JPH07153031A - 耐摩耗エンドキャップ付き空気浮上式薄膜磁気ヘッド - Google Patents

耐摩耗エンドキャップ付き空気浮上式薄膜磁気ヘッド

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JPH07153031A
JPH07153031A JP6223706A JP22370694A JPH07153031A JP H07153031 A JPH07153031 A JP H07153031A JP 6223706 A JP6223706 A JP 6223706A JP 22370694 A JP22370694 A JP 22370694A JP H07153031 A JPH07153031 A JP H07153031A
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end cap
magnetic head
magnetic
slider
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JP6223706A
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Daniel A Nepela
エイ． ネペラ ダニエル
Paul H Schmidt
エイチ． シュミット ポール
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Original Assignee
Read Rite Corp
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    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気浮上式薄膜磁気ヘッドのスライダの耐摩
耗性を向上させる。 【構成】 スライダ１０のエンドキャップ３０を複数の
層３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄを含む積層構造とす
る。積層部は、複数の異なる材料の層を交互に平行面に
積層して形成され、各層は、スライダの熱膨張率との差
が±１．５×１０-6／Ｋの範囲にある熱膨張率を持つ材
料から選ばれた元素単体または化合物である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、空気浮上式薄膜磁気
ヘッドに関し、特にこの種の磁気ヘッド用の耐摩耗エン
ドキャップに関する。
【０００２】
【従来の技術】空気浮上式（エアベアリング式）薄膜磁
気記録ヘッドは、情報を記憶するディスクドライブに広
範に使用されている。空気浮上式薄膜磁気記録ヘッド
は、典型的には、空気浮上スライダと、スライダの一端
の上にデポジットされた磁気変換器とを備えて成ってい
る。変換器は、変換ギャップを定義する間隔をあけた第
一および第二のポールピース層を有する磁気ヨークと、
磁性層の間に導電性のコイル構造体とを有して形成され
ている。ディスクドライブは、一般には、その上にデー
タが記憶される一以上の磁気ディスクを備えている。デ
ィスクドライブの作動中は、磁気ディスクが回転するに
つれてトラックへおよびトラックからデータをやりとり
するように、ディスク面と関連する空気浮上式薄膜磁気
ヘッドがディスク面上の複数の同心円状の記録トラック
の内の選択されたトラックに位置定めされる。データト
ラック密度およびトラックに沿ったインチ当たりビット
は、スライダの空気浮上面にある薄膜磁気ヘッドがいか
に接近してディスク面上を浮上走行できるかに直接関連
する。浮上高さと摩耗のいろいろな兼ね合いを最適化す
るために、技術上各種の空気浮上スライダの形態が提案
されている。ある摩耗は、非常に低い浮上高さにおい
て、磁気ヘッド側と磁気ディスク面側に生じる。という
のは、ディスクは、顕微鏡で検査すると、スライダの後
端とディスク面の接触を生じ得る山谷のある表面形状を
しているからである。
【０００３】ヘッドスライダの終端は、スライダがディ
スクに近接して位置するとき、ディスクの記録面に垂直
である。製造プロセス中に変換器を物理的損傷から保護
するために、薄膜変換器構造体の上を覆ってエンドキャ
