制御方法に関する。
ム線等の電気ヒ−タの温度制御方法に係り、詳しくは熱
電対等の別個の温度センサ−を設置することなく、電気
ヒ−タ自体に温度センサ−の機能を持たせた電気ヒ−タ
の温度制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、白金、あるいはニクロム線等の電
気ヒ−タを発熱体とする電気炉の温度制御は、図２に示
すように、電気炉内の温度を熱電対などの温度センサ−
２１によって検知し、温度センサ−２１からの検知信号
を、調節計２２が入力可能な信号に変換して出力する信
号変換器２５を介して調節計２２に入力する。そして、
その検知温度が調節計２２で設定された温度との間に偏
差が生じた場合、調節計２２は、その偏差温度をゼロに
収束させるような指令を電源２３に与え、電気ヒ−タ２
４に対する通電電流を調整させる。この際、電気ヒ−タ
２４の温度制御の精度を向上させるためには、電気ヒ−
タ２４に温度センサ−２１を接触させることが望ましい
が、電気ヒ−タ２４が高温の状態では、電気ヒ−タ２４
と温度センサ−２１の材料との反応があり、実際上は不
可能である。そのため、熱電対などの温度センサ−２１
を用いた場合、電気ヒ−タ２４の温度制御の精度を向上
させることに限界がある。
気ヒ−タを発熱体とする電気炉の温度制御は、図２に示
すように、電気炉内の温度を熱電対などの温度センサ−
２１によって検知し、温度センサ−２１からの検知信号
を、調節計２２が入力可能な信号に変換して出力する信
号変換器２５を介して調節計２２に入力する。そして、
その検知温度が調節計２２で設定された温度との間に偏
差が生じた場合、調節計２２は、その偏差温度をゼロに
収束させるような指令を電源２３に与え、電気ヒ−タ２
４に対する通電電流を調整させる。この際、電気ヒ−タ
２４の温度制御の精度を向上させるためには、電気ヒ−
タ２４に温度センサ−２１を接触させることが望ましい
が、電気ヒ−タ２４が高温の状態では、電気ヒ−タ２４
と温度センサ−２１の材料との反応があり、実際上は不
可能である。そのため、熱電対などの温度センサ−２１
を用いた場合、電気ヒ−タ２４の温度制御の精度を向上
させることに限界がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の電気ヒ−タ
の温度制御は、熱電対などの温度センサ−を用いた方法
であるため、前述の理由により電気ヒ−タの温度制御の
精度を向上させることに限界がある。そこで本発明で
は、電気ヒ−タ自体を温度センサ−としても機能させる
ことにより、熱電対などの別個の温度センサ−を用いず
に、電気ヒ−タの温度制御の精度を向上させることを解
決すべき技術的課題とするものである。
の温度制御は、熱電対などの温度センサ−を用いた方法
であるため、前述の理由により電気ヒ−タの温度制御の
精度を向上させることに限界がある。そこで本発明で
は、電気ヒ−タ自体を温度センサ−としても機能させる
ことにより、熱電対などの別個の温度センサ−を用いず
に、電気ヒ−タの温度制御の精度を向上させることを解
決すべき技術的課題とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題解決のための技
術的手段は、電気ヒ−タの電源から同電気ヒ−タに通電
されている電流と前記電源から同電気ヒ−タに印加され
ている電圧とを検出し、その検出電流と検出電圧とから
同電気ヒ−タの電気抵抗値を演算したうえ、その電気抵
抗値対応の温度を、予め設定された目標温度に一致させ
るように前記電源から電気ヒ−タに通電される電流を制
御することである。
術的手段は、電気ヒ−タの電源から同電気ヒ−タに通電
されている電流と前記電源から同電気ヒ−タに印加され
ている電圧とを検出し、その検出電流と検出電圧とから
同電気ヒ−タの電気抵抗値を演算したうえ、その電気抵
抗値対応の温度を、予め設定された目標温度に一致させ
るように前記電源から電気ヒ−タに通電される電流を制
御することである。
【０００５】
【作用】上記制御方法によれば、電気ヒ−タは、温度に
応じて電気抵抗値が変化するため、電気ヒ−タに通電さ
れている電流と同電気ヒ−タに印加されている電圧とを
検知したうえ、検知した電流と電圧とから同電気ヒ−タ
の電気抵抗値を演算し、その演算された電気抵抗値対応
のリアルタイムの温度と、予め設定された目標温度との
間に偏差が生じた場合、その偏差をゼロに収束させるよ
うに電気ヒ−タの通電電流を調整する制御をすれば電気
ヒ−タの温度が目標温度に制御される。
応じて電気抵抗値が変化するため、電気ヒ−タに通電さ
れている電流と同電気ヒ−タに印加されている電圧とを
検知したうえ、検知した電流と電圧とから同電気ヒ−タ
の電気抵抗値を演算し、その演算された電気抵抗値対応
のリアルタイムの温度と、予め設定された目標温度との
間に偏差が生じた場合、その偏差をゼロに収束させるよ
うに電気ヒ−タの通電電流を調整する制御をすれば電気
ヒ−タの温度が目標温度に制御される。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図１は、本発明に基づく電気ヒ−タの温度
制御システムの全体的な系統を示したブロック図であ
る。図１に示すように、図示していない電気炉に設置さ
れた電気ヒ−タ１は、例えば白金ヒ−タが用いられ、こ
の電気ヒ−タ１に対して発熱用の電流を通電する電源２
が接続されている。この電源２から電気ヒ−タ１に通電
されている電流及び電気ヒ−タ１に印加されている電圧
が検知され、その検知された電流値及び電圧値に対応し
