JP3067282B2 - 移動検出器 - Google Patents
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- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
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- G01D5/363—Direction discrimination
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動体の移動に応じて
パルス状の電気信号を出力する移動検出器に関する。
パルス状の電気信号を出力する移動検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の移動検出器たる回転検出器は、移
動体としての回転ディスクにその外周部に沿って多数の
スリット状の透孔部と遮蔽部とを交互に所定のピッチで
形成してスリットパターンを構成し、この回転ディスク
のスリットパターンに投光する発光ダイオード等の投光
素子を設け、前記スリットパターンの透孔部を透過した
光を受光するフォトトランジスタ等の受光素子を設け、
この受光素子が発生するパルス状の電気信号を処理する
ことにより回転検出を行なう構成である。
動体としての回転ディスクにその外周部に沿って多数の
スリット状の透孔部と遮蔽部とを交互に所定のピッチで
形成してスリットパターンを構成し、この回転ディスク
のスリットパターンに投光する発光ダイオード等の投光
素子を設け、前記スリットパターンの透孔部を透過した
光を受光するフォトトランジスタ等の受光素子を設け、
この受光素子が発生するパルス状の電気信号を処理する
ことにより回転検出を行なう構成である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
高分解能の検出を行なう必要のある場合には、スリット
パターンの透孔部と遮蔽部とのピッチを小にすればよい
のであるが、このためには、隣接する透孔部からの光の
干渉をなくすべく投光用の精密なレンズ等の光学系が必
要となり、従って、設計上において困難さがあり、高価
なものになるという問題があった。
高分解能の検出を行なう必要のある場合には、スリット
パターンの透孔部と遮蔽部とのピッチを小にすればよい
のであるが、このためには、隣接する透孔部からの光の
干渉をなくすべく投光用の精密なレンズ等の光学系が必
要となり、従って、設計上において困難さがあり、高価
なものになるという問題があった。
【０００４】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、高分解能の検出を設計上の困難さなく
安価に実現し得る移動検出器を提供するにある。
で、その目的は、高分解能の検出を設計上の困難さなく
安価に実現し得る移動検出器を提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の移動検出器は、
移動方向に沿って多数のスリット状の透光部が所定のピ
ッチで形成されたスリットパターンを有する移動体を設
け、この移動体のスリットパターンに向け投光する投光
素子を設け、前記スリットパターンの透光部を透過した
光を受光してその光の重心位置を検出する半導体位置検
出素子を設け、この半導体位置検出素子からの２つの信
号の大小を比較して位置信号を得る第１のコンパレータ
を設け、前記半導体位置検出素子からの２つの信号の加
算値と基準値とを比較して位置信号を得る第２のコンパ
レータを設ける構成に特徴を有する。
移動方向に沿って多数のスリット状の透光部が所定のピ
