JPH0712592A - 変位原点検出装置 - Google Patents
変位原点検出装置Info
- Publication number
- JPH0712592A JPH0712592A JP5173694A JP17369493A JPH0712592A JP H0712592 A JPH0712592 A JP H0712592A JP 5173694 A JP5173694 A JP 5173694A JP 17369493 A JP17369493 A JP 17369493A JP H0712592 A JPH0712592 A JP H0712592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- signal
- light
- reference level
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 原点信号の消失あるいは誤発生を防いだエン
コーダ等の変位原点検出装置を得ること。 【構成】 １つの光源と、２つの基準部位を有する被測
定体と、その２つの基準部位を介して前記光源の光を受
光する第１、第２の受光素子と、その第１、第２の受光
素子の出力の交差する点を検出する交差点検出回路とを
備えた変位原点検出装置において、前記第１、第２の受
光素子に入射しない光を受光する第３の受光素子と、前
記第１、第２、第３の全ての受光素子の出力信号の和信
号に基づいて基準レベルＶｒを作成出力する基準レベル
作成回路と、前記第１、第２の受光素子の出力信号の平
均信号Ｖｍと前記基準レベルＶｒを比較する比較器を具
備し、該比較器の比較に基づいて前記第１、第２の受光
素子の出力信号の交差点で原点信号を出力すること。
コーダ等の変位原点検出装置を得ること。 【構成】 １つの光源と、２つの基準部位を有する被測
定体と、その２つの基準部位を介して前記光源の光を受
光する第１、第２の受光素子と、その第１、第２の受光
素子の出力の交差する点を検出する交差点検出回路とを
備えた変位原点検出装置において、前記第１、第２の受
光素子に入射しない光を受光する第３の受光素子と、前
記第１、第２、第３の全ての受光素子の出力信号の和信
号に基づいて基準レベルＶｒを作成出力する基準レベル
作成回路と、前記第１、第２の受光素子の出力信号の平
均信号Ｖｍと前記基準レベルＶｒを比較する比較器を具
備し、該比較器の比較に基づいて前記第１、第２の受光
素子の出力信号の交差点で原点信号を出力すること。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はロータリー／リニアエン
コーダ等の移動または回転する移動体の状態を検出する
変位原点検出装置に関するものである。
コーダ等の移動または回転する移動体の状態を検出する
変位原点検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の変位原点検出装置の概要を
示す斜視図であり、矢印方向に移動あるいは回転する移
動物体１の側面に突起を設け、その突起の一方の面１Ａ
で反射された上記光源２からの光を受光する受光素子３
と他方の面１Ｂで反射された光を受光する受光素子４を
設けた構成である。この構成により、移動物体１が矢印
方向に移動すると、受光素子３、４からは出力信号Ｖ
3 、Ｖ4 が得られる。そこで、この両出力信号Ｖ3 、Ｖ
4 の交差する点を交差点検出回路（図示せず）で検出す
ることにより、正確に突起の位置を検出し、原点信号を
得ている。
示す斜視図であり、矢印方向に移動あるいは回転する移
動物体１の側面に突起を設け、その突起の一方の面１Ａ
で反射された上記光源２からの光を受光する受光素子３
と他方の面１Ｂで反射された光を受光する受光素子４を
設けた構成である。この構成により、移動物体１が矢印
方向に移動すると、受光素子３、４からは出力信号Ｖ
3 、Ｖ4 が得られる。そこで、この両出力信号Ｖ3 、Ｖ
4 の交差する点を交差点検出回路（図示せず）で検出す
ることにより、正確に突起の位置を検出し、原点信号を
得ている。
【０００３】図８は従来の他の変位原点検出装置を示す
斜視図であり、矢印方向に移動あるいは回転する移動物
体６に、移動方向に位置をずらして透過面６Ａ、６Ｂを
設け、その透過面６Ａ、６Ｂの移動軌跡を挟むように２
つの受光素子７、８と１つの光源９を配置した構成であ