た電流検知信号及び電圧検知信号が信号変換回路３に入
力される。
ら説明する。図１は、本発明に基づく電気ヒ−タの温度
制御システムの全体的な系統を示したブロック図であ
る。図１に示すように、図示していない電気炉に設置さ
れた電気ヒ−タ１は、例えば白金ヒ−タが用いられ、こ
の電気ヒ−タ１に対して発熱用の電流を通電する電源２
が接続されている。この電源２から電気ヒ−タ１に通電
されている電流及び電気ヒ−タ１に印加されている電圧
が検知され、その検知された電流値及び電圧値に対応し
た電流検知信号及び電圧検知信号が信号変換回路３に入
力される。
【０００７】上記信号変換回路３は、電流検知信号及び
電圧検知信号が入力されると、その両信号に基づいて電
気抵抗値を演算する。一般に電気ヒ−タ１の電気抵抗値
と温度とは相関関係を有しているため、抵抗・温度変換
部５において、電気ヒ−タ１の電気抵抗値に基づいた電
気ヒ−タ１の温度を算出することができる。
電圧検知信号が入力されると、その両信号に基づいて電
気抵抗値を演算する。一般に電気ヒ−タ１の電気抵抗値
と温度とは相関関係を有しているため、抵抗・温度変換
部５において、電気ヒ−タ１の電気抵抗値に基づいた電
気ヒ−タ１の温度を算出することができる。
【０００８】上記電気ヒ−タ１の目標温度が設定される
一方、調節計４には、抵抗・温度変換部５から前記電気
ヒ−タ１の電気抵抗値対応の温度デ−タがリアルタイム
に入力される。従って、調節計４では、目標温度とリア
ルタイムの温度とが比較され、調節計４は、その偏差に
応じて電源２から電気ヒ−タ１に通電される電流を調節
し、両温度の偏差がゼロに収束されるように温度制御す
る。
一方、調節計４には、抵抗・温度変換部５から前記電気
ヒ−タ１の電気抵抗値対応の温度デ−タがリアルタイム
に入力される。従って、調節計４では、目標温度とリア
ルタイムの温度とが比較され、調節計４は、その偏差に
応じて電源２から電気ヒ−タ１に通電される電流を調節
し、両温度の偏差がゼロに収束されるように温度制御す
る。
【０００９】このように、電気ヒ−タ１の電気抵抗値を
リアルタイムに演算することにより別個に温度センサ−
を用いなくても温度制御が可能になる。そして、電気ヒ
−タ１自体が温度センサ−を兼ねることができるために
温度制御精度が上がるとともに、従来のように高温域で
の温度センサ−の材料と電気ヒ−タの材料との反応が無
くなる。
リアルタイムに演算することにより別個に温度センサ−
を用いなくても温度制御が可能になる。そして、電気ヒ
−タ１自体が温度センサ−を兼ねることができるために
温度制御精度が上がるとともに、従来のように高温域で
の温度センサ−の材料と電気ヒ−タの材料との反応が無
くなる。
【００１０】尚、上記の実施例では電気ヒ−タ１を白金
ヒ−タとしたが、ニクロム、クロ−ムアルミ、モリブデ
ン、タングステン、タンタル等の金属ヒ−タ、あるいは
一般に知られている非金属ヒ−タを用いても良い。
ヒ−タとしたが、ニクロム、クロ−ムアルミ、モリブデ
ン、タングステン、タンタル等の金属ヒ−タ、あるいは
一般に知られている非金属ヒ−タを用いても良い。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電気ヒ−
タの電源から同電気ヒ−タに通電されている電流と前記
電源から同電気ヒ−タに印加されている電圧とを検出
し、その検出電流と検出電圧とから同電気ヒ−タの電気
抵抗値を演算したうえ、その電気抵抗値対応の温度を、
予め設定された目標温度に一致させるように前記電源か
ら電気ヒ−タに通電される電流を制御することができる
ため、別個に温度センサ−を装備しなくても電気ヒ−タ
自体を温度センサ−としても機能させることができるこ
とから、温度センサ−の設備費を低減することができる
とともに、温度制御精度を向上させることができる。ま
た、従来のように温度センサ−の材料と電気ヒ−タの材
料との反応のために高温域の温度制御に限界があるとい
う問題を解決することができる。
タの電源から同電気ヒ−タに通電されている電流と前記
電源から同電気ヒ−タに印加されている電圧とを検出
し、その検出電流と検出電圧とから同電気ヒ−タの電気
抵抗値を演算したうえ、その電気抵抗値対応の温度を、
予め設定された目標温度に一致させるように前記電源か
ら電気ヒ−タに通電される電流を制御することができる
ため、別個に温度センサ−を装備しなくても電気ヒ−タ
自体を温度センサ−としても機能させることができるこ
とから、温度センサ−の設備費を低減することができる
とともに、温度制御精度を向上させることができる。ま
た、従来のように温度センサ−の材料と電気ヒ−タの材
料との反応のために高温域の温度制御に限界があるとい
う問題を解決することができる。
【図１】本発明の一実施例の全体的な構成を示したブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】従来の温度制御システムを示したブロック図で
ある。
ある。
１ 電気ヒ−タ ２ 電源 ３ 信号変換回路 ４ 調節計 ５ 抵抗・温度変換部
Claims (1)
- 【請求項１】 電気ヒ−タの電源から同電気ヒ−タに通
電されている電流と前記電源から同電気ヒ−タに印加さ
れている電圧とを検出し、その検出電流と検出電圧とか
ら同電気ヒ−タの電気抵抗値を演算したうえ、その電気
抵抗値対応の温度を、予め設定された目標温度に一致さ
せるように前記電源から電気ヒ−タに通電される電流を