ップがデポジットされる。スライダ部材は、例えば、酸
化アルミニウム／チタンカーバイドまたはシリコンカー
バイドのいずれかでできている。スライダ部材上にデポ
ジットされた多層型変換器は、アルミナなどの絶縁材料
のベース層、パーマロイなどの磁性材料で形成されたＰ
１層、絶縁された銅巻線の層、磁性材料つまりパーマロ
イのＰ２層、そしてエンドキャップを含んで成ってい
る。エンドキャップは、典型的には、スパッタでデポジ
ットしたアルミナなどの材料を備えており、それはデポ
ジット後に変換器部材の層の中に無用な応力を生じない
ようになっている。適当な保護特性を持つように見える
であろう材料でも、変換器の層の中に装置の作動に悪影
響を及ぼす種々の応力を誘発するので、使用できないも
のがあることが分かってきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】薄膜ヘッドの製造プロ
セスの最終ステップの一つは、Ｐ１層とＰ２層の間に形
成される変換ギャップを露出させるための空気浮上面の
ラップ仕上げである。Ｐ１およびＰ２ポール端の底部
は、ヘッドスライダの空気浮上面に殆ど平行な平面内に
存在するので、その面のラップ仕上げは、薄膜変換器の
スロート高さをコントロールする方法として一般に是認
されてきている。ラップ仕上げプロセスの性質上、ラッ
プ面に露出している所で変換器およびエンドキャップを
アンダカットしがちである。したがって、耐摩耗性で変
換器構造体の中に重大な応力を誘発しない材料でエンド
キャップを作れば、好都合である。
【０００５】また、空気浮上式変換器の浮上特性のた
め、後端縁の高さが異なっていても、スライダが浮上す
る本質的に全ディスク速度で、空気浮上面がディスク面
に対してある角度をもって浮上する傾向にある。したが
って、ディスクファィルの始動および停止段階で、空気
浮上式変換器の後端縁は、前端縁よりもディスク面に相
当に接近している。その結果、エンドキャップは、変換
器の他の部分に比べて、相当に多く摩耗を受けやすい。
あまり摩耗すると、変換器自体の変換特性に悪影響を与
える可能性がある。摩耗は、内部のヘッドディスクアセ
ンブリ環境の必要な空気清浄特性に影響し、かつ破滅的
なヘッド破壊をもたらしかねない摩耗屑が発生する点で
も重大である。実質的に耐摩耗性のあるエンドキャップ
が提供されれば、今日の空気浮上式磁気記録変換器に関
連する重大な問題のいくつかを避けられるであろう。こ
の発明は、磁気変換器構造体の中に有害な応力を誘発す
ることなく、耐摩耗性を向上させる、磁気変換器用のエ
ンドキャップ構造を提供するものである。
【０００６】図５および６を参照して、磁気ヘッドアセ
ンブリとともに使用される空気浮上式スライダの典型的
な従来例を説明すると、スライダ部材１０と、スライダ
部材１０の後端面１２の上にデポジットされた薄膜型磁
気変換器１１と、厚いソリッドエンドキャップ１４を備
えて成り、このエンドキャップ１４は、例えばスパッタ
したアルミナでできており、製造プロセスのそれ以後の
ステップ中で変換器１１を保護するように、スライダ後
端面１２の上を覆って配置されている。スライダ部材１
０の他端側１７は、前部と定義される。スライダ１０の
前部には、テーパ１６が形成されている。スライダ１０
は、さらにサイドレール１８と、隣接溝１３と１５と、
中央凹み部１９を設けて作られている。
【０００７】ディスクドライブの始動モードの間および
それに続くデータプロセシングの間、スライダ１０の前
部１７は、一般的にエンドキャップ１４を含む後端より
もディスク面から遠く離されている。ディスクドライブ
のスイッチを切って、ディスク回転スピードが減少して
いくと、スライダの後端縁は、スライダの後端部より前
方の箇所よりも長い期間ディスク面と接触することにな
る。その結果、エンドキャップは、ディスクとより多く
の接触をしがちであり、そのため他の部分に比べて、よ
り多く摩耗することになる。
【０００８】空気浮上スライダの製造の間に、薄膜変換
器１１がデポジットされ、そして変換ギャップの適当な
スロート高さを提供するように、プロセスされる。この
プロセスを成し遂げるために、スライダの空気浮上面
を、データの読み書きのためにポール先端が所定の寸法
に形成されるまで、ラップ掛けするのが普通である。エ
