JP2821132B2 - エッチング終点判定方法 - Google Patents
エッチング終点判定方法Info
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- JP2821132B2 JP2821132B2 JP63067413A JP6741388A JP2821132B2 JP 2821132 B2 JP2821132 B2 JP 2821132B2 JP 63067413 A JP63067413 A JP 63067413A JP 6741388 A JP6741388 A JP 6741388A JP 2821132 B2 JP2821132 B2 JP 2821132B2
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- signal
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- etching
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエッチング終点判定方法に関するものであ
る。
る。
従来のエッチング終点判定装置は、特開昭60−60727
号に記載のようにエッチング処理時光量を光電子増倍管
等の電気信号変換手段によって電気信号に変換し、IV変
換器等の変換器で他の電気量に変換した後、記憶保持手
段、例えば、サンプルホールド器に入力する。記憶保持
手段の出力は直流分除去値を設定するための装置、例え
ば、マイクロコンピュータに入力すると共に、直流分除
去器に入力する。直流分除去器ではマイクロコンピュー
タで設定された直流分除去値を入力値から除去し、直流
分除去器の出力は増幅器でマイクロコンピュータによっ
て設定された増幅率にしたがって増幅した後、マイクロ
コンピュータに入力してエッチング処理の終点を判定す
るようになっている。
号に記載のようにエッチング処理時光量を光電子増倍管
等の電気信号変換手段によって電気信号に変換し、IV変
換器等の変換器で他の電気量に変換した後、記憶保持手
段、例えば、サンプルホールド器に入力する。記憶保持
手段の出力は直流分除去値を設定するための装置、例え
ば、マイクロコンピュータに入力すると共に、直流分除
去器に入力する。直流分除去器ではマイクロコンピュー
タで設定された直流分除去値を入力値から除去し、直流
分除去器の出力は増幅器でマイクロコンピュータによっ
て設定された増幅率にしたがって増幅した後、マイクロ
コンピュータに入力してエッチング処理の終点を判定す
るようになっている。
上記従来技術は同一プロセス中においてウェハのエッ
チング終了時の発光量変化の増幅量を一定にした終点判
定を容易にする点について配慮されておらず、増幅器に
よる増幅は一定の値で行われるので、エッチング処理の
繰り返しにともない、処理時に発生する反応生成物が検
出部に付着して検出部の汚れが進行し検出する発光量が
減少すると、エッチング終了時の発光量変化の増幅量が
減少し、終点判定が難しくなるという問題があった。
チング終了時の発光量変化の増幅量を一定にした終点判
定を容易にする点について配慮されておらず、増幅器に
よる増幅は一定の値で行われるので、エッチング処理の
繰り返しにともない、処理時に発生する反応生成物が検
出部に付着して検出部の汚れが進行し検出する発光量が
減少すると、エッチング終了時の発光量変化の増幅量が
減少し、終点判定が難しくなるという問題があった。
本発明の目的は、エッチング処理が繰り返し行われ
て、発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期
のエッチング終点判定と同じように容易に判定すること
のできるエッチング終点判定方法を提供することにあ
る。
て、発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期
のエッチング終点判定と同じように容易に判定すること
のできるエッチング終点判定方法を提供することにあ
る。
上記目的は、ウェハのエッチング処理時等の発光量を
電気信号変換手段により電気信号としての発光量信号に
変換し、該発光量信号と所定のオフセット値の差分を入
力値補正手段の減算器により、減算器の出力を入力値補
正手段の増幅器において所定のゲイン値で増幅し、該増
幅された発光量信号の出力信号を用いて終点判定手段に
よりエッチング終点を判定するエッチング終点判定方法
において、初期の発光量信号および該発光量信号の補正
を行うための初期オフセット値、初期ゲイン値および該
該初期ゲイン値によって補正された時間t1時の増幅信号
値を記憶手段に記憶し、放電開始からの時間がt1になっ
たら、光電変換器からおくられる時間t1時そのままの電
気信号値を補正値算出手段に取り込むとともに、前記記
