JPH07128237A

JPH07128237A - 鋼成分迅速分析方法及び装置

Info

Publication number: JPH07128237A
Application number: JP5274590A
Authority: JP
Inventors: Takanori Akiyoshi; 孝則秋吉; Tadashi Mochizuki; 正望月; Akiko Sakashita; 明子坂下; Yoichi Nimura; 洋一丹村; Hiroaki Miyahara; 弘明宮原
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1993-11-02
Filing date: 1993-11-02
Publication date: 1995-05-19
Anticipated expiration: 2015-05-08
Also published as: JP3039231B2

Abstract

(57)【要約】【目的】精錬時に溶鋼の成分組成を迅速に測定する。【構成】溶鋼を汲み取り凝固させた直後の赤熱試料
を、精製Ａｒ雰囲気の試料室内にあって試料と同じ曲面
を持つ試料保持部に収納し、その酸化を防ぎながら、試
料表面にパルスレーザー光を適正条件で照射して表層２
５μｍ以上を除き、除去後に発生する微粒子をＩＣＰで
励起して分析する。Ａｒ中Ｃ成分は１μg/Ｌ以下、レー
ザー光照射の適正条件は周波数１００Ｈz 以上、照射点
密度１０⁸〜１０¹¹Ｗ／cm²で、照射点を移動させる。【効果】試料の冷却、切断、研磨等の調製が不要で分
析に要する時間が大幅に短縮されるとともに、Ｃ成分も
含め高精度で分析可能。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、鉄鋼の精錬時に精錬
状況を把握するため迅速に溶鋼の化学組成を測定する技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】鋼の成分組成は鋼の性質に大きく影響す
るので、その組成分析は品質管理上不可欠である。特
に、製鋼の酸素吹錬においては吹錬時間が１５分程度と
短く、その末期において分析を行いデータをフィードバ
ックして鋼組成や溶鋼温度が予定範囲に収まるよう操業
管理するため、分析時間には秒単位での迅速さが要求さ
れている。

【０００３】従来の鋼片の分析法としては、ＪＩＳ−Ｇ
−１２５３等にも規定されているスパークやアークの放
電励起による発光分析法が主流である。この方法では、
塊状試料を適切に調製し、適切に分析することによっ
て、鋼組成の中でも特に重要な炭素の分析が比較的迅速
に行えることに特徴がある。

【０００４】この適切な調整、適切な条件として、次の
点が挙げられる。放電点の選択性を避けるため、試料の
分析部を平滑にし且つ表面粗度を一定にすること、試料
温度の測定値への影響が大きく、試料温度を一定領域内
に制御すること、分析部にピンホール等の欠陥があると
異常放電を生じて正しい結果が得られないので、繰り返
し測定により異常放電を識別しその結果を排除すること
である。

【０００５】このような、条件を維持するために分析の
迅速さが制約されていた。即ち、溶鋼試料を採取後から
分析装置にセットするまでの間に、採取試料の搬送、冷
却、切断、切断面の粗研磨、仕上げ研磨による表面粗度
調整等の調製が必要であり、更に、複数箇所を分析しな
ければならない。

【０００６】これらの制約に対し、その対策が提案され
ている。例えば、特開平３−２６１８４３号公報には、
粗研磨と仕上げ研磨とを砥石回転速度と接触圧を制御す
ることにより使い分け、同一装置で連続して行うことに
より試料の装置への取付け取り外し時間を節約する方法
が開示されている。又、特開昭６２−２２０８３５号公
報には、温度の影響を除くために塊状試料の温度を測定
し分析値を補正することによって、室温まで冷却するの
を待たずに、高温試料を分析する技術が示されている。
更に、特開昭６２−２４５９４６号公報には、ピンホー
ル等の欠陥対策として、画像処理装置を設けて不良位置
を避けて放電位置を設定する技術が開示されている。

