JPH07114195B2 - エッチング終点判定方法 - Google Patents
エッチング終点判定方法Info
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- JPH07114195B2 JPH07114195B2 JP62088814A JP8881487A JPH07114195B2 JP H07114195 B2 JPH07114195 B2 JP H07114195B2 JP 62088814 A JP62088814 A JP 62088814A JP 8881487 A JP8881487 A JP 8881487A JP H07114195 B2 JPH07114195 B2 JP H07114195B2
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- wafer
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエッチング終点判定方法に関するものである。
従来のエッチング終点判定装置は、特開昭60−60727号
に記載のようにエッチング処理時光量を光電子増倍管等
の電気信号変換手段によって電気信号に変換し、IV変換
器等の変換器で他の電気量に変換した後、記憶保持手
段、例えば、サンプルホールド器に入力する。記憶保持
手段の出力は直流分除去値を設定するための装置、例え
ば、マイクロコンピュータに入力すると共に、直流分除
去器に入力する。直流分除去器ではマイクロコンピュー
タで設定された直流分除去値を入力値から除去し、直流
分除去器の出力は増幅器でマイクロコンピュータによっ
て設定された増幅率にしたがって増幅した後、マイクロ
コンピュータに入力してエッチング処理の終点を判定す
るようになっている。
に記載のようにエッチング処理時光量を光電子増倍管等
の電気信号変換手段によって電気信号に変換し、IV変換
器等の変換器で他の電気量に変換した後、記憶保持手
段、例えば、サンプルホールド器に入力する。記憶保持
手段の出力は直流分除去値を設定するための装置、例え
ば、マイクロコンピュータに入力すると共に、直流分除
去器に入力する。直流分除去器ではマイクロコンピュー
タで設定された直流分除去値を入力値から除去し、直流
分除去器の出力は増幅器でマイクロコンピュータによっ
て設定された増幅率にしたがって増幅した後、マイクロ
コンピュータに入力してエッチング処理の終点を判定す
るようになっている。
上記従来技術は同一プロセス中においてウェハのエッチ
ング終了時の発光量変化の増輻量を一定にした終点判定
を容易にする点について配慮されておらず、増幅器によ
る増幅は一定の値で行われるので、エッチング処理の繰
り返しにより発生検出部の汚れが進行し検出する発光量
が減少すると、エッチング終了時の発先量変化の増幅量
が減少し、終点判定が難しくなるという問題があった。
ング終了時の発光量変化の増輻量を一定にした終点判定
を容易にする点について配慮されておらず、増幅器によ
る増幅は一定の値で行われるので、エッチング処理の繰
り返しにより発生検出部の汚れが進行し検出する発光量
が減少すると、エッチング終了時の発先量変化の増幅量
が減少し、終点判定が難しくなるという問題があった。
本発明の目的は、エッチング処理が繰り返し行われて、
発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期のエ
ッチング終点判定と同じように容易に判定することので
きるエッチング終点判定方法を提供することにある。
発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期のエ
ッチング終点判定と同じように容易に判定することので
きるエッチング終点判定方法を提供することにある。
上記目的は、ウェハのエッチング処理時の発光量を電気
信号変換手段により電気信号としての発光量信号に変換
し、該発光量信号と所定のオフセット値の差分を入力値
補正手段の減算器で求め、該減算器の出力を入力値補正
手段の増幅器において所定のゲイン値で増幅し、該増幅
された発光量信号の出力電圧Ｖを用いて終点判定手段に
よりエッチング終点を判定するエッチング終点判定方法
において、 初期の発光量信号および該発光量信号の補正を行うため
の初期オフセット値Voff1、初期ゲイン値G1、１枚目の
ウェハの処理開始後t1経過時における発光量信号の信号
強度（Va1）を記憶手段に記憶し、 比率算出手段により、ｎ枚目のウェハの処理時における