憶手段に記憶してあった時間がt1時およびエッチング終
了時の光電変換器からのそのままの電気信号値，ゲイン
値および補正された時間t1時の増幅信号値を補正値算出
手段に読み込ませ、該補正値算出手段により現時点のゲ
イン値およびオフセット値を算出し、該現時点のゲイン
値およびオフセット値を前記減算器及び増幅器に再設定
し、前記初期設定された初期オフセット値および初期ゲ
イン値ならびに時間t1時の増幅信号値を、前記再設定さ
れたゲイン値およびオフセット値ならびに時間t1時の光
電変換器からそのまま入力される信号値に置き換えて前
記記憶手段に記憶し、再設定後に入力された発光量信号
と前記再設定されたオフセット値との差分を前記減算器
で求め、該減算器の出力を前記増幅器において前記再設
定されたゲイン値で増幅し、該増幅された発光量信号の
出力信号を用いて時間t1経過後のウェハのエッチング終
点を判定し、該終点判定が終わったらエッチング終了時
の光電変換器からのそのままの電気信号値を前記記憶手
段に記憶させておき、後の処理時の補正値算出に用いる
ことにより、達成される。
電気信号変換手段により電気信号としての発光量信号に
変換し、該発光量信号と所定のオフセット値の差分を入
力値補正手段の減算器により、減算器の出力を入力値補
正手段の増幅器において所定のゲイン値で増幅し、該増
幅された発光量信号の出力信号を用いて終点判定手段に
よりエッチング終点を判定するエッチング終点判定方法
において、初期の発光量信号および該発光量信号の補正
を行うための初期オフセット値、初期ゲイン値および該
該初期ゲイン値によって補正された時間t1時の増幅信号
値を記憶手段に記憶し、放電開始からの時間がt1になっ
たら、光電変換器からおくられる時間t1時そのままの電
気信号値を補正値算出手段に取り込むとともに、前記記
憶手段に記憶してあった時間がt1時およびエッチング終
了時の光電変換器からのそのままの電気信号値，ゲイン
値および補正された時間t1時の増幅信号値を補正値算出
手段に読み込ませ、該補正値算出手段により現時点のゲ
イン値およびオフセット値を算出し、該現時点のゲイン
値およびオフセット値を前記減算器及び増幅器に再設定
し、前記初期設定された初期オフセット値および初期ゲ
イン値ならびに時間t1時の増幅信号値を、前記再設定さ
れたゲイン値およびオフセット値ならびに時間t1時の光
電変換器からそのまま入力される信号値に置き換えて前
記記憶手段に記憶し、再設定後に入力された発光量信号
と前記再設定されたオフセット値との差分を前記減算器
で求め、該減算器の出力を前記増幅器において前記再設
定されたゲイン値で増幅し、該増幅された発光量信号の
出力信号を用いて時間t1経過後のウェハのエッチング終
点を判定し、該終点判定が終わったらエッチング終了時
の光電変換器からのそのままの電気信号値を前記記憶手
段に記憶させておき、後の処理時の補正値算出に用いる
ことにより、達成される。
現処理以前に処理したときの電気信号値および該電気
信号の波形を補正したオフセット値，ゲイン値を記憶手
段に記憶させておき、現処理によって生ずる発光を電気
信号変換手段によって電気信号に変換し、補正値算出手
段によって該電気信号と記憶させておいた現処理以前の
処理時の電気信号およびゲイン値とを基に現処理時のオ
フセット値およびゲイン値を算出して、入力値補正手段
によって該算出値に従い入力した電気信号を補正し、終
点判定手段によって該補正した電気信号を基にエッチン
グ終点を判定する。これにより、毎回の処理ごとに減少
する発生検出量の光量に関係なく、一定した電気信号が
得られ、初期時と変わらない精度でエッチング終点判定
が行える。
信号の波形を補正したオフセット値，ゲイン値を記憶手
段に記憶させておき、現処理によって生ずる発光を電気
信号変換手段によって電気信号に変換し、補正値算出手
段によって該電気信号と記憶させておいた現処理以前の
処理時の電気信号およびゲイン値とを基に現処理時のオ
フセット値およびゲイン値を算出して、入力値補正手段
によって該算出値に従い入力した電気信号を補正し、終
点判定手段によって該補正した電気信号を基にエッチン
グ終点を判定する。これにより、毎回の処理ごとに減少
する発生検出量の光量に関係なく、一定した電気信号が
得られ、初期時と変わらない精度でエッチング終点判定
が行える。
以下、本発明の一実施例を第１図から第６図により説
明する。
明する。
第１図はエッチング終点判定装置を示す。電気信号変
換手段である光電変換器１からの電気信号はバッファ２
を介して、一方はアナログスイッチ９およびA/D変換器1
0を介して記憶手段12および補正値算出手段13に入るよ
うになっており、他方は減算器３およびゲインアンプ４
を順次通りアナログスイッチ９およびA/D変換器10を介
しておのおの終点判定手段11および信号出力用D/A変換
器15に入る。信号出力用D/A変換器15を出た信号は、表