ッチで形成されたスリットパターンを有する移動体を設
け、この移動体のスリットパターンに向け投光する投光
素子を設け、前記スリットパターンの透光部を透過した
光を受光してその光の重心位置を検出する半導体位置検
出素子を設け、この半導体位置検出素子からの２つの信
号の大小を比較して位置信号を得る第１のコンパレータ
を設け、前記半導体位置検出素子からの２つの信号の加
算値と基準値とを比較して位置信号を得る第２のコンパ
レータを設ける構成に特徴を有する。
【０００６】
【作用】本発明の移動検出器によれば、移動体の移動に
ともなってそのスリットパターンにより半導体位置検出
素子の受光面には透光部の有無に応じて光の明部と暗部
との変化が作用するようになり、従って、光の重心位置
を検出する半導体位置検出素子はその明部と暗部との移
動変化を明確に検出することになって、２つの信号を出
力するようになり、これらの２つの信号に基づいて第１
及び第２のコンパレータが夫々位置信号をを得るので、
高分解能の移動検出が可能になり、又、２つの位置信号
により移動体の移動方向も検出できる。
ともなってそのスリットパターンにより半導体位置検出
素子の受光面には透光部の有無に応じて光の明部と暗部
との変化が作用するようになり、従って、光の重心位置
を検出する半導体位置検出素子はその明部と暗部との移
動変化を明確に検出することになって、２つの信号を出
力するようになり、これらの２つの信号に基づいて第１
及び第２のコンパレータが夫々位置信号をを得るので、
高分解能の移動検出が可能になり、又、２つの位置信号
により移動体の移動方向も検出できる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を回転検出器に適用した一実施
例につき図面を参照しながら説明する。
例につき図面を参照しながら説明する。
【０００８】先ず、図２乃至図４において、ケース１は
円形状をなしており、その中心部にはシャフト２が挿通
支承されており、このシヤフト２にはケース１内に位置
して移動体としての回転ディスク３の中心部が嵌め込み
固定されている。この回転ディスク３は遮光性部材によ
って構成され、これには移動方向たる回転方向に沿っ
て、即ち、外周部に沿って一定ピッチでスリット状の透
光部たる透孔部４ａと遮光部たる遮蔽部４ｂとが交互に
多数個形成され、以て、スリットパターン４が構成され
ている。
円形状をなしており、その中心部にはシャフト２が挿通
支承されており、このシヤフト２にはケース１内に位置
して移動体としての回転ディスク３の中心部が嵌め込み
固定されている。この回転ディスク３は遮光性部材によ
って構成され、これには移動方向たる回転方向に沿っ
て、即ち、外周部に沿って一定ピッチでスリット状の透
光部たる透孔部４ａと遮光部たる遮蔽部４ｂとが交互に
多数個形成され、以て、スリットパターン４が構成され
ている。
【０００９】又、ケース１の上壁１ａの内面にはスリッ
トパターン４に対応して例えば発光ダイオードからなる
投光素子５が配設され、ケース１の下壁１ｂの内面には
スリットパターン４を介して投光素子５に対向するよう
に半導体位置検出素子（ＰＳＤ）６が配設されている。
トパターン４に対応して例えば発光ダイオードからなる
投光素子５が配設され、ケース１の下壁１ｂの内面には
スリットパターン４を介して投光素子５に対向するよう
に半導体位置検出素子（ＰＳＤ）６が配設されている。
【００１０】さて、図１を参照して電気的構成について
述べる。ＰＳＤ６の一方の出力電極は電流−電圧変換ア
ンプ７を介して第１のコンパレータ８の非反転入力端子
（＋）に接続されており、ＰＳＤ６の他方の出力電極は
電流−電圧変換アップ９を介してコンパレータ８の反転
入力端子（−）に接続されている。そして、コンパレー