【０００７】一方、塊状試料を直接に発光させず、これ
に不活性ガス雰囲気の試料室でレーザーを照射しその一
部を気化して微粒子化し、この微粒子をＩＣＰ（高周波
誘導結合プラズマ）分析装置等に導いて発光させ或いは
イオン化して分析する方法（レーザー／ＩＣＰ分析と称
す）がある。この方法では、炭素の分析精度に疑問があ
り、鋼成分分析では実用されていないが、操作時間の短
縮化は試みられている。例えば、特開平３−１６７４４
６号公報には、試料室の下半部を摺動可能とすることに
よって、試料室への塊状試料の脱着及び位置の調製を容
易にする試料交換装置が開示されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
３−２６１８４３号公報、特開昭６２−２４５９４６号
公報及び特開平３−１６７４４６号公報による技術は何
れも試料の切断調製が不可避との前提に立っての改良で
あり、若干の時間短縮を可能とするが大幅な迅速性向上
には至っていない。又、特開昭６２−２２０８３５号公
報による技術は試料温度の影響を大きく受けるという発
光分析が持つ欠点を本質的に解消するものではないの
で、開示された方法での補正は制約された温度範囲内で
有効なものである。開示されている検討範囲は２００℃
までで、赤熱状態の１０００℃程度の高温試料について
の効果、信頼性は疑問である。

【０００９】このように、従来の迅速分析技術では、発
光分析においては平滑で表面粗度が一定で欠陥の無い分
析面を得るための試料調製を必要とし、且つ試料温度の
影響が大きく高温試料に対する分析値の保証が得られな
いので、分析の迅速化に限界があり、又、従来のレーザ
ー／ＩＣＰ分析でも試料調製を前提とするので同じよう
に迅速化に限界があるとともに、炭素成分の分析値に対
する疑問が残されたままであった。

【００１０】この発明は、この問題を解決するためにな
されたもので、塊状試料の試料調製及び冷却を不要とし
て従来の迅速化の限界を打ち破るとともに炭素成分分析
の対策も含めて、より迅速な鋼成分の分析技術を提供す
ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の手段は、溶鋼の一部を採取し凝固させた塊状試料から
その溶鋼の成分組成を測定する迅速分析において、塊状
試料を赤熱状態のままで分析装置の不活性ガス雰囲気の
試料室内の試料保持部に投入し、前記塊状試料の表面に
パルスレーザー光を照射して発生する微粒子をＩＣＰ分
析器に不活性ガスで搬送し、表面下２５μｍ以上の深さ
から発生した微粒子のみを分析対象として、成分を分析
する鋼成分迅速分析方法であり、この方法を実行するた
めの装置即ち、塊状試料を収納する試料室と、塊状試料
にパルスレーザー光を照射し微粒子を発生させるための
レーザー発振器と、発生した微粒子を搬送してその成分
を分析するためのＩＣＰ分析器、及び搬送ガスを前記試
料室に送り更に試料室と前記ＩＣＰ分析器を連絡する搬
送ガス配管系とからなるレーザー／ＩＣＰ分析装置にお
いて、前記試料室が分析セル部とこれに露出孔で連通す
る試料保持部とからなり、この試料保持部が塊状試料と
同一曲面を有する鋼成分迅速分析装置である。

【００１２】更に、上記の鋼成分迅速分析方法及び装置
の各々の好ましい態様である方法と装置であって、搬送
ガス配管系の管材料が金属又は硝子であって搬送ガスを
試料室に送る配管系に搬送ガス中の炭素成分を除去する
ガス精製装置を備え、且つ、試料室が搬送ガスの流出入
口を除き密閉され、保持される試料の酸化を防止する機
構を試料保持部が有している前記の鋼成分迅速分析装
置、及び、不活性ガスとしてＡｒガスを用いこれを高度
に精製して含まれる炭素量を１μg/Ｌ以下として使用す
るとともに、塊状試料を不活性ガス雰囲気の試料保持部
に投入した後その酸化を防止し、且つ、１００Ｈz 以上
の周波数で発振するパルスレーザーを用いて、レーザー
光の照射点密度を１０⁸W/cm² 以上１０¹¹W/cm² 以下と
し照射点位置を移動させながらレーザー光の照射を行う
前記の鋼成分迅速分析方法である。

【００１３】

【作用】赤熱状態の塊状試料を常温で扱うと試料温度は
刻々と変化する。この温度が変化している塊状試料にパ
ルスレーザー光を照射して微粒子を発生させた場合、分
析値がどのような影響を受けるかが極めて重要な問題で
ある。

【００１４】パルスレーザーの照射では、高密度のエネ
ルギーが投入されるので、照射点では非常に高温にな
る。又、微粒子化過程では発光分析のように元素の励起
状態を問うのではなく、塊状試料の一部を忠実に微粒子
化すればよい。このため、塊状試料の温度の影響は極め
て小さいと考えられる。これを確認するため、１０００
℃以上に赤熱した塊状試料について、その冷却過程でパ
ルスレーザー光を用いてレーザー／ＩＣＰ分析を行って
この影響を調べた。