示装置である例えばペンレコーダ16に入る。
換手段である光電変換器１からの電気信号はバッファ２
を介して、一方はアナログスイッチ９およびA/D変換器1
0を介して記憶手段12および補正値算出手段13に入るよ
うになっており、他方は減算器３およびゲインアンプ４
を順次通りアナログスイッチ９およびA/D変換器10を介
しておのおの終点判定手段11および信号出力用D/A変換
器15に入る。信号出力用D/A変換器15を出た信号は、表
示装置である例えばペンレコーダ16に入る。
ゲイン設定用可変抵抗器７およびオフセット調整用可
変抵抗器８はそれぞれにアナログスイッチ９およびA/D
変換器10を介し、一方は記憶手段12に入力され、ゲイン
設定用可変抵抗器７側の他方はゲインアンプ４に入り、
オフセット調整用可変抵抗器８側の他方はオフセット調
整用D/A変換器５を介して減算器３に入力される。
変抵抗器８はそれぞれにアナログスイッチ９およびA/D
変換器10を介し、一方は記憶手段12に入力され、ゲイン
設定用可変抵抗器７側の他方はゲインアンプ４に入り、
オフセット調整用可変抵抗器８側の他方はオフセット調
整用D/A変換器５を介して減算器３に入力される。
記憶手段12は光電変換器１からの直接の信号とゲイン
設定用可変抵抗器7,オフセット調整用可変抵抗器８から
の信号および後述する補正値算出手段13からの信号を入
力し記憶するようになっており、補正値算出手段13に記
憶内容を出力するようになっている。
設定用可変抵抗器7,オフセット調整用可変抵抗器８から
の信号および後述する補正値算出手段13からの信号を入
力し記憶するようになっており、補正値算出手段13に記
憶内容を出力するようになっている。
補正値算出手段13は現処理時に光電変換器１から入力
される電気信号と、記憶手段12に記憶された現処理以前
の電気信号およびゲイン値とを基に、現処理時のオフセ
ット値およびゲイン値を新たに算出し、オフセット調整
用D/A変換器５およびゲインアンプ４に算出値を送ると
ともに、記憶手段12に送って記憶させておく。このとき
に求める算出値は次のような考えによって決められてい
る。
される電気信号と、記憶手段12に記憶された現処理以前
の電気信号およびゲイン値とを基に、現処理時のオフセ
ット値およびゲイン値を新たに算出し、オフセット調整
用D/A変換器５およびゲインアンプ４に算出値を送ると
ともに、記憶手段12に送って記憶させておく。このとき
に求める算出値は次のような考えによって決められてい
る。
第２図（ａ）に示すｎ−ｍ枚目の試料であるウェハの
処理によって得られる光電変換器１からの電気信号の信
号強度は、オェハのエッチング処理を繰り返すに従い、
第２図（ｂ）に示すｎ枚目のウェハの処理によって得ら
れる電気信号の信号強度のように弱くなる。ここで、ｎ
およびｍは正の整数であり、ｎ＞ｍである。
処理によって得られる光電変換器１からの電気信号の信
号強度は、オェハのエッチング処理を繰り返すに従い、
第２図（ｂ）に示すｎ枚目のウェハの処理によって得ら
れる電気信号の信号強度のように弱くなる。ここで、ｎ
およびｍは正の整数であり、ｎ＞ｍである。
すなわち、第２図（ａ）に示すｎ−ｍ枚目、例えば１
枚目のウェハを処理したときの時間t1後のエッチング中
の信号強度Va(n-m)およびエッチング終了時の信号強度V
b(n-m)は、第２図（ｂ）に示すｎ枚目、例えば10枚目の
ウェハを処理したときの時間t1後のエッチング中の信号
強度Vanおよびエッチング終了後の信号強度Vbnのように
減少するとともに、ｎ−ｍ枚目のどきの信号強度の差V
c(n-m)はｎ枚目のときの信号強度の差Vcnのように小さ
くなる。ここで、 Vc(n-m)＝Va(n-m)−Vb(n-m) ……（１） Vcn＝Van−Vbn ……（２） である。
枚目のウェハを処理したときの時間t1後のエッチング中
の信号強度Va(n-m)およびエッチング終了時の信号強度V
b(n-m)は、第２図（ｂ）に示すｎ枚目、例えば10枚目の
ウェハを処理したときの時間t1後のエッチング中の信号
強度Vanおよびエッチング終了後の信号強度Vbnのように
減少するとともに、ｎ−ｍ枚目のどきの信号強度の差V
c(n-m)はｎ枚目のときの信号強度の差Vcnのように小さ
くなる。ここで、 Vc(n-m)＝Va(n-m)−Vb(n-m) ……（１） Vcn＝Van−Vbn ……（２） である。
また、これらの間には一般式として、 を仮定する。これは次のように変形できる。
さらに、（２）式は（４）より となる。
通常、光電変換器１によって変換された電気信号はそ
のままではエッチング中とエッチング終了時との信号強
度の差が小さく終点判定しにくいので、光電変換器１か
らの電気信号をオフセットし、増幅してエッチング中と
エッチング終了時との信号強度の差を大きくして終点判
定をしやすくしている。このときのオフセット値や増幅
のためのゲイン値は最初に設定され、これによって補正