タ８の出力端子は出力端子１０に接続されている。
述べる。ＰＳＤ６の一方の出力電極は電流−電圧変換ア
ンプ７を介して第１のコンパレータ８の非反転入力端子
（＋）に接続されており、ＰＳＤ６の他方の出力電極は
電流−電圧変換アップ９を介してコンパレータ８の反転
入力端子（−）に接続されている。そして、コンパレー
タ８の出力端子は出力端子１０に接続されている。
【００１１】又、電流−電圧変換アンプ７及び９の出力
端子は加算アンプ１１の両入力端子に夫々接続されてお
り、その加算アンプ１１の出力端子は第２のコンパレー
タ１２の非反転入力端子（＋）に接続されている。更
に、このコンパレータ１２の反転入力端子（−）には後
述するように基準値たる基準電圧ＶＳを出力する基準電
圧発生器１３が接続されており、そして、コンパレータ
１２の出力端子は出力端子１４に接続されている。
端子は加算アンプ１１の両入力端子に夫々接続されてお
り、その加算アンプ１１の出力端子は第２のコンパレー
タ１２の非反転入力端子（＋）に接続されている。更
に、このコンパレータ１２の反転入力端子（−）には後
述するように基準値たる基準電圧ＶＳを出力する基準電
圧発生器１３が接続されており、そして、コンパレータ
１２の出力端子は出力端子１４に接続されている。
【００１２】次に、本実施例の作用につき図５及び図６
をも参照しながら説明する。
をも参照しながら説明する。
【００１３】今、回転ディスク３が、図３において矢印
１５方向に移動即ち回転したとすると、該回転ディスク
３は、図４においては矢印１５方向に移動するものとす
る。そして、回転ディスク３の回転（移動）によってＰ
ＳＤ６の受光面には、投光素子５からの光がスリットパ
ターン４の透孔部４ａを通過して受光される明部１６
と、遮蔽部４ｂにより遮光される暗部１７とが交互に投
影され、これが図５で示すように矢印１５方向に移動す
る。
１５方向に移動即ち回転したとすると、該回転ディスク
３は、図４においては矢印１５方向に移動するものとす
る。そして、回転ディスク３の回転（移動）によってＰ
ＳＤ６の受光面には、投光素子５からの光がスリットパ
ターン４の透孔部４ａを通過して受光される明部１６
と、遮蔽部４ｂにより遮光される暗部１７とが交互に投
影され、これが図５で示すように矢印１５方向に移動す
る。
【００１４】この場合、図５に示すように、スリットピ
ッチをＰとし、明部１６と暗部１７（透孔部４ａと遮蔽
部４ｂ）との面積を説明の便宜上単純化して１対１と
し、ＰＳＤ６の長さ寸法Ｌを５Ｐ／２とする。従って、
スリットパターン４が矢印１５方向に移動するにともな
って、ＰＳＤ６の受光面の明部１６と暗部１７とは同図
（Ａ）乃至（Ｅ）のように変化する。
ッチをＰとし、明部１６と暗部１７（透孔部４ａと遮蔽
部４ｂ）との面積を説明の便宜上単純化して１対１と
し、ＰＳＤ６の長さ寸法Ｌを５Ｐ／２とする。従って、
スリットパターン４が矢印１５方向に移動するにともな
って、ＰＳＤ６の受光面の明部１６と暗部１７とは同図
（Ａ）乃至（Ｅ）のように変化する。
【００１５】ここで、図５において、（Ａ）のように、
明部を１６ａ，１６ｂ及び１６ｃとし且つ暗部を１７ａ
及び１７ｂとし、スリットパターン４の移動量をｘと
し、（Ａ）の状態ではｘ＝０とする。これにより、
（Ｂ）の状態では、明部１６ａが減少し且つ代りに暗部
１７ｃが増大し、（Ｃ）の状態では、ｘ＝Ｐ／２となっ
て、明部１６ａがなくなり且つ暗部１７ｃが最大とな
り、（Ｄ）の状態では、暗部１７ａが減少し且つ代りに
明部１６ｄが増大し、そして、（Ｅ）の状態では、ｘ＝
Ｐとなって、暗部１７ａがなくなり且つ明部１６ｄが最
大となる。従って、図５（Ａ）から（Ｅ）まではスリッ
トパターン４が１ピッチＰだけ移動したことになる。