【００１５】その結果を図３に示す。図で、縦軸は分析
値で横軸は試料温度である。（ａ）図はＭｎについて、
（ｂ）図はＰについての結果である。何れの成分につい
ても、温度が変わっても分析値は殆ど変わらず、温度の
影響を受けていない。

【００１６】赤熱状態で試料温度が変化する塊状試料で
あっても、パルスレーザー光を照射して微粒子試料を得
るレーザー／ＩＣＰ分析では、分析値が塊状試料の温度
の影響を本質的に受けないので、信頼できる分析値を得
ることが出来る。冷却された試料では温度変化がより少
ないので、同様に信頼できることは言うまでもない。

【００１７】溶鋼を凝固させた塊状試料では、多かれ少
なかれ表面が大気中酸素の作用を受け表層部は試料の成
分組成を代表していない。この状況を調べた結果を図４
に示す。小径３０mm、大径３３mmの円錐台の塊状試料を
切断した断面について、ＳＩＭＳとＸＭＡを用いて側面
から内部へ線分析を行った結果で、測定成分はＰ、Ｍ
ｎ、Ｓである。図で、縦軸は各成分の測定強度、横軸は
表面からの距離である。

【００１８】何れの成分も１０数μｍまでは、測定値が
変動しているが、２５μｍ以上では塊状試料の内部と変
わらす、大気中酸素の作用は受けていないことが判る。
なお、ＭｎとＳに見られる小さなピークは位置が同じこ
とからＭｎＳ介在物の偏拆と考えられる。

【００１９】レーザー光照射では表面から２５μｍ程度
掘り下げるのは容易なので、照射開始後初期の微粒子は
測定対象とせずに、表面下２５μｍ以上の深さから発生
した微粒子のみを分析対象とする。これによって、塊状
試料を切断あるいは研磨するなどの調製を行わなくて
も、試料を充分に代表する微粒子が得られる。

【００２０】次に、微粒子の試料代表性を損なうものに
汚染の問題と選択蒸発の問題があり、ＩＣＰ分析の精度
低下に関しては微粒子の生成速度と大きさ及び搬送量の
変動とがある。ＩＣＰ分析では、搬送される微粒子をＡ
ｒプラズマ焔で励起するので、搬送ガスに高純度のＡｒ
ガスを用いると、妨害元素を含まないので都合がよい。

【００２１】しかし、市販の高純度Ａｒガスでは、炭化
水素等の状態で数μg/Ｌの炭素を含む。この不純物炭素
を１μg/Ｌ以下として使用することによって鋼中の微量
炭素も精度良く分析することが出来る。

【００２２】不純物炭素を除くには、金属ゲッター方式
の精製装置を用いることができ、この精製装置を搬送ガ
スを試料室に送る配管系に備えてやればよい。そして、
搬送中の再汚染を防ぐために配管材料として、清浄な面
が得られ易い金属或いは硝子を用いる。選択蒸発、微粒
子の生成速度及び微粒子の大きさについては、レーザー
光の照射条件が影響する。

【００２３】パルスレーザーを用いるのは、レーザー光
の照射点密度を大きくすることと蒸発の選択性を小さく
するためである。レーザー光の照射点密度が小さいと微
粒子の生成速度が低くＩＣＰ分析感度の不足を招き且つ
蒸発の選択性が大きくなる。又、大き過ぎるとＡｒガス
を電離しプラズマを発生させる。これは、ブレークダウ
ン現象と呼ばれているが、この現象が発生するとレーザ
ー光のエネルギーは微粒子発生に寄与しない。レーザー
光の照射点密度の許容範囲は１０⁸W/cm² 以上１０¹¹W/
cm² 以下である。又、この条件であれば、得られる微粒
子の径は０．１μｍ以下であり、ＩＣＰ焔内で均一とみ
なされる。

【００２４】パルス周波数が２０Ｈz の場合での分析精
度は、１００Ｈz 以上の場合のそれと有意差が生じて劣
化する。これは周波数が低いとＩＣＰ焔への微粒子の供
給が安定しないものと考えられる。１００Ｈz 以上では
差がなく良好である。