る。この構成により、移動物体６が矢印方向に移動する
と、透過面６Ａ、６Ｂを透過した光源９の光が受光素子
７、８に入射し、この受光素子７、８からの出力信号の
交差する点を検出して、原点信号を得ている。
斜視図であり、矢印方向に移動あるいは回転する移動物
体６に、移動方向に位置をずらして透過面６Ａ、６Ｂを
設け、その透過面６Ａ、６Ｂの移動軌跡を挟むように２
つの受光素子７、８と１つの光源９を配置した構成であ
る。この構成により、移動物体６が矢印方向に移動する
と、透過面６Ａ、６Ｂを透過した光源９の光が受光素子
７、８に入射し、この受光素子７、８からの出力信号の
交差する点を検出して、原点信号を得ている。
【０００４】上記、２つの受光素子３、４または７、８
の出力信号の交差する点を検出する際に、予め基準レベ
ルＶｒを設け、２つの出力信号Ｖ3 Ｖ4 またはＶ7 、Ｖ
8 を平均した平均信号Ｖｍのレベルが基準レベルＶｒを
越える場合のみ原点信号が出力される出力回路（図示せ
ず）を設け、原点位置以外の場所でノイズ等により２つ
の出力信号の交差が生じても、原点信号が誤り発生する
ことがないようにしている。
の出力信号の交差する点を検出する際に、予め基準レベ
ルＶｒを設け、２つの出力信号Ｖ3 Ｖ4 またはＶ7 、Ｖ
8 を平均した平均信号Ｖｍのレベルが基準レベルＶｒを
越える場合のみ原点信号が出力される出力回路（図示せ
ず）を設け、原点位置以外の場所でノイズ等により２つ
の出力信号の交差が生じても、原点信号が誤り発生する
ことがないようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、比較レベルＶｒが固定されているため、光源
の劣化、温度特性による出力減少等の変動で受光素子の
出力信号が小さくなり、平均信号Ｖｍが低下すると、Ｖ
ｍ＞Ｖｒの条件が得られなくなり、原点信号が発生しな
くなるという問題点があった。
来例では、比較レベルＶｒが固定されているため、光源
の劣化、温度特性による出力減少等の変動で受光素子の
出力信号が小さくなり、平均信号Ｖｍが低下すると、Ｖ
ｍ＞Ｖｒの条件が得られなくなり、原点信号が発生しな
くなるという問題点があった。
【０００６】また、上記とは反対に受光素子の暗電流の
増加や移動物体の反射率のばらつき等の変動により、平
均信号Ｖｍの暗レベルＶｍ（ｄａｒｋ）が大きくなる
と、Ｖｍ（ｄａｒｋ）＞Ｖｒとなり、原点以外で発生す
るノイズレベルによっても原点信号が発生する。特に、
受光する光の明暗コントラストが大きくとれない構成の
時には、上記の変動による影響は大きいという問題点が
あった。
増加や移動物体の反射率のばらつき等の変動により、平
均信号Ｖｍの暗レベルＶｍ（ｄａｒｋ）が大きくなる
と、Ｖｍ（ｄａｒｋ）＞Ｖｒとなり、原点以外で発生す
るノイズレベルによっても原点信号が発生する。特に、
受光する光の明暗コントラストが大きくとれない構成の
時には、上記の変動による影響は大きいという問題点が
あった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、１つの
光源と、２つの基準部位を有する被測定体と、その２つ
の基準部位を介して前記光源の光を受光する第１、第２
の受光素子と、その第１、第２の受光素子の出力の交差
する点を検出する交差点検出回路とを備えた変位原点検
出装置において、前記第１、第２の受光素子に入射しな
い光を受光する第３の受光素子と、前記第１、第２、第
３の全ての受光素子の出力信号の和信号に基づいて基準
レベルＶｒを作成出力する基準レベル作成回路と、前記
第１、第２の受光素子の出力信号の平均信号Ｖｍと前記
基準レベルＶｒを比較する比較器を具備し、該比較器の
比較に基づいて前記第１、第２の受光素子の出力信号の
交差点で原点信号を出力することにより、光源の発光量
の変化、受光素子の暗電流の増加、スケールの反射率も
しくは透過率のばらつき等の変動に応じて基準レベルが
変動し、原点信号の消失あるいは誤発生を防ぐことが可
能である。
光源と、２つの基準部位を有する被測定体と、その２つ
の基準部位を介して前記光源の光を受光する第１、第２
の受光素子と、その第１、第２の受光素子の出力の交差
する点を検出する交差点検出回路とを備えた変位原点検
出装置において、前記第１、第２の受光素子に入射しな
い光を受光する第３の受光素子と、前記第１、第２、第
３の全ての受光素子の出力信号の和信号に基づいて基準
レベルＶｒを作成出力する基準レベル作成回路と、前記