前記発光量信号の信号強度（Van）と前記１枚目の信号
強度（Va1）とを比較して両者の比率（Va1/Van）を算出
し、 補正値算出手段により、前記比率及び前記ゲイン値G1に
基づいて、ｎ枚目のウェハの処理時におけるゲイン値
（Gn＝（Va1/Van）×G1）を求め、 ｎ枚目のウェハの処理時における出力信号（Vfn）が、
１枚目のウェハの処理時における出力信号（Vf1）と等
しく（Vfn＝Vf1,Vgn＝Vg1）なるように、オフセット値
（Voffn＝Van−（Vf1/Gn））を算出し、 該ゲイン値Gn及びオフセット値Voffnを前記減算器及び
増幅器に再設定し、 前記初期設定された初期オフセット値Voff1及び初期ゲ
イン値G1を、前記ゲイン値Gn及びオフセット値Voffnに
置き換えて前記記憶手段に記憶し、 再設定後に入力された発光量信号と前記オフセット値Vo
ffnとの差分を前記減算器で求め、該減算器の出力を前
記増幅器において前記ゲイン値Gnで増幅し、 該増幅された発光量信号の出力信号を用いてｎ枚目のウ
ェハのエッチング終点を判定することにより達成され
る。
信号変換手段により電気信号としての発光量信号に変換
し、該発光量信号と所定のオフセット値の差分を入力値
補正手段の減算器で求め、該減算器の出力を入力値補正
手段の増幅器において所定のゲイン値で増幅し、該増幅
された発光量信号の出力電圧Ｖを用いて終点判定手段に
よりエッチング終点を判定するエッチング終点判定方法
において、 初期の発光量信号および該発光量信号の補正を行うため
の初期オフセット値Voff1、初期ゲイン値G1、１枚目の
ウェハの処理開始後t1経過時における発光量信号の信号
強度（Va1）を記憶手段に記憶し、 比率算出手段により、ｎ枚目のウェハの処理時における
前記発光量信号の信号強度（Van）と前記１枚目の信号
強度（Va1）とを比較して両者の比率（Va1/Van）を算出
し、 補正値算出手段により、前記比率及び前記ゲイン値G1に
基づいて、ｎ枚目のウェハの処理時におけるゲイン値
（Gn＝（Va1/Van）×G1）を求め、 ｎ枚目のウェハの処理時における出力信号（Vfn）が、
１枚目のウェハの処理時における出力信号（Vf1）と等
しく（Vfn＝Vf1,Vgn＝Vg1）なるように、オフセット値
（Voffn＝Van−（Vf1/Gn））を算出し、 該ゲイン値Gn及びオフセット値Voffnを前記減算器及び
増幅器に再設定し、 前記初期設定された初期オフセット値Voff1及び初期ゲ
イン値G1を、前記ゲイン値Gn及びオフセット値Voffnに
置き換えて前記記憶手段に記憶し、 再設定後に入力された発光量信号と前記オフセット値Vo
ffnとの差分を前記減算器で求め、該減算器の出力を前
記増幅器において前記ゲイン値Gnで増幅し、 該増幅された発光量信号の出力信号を用いてｎ枚目のウ
ェハのエッチング終点を判定することにより達成され
る。
最初に処理した試料の発光を電気信号変換手段によって
電気信号に変換し、そのときに得られる電気信号の波形
および該波形を用いて終点判定をしやすくするための補
正値であるオフセット値，ゲイン値を記憶手段に記憶さ
せておいて、試料の処理を行う。このとき、前記同様に
初期以降の試料処理によって生ずる発光を電気信号に変
換し、比率算出手段によって該電気信号と記憶しておい
た初期時の電気信号と比較してその比率を算出し、補正
値算出手段によって算出した比率を基に記憶しておいた
オフセット値およびゲイン値を算出して、入力値補正手
段によって該算出値に従い入力した電気信号を補正し、
終点判定手段によって該補正した電気信号を基にエッチ
ング終点を判定する。これにより、毎回の処理ごとに減
少する発生検出量の光量に関係なく、一定した電気信号
が得られ、初期時と変わらない精度でエッチング終点判
定が行える。
電気信号に変換し、そのときに得られる電気信号の波形
および該波形を用いて終点判定をしやすくするための補
正値であるオフセット値，ゲイン値を記憶手段に記憶さ
せておいて、試料の処理を行う。このとき、前記同様に
初期以降の試料処理によって生ずる発光を電気信号に変
換し、比率算出手段によって該電気信号と記憶しておい
た初期時の電気信号と比較してその比率を算出し、補正
値算出手段によって算出した比率を基に記憶しておいた
オフセット値およびゲイン値を算出して、入力値補正手
段によって該算出値に従い入力した電気信号を補正し、
終点判定手段によって該補正した電気信号を基にエッチ
ング終点を判定する。これにより、毎回の処理ごとに減