【００２５】又、同一点への高周波パルスでの連続照射
は選択蒸発を助長し且つ照射回数とともに照射面と焦点
との間にずれが生じ微粒子発生量が減少する。照射点を
移動させることによってこの二点が解消し、更に、偏拆
部の分析値への極端な影響を避けることができる。

【００２６】次に、装置について、図１を用いてその作
用を説明する。図で、１は分析セル部、２は試料保持
部、３は塊状試料、４はレーザー発振器、７は搬送ガス
配管、８はＩＣＰ分析器、１０はレーザー光、２１は露
出孔である。

【００２７】試料室は分析セル部１とこれに露出孔２１
によって連接している試料保持部２とからなり、塊状試
料３は試料保持部２に収納される。レーザー光１０は、
レザー発振器４から発し、分析セル１及び露出孔２１を
通過して塊状試料３の表面に照射される。分析セル部１
と試料保持部２は試料の酸化を防ぐため不活性ガス雰囲
気となっており、分析セル部１には不活性な搬送ガスが
送られている。レーザー光照射により生じる微粒子は、
この搬送ガスによって分析セル部１から搬送ガス配管７
を通って、ＩＣＰ分析器８に導かれここで分析される。

【００２８】生じる微粒子を一定の速さでＩＣＰ分析器
８に送り込むことは、分析精度を確保する点で重要なこ
とであるが、試料保持部２が塊状試料３と同一曲面を有
しているとこれらの面が密接し露出孔２１が塊状試料３
の側面によって塞がれ、微粒子を含んだ搬送ガスが試料
保持部２へ逃げることがないので、微粒子を安定してＩ
ＣＰ分析器８に送り込むことができる。更に、塊状試料
３の側面が露出孔２１に密接して収納されると、レーザ
ー光１０の焦点を固定しておくことができ制御時間が短
縮される。

【００２９】塊状試料１の納出に際しては、試料室が分
析セル部１と試料保持部２とに分かれているので、試料
の収納時に分析セル部１を直接大気に曝す必要がない。
このため、分析セル部１の大気を不活性ガスで置換する
操作が省かれる。

【００３０】試料保持部２は試料の収納時に大気に曝さ
れるので、塊状試料収納後不活性ガスで置換しなければ
ならないが、このガス置換に際して、試料保持部２が塊
状試料３と同一曲面を有すると、試料保持部２と塊状試
料３と隙間が少なく置換ガス量が少なく置換に要する時
間が短縮される。

【００３１】塊状試料自体の組成変化は赤熱試料特有の
問題で、表層では酸素による脱炭が炭素分析値に影響す
る。試料保持部に試料の酸化を防止する機構を持たせる
のはこのためであって、塊状試料を試料保持部に収納し
不活性ガス雰囲気にするだけでなく、可及的に速やかに
冷却する機構が望まれる。

【００３２】

【実施例】図２に示す試料室を使って、転炉から汲み取
り凝固した塊状試料を分析した。試料は、底部の径３０
ｍｍ、上部の径３３ｍｍ、高さ７０ｍｍの円錐台状であ
る。試料保持部２の内部は、底部の径３０．５ｍｍ、高
さ１２０ｍｍで、塊状試料３と曲面が同一の円錐台状の
空間である。試料保持部２の上側部に吸気口２４を、下
部に排気口２５を設けて吸引ポンプ（図示せず）に接続
し、塊状試料投入後のガス置換を短時間で行い試料酸化
を防げるようにした。

【００３３】周壁は銅製の二重壁とし、壁の間２６に給
排水口２７から冷却水を流して壁の保護を図るととも
に、塊状試料３を速やかに冷却しその酸化を極力防止し
た。即ち、ガスの短時間置換と試料の高速冷却機構が酸
化防止機構となる。露出孔２１は４ｍｍ×８ｍｍの長方
形である。又、塊状試料３の側面を露出孔２１によく密
接させるため、試料保持部２が鉛直に対して４５°傾く
ように試料室を設定した。

【００３４】分析セル部１も円錐台状で、露出孔２１に
対向する面は石英ガラス製のレーザー透過窓１２であ
る。この透過窓の近くに搬送ガスの導入口１３を設け、
露出孔２１の近くに搬出口１４を設けた。搬送ガスには
Ａｒを用い、その精製にはＺｒゲッタ方式精製装置を用
い、配管材料には表面を浄化したＳＵＳ管を使用した。