された電気信号は第３図に示すようになる。第３図はペ
ンレコーダ17に出力されたｎ−ｍ枚目、例えば１枚目の
ウェハの処理時の出力電圧である。
のままではエッチング中とエッチング終了時との信号強
度の差が小さく終点判定しにくいので、光電変換器１か
らの電気信号をオフセットし、増幅してエッチング中と
エッチング終了時との信号強度の差を大きくして終点判
定をしやすくしている。このときのオフセット値や増幅
のためのゲイン値は最初に設定され、これによって補正
された電気信号は第３図に示すようになる。第３図はペ
ンレコーダ17に出力されたｎ−ｍ枚目、例えば１枚目の
ウェハの処理時の出力電圧である。
第２図（ａ）に示すオフセット値Voff(n-m)（例え
ば、１枚目ウェハ処理時）から時間t1後のエッチング中
の信号強度までの間を増幅率G(n-m)で増幅した値が第３
図の出力電圧Vf(n-m)であり、第２図（ａ）に示すオフ
セット値Voff(n-m)からエッチング終了時の信号強度ま
での間を増幅率G(n-m)で増幅した値が第３図の出力電圧
Vg(n-m)である。このときの関係式は次のようになる。
ば、１枚目ウェハ処理時）から時間t1後のエッチング中
の信号強度までの間を増幅率G(n-m)で増幅した値が第３
図の出力電圧Vf(n-m)であり、第２図（ａ）に示すオフ
セット値Voff(n-m)からエッチング終了時の信号強度ま
での間を増幅率G(n-m)で増幅した値が第３図の出力電圧
Vg(n-m)である。このときの関係式は次のようになる。
Vf(n-m)＝（Va(n-m)−Voff(n-m)）×G(n-m) ……（６） Vg(n-m)＝（Vb(n-m)−Voff(n-m)）×G(n-m) ……（７） ここで、ｎ枚目のウェハの処理時にも、入力される電
気信号をｎ−ｍ枚目の処理時と同様のオフセット値V
off(n-m)でオフセットした後、同様の増幅率G(n-m)で増
幅すると、増幅した値は第４図に示す時間t1に達するま
での出力電圧のようになり、第３図に示す１枚目のウェ
ハのときとは減少してしまう。そこで第４図に示すよう
に、時間t1後は増幅率を変えて出力電圧Vfnが第３図の
出力電圧Vf(n-m)に近くなるように増幅する。しかし、
第２図に示すようにｎ枚目のウェハでは信号強度の差V
cnは小さくなっているので、第４図に示すようにエッチ
ング後の出力電圧Vgnとエッチング中の出力電圧Vfnとの
差は第３図に示すｎ−ｍ枚目のときの差よりも小さく、
終点判定がしにくくなる。
気信号をｎ−ｍ枚目の処理時と同様のオフセット値V
off(n-m)でオフセットした後、同様の増幅率G(n-m)で増
幅すると、増幅した値は第４図に示す時間t1に達するま
での出力電圧のようになり、第３図に示す１枚目のウェ
ハのときとは減少してしまう。そこで第４図に示すよう
に、時間t1後は増幅率を変えて出力電圧Vfnが第３図の
出力電圧Vf(n-m)に近くなるように増幅する。しかし、
第２図に示すようにｎ枚目のウェハでは信号強度の差V
cnは小さくなっているので、第４図に示すようにエッチ
ング後の出力電圧Vgnとエッチング中の出力電圧Vfnとの
差は第３図に示すｎ−ｍ枚目のときの差よりも小さく、
終点判定がしにくくなる。
そこで、ｎ枚目のウェハの処理時にも、第５図に示す
ようにエッチング中の出力電圧Vfnとエッチング終了時
の出力電圧Vgnとの差が第３図に示すｎ−ｍ枚目のとき
の差と同じになるようにする必要がある。ここで、第２
図（ｂ）に示すオフセット値Voffn（ｎ枚目ウェハの処
理時）から時間t1後のエッチング中の信号強度までの間
を増幅率Gnて増幅した値が第５図の出力電圧Vfnであ
り、第２図（ｂ）に示すオフセット値Voffnからエッチ
ング終了時の信号強度までの間を増幅率Gnで増幅した値
が第５図の出力電圧Vgnである。このときの関係式は次
のようになる。
ようにエッチング中の出力電圧Vfnとエッチング終了時
の出力電圧Vgnとの差が第３図に示すｎ−ｍ枚目のとき
の差と同じになるようにする必要がある。ここで、第２
図（ｂ）に示すオフセット値Voffn（ｎ枚目ウェハの処
理時）から時間t1後のエッチング中の信号強度までの間
を増幅率Gnて増幅した値が第５図の出力電圧Vfnであ
り、第２図（ｂ）に示すオフセット値Voffnからエッチ
ング終了時の信号強度までの間を増幅率Gnで増幅した値
が第５図の出力電圧Vgnである。このときの関係式は次
のようになる。
Vfn＝（Van−Voffn）×Gn ……（８） Vgn＝（Vbn−Voffn）×Gn ……（９） また、ｎ−ｍ枚目の出力電圧とｎ枚目の出力電圧との
間には Vf(n-m)＝Vfn ……（10） Vg(n-m)＝Vgn ……（11） の関係を持たせるので、この関係は（10），（11）式か
ら Vf(n-m)−Vg(n-m)＝Vfn−Vgn ……（12） のように表わせる。