少する発生検出量の光量に関係なく、一定した電気信号
が得られ、初期時と変わらない精度でエッチング終点判
定が行える。
以下、本発明の一実施例を第１図から第６図により説明
する。
する。
第１図はエッチング終点判定装置を示す。電気信号変換
手段である光電変換器１からの電気信号はバッファ２を
介して、一方はアナログスイッチ９およびA/D変換器10
を介して記憶手段12および比率算出手段13に入るように
なっており、他方は減算器３およびゲインアンプ４を順
次通りアナログスイッチおよびA/D変換器10を介してお
のおの終点判定手段11および信号出力用D/A変換器16に
入る。信号出力用D/A変換器16を出た信号は、表示装置
である例えばペンレコーダ17に入る。
手段である光電変換器１からの電気信号はバッファ２を
介して、一方はアナログスイッチ９およびA/D変換器10
を介して記憶手段12および比率算出手段13に入るように
なっており、他方は減算器３およびゲインアンプ４を順
次通りアナログスイッチおよびA/D変換器10を介してお
のおの終点判定手段11および信号出力用D/A変換器16に
入る。信号出力用D/A変換器16を出た信号は、表示装置
である例えばペンレコーダ17に入る。
ゲイン設定用可変抵抗器７およびオフセット調整用可変
抵抗器８はそれぞれにアナログスイッチ９およびA/D変
換器10を介し、一方は記憶手段12に入力され、ゲイン設
定用可変抵抗器７側の他方はゲインアンプ４に入り、オ
フセット調整用可変抵抗器８側の他方はオフセット調整
用D/A変換器５を介して減算器３に入力される。
抵抗器８はそれぞれにアナログスイッチ９およびA/D変
換器10を介し、一方は記憶手段12に入力され、ゲイン設
定用可変抵抗器７側の他方はゲインアンプ４に入り、オ
フセット調整用可変抵抗器８側の他方はオフセット調整
用D/A変換器５を介して減算器３に入力される。
記憶手段12は光電変換器１からの直接の信号とゲイン設
定用可変抵抗器7,オフセット調整用可変抵抗器８からの
信号および後述する補正値算出手段14からの信号を入力
し記憶するようになっており、比率算出手段13および補
正値算出手段14に記憶内容を出力するようになってい
る。
定用可変抵抗器7,オフセット調整用可変抵抗器８からの
信号および後述する補正値算出手段14からの信号を入力
し記憶するようになっており、比率算出手段13および補
正値算出手段14に記憶内容を出力するようになってい
る。
比率算出手段13は記憶手段12に記憶された光電変換器１
からの初期の電気信号と初期以降に光電変換器１から入
力される電気信号との強さを比較し比率を算出して、補
正値算出手段14にその値を出力する。このときの比率は
次のような考えによって決められている。
からの初期の電気信号と初期以降に光電変換器１から入
力される電気信号との強さを比較し比率を算出して、補
正値算出手段14にその値を出力する。このときの比率は
次のような考えによって決められている。
試料であるウェハのエッチング処理を繰り返すに従い、
第２図（ａ）に示す最初の処理によって得られる光電変
換器１からの電気信号は、第２図（ｂ）に示すように電
気信号の信号強度が弱くなる。第２図（ａ）に示す１枚
目のウェハを処理したときの時間t1後のエッチング中の
信号強度Valおよびエッチング終了後の信号強度Vblは、
第２図（ｂ）に示すｎ枚目のウェハを処理したときの時
間t1後のエッチング中の信号強度Vanおよびエッチング
終了後の信号強度Vbnに減少するとともに、ValとVblと
の差がｎ枚目の処理時にはVanとVbnとの差のように小さ
くなる。これらの間には の関係が成り立つことが実験によって確かめられてお
り、このことからVal/Van……（２）の比率が求められ
る。
第２図（ａ）に示す最初の処理によって得られる光電変
換器１からの電気信号は、第２図（ｂ）に示すように電
気信号の信号強度が弱くなる。第２図（ａ）に示す１枚
目のウェハを処理したときの時間t1後のエッチング中の
信号強度Valおよびエッチング終了後の信号強度Vblは、
第２図（ｂ）に示すｎ枚目のウェハを処理したときの時
間t1後のエッチング中の信号強度Vanおよびエッチング
終了後の信号強度Vbnに減少するとともに、ValとVblと
の差がｎ枚目の処理時にはVanとVbnとの差のように小さ
くなる。これらの間には の関係が成り立つことが実験によって確かめられてお
り、このことからVal/Van……（２）の比率が求められ
る。
次に、補正値算出手段14は比率算出手段13からの比率を