第１、第２の受光素子の出力信号の平均信号Ｖｍと前記
基準レベルＶｒを比較する比較器を具備し、該比較器の
比較に基づいて前記第１、第２の受光素子の出力信号の
交差点で原点信号を出力することにより、光源の発光量
の変化、受光素子の暗電流の増加、スケールの反射率も
しくは透過率のばらつき等の変動に応じて基準レベルが
変動し、原点信号の消失あるいは誤発生を防ぐことが可
能である。
【０００８】
実施例１．図１は本発明の実施例１を示す斜視図であ
り、図１において、１は矢印方向に移動もしくは回転す
る反射率の大きい移動物体としてのスケールであり、側
面斜面１Ａと１Ｂとからなる突起を有している。２は光
源であり、スケール１に向けて下方からある角度を持っ
て投光している。３、４、５はスケール１で反射された
光を受光する受光素子であり、受光素子５は平面１Ｃか
らの反射光を、受光素子３は斜面１Ａからの反射光を、
受光素子４は斜面１Ｂからの反射光をそれぞれ受光する
位置に配置されている。
り、図１において、１は矢印方向に移動もしくは回転す
る反射率の大きい移動物体としてのスケールであり、側
面斜面１Ａと１Ｂとからなる突起を有している。２は光
源であり、スケール１に向けて下方からある角度を持っ
て投光している。３、４、５はスケール１で反射された
光を受光する受光素子であり、受光素子５は平面１Ｃか
らの反射光を、受光素子３は斜面１Ａからの反射光を、
受光素子４は斜面１Ｂからの反射光をそれぞれ受光する
位置に配置されている。
【０００９】図２は上記受光素子３、４、５からの出力
信号に基づいて原点信号を得る電気回路図を示すもの
で、図２において、１１ａ、１１ｂ，１１ｃは各受光素
子３、４、５の出力信号を電圧Ｖ3 、Ｖ4 、Ｖ5 に変換
するＩ／Ｖ変換アンプ、１２はＩ／Ｖ変換アンプ１１
ａ、１１ｂの出力電圧Ｖ3 、Ｖ4 に基づいて受光素子
３、４の出力信号の交差する点Ｐを検出する比較器、１
４はＩ／Ｖ変換アンプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃの出力電
圧Ｖ3 、Ｖ4 、Ｖ5 を加算し、その加算結果にある比率
を乗算して基準レベルＶｒを作る作成する基準レベル作
成回路、１３はＩ／Ｖ変換アンプ１１ａ、１１ｂの出力
電圧Ｖ3 、Ｖ4 の平均電圧Ｖｍと基準レベルＶｒとを比
較する比較器、１５は比較器１２、１３から出力信号の
供給を受けるパルス発生器である。
信号に基づいて原点信号を得る電気回路図を示すもの
で、図２において、１１ａ、１１ｂ，１１ｃは各受光素
子３、４、５の出力信号を電圧Ｖ3 、Ｖ4 、Ｖ5 に変換
するＩ／Ｖ変換アンプ、１２はＩ／Ｖ変換アンプ１１
ａ、１１ｂの出力電圧Ｖ3 、Ｖ4 に基づいて受光素子
３、４の出力信号の交差する点Ｐを検出する比較器、１
４はＩ／Ｖ変換アンプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃの出力電
圧Ｖ3 、Ｖ4 、Ｖ5 を加算し、その加算結果にある比率
を乗算して基準レベルＶｒを作る作成する基準レベル作
成回路、１３はＩ／Ｖ変換アンプ１１ａ、１１ｂの出力
電圧Ｖ3 、Ｖ4 の平均電圧Ｖｍと基準レベルＶｒとを比
較する比較器、１５は比較器１２、１３から出力信号の
供給を受けるパルス発生器である。
【００１０】以下、本実施例１の動作を図３乃至図５に
示す信号関係図を参照しながら説明する。今、スケール
１が矢印方向に移動あるいは回転したとき、受光素子
３、４、５はそれぞれの反射面１Ａ、１Ｂ、１Ｃで反射
された光を受光し光電流を出力する。この光電流はそれ
ぞれＩ／Ｖ変換アンプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃにより、
図３に示す波形の電圧Ｖ3 、Ｖ4 、Ｖ5 に変換されて出
力される。受光素子３、４、５はスケール１で反射され
た光の殆どを受光するように配置されているため、それ
らの和信号にある一定の比率Ｒｂ／Ｒａを乗算した基準
レベルＶｒは、図示のようにほぼ一定電位となる。
示す信号関係図を参照しながら説明する。今、スケール
１が矢印方向に移動あるいは回転したとき、受光素子
３、４、５はそれぞれの反射面１Ａ、１Ｂ、１Ｃで反射
された光を受光し光電流を出力する。この光電流はそれ
ぞれＩ／Ｖ変換アンプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃにより、