制御することを特徴とする電気ヒ−タの温度制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30287793A JPH07153550A (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | 電気ヒ−タの温度制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30287793A JPH07153550A (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | 電気ヒ−タの温度制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07153550A true JPH07153550A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17914182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30287793A Pending JPH07153550A (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | 電気ヒ−タの温度制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07153550A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1302758A2 (en) * | 2001-10-10 | 2003-04-16 | Noritake Co., Limited | Temperature measuring method and apparatus |
| DE102004017750A1 (de) * | 2004-04-06 | 2005-10-27 | Flechsig, Gerd-Uwe, Dr. rer. nat. | Analyse-Array mit heizbaren Elektroden und Verfahren für die chemische und biochemische Analytik |
| JP2009530719A (ja) * | 2006-03-13 | 2009-08-27 | ヴァルコ インスツルメンツ カンパニー， インク． | 適応型温度調節装置 |
| JP2012150376A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ接続部補強部材の加熱装置および加熱方法 |
| KR20140033444A (ko) * | 2011-05-20 | 2014-03-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 프로세스 챔버 내의 다중구역 히터의 온도를 제어하기 위한 방법들 및 장치 |
| US10633742B2 (en) | 2018-05-07 | 2020-04-28 | Lam Research Foundation | Use of voltage and current measurements to control dual zone ceramic pedestals |
| US20200256899A1 (en) * | 2016-06-15 | 2020-08-13 | Watlow Electric Manufacturing Company | Power converter for a thermal system |
| US10872747B2 (en) | 2018-08-08 | 2020-12-22 | Lam Research Corporation | Controlling showerhead heating via resistive thermal measurements |
| US10908195B2 (en) | 2016-06-15 | 2021-02-02 | Watlow Electric Manufacturing Company | System and method for controlling power to a heater |
| US11183400B2 (en) | 2018-08-08 | 2021-11-23 | Lam Research Corporation | Progressive heating of components of substrate processing systems using TCR element-based heaters |
| US11236422B2 (en) | 2017-11-17 | 2022-02-01 | Lam Research Corporation | Multi zone substrate support for ALD film property correction and tunability |
| WO2023080112A1 (ja) * | 2021-11-02 | 2023-05-11 | リンテック株式会社 | シート状ヒータ |
| US11908715B2 (en) | 2018-07-05 | 2024-02-20 | Lam Research Corporation | Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system |
-
1993