基に記憶手段12に記憶されたオフセット値およびゲイン
値を補正して新たに算出し、オフセット調整用D/A変換
器５およびゲインアンプ４に算出値を送るとともに、記
憶手段12に送って記憶させておく。このときに求める算
出値は次のような考えによって決められている。
基に記憶手段12に記憶されたオフセット値およびゲイン
値を補正して新たに算出し、オフセット調整用D/A変換
器５およびゲインアンプ４に算出値を送るとともに、記
憶手段12に送って記憶させておく。このときに求める算
出値は次のような考えによって決められている。
通常、光電変換器１によって変換された電気信号はその
ままではエッチング中とエッチング終了時との信号強度
の差が小さく終点判定しにくいので、光電変換器１から
の電気信号をオフセットし、増幅してエッチング中とエ
ッチング終了時との信号強度の差を大きくして終点判定
をしやすくしている。このときのオフセット値や増幅の
ためのゲイン値は最初に設定され、これによって補正さ
れた電気信号は第３図に示すようになる。第３図はペン
レコーダ17に出力された１枚目のウェハの処理時の出力
電圧である。
ままではエッチング中とエッチング終了時との信号強度
の差が小さく終点判定しにくいので、光電変換器１から
の電気信号をオフセットし、増幅してエッチング中とエ
ッチング終了時との信号強度の差を大きくして終点判定
をしやすくしている。このときのオフセット値や増幅の
ためのゲイン値は最初に設定され、これによって補正さ
れた電気信号は第３図に示すようになる。第３図はペン
レコーダ17に出力された１枚目のウェハの処理時の出力
電圧である。
第２図（ａ）に示すオフセット値Voff1（１枚目ウェハ
処理時）から時間t1後のエッチング中の信号強度までの
間を増幅率G1で増幅した値が第３図の出力電圧Vflであ
り、第２図（ａ）に示すオフセット値Voff1からエッチ
ング終了時の信号強度までの間を増幅率G1で増幅した値
が第３図の出力電圧Vglである。このときの関係式は次
のようになる。
処理時）から時間t1後のエッチング中の信号強度までの
間を増幅率G1で増幅した値が第３図の出力電圧Vflであ
り、第２図（ａ）に示すオフセット値Voff1からエッチ
ング終了時の信号強度までの間を増幅率G1で増幅した値
が第３図の出力電圧Vglである。このときの関係式は次
のようになる。
Vfl＝（Val−Voff1）×G1 ……（３） Vgl＝（Vbl−Voff1）×G1 ……（４） ここで、通常であればｎ枚目のウェハの処理時には、オ
フセット値Voff1でオフセットした後、増幅率G1で増幅
した値は第４図に示す時間t1に達するまでの出力電圧の
ようになり、第３図に示す１枚目のウェハのときとは減
少してしまう。そこで第４図に示すように、時間t1後は
増幅率を変えて出力電圧Vfnが第３図の出力電圧Vflに近
くなるように増幅する。しかし、第２図に示すようにｎ
枚目のウェハでは信号強度VanとVbnとの差が小さくなっ
ているので、第４図に示すようにエッチング後の出力電
圧Vgnとエッチング中の出力電圧Vfnとの差は第３図に示
す１枚目のときの差よりも小さく、終点判定がしにくく
なる。
フセット値Voff1でオフセットした後、増幅率G1で増幅
した値は第４図に示す時間t1に達するまでの出力電圧の
ようになり、第３図に示す１枚目のウェハのときとは減
少してしまう。そこで第４図に示すように、時間t1後は
増幅率を変えて出力電圧Vfnが第３図の出力電圧Vflに近
くなるように増幅する。しかし、第２図に示すようにｎ
枚目のウェハでは信号強度VanとVbnとの差が小さくなっ
ているので、第４図に示すようにエッチング後の出力電
圧Vgnとエッチング中の出力電圧Vfnとの差は第３図に示
す１枚目のときの差よりも小さく、終点判定がしにくく
なる。
そこで本発明は、ｎ枚目のウェハの処理時にはまず前記
（２）式の比率によって次式のようにｎ枚目の増幅率
（ゲイン値）Gnを決める。
（２）式の比率によって次式のようにｎ枚目の増幅率
（ゲイン値）Gnを決める。
次に、ｎ枚目の出力電圧VfnがVfn＝Vfl……（６）とな
るように、ｎ枚目のオフセット値Voffnを設定する。こ
のときの関係式は次のようになる。
るように、ｎ枚目のオフセット値Voffnを設定する。こ
のときの関係式は次のようになる。
このように、ｎ枚目のウェハの処理時のオフセット値Vo
ffnおよびゲイン値Gnを補正値算出手段14によって算出
して、設定する。これによって、ペンレコーダ17に出力
される電圧VfnおよびVgnは以下のようになる。
