JPH0715285U - 円盤またはドーナツ盤の把握治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】円盤またはドーナツ盤（１）の外周側面の少な
くとも２点を挟持する把握治具において、１）可動挟持
端（２）の端面(22)及び固定挟持端（３）の端面(33)が
被挟持盤（１）の外周端垂直面(11)と平行でかつ夫々の
挟持端面が被挟持盤に外接し、各平面の一端で鈍角で交
差する２平面から成り、２）水平に位置する被挟持盤
（１）の中心から特定距離の円周内の上部空間を避けて
先端に可動挟持端（３）を持つ可動アーム（４）を配置
して成り、３）可動アームを真空アクチュエーター
（７）で駆動し、挟持力調節スライダー（５）でピスト
ンロッド(10)の付勢手段（６）の付勢力を制御すること
から成る円盤またはドーナツ盤の把握治具。 【効果】本発明によれば、円盤またはドーナツ盤の表裏
面及び外周端の角を傷付けることなく挟持でき、また発
塵、異物の発生を大きく軽減することができるので、デ
ィスク完成品の歩留が向上し、さらにスタックポール型
ディスクストック方式に適合する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は円盤またはドーナツ盤、特に磁気ディスク（以下円盤、ドーナツ盤ま たは被挟持盤をディスクと呼ぶ。）、光ディスク、光磁気ディスク、あるいはそ の原型である夫々の基盤ディスクの把握治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

光ディスク等の製造工程において、その基盤ディスクや成膜済ディスクの取扱 いが必要となるが、この時、外部からディスクへの異物の付着が完成ディスクの 性能を損ない、歩留りに悪影響を及ぼす。現在まで作業員が手袋をしてディスク を取扱うことや、多様な機構、形状の把握治具、例えばマニュピレーターの先端 に取付ける円盤の上下面を挟持する把握治具、円盤上面を複数箇所真空吸着によ り保持する把握治具、ドーナツ盤中心孔垂直面を複数箇所保持する把握治具等が 使用されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、手袋による手作業や、従来の把握治具を使用したのでは人体や 手袋、把握治具の可動部からの発塵によりディスク上へ異物が付着し、完成ディ スクの性能を損ない、歩留りに悪影響を及ぼす。また、従来の把握治具のディス ク挟持部分の形状が、例えば図３に示したような形状であるとディスク面への接 触により傷が発生する等の問題が生ずる。 本考案はこのような不利、問題点を解決したディスクの把握治具を提供しよう とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案者等はかかる課題を解決するために、把握治具の円盤挟持部分の形状、 可動部からの発塵除去方法、挟持力の調節方法について検討し、実地試験を繰り 返して本願考案を完成したものでその要旨は、 円盤またはドーナツ盤１の外周側面の少なくとも２点を挟持する把握治具にお いて、１）被挟持盤１の可動挟持端２の端面22及び固定挟持端３の端面33が被挟 持盤１の外周端垂直面11と平行でかつ夫々の挟持端面が各平面の一端で鈍角で交 差する２平面から成り、２）水平に位置する被挟持盤１の中心から特定距離の円 周内の上部空間を避けて先端に可動挟持端３を持つ可動アーム４を配置して成り 、３）真空アクチュエーター７のピストンロッド10に繋がる可動アーム４を排気 管12より真空排気してピストン９により駆動し、挟持力調節スライダー５を前後 に移動してピストンロッド10の付勢手段６の付勢力を制御することから成る円盤 またはドーナツ盤の把握治具というものである。

【０００５】

【作用】

上記構成により、本考案の把握装置は、被挟持盤の外周端垂直面をこれと平行 な前後進する２平面と２点で挟持するのでので、ディスクの表裏面及び角に傷を 着ける可能性は皆無となり、例えディスクの外周端垂直面に傷が着いたとしてデ ィスクの用途上全く無関係の位置であり、ディスクの品質を損なうことは極めて 少ない。また、ドーナツ盤中心孔を避けた湾曲型可動アーム４を配置（図２参照 ）することで、ドーナツ盤ディスクの中心孔に棒を通して重ね合わせた、いわゆ るスタックポールタイプのディスクストック形式からディスクを取り出すことを 可能にした。さらに、可動アームを真空アクチュエーターで真空排気駆動し、デ ィスクを挟持、解放することで、真空アクチュエーター可動部の摺動摩擦、潤滑 油の飛散等で発生する発塵、異物を外部に排気、除去することが出来るので、デ ィスクへの異物付着、傷付きを大きく軽減することが出来、完成品の歩留り向上 に繋がる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の実施態様を図面により詳細に説明するが、本考案はこれらに限 定されるものではない。 図１は本考案の円盤またはドーナツ盤把握治具の概略側面図、図２は同じく概 略上面図である。ディスク１は可動アーム４の先端に取付けた可動挟持端２と真 空アクチュエーター７の先端に取付けた固定挟持端３によって挟持されるが、可 動挟持端面22及び固定挟持端面33がディスクの外周端垂直面11と平行（図１参照 ）でかつ夫々の挟持端面がディスクの外周端垂直面に外接する２平面から成る（ 図２参照）ので、ディスクの表裏面及び角に傷を着ける可能性は皆無となる。例 えディスクの外周端垂直面に傷が着いたとしてディスクの用途上全く無関係の位 置であり、ダメージは少ない。

