JPH07121828A

JPH07121828A - 薄膜磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH07121828A
Application number: JP28977393A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Iizuka; 大助飯塚
Original assignee: RIIDE RAITO S M I KK
Current assignee: RIIDE RAITO S M I KK
Priority date: 1993-10-27
Filing date: 1993-10-27
Publication date: 1995-05-12

Abstract

(57)【要約】【構成】導電性を有する基板の上に絶縁層を介して磁
性膜と導体コイル膜とを積層してなる薄膜磁気ヘッド素
子を形成する。基板をスライダに切断・加工する後の工
程で除去される基板の領域に於いて、基板と磁性膜とを
電気的に導通させる。基板自体を磁極側の端子とし、か
つ導体コイルの引出し部またはボンディング用端子をコ
イル側の端子として、磁極と導体コイルとの絶縁性が測
定される。【効果】絶縁性の測定が、電磁変換特性に影響を与え
ることなくより簡単かつ正確に行われ、製品の品質・信
頼性が向上する。測定によるヘッド素子破損の虞が減少
して、歩留りが向上する。基板を切断するカッタの寿命
が延びて、製造コストを低減できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板の上に磁性膜を積
層した多層構造の薄膜磁気ヘッドに関し、例えば磁気デ
ィスク装置、その他の磁気記録再生装置に使用される。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種の薄膜磁気ヘッドは、膜
厚数μｍ程度の金属磁性膜や有機樹脂の絶縁膜等の薄膜
を基板の上に積層して、電磁変換を行うための磁気回路
が形成されている。従って、記録媒体への情報の書込み
・読出しを行うための磁極と導体コイルとの距離が非常
に短いので、両者間に十分な絶縁性を確保することが極
めて重要である。このため、薄膜磁気ヘッドの製造過程
では、通例磁極と導体コイルとの絶縁性を確認するため
の測定作業が行われている。

【０００３】薄膜磁気ヘッドの製造工程は、ウエハ工
程、加工工程、組立工程からなる３つの工程で構成され
る。ウエハ工程では基板上に磁気回路を積層したヘッド
素子を形成し、次の加工工程で該基板をアレーとして切
り出し、加工して最終的にスライダとして完成させる。
従来、図５に示されるように、ウエハ工程に於いて加工
工程以降に切断除去される部分にまで磁極を延長させ、
磁極側の測定用端子を形成する。即ち、セラミック材料
の基板１の表面には、アルミナの絶縁膜２を被覆した上
に下部磁性膜３がパターン形成されているが、その先端
の下部磁極４は、前記アレーの切断線ａ−ａを越えて延
びる所定長さの延長部５を有する。下部磁性膜３の上に
は、磁気ギャップ膜６、有機絶縁層７及び導体コイル８
を挟んで上部磁性膜９がパターン形成されるが、磁気ギ
ャップ膜６を介して下部磁極４に対向する上部磁極１０
が、同様に切断線ａ−ａより先に所定長さの延長部１１
を有する。両延長部５、１１は、磁気ギャップ膜６の開
口１２を介して互いに電気的に接続されている。

【０００４】ウエハ工程に於いて磁極・導体コイル間の
絶縁性を測定する場合には、延長部５と接続された延長
部１１を磁極側の測定用端子とし、かつ導体コイル８の
図示されない引出し部または外部回路とのボンディング
用端子をコイル側の測定用端子として、それらに測定装
置の各プローブを当てて規定の電流を流し、測定を行
う。また、この後に基板全体を覆うようにアルミナの保
護膜１３が形成されるが、薄膜磁気ヘッドの信頼性を確
保するためには、その後の絶縁性も同様に確認する必要
がある。この場合には、前記保護膜の形成前に予め電気
めっきにより測定用端子１４を上部磁極９の延長部１１
から上方へ垂直に突設しておき、その上端面を保護膜１
３の表面に露出させて一方のプローブを当接させる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の薄膜磁気ヘッドは、後の加工工程で切断線Ａ−
Ａに沿って基板を切断する際に、金属である前記測定用
端子にカッタの刃が接触して刃こぼれや異常摩耗を生じ
るため、カッタの寿命が著しく短縮されるので、カッタ
を頻繁に点検したり交換する必要が生じ、加工作業が煩
雑になって面倒であると共にコストを増大させる、とい
う問題があった。しかも、１枚の基板に形成される多数
のヘッド素子のそれぞれに測定用端子を個別に設けるこ
とは、手間がかかり製造コストが増大するだけでなく、
測定作業も個別に行う必要があるので、多大の時間・労
力を要していた。一方、前記保護膜形成後の絶縁性を測
定することは、上述したように最終製品として薄膜磁気
ヘッドの品質・信頼性の点から重要である。また、前記
測定用端子を切断線ａ−ａから十分に離隔して形成する
こともできるが、それだけ切断除去する部分が大きくな
って歩留りが低下して製造コストが上昇し、しかも磁極
の延長部が長くなり過ぎると測定自体の信頼性に影響を
与える虞がある。