ffnおよびゲイン値Gnを補正値算出手段14によって算出
して、設定する。これによって、ペンレコーダ17に出力
される電圧VfnおよびVgnは以下のようになる。
ここで、（３），（６），（８）式の関係をまとめると となり、（８）式は Vfn＝（Val−Voff1）×G1 ……（11） となる。
また、（10）式は となり、さらに（１）式は となり、（12），（13）式より（９）式は となる。
これにより、（３），（11）式と（４），（14）式は Vfl＝Vfn Vgl＝Vgn となって、ｎ枚目の処理時にもペンレコーダ17に表示さ
れる時間t1以後の出力電圧は第５図に示すように、１竝
目の処理時のときの出力電圧と同じになる。
れる時間t1以後の出力電圧は第５図に示すように、１竝
目の処理時のときの出力電圧と同じになる。
補正値算出手段14によって算出したオフセット値は、オ
フセット調整用D/A変換器５を介してアナログ値に変換
されて減算器３に入力され、光電変換器１からの電気信
号に減算される。また、補正値算出手段14によって算出
したゲイン値は、ゲインアンプ４に入力され、減算器３
から出力された電気信号を増幅する。
フセット調整用D/A変換器５を介してアナログ値に変換
されて減算器３に入力され、光電変換器１からの電気信
号に減算される。また、補正値算出手段14によって算出
したゲイン値は、ゲインアンプ４に入力され、減算器３
から出力された電気信号を増幅する。
なお、この場合、入力値補正手段６は減算器３およびゲ
インアンプ３で成り、終点判定手段11,記憶手段12,比率
算出手段13および補正値算出手段14はマイクロコンピュ
ータ15内に構成されたものである。
インアンプ３で成り、終点判定手段11,記憶手段12,比率
算出手段13および補正値算出手段14はマイクロコンピュ
ータ15内に構成されたものである。
上記構成の装置によって、第６図に示すステップによっ
てエッチング終点判定が行われる。
てエッチング終点判定が行われる。
まず、製品となるべきウェハのエッチング処理を連続的
に行う前に、サンプルウェハをエッチング処理し、その
ときの発光を採光して光電変換器１によって電気信号に
変換し入力するとともに、ペンレコーダ17に表示される
出力電圧の波形を見ながら、オフセット調整用可変抵抗
器８およびゲイン設定用可変抵抗器７を調整して、オフ
セット値およびゲイン値を設定し、終点判定に適した波
形となるように初期設定を行う（これをステップ20に示
す。）。
に行う前に、サンプルウェハをエッチング処理し、その
ときの発光を採光して光電変換器１によって電気信号に
変換し入力するとともに、ペンレコーダ17に表示される
出力電圧の波形を見ながら、オフセット調整用可変抵抗
器８およびゲイン設定用可変抵抗器７を調整して、オフ
セット値およびゲイン値を設定し、終点判定に適した波
形となるように初期設定を行う（これをステップ20に示
す。）。
次に、この処理設定のときに入力した光電変換器１から
のそのままの電気信号を記憶手段12に記憶させておくと
ともに、初期設定で決められたオフセット値およびゲイ
ン値を記憶手段12に記憶させておく（これをステップ21
に示す。）。なお、この場合に記憶する電気信号は時間
t1までの電気信号を記憶している。
のそのままの電気信号を記憶手段12に記憶させておくと
ともに、初期設定で決められたオフセット値およびゲイ
ン値を記憶手段12に記憶させておく（これをステップ21
に示す。）。なお、この場合に記憶する電気信号は時間
t1までの電気信号を記憶している。
次に、これから製品となるウェハのエッチング処理を開
始し（これをステップ22に示す。）、処理時の発光を採
光して光電変換器１によって電気信号に変換して入力す
る（これをステップ23に示す。）。このとき減算器３お
よびゲインアンプ４は、記憶手段12に記憶しておいた初
期設定時のオフセット値およびゲイン値で設定され、光
電変換器１からの電気信号を補正して、ペンレコーダ17
に出力する。
始し（これをステップ22に示す。）、処理時の発光を採
光して光電変換器１によって電気信号に変換して入力す
る（これをステップ23に示す。）。このとき減算器３お
よびゲインアンプ４は、記憶手段12に記憶しておいた初
期設定時のオフセット値およびゲイン値で設定され、光
電変換器１からの電気信号を補正して、ペンレコーダ17
に出力する。
また、光電変換器１からの電気信号はそのままの値で比
率算出手段13に入力され、初期設定時の電気信号と比較
して比率Val/Vanを算出し（これをステップ24に示