図３に示す波形の電圧Ｖ3 、Ｖ4 、Ｖ5 に変換されて出
力される。受光素子３、４、５はスケール１で反射され
た光の殆どを受光するように配置されているため、それ
らの和信号にある一定の比率Ｒｂ／Ｒａを乗算した基準
レベルＶｒは、図示のようにほぼ一定電位となる。
【００１１】そして、斜面１Ａ、１Ｃで反射された光電
流を変換した電圧Ｖ3 、Ｖ4 の平均信号Ｖｍと基準レベ
ルＶｒを比較器１３で比較し、Ｖｍ＞Ｖｒの条件を満足
したときだけ、パルス発生器１５を動作させるように比
較器１３の出力信号であるＥＮＡＢＬ信号をハイレベル
にする。パルス発生器１５はハイレベルのＥＮＡＢＬ信
号を受けると、受光素子３、４の出力の交差する点Ｐで
の比較器１２の出力の立上りもしくは立下りにより原点
信号を発生する。
流を変換した電圧Ｖ3 、Ｖ4 の平均信号Ｖｍと基準レベ
ルＶｒを比較器１３で比較し、Ｖｍ＞Ｖｒの条件を満足
したときだけ、パルス発生器１５を動作させるように比
較器１３の出力信号であるＥＮＡＢＬ信号をハイレベル
にする。パルス発生器１５はハイレベルのＥＮＡＢＬ信
号を受けると、受光素子３、４の出力の交差する点Ｐで
の比較器１２の出力の立上りもしくは立下りにより原点
信号を発生する。
【００１２】従って、斜面１Ａ、１Ｂの頂点以外の点
で、ノイズ等により電圧Ｖ3 とＶ4 が交差しても、ＥＮ
ＡＢＬ信号はローレベルであり、パルス発生器１５は原
点信号を誤って発生することはない。
で、ノイズ等により電圧Ｖ3 とＶ4 が交差しても、ＥＮ
ＡＢＬ信号はローレベルであり、パルス発生器１５は原
点信号を誤って発生することはない。
【００１３】ここで、図４に示すように光源２の経時劣
化、あるいは温度特性等の変動により、受光素子３、４
から得られる電圧レベルＶ3 、Ｖ4 がｋ％減少してＶ
3 ’、Ｖ4 ’となった場合、基準電圧Ｖｒも同様にｋ％
減少してＶｒ’となるため、Ｖｍ’＞Ｖｒ’となる区間
は変化せず、安定して交差点Ｐを検出でき、原点信号消
失状態は起こらない。
化、あるいは温度特性等の変動により、受光素子３、４
から得られる電圧レベルＶ3 、Ｖ4 がｋ％減少してＶ
3 ’、Ｖ4 ’となった場合、基準電圧Ｖｒも同様にｋ％
減少してＶｒ’となるため、Ｖｍ’＞Ｖｒ’となる区間
は変化せず、安定して交差点Ｐを検出でき、原点信号消
失状態は起こらない。
【００１４】また、図５に示すように受光素子３、４、
５、の暗電流Ｖｄ3 、Ｖｄ4 、Ｖｄ5 が増加し、出力信
号のＤＣ成分が上昇しても、基準レベルＶｒはＲｂ／Ｒ
ａ（Ｖｄ3 ＋Ｖｄ4 ＋Ｖｄ5 ）だけ上昇してＶｒ”とな
る。そこで、Ｒｂ／Ｒａ＝１／３に設立しておけば、受
光素子３、４、５の暗電流増加分の平均値だけ基準レベ
ルＶｒが上昇してＶｒ”となるため、基準レベルＶｒ”
はＶ3 、Ｖ4 の直流分より大きい状態に常に保たれる。
５、の暗電流Ｖｄ3 、Ｖｄ4 、Ｖｄ5 が増加し、出力信
号のＤＣ成分が上昇しても、基準レベルＶｒはＲｂ／Ｒ
ａ（Ｖｄ3 ＋Ｖｄ4 ＋Ｖｄ5 ）だけ上昇してＶｒ”とな
る。そこで、Ｒｂ／Ｒａ＝１／３に設立しておけば、受
光素子３、４、５の暗電流増加分の平均値だけ基準レベ
ルＶｒが上昇してＶｒ”となるため、基準レベルＶｒ”
はＶ3 、Ｖ4 の直流分より大きい状態に常に保たれる。
【００１５】従って、ＥＮＡＢＬ信号がハイレベルであ
る区間は、暗電流の無い場合とほぼ同じとなり、ノイズ
等による原点信号の誤発生は起こりにくくなる。
る区間は、暗電流の無い場合とほぼ同じとなり、ノイズ
等による原点信号の誤発生は起こりにくくなる。
【００１６】ここで、受光素子３、４、５として同一チ
ップを３分割した受光素子を用いれば、感度、暗電流等
諸特性のばらつきは極めて小さくなり、原点信号検出の
安定度をさらに高めることができる。
ップを３分割した受光素子を用いれば、感度、暗電流等
諸特性のばらつきは極めて小さくなり、原点信号検出の
安定度をさらに高めることができる。
【００１７】実施例２．図６は本発明の実施例２を示す
斜視図であり、高反射率のスケール６に移動方向に位置
をずらせて透過面６Ａ、６Ｂを設け、このスケール６と
ある角度をもって配置した光源９と、上記透過性窓６
Ａ、６Ｂを透過した光を受光する受光素子７、８と、上
記スケール６の表面で反射する光を受光する受光素子１
０とを備えている。
斜視図であり、高反射率のスケール６に移動方向に位置
をずらせて透過面６Ａ、６Ｂを設け、このスケール６と