間には Vf(n-m)＝Vfn ……（10） Vg(n-m)＝Vgn ……（11） の関係を持たせるので、この関係は（10），（11）式か
ら Vf(n-m)−Vg(n-m)＝Vfn−Vgn ……（12） のように表わせる。
そこで、本発明は（10）ないし（12）式の関係が得ら
れるように、ｎ枚目の処理時のオフセット値Voffnおよ
びゲイン値Gnを求める。
れるように、ｎ枚目の処理時のオフセット値Voffnおよ
びゲイン値Gnを求める。
ゲイン値Gnは次のようにして求まる。まず、（12）式
を基に（６）ないし（９）式を代入し、まとめると （Va(n-m)−Vb(n-m)）・G(n-m) ＝（Van−Vbn）・Gn ……（13） となり、これを（１），（２）式で置き換えると Vc(n-m)・G(n-m)＝Vcn・Gn したがって、 となり、これに（１），（５）式を代入すれば、 が得られる。なお、ここで、関数f(n)を決定するには、
数学的帰納法によりそれまでのウェハ処理枚数に応じ
て、例えば、ｎ−２次以下の多項式にすれば良い（ここ
で、ｍを変数とした場合には、f(n)の代わりにｆ
（n,m）を用いる。）。
を基に（６）ないし（９）式を代入し、まとめると （Va(n-m)−Vb(n-m)）・G(n-m) ＝（Van−Vbn）・Gn ……（13） となり、これを（１），（２）式で置き換えると Vc(n-m)・G(n-m)＝Vcn・Gn したがって、 となり、これに（１），（５）式を代入すれば、 が得られる。なお、ここで、関数f(n)を決定するには、
数学的帰納法によりそれまでのウェハ処理枚数に応じ
て、例えば、ｎ−２次以下の多項式にすれば良い（ここ
で、ｍを変数とした場合には、f(n)の代わりにｆ
（n,m）を用いる。）。
本実施例では関数f(n)を実験により確認したところ、 となった。
よって、帰納法により f(k)＝ｃ f(k+1)＝ｃ となることが明らかで、f(n)＝ｃと決定する。
なお、本実験での実際は、ｃ＝１であり、（３）式は
f(n)＝１で次の関係があった。
f(n)＝１で次の関係があった。
また、（15）式にf(n)＝１を代入するとゲイン値は となる。
オフセット値Voffnは（９）式を変形することにより
求まる。すなわち、 ここで、VfnはVf(n-m)で良い。
求まる。すなわち、 ここで、VfnはVf(n-m)で良い。
このようにして求めたｎ枚目の処理時のオフセット値
およびゲイン値により、光電変換器１から入力される電
気信号を補正することによって、ｎ枚目の処理時にもペ
ンレコーダ16に表示される時間t1以後の出力電圧は第５
図に示すように、ｎ−ｍ枚目の処理時のときの出力電圧
と同じになる。
およびゲイン値により、光電変換器１から入力される電
気信号を補正することによって、ｎ枚目の処理時にもペ
ンレコーダ16に表示される時間t1以後の出力電圧は第５
図に示すように、ｎ−ｍ枚目の処理時のときの出力電圧
と同じになる。
補正値算出手段13によって算出したオフセット値は、
オフセット調整用D/A変換器５を介してアナログ値に変
換されて減算器３に入力され、光電変換器１からの電気
信号に減算される。また、補正値算出手段13によって算
出したゲイン値は、ゲインアンプ４に入力され、減算器
３から出力された電気信号を増幅する。
オフセット調整用D/A変換器５を介してアナログ値に変
換されて減算器３に入力され、光電変換器１からの電気
信号に減算される。また、補正値算出手段13によって算
出したゲイン値は、ゲインアンプ４に入力され、減算器
３から出力された電気信号を増幅する。
なお、この場合入力値補正手段６は減算器３およびゲ
インアンプ３で成り、終点判定手段11,記憶手段12およ
び補正値算出手段13はマイクロコンピュータ14内に構成
されたものである。
インアンプ３で成り、終点判定手段11,記憶手段12およ
び補正値算出手段13はマイクロコンピュータ14内に構成
されたものである。
上記構成の装置によって、第６図に示すステップによ
ってエッチング終点判定が行われる。
ってエッチング終点判定が行われる。
まず、製品となるべきウェハのエッチング処理を連続
的に行う前に、サンプルウェハをエッチング処理し、そ
のときの発光を採光して光電変換器１によって電気信号
に変換し入力するとともに、ペンレコーダ17に表示され
る出力電圧の波形を見ながら、オフセット調整用可変抵
抗器８およびゲイン設定用可変抵抗器７を調整して、オ
フセット値およびゲイン値を設定し、終点判定に適した
波形となるように初期設定を行う（これをステップ20に
示す。）。
的に行う前に、サンプルウェハをエッチング処理し、そ
のときの発光を採光して光電変換器１によって電気信号
に変換し入力するとともに、ペンレコーダ17に表示され
る出力電圧の波形を見ながら、オフセット調整用可変抵
抗器８およびゲイン設定用可変抵抗器７を調整して、オ
フセット値およびゲイン値を設定し、終点判定に適した