す。）、この比率を基に補正値算出手段14によってオフ
セット値Voffnおよびゲイン値Gnを算出して（これをス
テップ25に示す。）、減算器３およびゲインアンプ４を
再設定する（これをステップ26に示す。）。これによ
り、終点判定手段11に入力される値は、初期の値と同じ
ものになる。
率算出手段13に入力され、初期設定時の電気信号と比較
して比率Val/Vanを算出し（これをステップ24に示
す。）、この比率を基に補正値算出手段14によってオフ
セット値Voffnおよびゲイン値Gnを算出して（これをス
テップ25に示す。）、減算器３およびゲインアンプ４を
再設定する（これをステップ26に示す。）。これによ
り、終点判定手段11に入力される値は、初期の値と同じ
ものになる。
このときに再設定されたオフセット値およびゲイン値
を、初期設定時に設定したオフセット値およびゲイン値
に置き換えて記憶手段12に記憶させておき（これをステ
ップ27に示す。）、次処理のときには再設定された値で
時間t1までの間は補正される。
を、初期設定時に設定したオフセット値およびゲイン値
に置き換えて記憶手段12に記憶させておき（これをステ
ップ27に示す。）、次処理のときには再設定された値で
時間t1までの間は補正される。
このように、初期時の波形と同じに補正された電気信号
によって、公知の終点判定方法を用いた終点判定手段に
よりエッチング終点を判定する（これをステップ28に示
す。）。
によって、公知の終点判定方法を用いた終点判定手段に
よりエッチング終点を判定する（これをステップ28に示
す。）。
終点判定が終わり、処理されたウェハが処理室から搬送
され、また次に新しいウェハの処理がある場合にはステ
ップ22に戻り、ない場合には終わる（これをステップ29
に示す。）。
され、また次に新しいウェハの処理がある場合にはステ
ップ22に戻り、ない場合には終わる（これをステップ29
に示す。）。
以上、本一実施例によれば、初期設定時に補正した電気
信号の波形と同じ波形のものを、毎回の処理時に得るこ
とができるので、エッチング終点判定が容易になるとと
もに、一定したエッチング終点判定ができ、同一プロセ
ス中のウェハの品質が均一になるという効果がある。
信号の波形と同じ波形のものを、毎回の処理時に得るこ
とができるので、エッチング終点判定が容易になるとと
もに、一定したエッチング終点判定ができ、同一プロセ
ス中のウェハの品質が均一になるという効果がある。
なお、本一実施例ではエッチング時の光量が増加する場
合について述べたが、逆にエッチング時の光量が減少す
るものであっても良い。
合について述べたが、逆にエッチング時の光量が減少す
るものであっても良い。
本発明によれば、エッチング処理が繰り返し行われて、
発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期のエ
ッチング終点判定と同じように容易に判定することがで
きるという効果がある。
発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期のエ
ッチング終点判定と同じように容易に判定することがで
きるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例であるエッチング終点判定装
置を示すブロック図、第２図（ａ）は１枚目の処理時に
光電変換器で変換された電気信号の波形を示す図、第２
図（ｂ）はｎ枚目の処理時に光電変換器で変換された電
気信号の波形を示す図、第３図は１枚目の処理時に電気
信号を補正したときの波形を示す図、第４図はｎ枚目の
処理時に前回補正した電気信号をそのまま増幅したとき
の波形を示す図、第５図はｎ枚目の処理時に本発明によ
って補正したときの波形を示す図、第６図は第１図の作
用を示すフローチャート図である。 １……光電変換器、６……入力値補正手段、11……終点
判定手段、12……記憶手段、13……比率算出手段、14…
…補正値算出手段
置を示すブロック図、第２図（ａ）は１枚目の処理時に
光電変換器で変換された電気信号の波形を示す図、第２
図（ｂ）はｎ枚目の処理時に光電変換器で変換された電
気信号の波形を示す図、第３図は１枚目の処理時に電気
信号を補正したときの波形を示す図、第４図はｎ枚目の
処理時に前回補正した電気信号をそのまま増幅したとき
の波形を示す図、第５図はｎ枚目の処理時に本発明によ
って補正したときの波形を示す図、第６図は第１図の作
用を示すフローチャート図である。 １……光電変換器、６……入力値補正手段、11……終点