【０００７】 また、水平に位置するディスク１の中心から特定距離の円周内の上部空間を避 けて可動アーム４を配置（図２参照）することで、ドーナツ盤ディスクの中心孔 に棒を通して重ね合わせた、いわゆるスタックポールタイプのディスクストック 形式からディスクを取り出すことを可能にした。即ち、本考案の把握治具を多関 節ロボットの先端に取付け、可動アームの湾曲部をスタックポールの位置に合わ せて、最上盤表面まで降下させ、ディスクを挟持した後可動アームを上昇させ、 スタックポール先端を外れた後は自由空間に搬送可能となる。勿論、この逆に任 意の場所からディスクをスタックポールにストックすることも出来る。

【０００８】 上記可動アーム４は真空アクチュエーター７のピストンロッド10に繋がり、排 気管12より真空排気してピストン９により駆動され、固定挟持端３との間にディ スク１を把握、解放するが、この真空アクチュエーター駆動により可動部の摺動 摩擦、潤滑油の飛散等で発生する発塵、異物を外部に排気、除去することが出来 るので、ディスクへの異物付着、傷付きを大きく軽減することが出来、完成品の 歩留り向上を確認した。 またディスク１を挟持した時の挟持力は、挟持力調節スライダー５を前後して ピストンロッド１０の付勢手段であるコイルスプリング６の付勢力を制御して挟 持力を調節する。また、真空シリンダー８内の真空度を真空調節弁（図示せず） の開度を制御して挟持力を調節することも出来る。

【０００９】

【考案の効果】

本考案によれば、円盤またはドーナツ盤の表裏面及び外周端の角を傷付けるこ となく挟持でき、また発塵、異物の発生を大きく軽減することができるので、デ ィスク完成品の歩留が向上し、さらにスタックポール型ディスクストック方式に 適合するので、その利用価値は極めて高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の円盤またはドーナツ盤の把握治具の実
施態様の一例を示す概略側面図である。

【図２】本考案の円盤またはドーナツ盤の把握治具の実
施態様の一例を示す概略上面図図である。

【図３】従来の把握治具の挟持端の一例を示す概略側面
図である。

【符号の説明】

１ ディスク、円盤、ドーナツ盤 11 ディ
スク外周端垂直面 ２ 可動挟持端 22 可動
挟持端面 ３ 固定挟持端 33 固定
挟持端面 ４ 可動アーム ５ 挟持
力調節スライダー ６ コイルスプリング ７ 真空
アクチュエーター ８ 真空シリンダー ９ ピス
トン 10 ピストンロッド 12 排気
管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 福島 慎泰 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】円盤またはドーナツ盤（１）の外周部の少
   なくとも２点を挟持する把握治具において、被挟持盤
   （１）と接する可動挟持端（２）の端面(22)及び固定挟
   持端（３）の端面(33)が被挟持盤（１）の外周端垂直面
   (11)と平行でかつ夫々の挟持端面が各平面の一端で鈍角
   で交差する２平面から成ることを特徴とする円盤または
   ドーナツ盤の把握治具。
2. 【請求項２】水平に位置する被挟持盤（１）の中心から
   特定距離の円周内の上部空間を避けて被挟持盤の上部に
   可動アーム（４）を配置してなる請求項１に記載の円盤
   またはドーナツ盤の把握治具。
3. 【請求項３】真空アクチュエーター（７）のピストンロ
   ッド（10）に繋がる可動アーム（４）を排気管（12）よ
   り真空排気してピストン（９）により駆動し、挟持力調
   節スライダー（５）を前後に移動してピストンロッド(1
   0)の付勢手段（６）の付勢力を制御することから成る請
   求項１または２に記載の円盤またはドーナツ盤の把握治
   具。