波形となるように初期設定を行う（これをステップ20に
示す。）。
次に、この初期設定のときに入力した光電変換器１か
らのそのままの電気信号を記憶手段12に記憶させておく
とともに、初期設定で決められたオフセット値，ゲイン
値および該値によって補正された時間t1時の増幅信号値
を記憶手段12に記憶させておく（これをステップ21に示
す。）。なお、この場合に記憶する光電変換器１からの
そのままの電気信号は時間t1時およびエッチング終了時
の電気信号を記憶している。
らのそのままの電気信号を記憶手段12に記憶させておく
とともに、初期設定で決められたオフセット値，ゲイン
値および該値によって補正された時間t1時の増幅信号値
を記憶手段12に記憶させておく（これをステップ21に示
す。）。なお、この場合に記憶する光電変換器１からの
そのままの電気信号は時間t1時およびエッチング終了時
の電気信号を記憶している。
次に、これから製品となるウェハのエッチング処理を
開始し（これをステップ22に示す。）、処理時の発光を
採光して光電変換器１によって電気信号に変換して入力
する（これをステップ23に示す。）。このとき減算器３
およびゲインアンプ４は、記憶手段12に記憶しておいた
初期設定時のオフセット値およびゲイン値で設定され、
光電変換器１からの電気信号を補正して、ペンレコーダ
17に出力する。
開始し（これをステップ22に示す。）、処理時の発光を
採光して光電変換器１によって電気信号に変換して入力
する（これをステップ23に示す。）。このとき減算器３
およびゲインアンプ４は、記憶手段12に記憶しておいた
初期設定時のオフセット値およびゲイン値で設定され、
光電変換器１からの電気信号を補正して、ペンレコーダ
17に出力する。
ここで、放電開始からの時間がt1でなく、また時間t1
に達していない場合はステップ23に戻る（これをステっ
プ24,25に示す。）。
に達していない場合はステップ23に戻る（これをステっ
プ24,25に示す。）。
次に、放電開始からの時間がt1になったら、光電変換
器１から送られる時間t1時そのままの電気信号値を補正
値算出手段13に取り込むとともに、記憶手段12に記憶し
てあった時間t1時およびエッチング終了時の光電変換器
１からのそのままの電気信号値，ゲイン値および補正さ
れた時間t1時の増幅信号値を補正値算出手段13に読み込
ませ、補正値算出手段13によってゲイン値およびオフセ
ット値を算出する（これをステップ24,26,27に示
す。）。
器１から送られる時間t1時そのままの電気信号値を補正
値算出手段13に取り込むとともに、記憶手段12に記憶し
てあった時間t1時およびエッチング終了時の光電変換器
１からのそのままの電気信号値，ゲイン値および補正さ
れた時間t1時の増幅信号値を補正値算出手段13に読み込
ませ、補正値算出手段13によってゲイン値およびオフセ
ット値を算出する（これをステップ24,26,27に示
す。）。
補正値算出手段13で算出されたオフセット値およびゲ
イン値は減算器３およびゲインアンプ４に送られ、それ
ぞれの値を算出値に再設定する（これをステップ28に示
す。）。これにより、終点判定手段11に入力される時間
t1以後の値は、初めのものと同じものになる。
イン値は減算器３およびゲインアンプ４に送られ、それ
ぞれの値を算出値に再設定する（これをステップ28に示
す。）。これにより、終点判定手段11に入力される時間
t1以後の値は、初めのものと同じものになる。
このときに算出されたオフセット値およびゲイン値な
らびに時間t1時の光電変換器１からそのまま入力される
電気信号値は記憶手段12に記憶させておき（これをステ
ップ29に示す。）、後の処理時の補正値算出に用いた
り、同じく後の処理時の時間t1までの補正値に使用す
る。
らびに時間t1時の光電変換器１からそのまま入力される
電気信号値は記憶手段12に記憶させておき（これをステ
ップ29に示す。）、後の処理時の補正値算出に用いた
り、同じく後の処理時の時間t1までの補正値に使用す
る。
このように、初期時の波形と同じに補正された電気信
号によって、公知の終点判定方法を用いた終点判定手段
によりエッチング終点を判定する（これをステップ30に
示す。）。まだ、エッチング終点に達していない場合は
ステップ22に戻り、処理を続行する。処理時間がt1を越
しているときは補正値の算出は行なわず、ステップ30に
進む（これをステップ24,25に示す。）。
号によって、公知の終点判定方法を用いた終点判定手段
によりエッチング終点を判定する（これをステップ30に
示す。）。まだ、エッチング終点に達していない場合は
ステップ22に戻り、処理を続行する。処理時間がt1を越
しているときは補正値の算出は行なわず、ステップ30に
進む（これをステップ24,25に示す。）。
終点判定が終わったら、エッチング終了時の光電変換