ンドキャップ１４のアンダカットが生じるのは、このプ
ロセスである。典型的な従来技術のエンドキャップ材
料、例えばスパッタしたアルミナは、ヘッドスライダ材
料ほど硬くないので、ラッピングプロセスの間により速
く摩耗しがちである。
【０００９】したがって、この発明は、空気浮上式磁気
記録装置のための耐摩耗性エンドキャップを提供するこ
とを目的とする。
【００１０】さらに、この発明は、ヘッドの変換特性に
不都合な影響与えることなく、より耐摩耗性のある空気
浮上式磁気ヘッド用のエンドキャップを提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明による空気浮上
式薄膜磁気変換器は、少なくとも二つの隣接する薄膜層
を有し、各層は異なる材料であり、変換装置の空気浮上
面に垂直な平面内に積層エンドキャップを設けて成るも
のである。好ましい実施例においては、エンドキャップ
は、１２．７〜５０．８マイクロメートル（０．５〜
２．０ミル）の範囲の厚さを有し、積層の各層の厚さ
は、１〜１００ナノメートルの範囲にある。隣り合う層
は、必ずしも等しい厚さである必要はなく、各層の厚さ
は、それぞれの材料の応力バランスの特性および各材料
の層をデポジットする経済性に依存する。
【００１２】
【実施例】この発明の実施例では、図１に示すように、
エンドキャップ３０は、積層構造に形成されている。こ
の積層構造は、異なる材料を平行平面に交互にデポジッ
トした複数の層３２ａ〜３２ｄを成している。各層は、
スライダ１０に記録面と垂直に配置されている。エンド
キャップ層３２ａ〜３２ｄは、好ましくはスライダ１０
の後端面と同じ寸法に広がっている。耐摩耗性の向上
は、例えば、記録のとき磁気ディスク面と接触するシリ
コンカーバイド本体の上の積層構造の端縁部分の働きに
かかっている。積層構造３０は、例えばＴａＮおよびＴ
ａＣなどで各層の厚さが２０〜２００ナノメートルの範
囲の、ナイトライドとカーバイドの交互積層から成って
いてもよい。スライダ本体は、シリコンカーバイドまた
はその替わりにアルミニウムオキサイド／チタンカーバ
イドでできていてもよい。アルミニウムオキサイドおよ
びチタンカーバイドでできたスライダ本体に対しては、
ＺｒＣおよびＴｉＮなどの化合物の交互対で厚さが２０
〜２００ナノメートルの範囲のものを使うことができ
る。カーバイドとナイトライドは、互いに他に対して非
常に良好な接着性を有していることが知られている。し
たがって、中間介在の金属層は、一般には必要とされな
い。他の実施例においては、下記の表１から各特定のス
ライダ本体に対して具体的に選んだ金属をナイトライド
とカーバイドの間に、厚さ１〜１０ナノメートルで介在
させることもできる。
【００１３】
【表１】
【００１４】接着力のために介在金属を用いる場合は、
各特定のスライダ本体について、表１に記載の２つの化
合物の任意の対を使用することができ、その場合、表１
の適当な列から任意に選んだ化合物の間に１〜１０ナノ
メートルの厚さのどの元素を介在させてもよい。
【００１５】積層対の総数は、エンドキャップ３０の所
望の厚さを繰り返し対（または三つ組）の厚さで割った
値に等しい。目的は、内部応力（引っ張りまたは圧縮）
を１〜５×１０7パスカルの範囲（つまり、低応力）に
入れることである。どのような特定の材料、化合物また
は合金でも、その内部応力は、デポジットされた膜内に
存在する格子間欠陥または空隙などの欠陥の数および種
類に依存する。この発明のさらに別の目的は、δ1ｔ1≒
δ2ｔ2となるように交互の層のバランスを取ることであ
る。ここに、δ1とδ2は、反対符号のものである。すな
わち、引っ張りまたは圧縮応力または他に生じるいかな
るδｔ積のミスマッチも総合応力として残らないように
すること、つまり内部残留応力を１対当たり±１〜５×
１０7パスカルの範囲内とすることである。下付き添字
の１と２は、対のそれぞれ個々のメンバを指す。
【００１６】エンドキャップの総合厚さを成すまで順次
繰り返した層の対（または、三つ組）のそれぞれの部材
の内部に逆向きの等しい内部応力を生じさせるように、
基体のバイアス、基体の温度、デポジットの速さ、ガス
圧をうまく組み合わせて用いることができる。
【００１７】薄膜磁気変換器の上を覆ってまたは上に載
せて異なる材料をうまく積層しようという考えは、対に