- 1993-12-02 JP JP30287793A patent/JPH07153550A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1302758A2 (en) * | 2001-10-10 | 2003-04-16 | Noritake Co., Limited | Temperature measuring method and apparatus |
| EP1302758A3 (en) * | 2001-10-10 | 2005-03-16 | Noritake Co., Limited | Temperature measuring method and apparatus |
| DE102004017750A1 (de) * | 2004-04-06 | 2005-10-27 | Flechsig, Gerd-Uwe, Dr. rer. nat. | Analyse-Array mit heizbaren Elektroden und Verfahren für die chemische und biochemische Analytik |
| JP2009530719A (ja) * | 2006-03-13 | 2009-08-27 | ヴァルコ インスツルメンツ カンパニー， インク． | 適応型温度調節装置 |
| JP2012150376A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ接続部補強部材の加熱装置および加熱方法 |
| KR20140033444A (ko) * | 2011-05-20 | 2014-03-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 프로세스 챔버 내의 다중구역 히터의 온도를 제어하기 위한 방법들 및 장치 |
| JP2014522565A (ja) * | 2011-05-20 | 2014-09-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | プロセスチャンバ内の複数区域ヒータの温度を制御するための方法および装置 |
| US20200256899A1 (en) * | 2016-06-15 | 2020-08-13 | Watlow Electric Manufacturing Company | Power converter for a thermal system |
| US10908195B2 (en) | 2016-06-15 | 2021-02-02 | Watlow Electric Manufacturing Company | System and method for controlling power to a heater |
| US11236422B2 (en) | 2017-11-17 | 2022-02-01 | Lam Research Corporation | Multi zone substrate support for ALD film property correction and tunability |
| US10633742B2 (en) | 2018-05-07 | 2020-04-28 | Lam Research Foundation | Use of voltage and current measurements to control dual zone ceramic pedestals |
| US11028482B2 (en) | 2018-05-07 | 2021-06-08 | Lam Research Corporation | Use of voltage and current measurements to control dual zone ceramic pedestals |
| US11908715B2 (en) | 2018-07-05 | 2024-02-20 | Lam Research Corporation | Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system |
| US10872747B2 (en) | 2018-08-08 | 2020-12-22 | Lam Research Corporation | Controlling showerhead heating via resistive thermal measurements |
| US11183400B2 (en) | 2018-08-08 | 2021-11-23 | Lam Research Corporation | Progressive heating of components of substrate processing systems using TCR element-based heaters |
| US12062554B2 (en) | 2018-08-08 | 2024-08-13 | Lam Research Corporation | Progressive heating of components of substrate processing systems using TCR element-based heaters |
| WO2023080112A1 (ja) * | 2021-11-02 | 2023-05-11 | リンテック株式会社 | シート状ヒータ |
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