明部を１６ａ，１６ｂ及び１６ｃとし且つ暗部を１７ａ
及び１７ｂとし、スリットパターン４の移動量をｘと
し、（Ａ）の状態ではｘ＝０とする。これにより、
（Ｂ）の状態では、明部１６ａが減少し且つ代りに暗部
１７ｃが増大し、（Ｃ）の状態では、ｘ＝Ｐ／２となっ
て、明部１６ａがなくなり且つ暗部１７ｃが最大とな
り、（Ｄ）の状態では、暗部１７ａが減少し且つ代りに
明部１６ｄが増大し、そして、（Ｅ）の状態では、ｘ＝
Ｐとなって、暗部１７ａがなくなり且つ明部１６ｄが最
大となる。従って、図５（Ａ）から（Ｅ）まではスリッ
トパターン４が１ピッチＰだけ移動したことになる。
【００１６】このようにして、ＰＳＤ６の受光面上を明
部１６及び暗部１７が移動すると、即ち、光の重心位置
が移動すると、ＰＳＤ６の一対の出力電極には電流Ｉ１
及びＩ２が発生する。
部１６及び暗部１７が移動すると、即ち、光の重心位置
が移動すると、ＰＳＤ６の一対の出力電極には電流Ｉ１
及びＩ２が発生する。
【００１７】ここで、ｔ＝ｘ／Ｐとした場合、ＰＳＤ６
の電流Ｉ１及びＩ２は、０≦ｔ≦０．５（０≦ｘ≦Ｐ／
２）の時 Ｉ１＝Ｓ（１５−１２ｔ＋４ｔ2 ）／１０ ……（１） Ｉ２＝Ｓ（１５−８ｔ−４ｔ2 ）／１０ ……（２） Ｉ１＋Ｉ２＝Ｓ（３−２ｔ） ……（３） Ｉ１−Ｉ２＝２Ｓ（２ｔ2 −ｔ）／５ ……（４） ０．５≦ｔ≦１（Ｐ／２≦ｘ≦Ｐ）の時 Ｉ１＝Ｓ（３＋１６ｔ−４ｔ2 ）／１０ ……（５） Ｉ２＝Ｓ（７＋４ｔ＋４ｔ2 ）／１０ ……（６） Ｉ１＋Ｉ２＝Ｓ（１＋２ｔ） ……（７） Ｉ１−Ｉ２＝−２Ｓ（２ｔ2 −３ｔ＋１）／５ ……（８） のように表わされる。但し、Ｓは定数である。
の電流Ｉ１及びＩ２は、０≦ｔ≦０．５（０≦ｘ≦Ｐ／
２）の時 Ｉ１＝Ｓ（１５−１２ｔ＋４ｔ2 ）／１０ ……（１） Ｉ２＝Ｓ（１５−８ｔ−４ｔ2 ）／１０ ……（２） Ｉ１＋Ｉ２＝Ｓ（３−２ｔ） ……（３） Ｉ１−Ｉ２＝２Ｓ（２ｔ2 −ｔ）／５ ……（４） ０．５≦ｔ≦１（Ｐ／２≦ｘ≦Ｐ）の時 Ｉ１＝Ｓ（３＋１６ｔ−４ｔ2 ）／１０ ……（５） Ｉ２＝Ｓ（７＋４ｔ＋４ｔ2 ）／１０ ……（６） Ｉ１＋Ｉ２＝Ｓ（１＋２ｔ） ……（７） Ｉ１−Ｉ２＝−２Ｓ（２ｔ2 −３ｔ＋１）／５ ……（８） のように表わされる。但し、Ｓは定数である。
【００１８】そして、（１）式，（５）式及び（２）
式，（６）式の電流Ｉ１及びＩ２をグラフで示すと、図
６（ａ）のようになり、（３）式及び（７）式の電流和
Ｉ１＋Ｉ２をグラフで示すと、図６（ｂ）のようにな
り、又、（４）式及び（８）式の電流差Ｉ１−Ｉ２をグ
ラフで示すと、図６（ｃ）のようになる。
式，（６）式の電流Ｉ１及びＩ２をグラフで示すと、図
６（ａ）のようになり、（３）式及び（７）式の電流和
Ｉ１＋Ｉ２をグラフで示すと、図６（ｂ）のようにな
り、又、（４）式及び（８）式の電流差Ｉ１−Ｉ２をグ
ラフで示すと、図６（ｃ）のようになる。
【００１９】而して、ＰＳＤ６に発生する電流Ｉ１及び
Ｉ２は、電流−電圧変換アンプ７及び９により該電流Ｉ
１及びＩ２に比例する電圧Ｖ１及びＶ２（ＰＳＤ６から
の２つの信号）に変換される。これらの電圧Ｖ１及びＶ
２はコンパレータ８によって比較されるので、コンパレ
ータ８は、図６（ｄ）で示すように、Ｖ１≧Ｖ２（即ち
Ｉ１≧Ｉ２）の時に位置信号としてハイレベルの出力パ
ルスＰ１を出力する。又、電圧Ｖ１及びＶ２は、加算ア
ンプ１１に与えられるので、その波形図は図６（ｂ）と
比例したものとなり、これがコンパレータ１２によって
基準電圧発生器１３からの基準電圧ＶＳ（便宜上図６
（ｂ）に示す）と比較されるで、コンパレータ１２は、
図６（ｅ）で示すように、Ｖ１＋Ｖ２≧ＶＳの時に位置
信号としてハイレベルの出力パルスＰ２を出力する。
Ｉ２は、電流−電圧変換アンプ７及び９により該電流Ｉ