ついて応力の打ち消しが起こるように既知の制御可能な
応力を持つ材料の選択を含むものである。反対の内部応
力特性をまたは低い内部応力、すなわち５×１０7パス
カル以下の内部応力、を持つ材料を選択することによ
り、保護エンドキャップ３０からの総合応力でもたらさ
れるかもしれない変換器に対する如何なる悪影響をも最
小にすることが可能である。加えて、積層構造のエッジ
部分を記録面に垂直に位置させることが可能であり、か
つこの複合積層部分はいずれの単独の積層材料の同部分
よりも強く硬いので、出来上がったエンドキャップ構造
は、従来構造のものより相当に耐摩耗性が高い。
【００１８】好ましい実施例では、エンドキャップの積
層に垂直な方向の総合厚さは、１２．７〜５０．８マイ
クロメートルの範囲内にある。図２に示す積層の各層の
厚さは、１〜５００ナノメートルの範囲内にある。積層
の隣接する各層は、同じ厚さである必要はなく、内部応
力が積層の一対当たり±１〜５×１０7パスカルの範囲
内になるように調節される。好ましいスライダ材料は、
アルミナの体積割合がほぼ４０〜７５％で熱膨張率α
（線膨張率）が７．９×１０-6／Ｋのアルミニウムオキ
サイド／チタンカーバイドの複合材、および熱膨張率α
が４．４×１０-6／Ｋのシリコンカーバイドである。
【００１９】エンドキャップ材料を生産するときは、エ
ンドキャップ材料はスライダ本体の熱膨張率に比較して
大体±１．５×１０-6／Ｋの熱膨張率を持つことが望ま
しい。前掲の表１は、シリコンカーバイドおよびアルミ
ニウムオキサイド／チタンカーバイドの二つの好ましい
スライダ本体について以上の選定基準に当てはまる材料
の代表的なものを提供する。積層の各層のαをスライダ
本体のαから±１．５×１０-6／Ｋの範囲とする目的
は、薄膜磁気記録ヘッドをホトレジスト硬化のための周
囲温度より約２００℃高い温度で処理する必要性を反映
して、熱によるミスマッチ応力をほぼ±６×１０7パス
カルに制限するためである。このようにして、積層エン
ドキャップとスライダ本体の間の応力微分が最小限に抑
えられる。
【００２０】表１は、元素および化合物を含んで、スラ
イダ本体材料にマッチするα（線膨張率）を持つ異なる
材料を並べ上げたものである。表１を参照して、エンド
キャップのαに対して擬似的にマッチする材料なら、い
ずれの交互または繰り返しの順序でどれを使ってもよ
く、ＳｉＣまたはアルミナ／チタンカーバイドの各々の
下の列元素または化合物の任意の対または三つ組の如何
なるものでも、それぞれのスライダ本体にマッチさせる
ことができる。各列内の本質的に如何なる対または三つ
組でも同等の結果が達成されるので、繰り返しの対また
は三つ組は任意である。
【００２１】替わりに、化合物のいずれの任意の対も、
化合物の厚さを元素に対してほぼ５〜１０：１の範囲に
なるように選択された要素の間に各列内の層を挟んで、
達成してもよい。例えば、列から選んだそれぞれの化合
物部材を、適当なスライダ本体の列の中にある元素単体
で約１〜２０ナノメートル離して形成する。図３を参
照。
【００２２】熱によるミスマッチ応力が約５×１０7パ
スカルより大きくならないように、エンドキャップ化合
物とスライダ本体の熱膨張率の合理的なマッチングが必
要である。このように、シリコンカーバイドでできたス
ライダ本体に対しては、エンドキャップ材料を膨張率ミ
スマッチ（差異）が１．５×１０-6／Ｋより小さいもの
とする必要がある。すなわち、エンドキャップ材料を膨
張率αが、２．９×１０-6／Ｋ≦α≦５．９×１０-6／
Ｋであるものとし、エンドキャップ全体に亘って表１に
示したいずれの単一の部材で構成してもよいし、いずれ
の二つまたは三つの繰り返し（対または三つ組）で構成
してもよい。磁気変換器を環境および製造プロセスにさ
らす影響から保護するため、およびエンドキャップおよ
び変換器を含む最終仕上げスライダ本体を形成するのに
必要な機械的切断作業において変換器を保護するため
に、スライダ本体が適当なエンドキャップと関連してい
る場合は、ＳｉＣスライダ本体が好ましい。この発明の
一実施例においては、エンドキャップ構造部は、シリコ
ンカーバイドのモノリシック層でできたスライダ本体を
有し、シリコンカーバイドスライダ本体とともに使用さ
れてもよいし、他の互換性のあるスライダ材料とともに