ある角度をもって配置した光源９と、上記透過性窓６
Ａ、６Ｂを透過した光を受光する受光素子７、８と、上
記スケール６の表面で反射する光を受光する受光素子１
０とを備えている。
【００１８】上記の構成により、光源９の発光量の大概
は受光素子７、８、１０で受光される。この各受光素子
７、８、１０の出力電流を前記図２の回路に入力するこ
とにより、平均電圧Ｖｍ＞基準レベルＶｒのときだけパ
ルス発生器１５が動作してＥＮＡＢＬ信号をハイレベル
にする。従って、基準レベルＶｒは発光量、入射光量あ
るいは受光素子の感度変化、暗電流増加に追随し、Ｖｍ
＞Ｖｒとなる区間を変動させないように動作する。
は受光素子７、８、１０で受光される。この各受光素子
７、８、１０の出力電流を前記図２の回路に入力するこ
とにより、平均電圧Ｖｍ＞基準レベルＶｒのときだけパ
ルス発生器１５が動作してＥＮＡＢＬ信号をハイレベル
にする。従って、基準レベルＶｒは発光量、入射光量あ
るいは受光素子の感度変化、暗電流増加に追随し、Ｖｍ
＞Ｖｒとなる区間を変動させないように動作する。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
出力電流の交差点を検出する受光素子以外に該受光素子
に入射しない光を受光する受光素子を設け、全ての受光
素子の出力信号の和信号が光源からの受光量と比例する
ようにし、その和信号に基づいた基準レベルを設定する
ように構成したので、光源や受光素子の劣化、温度特
性、感動の変動、あるいは暗電流増加等で受光素子の出
力信号が変動しても、基準レベルはそれに追随して変化
して、常に安定した原点検出ができるという効果があ
る。
出力電流の交差点を検出する受光素子以外に該受光素子
に入射しない光を受光する受光素子を設け、全ての受光
素子の出力信号の和信号が光源からの受光量と比例する
ようにし、その和信号に基づいた基準レベルを設定する
ように構成したので、光源や受光素子の劣化、温度特
性、感動の変動、あるいは暗電流増加等で受光素子の出
力信号が変動しても、基準レベルはそれに追随して変化
して、常に安定した原点検出ができるという効果があ
る。
【図１】 本発明の実施例１を示す斜視図
【図２】 受光素子の出力信号を処理する電気回路図
【図３】 実施例１の信号関係図
【図４】 実施例１の信号関係図
【図５】 実施例１の信号関係図
【図６】 本発明の実施例２を示す斜視図
【図７】 従来装置の光学部構成図
【図８】 他の従来装置の光学部構成図
１ スケール ２ 光源 ３，４，５ 受光素子 １２ 比較器（交差点検出回路） １３ 比較器 １４ 基準レベル作成回路
Claims (1)
- 【請求項１】 １つの光源と、２つの基準部位を有する
被測定体と、その２つの基準部位を介して前記光源の光
を受光する第１、第２の受光素子と、その第１、第２の
受光素子の出力の交差する点を検出する交差点検出回路
とを備えた変位原点検出装置において、前記第１、第２
の受光素子に入射しない光を受光する第３の受光素子
と、前記第１、第２、第３の全ての受光素子の出力信号
の和信号に基づいて基準レベルＶｒを作成出力する基準
レベル作成回路と、前記第１、第２の受光素子の出力信
号の平均信号Ｖｍと前記基準レベルＶｒを比較する比較
器を具備し、該比較器の比較に基づいて前記第１、第２
の受光素子の出力信号の交差点で原点信号を出力するこ
とを特徴とした変位原点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173694A JPH0712592A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 変位原点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173694A JPH0712592A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 変位原点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712592A true JPH0712592A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15965385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5173694A Pending JPH0712592A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 変位原点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712592A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012247221A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Nikon Corp | エンコーダ、駆動システム、及び制御装置 |