１及びＩ２に比例する電圧Ｖ１及びＶ２（ＰＳＤ６から
の２つの信号）に変換される。これらの電圧Ｖ１及びＶ
２はコンパレータ８によって比較されるので、コンパレ
ータ８は、図６（ｄ）で示すように、Ｖ１≧Ｖ２（即ち
Ｉ１≧Ｉ２）の時に位置信号としてハイレベルの出力パ
ルスＰ１を出力する。又、電圧Ｖ１及びＶ２は、加算ア
ンプ１１に与えられるので、その波形図は図６（ｂ）と
比例したものとなり、これがコンパレータ１２によって
基準電圧発生器１３からの基準電圧ＶＳ（便宜上図６
（ｂ）に示す）と比較されるで、コンパレータ１２は、
図６（ｅ）で示すように、Ｖ１＋Ｖ２≧ＶＳの時に位置
信号としてハイレベルの出力パルスＰ２を出力する。
【００２０】従って、出力パルスＰ１若しくはＰ２をカ
ウントすることにより、回転ディスク３の移動量たる回
転角を検出することができる。又、出力パルスＰ１及び
Ｐ２は位相差をもつようになっているので、一方の出力
パルスを基準として他方の出力パルスを見ると、回転方
向により位相関係が逆転するようになるものであり、従
って、出力パルスＰ１及びＰ２の位相を測定することに
より、回転ディスク３の回転（移動）方向を検出するこ
とができる。
ウントすることにより、回転ディスク３の移動量たる回
転角を検出することができる。又、出力パルスＰ１及び
Ｐ２は位相差をもつようになっているので、一方の出力
パルスを基準として他方の出力パルスを見ると、回転方
向により位相関係が逆転するようになるものであり、従
って、出力パルスＰ１及びＰ２の位相を測定することに
より、回転ディスク３の回転（移動）方向を検出するこ
とができる。
【００２１】このような本実施例によれば、次のような
効果を得ることができる。
効果を得ることができる。
【００２２】即ち、回転ディスク３の回転に基づいてス
リットパターン４によりＰＳＤ６の受光面上に光の明部
１６及び暗部１７を形成し、ＰＳＤ６はこれに応じて電
流Ｉ１及びＩ２を発生し、これに基づき電流−電圧変換
アンプ７，９，コンパレータ８，１２，加算アンプ１１
及び基準電圧発生器１３からなる検出手段１８がパルス
信号たる出力パルスＰ１及びＰ２を出力するようにした
ので、出力パルスＰ１若しくはＰ２をカウントすること
により回転ディスク３の回転角を検出することができ、
又、出力パルスＰ１及びＰ２の位相により回転ディスク
３の回転方向を検出することができる。
リットパターン４によりＰＳＤ６の受光面上に光の明部
１６及び暗部１７を形成し、ＰＳＤ６はこれに応じて電
流Ｉ１及びＩ２を発生し、これに基づき電流−電圧変換
アンプ７，９，コンパレータ８，１２，加算アンプ１１
及び基準電圧発生器１３からなる検出手段１８がパルス
信号たる出力パルスＰ１及びＰ２を出力するようにした
ので、出力パルスＰ１若しくはＰ２をカウントすること
により回転ディスク３の回転角を検出することができ、
又、出力パルスＰ１及びＰ２の位相により回転ディスク
３の回転方向を検出することができる。
【００２３】この場合、ＰＳＤ６は、回転ディスク３の
回転に基づくスリットパターン４による光の明部１６及
び暗部１７の移動、即ち、光の重心位置の移動を電気信
号たる電流Ｉ１及びＩ２として検出するので、スリット
ピッチＰを小にしても確実に出力パルスＰ１及びＰ２を
出力することができるものであり、従って、高分解能の
検出を精密な光学系を用いる等の設計上の困難さなく安
価に実現することができる。
回転に基づくスリットパターン４による光の明部１６及
び暗部１７の移動、即ち、光の重心位置の移動を電気信
号たる電流Ｉ１及びＩ２として検出するので、スリット
ピッチＰを小にしても確実に出力パルスＰ１及びＰ２を
出力することができるものであり、従って、高分解能の
検出を精密な光学系を用いる等の設計上の困難さなく安