【００３５】レーザー発振器には超音波Ｑスイッチ付き
のＮｄ／ＹＡＧレーザー（波長１．０６μｍ）を用い、
反射鏡３０と集光レンズ４０とで照射点及び焦点を制御
した。照射点の移動は、反射鏡の回転や集光レンズの平
行移動によって行うことができる。即ち、焦点は集光レ
ンズで定まり、照射点は反射鏡３０を回転させることに
より一軸方向に移動する。一方、集光レンズ４０を有効
径範囲内で平行移動させると、同方向に同量だけ照射点
は移動する。この二つの動作を組み合わせることによっ
て、照射点を二次元に移動させて走査照射を行った。

【００３６】分析は以下のように行った。不活性ガスと
して市販の高純度Ａｒガスを用い、これを精製すること
によってＣ濃度は４〜５μg/Ｌであったものが０．２μ
g/Ｌにまで低下した。分析に供する直前の塊状試料３の
表面温度は１１００℃であった。この塊状試料を、Ａｒ
ガスを１０Ｌ／分で流し続ける試料保持部に収納し排気
量５０Ｌ／分の吸引ポンプで１気圧になるまで排気し、
その後吸気口、排気口とも密閉した。この間約５秒であ
った。冷却水は流し続けた。

【００３７】反射鏡を３０Ｈz の周期で集光位置の振れ
幅が２ｍｍになるように回転させるとともに、集光レン
ズを５ｍｍ／分の速さで平行移動し照射点を移動させ
た。移動速度は３００ｍｍ／分であり、集光点のスポッ
ト径は１００μｍであった。移動は１ｍｍ四方以上にた
わって走査するのが好ましいが、移動速度はビーム径と
パルス周波数の積を目安にするとよい。

【００３８】予備処理として、１０秒間の走査照射を行
って、表層２００μｍを除去した後、測定を行った。搬
送ガスの流量は１Ｌ／分である。レーザー光はパルス頻
度５０Ｈz 又は１ｋＨz 、平均出力１０Ｗで照射した。

【００３９】ＩＣＰ分析器としては、ＩＣＰ発光分光分
析装置を用いた。プラズマ焔の発生条件については、高
周波出力は１．５ｋＷ，周波数２７．１２ＭＨz ，プラ
ズマガス流量１５Ｌ／分、補助ガス流量１Ｌ／分であ
る。搬送される微粒子を直接励起発光させた。

【００４０】分光器は、パッセンルンゲ型分光器、分光
器内を真空にし２００ｎｍ以下の波長も測定できるよう
にした。分析線は、Ｃ１９３ｎｍ、Ｐ１７８ｎｍ、Ｓ１
８１ｎｍ、Ｓｉ２１２ｎｍ、Ｍｎ２５２ｎｍ、Ａｌ３９
６ｎｍ、Ｎｉ２３２ｎｍ、Ｃｒ２６８ｎｍ、Ｍｏ２０２
ｎｍ、Ｃｕ３２５ｎｍ、Ｆｅ２７１ｎｍ及び１７０ｎｍ
で、多元素同時測定システムを採った。

【００４１】光強度は光電子倍増管により電流に変換し
更にこれを電圧に変換して１０秒間の光強度積算値を測
定光強度とした。解析にあたってはＦｅ強度との比を測
定値とする内標準強度比法を採用した。測定値の分析値
換算は、標準試料を測定して検量線を作成し、この検量
線を用いて行った。

【００４２】分析の結果及び前処理も含めた分析所要時
間を、従来実用されていたスパーク発光法と比較して、
表１に示す。実施例１はパルス頻度５０Ｈz で、実施例
２は１ｋＨz でレーザー光を照射した。又、各例とも同
一溶鋼から汲み取り凝固した試料について測定したもの
である。

【００４３】

【表１】

【００４４】この発明の実施例では試料間で分析値の差
が小さいが、従来例では、例えばＣの分析値に見られる
ように０．００〜０．３６％とその差が大きい。スパー
ク発光では一回の分析での放電範囲が６ｍｍφ程度であ
るが、この範囲にピンホール等凹凸存在すると、凸部に
放電し易く異常放電が避けられない。これが、試料間の
分析値に大きな差を与えていると考えられる。