判定手段、12……記憶手段、13……比率算出手段、14…
…補正値算出手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加治 哲徳 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (56)参考文献 特開 昭59−94423（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−65424（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−28430（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】ウェハのエッチング処理等の発光量を電気
信号変換手段により電気信号としての発光量信号に変換
し、該発光量信号と所定のオフセット値との差分を入力
値補正手段の減算器により求め、該減算器の出力を入力
値補正手段の増幅器において所定のゲイン値で増幅し、
該増幅された発光量信号の出力信号を用いて終点判定手
段によりエッチング終点を判定するエッチング終点判定
方法において、 初期の発光量信号および該発光量信号の補正を行うため
の初期オフセット値Voff1、初期ゲイン値G1、１枚目の
ウェハの処理開始後t1経過時における発光量信号の信号
強度（Va1）を記憶手段に記憶し、 比率算出手段により、ｎ枚目のウェハの処理時における
前記発光量信号の信号強度（Van）と前記１枚目の信号
強度（Va1）とを比較して両者の比率（Va1/Van）を算出
し、 補正値算出手段により、前記比率及び前記ゲイン値G1に
基づいて、ｎ枚目のウェハの処理時におけるゲイン値
（Gn＝（Va1/Van）×G1）を求め、 ｎ枚目のウェハの処理時における出力信号（Vfn）が、
１枚目のウェハの処理時における出力信号（Vf1）と等
しく（Vfn＝Vf1,Vgn＝Vg1）なるように、オフセット値
（Voffn＝Van（Vf1/Gn））を算出し、 該ゲイン値Gn及びオフセット値Voffnを前記減算器及び
増幅器に再設定し、 前記初期設定された初期オフセット値Voff1及び初期ゲ
イン値G1を、前記ゲイン値Gn及びオフセット値Voffnに
置き換えて前記記憶手段に記憶し、 再設定後に入力された発光量信号と前記オフセット値Vo
ffnとの差分を前記減算器で求め、該減算器の出力を前
記増幅器において前記ゲイン値Gnで増幅し、 該増幅された発光量信号の出力信号を用いてｎ枚目のウ
ェハのエッチング終点を判定することを特徴とする、エ
ッチング終点判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62088814A JPH07114195B2 (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | エッチング終点判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62088814A JPH07114195B2 (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | エッチング終点判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63254732A JPS63254732A (ja) | 1988-10-21 |
| JPH07114195B2 true JPH07114195B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=13953372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62088814A Expired - Lifetime JPH07114195B2 (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | エッチング終点判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07114195B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8895556B2 (en) | 2007-12-26 | 2014-11-25 | Critical Outcome Technologies Inc. | Compounds and method for treatment of cancer |