| JP2013040834A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Nikon Corp | エンコーダ装置、及び装置 |
-
1993
- 1993-06-21 JP JP5173694A patent/JPH0712592A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012247221A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Nikon Corp | エンコーダ、駆動システム、及び制御装置 |
| JP2013040834A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Nikon Corp | エンコーダ装置、及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7348544B2 (en) | Optical encoder with discontinuous optical grating | |
| US10288454B2 (en) | Encoder including an origin position detection function | |
| JPH0712592A (ja) | 変位原点検出装置 | |
| JPS60158309A (ja) | 距離検出装置 | |
| JP3067282B2 (ja) | 移動検出器 | |
| JP4318762B2 (ja) | ロック可能な差分処理を行う光電セル | |
| US8068040B2 (en) | Optical encoder with integrated monitor | |
| JP3201648B2 (ja) | 同期検出装置 | |
| KR970071034A (ko) | X-y스테이지의 수직방향 변위 측정장치 | |
| JP2942046B2 (ja) | 光学的測距センサー | |
| JP3311772B2 (ja) | 光電スイッチ及び光電スイッチ制御装置 | |
| JP3233746B2 (ja) | 光位置検出装置 | |
| JP2002026369A (ja) | フォトセンサ回路 | |
| JP2581480B2 (ja) | 距離センサ | |
| JP2817800B2 (ja) | 電気式荷重平均方法およびその装置 | |
| JPH1146011A (ja) | 受光位置検出回路 | |
| JP3270800B2 (ja) | 測距センサ | |
| JPH046410A (ja) | 光電スイッチ | |
| JPH06100648B2 (ja) | 反射型ホトインタラプタ | |
| JPS59139521A (ja) | 反射型光電スイツチ | |
| JPH01221611A (ja) | 光電形距離検出装置 | |
| JPH0346820A (ja) | 光電スイッチ | |
| JPS62261221A (ja) | 反射式光電スイツチ | |
| WO2015162987A1 (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPH0381686A (ja) | 反射型人体検出回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090711 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090711 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100711 |