器１からのそのままの電気信号値を記億手段に記憶させ
ておき（これをステップ31に示す。）、後の処理時の補
正値算出に用いる。
器１からのそのままの電気信号値を記億手段に記憶させ
ておき（これをステップ31に示す。）、後の処理時の補
正値算出に用いる。
終点判定が終わり、処理されたウェハが処理室から搬
送され、また次に新しいウェハの処理がある場合にはス
テップ22に戻り、ない場合には終わる（これをステップ
32に示す。）。この場合、ウェハ処理を繰り返えすとき
には、前に処理したときのデータが残り、ウェハ処理と
ともに順次書き換えられるようになっている。
送され、また次に新しいウェハの処理がある場合にはス
テップ22に戻り、ない場合には終わる（これをステップ
32に示す。）。この場合、ウェハ処理を繰り返えすとき
には、前に処理したときのデータが残り、ウェハ処理と
ともに順次書き換えられるようになっている。
以上、本一実施例によれば、初期設定時に補正した電
気信号の波形と同じ波形のものを、毎回の処理時に得る
ことができるので、エッチング終点判定が容易になると
ともに、一定したエッチング終点判定ができ、同一プロ
セス中のウェハの品質が均一になるという効果がある。
気信号の波形と同じ波形のものを、毎回の処理時に得る
ことができるので、エッチング終点判定が容易になると
ともに、一定したエッチング終点判定ができ、同一プロ
セス中のウェハの品質が均一になるという効果がある。
なお、本一実施例ではエッチング時の光量が増加する
場合について述べたが、逆にエッチング時の光量が減少
するものであっても良い。
場合について述べたが、逆にエッチング時の光量が減少
するものであっても良い。
また、本一実施例のｎ−ｍ枚目は、ｎ枚目の１枚前で
も良いし複数枚前でも良いことは言うまでもないが、さ
らに、ｎ−ｍ枚目が最初のもので固定されていても、任
意のもので固定されていても同様の効果を得ることがで
きる。
も良いし複数枚前でも良いことは言うまでもないが、さ
らに、ｎ−ｍ枚目が最初のもので固定されていても、任
意のもので固定されていても同様の効果を得ることがで
きる。
本発明によれば、エッチング処理が繰り返し行なわれ
て、発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期
のエッチング終点判定と同じように容易に判定すること
ができるという効果がある。
て、発光検出部から採光する発光量が減少しても、初期
のエッチング終点判定と同じように容易に判定すること
ができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例であるエッチング終点判定装
置を示すブロック図、第２図（ａ）はｎ−ｍ枚目の処理
時に光電変換器で変換された電気信号の波形を示す図、
第２図（ｂ）はｎ枚目の処理時に光電変換器で変換され
た電気信号の波形を示す図、第３図はｎ−ｍ枚目の処理
時に電気信号を補正したときの波形を示す図、第４図は
ｎ枚目の処理時に前回補正した電気信号をそのまま増幅
したときの波形を示す図、第５図はｎ枚目の処理時に本
発明によって補正したときの波形を示す図、第６図は第
１図の作用を示すフローチャート図である。 １……光電変換器、６……入力値補正手段、11……終点
判定手段、12……記憶手段、13……補正値算出手段
置を示すブロック図、第２図（ａ）はｎ−ｍ枚目の処理
時に光電変換器で変換された電気信号の波形を示す図、
第２図（ｂ）はｎ枚目の処理時に光電変換器で変換され
た電気信号の波形を示す図、第３図はｎ−ｍ枚目の処理
時に電気信号を補正したときの波形を示す図、第４図は
ｎ枚目の処理時に前回補正した電気信号をそのまま増幅
したときの波形を示す図、第５図はｎ枚目の処理時に本
発明によって補正したときの波形を示す図、第６図は第
１図の作用を示すフローチャート図である。 １……光電変換器、６……入力値補正手段、11……終点
判定手段、12……記憶手段、13……補正値算出手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/3065
Claims (1)
- 【請求項１】ウェハのエッチング処理時等の発光量を電
気信号変換手段により電気信号としての発光量信号に変
換し、該発光量信号と所定のオフセット値の差分を入力
値補正手段の減算器により、減算器の出力を入力値補正
手段の増幅器において所定のゲイン値で増幅し、該増幅
された発光量信号の出力信号を用いて終点判定手段によ
りエッチング終点を判定するエッチング終点判定方法に
おいて、 初期の発光量信号および該発光量信号の補正を行うため
の初期オフセット値、初期ゲイン値および該初期ゲイン
値によって補正された時間t1時の増幅信号値を記憶手段
に記憶し、 放電開始からの時間がt1になったら、光電変換器からお
くられる時間t1時そのままの電気信号値を補正値算出手
段に取り込むとともに、前記記憶手段に記憶してあった