【００４５】一方、レーザー照射では、照射範囲に突起
が存在しても、そこに照射が集中することはない。レー
ザー照射の問題点はむしろ、選択蒸発や微粒子の一定量
以上の安定生成であり、特にレーザー照射条件を限定し
た実施例２では、偏拆成分であっても非常に優れた繰り
返し精度が得られている。更に、分析時間を比較する
と、凝固試料の冷却等を必要としないこの発明の実施例
では、溶鋼を凝固後６０秒程度で分析が終了し、従来の
半分以下に分析時間が短縮されている。

【００４６】

【発明の効果】この発明によれば、レーザー照射により
塊状試料から微粒子試料を採取しこの微粒子試料を励起
するので、従来のスパーク発光法のように異常放電が起
こらず又試料温度変化の影響を受けずに分析値が得られ
る。したがって凝固試料の冷却、切断、研磨等を必要と
せず又試料の分析装置へのセット等にも考慮が払われて
いるので、迅速に溶鋼成分を分析することができる。こ
れに加えて、試料の変化、微粒子試料の汚染、生成時の
生成量、その安定性及び選択蒸発にも考慮が払われてい
るので、精度の高い分析結果が得られる。

【００４７】このため、製鋼操業制御へのデータフィー
ドバックが早くなり、溶鋼の成分、温度等の制御精度が
向上した。その結果として、成分規格外れが減少すると
ともに、後吹きや冷材の添加等による能率低下を防ぎ且
つ省エネルギが達成された。このように、赤熱試料をそ
のまま分析可能としたこの発明の効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の装置を説明するための装置の概念図
である。

【図２】この発明の実施例に用いた装置の一部の概念図
である。

【図３】この発明の一つの原理を説明するための塊状試
料温度と分析値との関係を示す図である。

【図４】この発明のもう一つの原理を説明するための塊
状試料表面からの距離と成分の測定強度との関係を示す
図である。

【符号の説明】

１分析セル部２試料保持部３塊状試料４レーザー発振器５レーザー光制御装置６流量調整器７搬送ガス配管８ＩＣＰ分析器１０レーザー光１２透過窓１３導入口１４搬出口２１露出孔２４吸気口２５排気口２７給排水口３０反射鏡４０集光レンズ

フロントページの続き (72)発明者丹村洋一東京都千代田区丸の内一丁目１番２号日本鋼管株式会社内 (72)発明者宮原弘明東京都千代田区丸の内一丁目１番２号日本鋼管株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】溶鋼の一部を採取し凝固させた塊状試料
からその溶鋼の成分組成を測定する迅速分析において、
塊状試料を赤熱状態のままで分析装置の不活性ガス雰囲
気の試料室内の試料保持部に投入し、前記塊状試料の表
面にパルスレーザー光を照射して発生する微粒子をＩＣ
Ｐ分析器に不活性ガスで搬送し、表面下２５μｍ以上の
深さから発生した微粒子のみを検出対象として、成分を
分析することを特徴とする鋼成分迅速分析方法。
【請求項２】不活性ガスとしてＡｒガスを用いこれを
高度に精製して含まれる炭素量を１μg/Ｌ以下として使
用するとともに、塊状試料を不活性ガス雰囲気の試料保
持部に投入した後その酸化を防止し、且つ、１００Ｈz
以上の周波数で発振するパルスレーザーを用いて、レー
ザー光の照射点密度を１０⁸W/cm² 以上１０¹¹W/cm² 以
下とし照射点位置を移動させながらレーザー光の照射を
行う請求項１記載の鋼成分迅速分析方法。
【請求項３】塊状試料を収納する試料室と、塊状試料
にパルスレーザー光を照射し微粒子を発生させるための
レーザー発振器と、発生した微粒子を搬送してその成分
を分析するためのＩＣＰ分析器、及び搬送ガスを前記試
料室に送り更に試料室と前記ＩＣＰ分析器を連絡する搬
送ガス配管系とからなるレーザー／ＩＣＰ分析装置にお
いて、前記試料室が分析セル部とこれに露出孔で連通す
る試料保持部とからなり、この試料保持部が塊状試料と
同一曲面を有することを特徴とする鋼成分迅速分析装
置。
【請求項４】搬送ガス配管系の管材料が金属材料又は
硝子であって搬送ガスを試料室に送る配管系に搬送ガス
中の炭素成分を除去するガス精製装置を備え、且つ、試
料室が搬送ガスの流出入口を除き密閉され、保持される
試料の酸化を防止する機構を試料保持部が有している請
求項３記載の鋼成分迅速分析装置。