価に実現することができる。
【００２４】尚、上記実施例は、本発明を回転ディスク
３を有する回転検出器に適用した場合であるが、これに
限らず、直線移動する直線移動検出器にも同様にして適
用し得る等、移動検出器全般に適用可能である。
３を有する回転検出器に適用した場合であるが、これに
限らず、直線移動する直線移動検出器にも同様にして適
用し得る等、移動検出器全般に適用可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明の移動検出器は以上説明したよう
に、移動体のスリットパターンに基づく光の重心位置を
半導体位置検出素子により検出して２つの信号を出力さ
せ、これらの２つの信号に基づいて第１及び第２のコン
パレータから夫々位置信号を得るようにしたので、高分
解能の移動検出を設計上の困難さなく安価に実現するこ
とができ、しかも、２つの位置信号から移動体の移動方
向を検出することができるという優れた効果を奏するも
のである。
に、移動体のスリットパターンに基づく光の重心位置を
半導体位置検出素子により検出して２つの信号を出力さ
せ、これらの２つの信号に基づいて第１及び第２のコン
パレータから夫々位置信号を得るようにしたので、高分
解能の移動検出を設計上の困難さなく安価に実現するこ
とができ、しかも、２つの位置信号から移動体の移動方
向を検出することができるという優れた効果を奏するも
のである。
【図１】本発明の一実施例を示す電気的構成図
【図２】縦断側面図
【図３】横断平面図
【図４】要部の拡大縦断側面図
【図５】半導体位置検出素子の受光状態を示す平面図
【図６】各部の信号波形図
図面中、１はケース、２はシャフト、３は回転ディスク
（移動体）、４はスリットパターン、４ａは透孔部（透
光部）、４ｂは遮蔽部（遮光部）、５は投光素子、６は
ＰＳＤ（半導体位置検出素子）、８は第１のコンパレー
タ、１２は第２のコンパレータ、１８は検出手段を示
す。
（移動体）、４はスリットパターン、４ａは透孔部（透
光部）、４ｂは遮蔽部（遮光部）、５は投光素子、６は
ＰＳＤ（半導体位置検出素子）、８は第１のコンパレー
タ、１２は第２のコンパレータ、１８は検出手段を示
す。
Claims (1)
- 【請求項１】 移動方向に沿って多数のスリット状の透
光部が所定のピッチで形成されたスリットパターンを有
する移動体と、この移動体のスリットパターンに向けて
投光する投光素子と、前記スリットパターンの透光部を
透過した光を受光してその光の重心位置を検出する半導
体位置検出素子と、この半導体位置検出素子からの２つ
の信号の大小を比較して位置信号を得る第１のコンパレ
ータと、前記半導体位置検出素子からの２つの信号の加
算値と基準値との大小を比較して位置信号を得る第２の
コンパレータとを具備してなる移動検出器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168786A JP3067282B2 (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 移動検出器 |
| EP92109950A EP0518373B1 (en) | 1991-06-13 | 1992-06-12 | Movement detector |
| US07/897,760 US5276323A (en) | 1991-06-13 | 1992-06-12 | Optical movement detector detecting a position of an optical gravity center |
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