時間がt1時およびエッチング終了時の光電変換器からの
そのままの電気信号値，ゲイン値および補正された時間
t1時の増幅信号値を補正値算出手段に読み込ませ、該補
正値算出手段により現時点のゲイン値およびオフセット
値を算出し、 該現時点のゲイン値およびオフセット値を前記減算器及
び増幅器に再設定し、 前記初期設定された初期オフセット値および初期ゲイン
値ならびに時間t1時の増幅信号値を、前記再設定された
ゲイン値およびオフセット値ならびに時間t1時の光電変
換器からそのまま入力される信号値に置き換えて前記記
憶手段に記憶し、 再設定後に入力された発光量信号と前記再設定されたオ
フセット値との差分を前記減算器で求め、該減算器の出
力を前記増幅器において前記再設定されたゲイン値で増
幅し、 該増幅された発光量信号の出力信号を用いて時間t1経過
後のウェハのエッチング終点を判定し、該終点判定が終
わったらエッチング終了時の光電変換器からのそのまま
の電気信号値を前記記憶手段に記憶させておき、後の処
理時の補正値算出に用いることを特徴とするエッチング
終点判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067413A JP2821132B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | エッチング終点判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067413A JP2821132B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | エッチング終点判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01241127A JPH01241127A (ja) | 1989-09-26 |
| JP2821132B2 true JP2821132B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=13344200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63067413A Expired - Lifetime JP2821132B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | エッチング終点判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2821132B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4457820A (en) * | 1981-12-24 | 1984-07-03 | International Business Machines Corporation | Two step plasma etching |
| JPS5928340A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-15 | Hitachi Ltd | エッチング終点検出方法 |
| JPS5994423A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Hitachi Ltd | エッチング終点判定方法 |
| JPS61220332A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | Hitachi Ltd | エッチング終点判定方法 |
| JPS6228430U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-20 | ||
| JPS6265424A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | エツチング終点検出方法 |
| JPS6318835U (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | ||
| JPH07114195B2 (ja) * | 1987-04-13 | 1995-12-06 | 株式会社日立製作所 | エッチング終点判定方法 |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP63067413A patent/JP2821132B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01241127A (ja) | 1989-09-26 |
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