| US8987272B2 (en) | 2010-04-01 | 2015-03-24 | Critical Outcome Technologies Inc. | Compounds and method for treatment of HIV |
| US9284275B2 (en) | 2007-01-11 | 2016-03-15 | Critical Outcome Technologies Inc. | Inhibitor compounds and cancer treatment methods |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
| JP2821132B2 (ja) * | 1988-03-23 | 1998-11-05 | 株式会社日立製作所 | エッチング終点判定方法 |
| JP2611001B2 (ja) * | 1989-07-17 | 1997-05-21 | 株式会社日立製作所 | 終点判定方法および装置 |
| US5118378A (en) * | 1989-10-10 | 1992-06-02 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for detecting an end point of etching |
| JP3383236B2 (ja) | 1998-12-01 | 2003-03-04 | 株式会社日立製作所 | エッチング終点判定方法及びエッチング終点判定装置 |
| JP6239294B2 (ja) | 2013-07-18 | 2017-11-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の運転方法 |
| US11569135B2 (en) | 2019-12-23 | 2023-01-31 | Hitachi High-Tech Corporation | Plasma processing method and wavelength selection method used in plasma processing |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5994423A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Hitachi Ltd | エッチング終点判定方法 |
| JPS6228430U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-20 | ||
| JPS6265424A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | エツチング終点検出方法 |
-
1987
- 1987-04-13 JP JP62088814A patent/JPH07114195B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9284275B2 (en) | 2007-01-11 | 2016-03-15 | Critical Outcome Technologies Inc. | Inhibitor compounds and cancer treatment methods |
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| US8987272B2 (en) | 2010-04-01 | 2015-03-24 | Critical Outcome Technologies Inc. | Compounds and method for treatment of HIV |
| US9422282B2 (en) | 2010-04-01 | 2016-08-23 | Critical Outcome Technologies Inc. | Compounds and method for treatment of HIV |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63254732A (ja) | 1988-10-21 |
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