使用されてもよい。
【００２３】
【発明の効果】この方法により、摩耗率（速度）は、積
層構造に関連して硬度が増加（これは、主として降伏強
さの増加によるが）したお陰で最小限に抑えられる。硬
度は、材料の降伏強さのほぼ３倍に等しい。結果とし
て、スライダ本体の端部の摩耗率が減少（通常、摩擦係
数の減少に関連するが）する。このように、ここに記載
の新規な手法は、より信頼性が高く耐衝撃性のあるスラ
イダ本体／ディスクインタフェースを作り出す。
【００２４】この発明のお陰で、コンタクトスタート・
ストップ、疑似コンタクトまたはコンタクトレコーディ
ングを採用したディスクドライブにおいて、ヘッド・デ
ィスクインタフェースの耐久性が大幅に改良される。上
記の材料を使用した積層構造の耐摩耗性は、従来の単一
の材料を使用した一体構造よりも大である。
【００２５】この発明は、磁気抵抗効果型（ＭＲ）セン
サまたは誘導型ヘッド、または両者の組合せを使用した
磁気テープヘッドにも応用できる。図４に示すように、
磁気ヘッドアセンブリは、基体５０を有し、その上に積
層多層構造部５２が形成されている。このエンドキャッ
プ構造部５２は、基体５０および層６０ａ〜６０ｃおよ
び読み書き変換器を分離する絶縁層５８ａ〜５８ｄを含
んでいる。第二の積層エンドキャップ構造５６が読み書
き変換器５４の上に形成され、それらの間に絶縁層６２
が配置されている。積層構造５６は、間に絶縁層６６ａ
〜６６ｂを挟み込んだエンドキャップ層６４ａ〜６４ｃ
を含んでいる。両構造部５２および５６は、表１から選
択したエンドキャップ材料で形成される。テープヘッド
アセンブリは、耐摩耗性を最大にするために包み込み構
造としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明を実施した層構造のエンドキャップ
を持つ空気浮上磁気ヘッドスライダを示す一部分解斜視
図である。
【図２】 この発明による空気浮上スライダに使用した
積層エンドキヤップを示す拡大断面図である。
【図３】 この発明による空気浮上スライダに使用した
積層エンドキヤップを示す拡大断面図である。
【図４】 この発明による積層エンドキャップを使用し
た磁気テープヘッドを示す一部切り欠き断面図である。
【図５】 従来の空気浮上磁気ヘッドスライダの一部分
解斜視図である。
【図６】 典型的な３レール形態の空気浮上面を示す図
１の磁気ヘッドスライダの一部分解平面図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ…スライダ、１１…薄膜変換器、１２…ス
ライダ後端面、１３…隣接溝、１４…エンドキャップ、
１５…隣接溝、１６…テーパ、１７…前部、１８…サイ
ドレール、１９…中央凹み部、３０…エンドキャップ積
層構造体、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ…エンドキ
ャップ層、５０…基板、５２…積層多層構造部、５４…
読み書き変換器、５６…エンドキャップ構造部、５８
ａ、５８ｂ、５８ｃ、５８ｄ…絶縁層、６０ａ、６０
ｂ、６０ｃ…エンドキャップ層、６２…絶縁層、６４
ａ、６４ｂ、６４ｃ…エンドキャップ層、６６ａ、６６
ｂ…絶縁層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ポール エイチ． シュミット アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94539 フレモント メレンデスアベニュ ー 262

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ディスクドライブに使用するための空気
    浮上式磁気ヘッドであって、 空気浮上面および該空気浮上面に垂直に設けられた後端
    面を有する基体と、 該後端面にデポジットされた磁気記録変換器と、 耐摩耗性を持たせそして該変換器を損傷および摩耗から
    保護するためにるために該後端面の上を覆ってデポジッ
    トされたエンドキャップと、を備えて成り、 該エンドキャップの構造は複数の積層で形成されている
    ことを特徴とするもの。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の磁気ヘッドであって、 該エンドキャップは、実質的に平行な面に配置された異