【０００６】更に、従来の薄膜磁気ヘッドでは、磁極の
延長部及び測定用端子は双方共に表面積が比較的小さい
ため、測定装置のプローブを正確に当てることが容易で
なく、プローブのずれにより測定エラーを生じる可能性
がある、という問題があった。また、磁極側の端子を電
磁変換を行う磁気回路に近接して設けることは、測定自
体によって磁気回路や絶縁膜を破損したり電磁変換特性
に影響を与える虞があるので、好ましくない。

【０００７】そこで、請求項１記載の薄膜磁気ヘッド
は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、磁極と導体コイルとの絶
縁性を、電磁変換特性に影響を与えることなくより簡単
にかつ測定エラーを生じることなく正確に測定すること
ができ、保護膜の形成後に測定する場合でも、磁極の延
長部から保護膜の表面に露出するような金属測定端子を
設ける必要がなく、基板の切断加工をより容易にしかつ
コストの削減を図ることができると共に、測定によるヘ
ッド素子の破損の虞れを解消した薄膜磁気ヘッドを提供
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述した目的
を達成するためのものであり、以下にその内容を図面に
示した実施例を用いて説明する。

【０００９】請求項１記載の薄膜磁気ヘッドは、基板が
導電性を有しており、その基板の上に絶縁層を介して磁
性膜と導体コイル膜とを積層してなる薄膜磁気ヘッド素
子を形成し、基板をスライダに切断・加工する後の工程
で除去される基板の領域に於いて、基板と磁性膜とを電
気的に導通させたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】従って、請求項１記載の薄膜磁気ヘッドによれ
ば、基板を磁性膜即ち磁極側の端子として、しかも基板
上に形成された全ヘッド素子について、基板の適当な部
分と導体コイル膜の引出し部またはボンディング用端子
とに測定装置を各プローブを当てることによって、磁性
膜と導体コイル膜との絶縁性を測定することができる。
また、基板をスライダに切断する際に除去される部分で
基板と磁性膜とを接続させたことによって、薄膜磁気ヘ
ッドの電磁変換特性に影響を与えることがない。

【００１１】

【実施例】図１には、本発明を適用した薄膜磁気ヘッド
の好適な実施例の要部が概略的に示されている。導電性
を有するＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣの基板１の表面には、膜厚約
１０μｍのアルミナからなる絶縁膜２が被覆されてい
る。絶縁膜２の上には、従来と同様にパーマロイ合金か
らなる下部磁性膜３、アルミナのギャップ膜６、ノボラ
ック系有機樹脂の層間絶縁層７、Ｃｕ薄膜からなる導体
コイル８、及びパーマロイ合金の上部磁性膜９が積層さ
れて、電磁変換により情報の書込み・読出しを行うため
の磁気回路を形成している。上下磁性膜９、３の先端
は、ギャップ膜６を挟んで対面する１対の上下磁極１
０、４を構成し、後の工程で基板１をスライダに切り出
す際に切断線ａ−ａを境に切断除去される領域Ａ内まで
延長している。これらの延長部１１、５は、ギャップ膜
６の対応する位置に設けられた開口１２を介して互いに
接続されている。また、基板１全体にはアルミナの保護
膜１３が被覆されている。

【００１２】絶縁膜２には、下部磁極の延長部５に対応
する領域Ａ内の位置に、基板１と下部磁極４とを電気的
に接続する導電部１５が設けられている。導電部１５
は、絶縁膜２をウェットエッチングまたはドライエッチ
ングすることにより基板１に達する貫通孔１６を穿設
し、該孔を完全に埋めるようにＣｕ、パーマロイ、金等
の金属を電気めっきすることによって形成される。そし
て、基板１上に形成される他の全ての薄膜磁気ヘッド素
子について同様に導電部が設けられるから、磁極と導体
コイルとの絶縁性を測定する際に、基板１は、該基板上
の全薄膜磁気ヘッド素子に共通の磁極側端子を構成する
ことになる。また、絶縁膜２は保護膜１３に比して非常
に薄いので、後の加工工程に於いて基板１を切断線ａ−
ａに沿って切断する際に、カッタが金属導電部１５を通
っても、従来の刃こぼれや異常摩耗のような刃の損傷が
大幅に少なくなり、その寿命を延ばすことができる。

【００１３】基板上に形成された薄膜磁気ヘッド素子の
磁極と導体コイルとの絶縁性を測定する場合には、図２
に示すように、測定装置１７の一方のプローブ１８を、
従来と同様に測定しようとする薄膜磁気ヘッド素子１９
のボンディング用端子２０に当て、かつ他方のプローブ
２１を基板１の底面等の適当な部位（図示せず）に接触
させる。そして、前記両プローブ間に所定の大きさの試
験電圧をかけ、そのときに流れる電流を測定して絶縁性
を測定する。コイル側のプローブ１８は、導体コイルの
引出し部２２に当てることもできる。上述したように、
基板１全体が磁極側の端子となるので、磁極側のプロー
ブ２１を当てるのが容易であると共に、プローブのずれ
による測定エラーの可能性が少なくなり、より正確な測
定が可能になる。しかも、磁極側のプローブを基板に接
触させたまま、コイル側のプローブを各薄膜ヘッド素子
の端子または引出し部に順次当てていくことによって、
全ヘッド素子の測定を比較的簡単な作業で実施すること
ができる。また、導電部１５が切断除去される領域Ａに
配設されているので、最終製品として薄膜時ヘッドの電
磁変換特性に影響を与える虞がない。また、プローブと
磁極側端子との接触位置が前記磁気回路から離隔される
ので、絶縁性の測定自体により薄膜磁気ヘッド素子を破
損する可能性が大幅に低減する。