    なる材料の複数の交互の積層で形成されていることを特
    徴とするもの。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載の磁気ヘッドであって、 該エンドキャップの該積層の平行面に垂直な方向の寸法
    が、１２．７〜５０．８マイクロメートルの範囲にある
    ことを特徴とするもの。
  4. 【請求項４】 請求項２に記載の磁気ヘッドであって、 該積層の各層が、１〜５００ナノメートルの範囲の厚さ
    を有することを特徴とするもの。
  5. 【請求項５】 請求項２に記載の磁気ヘッドであって、 該異なる材料の一つがカーバイドであることを特徴とす
    るもの。
  6. 【請求項６】 請求項５に記載の磁気ヘッドであって、 隣接するナイトライドの層を含み、 該カーバイドとナイトライドが総厚１２．７〜５０．８
    マイクロメートルとなるように交互に繰り返されている
    ことを特徴とするもの。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載の磁気ヘッドであって、 厚さ５〜１０ナノメートルのシリコン層がカーバイドお
    よびナイトライド材料の各対の間に配置され、総厚１
    ２．７〜５０．８マイクロメートルとなっていることを
    特徴とするもの。
  8. 【請求項８】 請求項１に記載の磁気ヘッドであって、 該基体がアルミナ／チタンカーバイドでできていること
    を特徴とするもの。
  9. 【請求項９】 請求項１に記載の磁気ヘッドであって、 該積層が実質的に合致した熱膨張率を持つ材料で形成さ
    れていることを特徴とするもの。
  10. 【請求項１０】 請求項１に記載の磁気ヘッドであっ
    て、 該積層が元素単体と化合物とでできていることを特徴と
    するもの。
  11. 【請求項１１】 請求項１に記載の磁気ヘッドであっ
    て、 該積層が該後端面と同じ寸法に広がっていることを特徴
    とするもの。
  12. 【請求項１２】 薄膜磁気記録ヘッドの空気浮上スライ
    ダ用の耐摩耗性エンドキャップであって、 空気浮上面を有する基体と該空気浮上面に平行な平面内
    に第一の端縁を有して配置された与えられた材料の第一
    の層と該平面内に第二の端縁を有する異なる材料の第二
    の隣接する層と、を備えて成り、 該隣接積層の該端縁領域は、該材料のいずれか一方の同
    等な端縁の耐摩耗性に比べて比較的大きな耐摩耗性を有
    することを特徴とするもの。
  13. 【請求項１３】 ディスクドライブに使用するための空
    気浮上式磁気ヘッドであって、 空気浮上面および該空気浮上面に垂直に設けられた後端
    面を有する基体と、 該後端面にデポジットされた磁気記録変換器と、 耐摩耗性を持たせそして該変換器を損傷および摩耗から
    保護するためにるために、該後端面の上を覆ってデポジ
    ットされ、シリコンカーバイドのモノリシック層として
    形成されたエンドキャップとを備えて成るもの。
  14. 【請求項１４】 磁気テープヘッドアセンブリであっ
    て、 非磁性体の基体と、 耐摩耗性を持たせるために該基体の上にデポジットされ
    た第一のエンドキャップと、 該第一のエンドキャップの上に形成された読み書き変換
    器と、 該読み書き変換器の上にデポジットされた第二のエンド
    キャップと、を備えて成り、 該エンドキャップは、耐摩耗性材料の層を含んで積層構
    造として形成されていることを特徴とするもの。
  15. 【請求項１５】 請求項２に記載の磁気ヘッドであっ
    て、 該複数の積層が、該基体の熱膨張率との差が±１．５×
    １０-6／Ｋの範囲にある熱膨張率を持つ材料で形成され
    ていることを特徴とするもの。
JP6223706A 1993-09-20 1994-09-19 耐摩耗エンドキャップ付き空気浮上式薄膜磁気ヘッド Pending JPH07153031A (ja)

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