【００１４】図３には、本発明による薄膜磁気ヘッドの
第２実施例が示されている。上記第１実施例の場合と同
様に、絶縁膜２には、下部磁極の延長部５に対応する領
域Ａ内の位置に基板１に達する貫通孔１６が穿設されて
いる。しかしながら、本実施例では、貫通孔１６を電気
めっきする代わりに、下部磁極４の延長部５を該貫通孔
の内部まで延長させて形成し、それにより前記導電部を
介さずに基板１に直接接続されている。同様に、上部磁
極１０の延長部１１が、貫通孔１６の内部まで形成され
て、下部磁極の延長部５に接続されている。

【００１５】図４には、本発明による薄膜磁気ヘッドの
第３実施例が示されている。この実施例では、基板１を
例えば研削等の機械加工することによって、その上面に
導電部として突起２３が一体的に設けられている。突起
２３を有する基板１の上面にアルミナの絶縁膜２が被覆
され、次に表面が、前記突起の上面が同一平面上に露出
するように機械加工等によって平坦化される。この平坦
化した絶縁膜２の上に突起２３の位置まで延長させて下
部磁性膜３を形成することによって、下部磁極４と基板
１とが直接電気的に接続される。また、上記第１実施例
と同様に、ギャップ膜６の開口１２を介して、下部磁極
の延長部５と上部磁極の延長部１１とが互いに接続され
ている。これら第２、第３実施例の場合にも、第１実施
例の場合と同様に、図２に関連して説明した方法によ
り、磁極と導体コイルとの絶縁性を測定することができ
る。

【００１６】以上、本発明の好適な実施例について説明
したが、本発明はその技術的範囲内に於いて上記実施例
に様々な変形・変更を加えて実施することができる。例
えば、基板の材料自体が導電性を有しない場合には、絶
縁層を形成する前に基板表面を導電材料の膜層で被覆し
て導電性を付与し、その端部を引き出して磁極側の端子
とすることができる。また、第１実施例に於ける絶縁膜
の導電部は、第３実施例のように基板上の突起として先
にめっき等により形成し、その後に絶縁膜を成膜するこ
ともできる。

【００１７】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００１８】請求項１記載の薄膜磁気ヘッドによれば、
基板を磁性膜と電気的に接続することによって、基板上
に形成された全ヘッド素子の磁極側端子として使用する
ことができるので、磁極と導体コイルとの絶縁性を、保
護膜の形成後で於いてもより簡単にかつ正確に、しかも
電磁変換特性に影響を及ぼすことなく測定することがで
きるので、製品の品質・信頼性が大幅に向上し、また測
定自体によるヘッド素子の破損が解消されるので歩留り
がより一層改善され、かつ作業性の向上により生産性を
一段と高めることができる。しかも、比較的簡単な構成
により製造も容易であり、従って製造コストを増大させ
ることなく品質が図れる利点がある。また、保護膜の形
成後に測定する場合には、従来のように磁極の延長部か
ら保護膜の表面に露出するような金属測定端子を設ける
必要がないから、カッタの破損が大幅に少なくなって基
板の加工作業が容易になり、かつコストを削減すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による薄膜磁気ヘッドの第１実施例の要
部の構造を示す断面図である。

【図２】本発明による薄膜磁気ヘッドの磁極と導体コイ
ルとの絶縁性を測定する方法を模式的に示す図である。

【図３】本発明の第２実施例の要部を示す図１と同様の
断面図である。

【図４】本発明の第３実施例の要部を示す図１と同様の
断面図である。

【図５】従来の薄膜磁気ヘッドの要部の構造を示す断面
図である。

【符号の説明】

１基板２絶縁膜３下部磁性膜４下部磁極５延長部６磁気ギャップ膜７有機絶縁層８導体コイル９上部磁性膜１０上部磁極１１延長部１２開口１３保護膜１４測定用端子１５導電部１６貫通孔１７測定装置１８プローブ１９薄膜磁気ヘッド素子２０ボンディング用端子２１プローブ２２引出し部２３突起

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の上に絶縁層を介して磁性膜と導体
コイル膜とを積層した薄膜磁気ヘッド素子を形成し、該
基板をスライダに切断・加工してなる薄膜磁気ヘッドで
あって、前記基板が導電性を有し、かつ前記基板を前記スライダ
に切断・加工する際に除去される領域に於いて、前記基
板と前記薄膜磁気ヘッド素子の磁性膜とが電気的に接続
されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。