JPH07111960B2 - チユ−ブ液処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は例えばウエハ製造プロセスにおけるCVDや拡
散炉に使用される石英チューブあるいは化学処理用試験
管を洗浄液等で処理するチューブ液処理装置に関する。

＜従来の技術＞ CVDや拡散炉で使用された石英製のチューブを弗酸また
は王水により洗浄する際に、チューブを液槽内に浸した
ときしばしばチューブ内部に空気が残留する状態にな
る。このような空気の残留があると、その残留箇所の管
内面が洗浄液に触れないため洗浄されずに残ってしま
う。そこで、従来はウエハ製造プロセスの自動化に対応
して、チューブ洗浄作業を自動化した処理装置が使用さ
れている。この装置はそれぞれ別個のモータで駆動され
る２本のアームを備え、各アーム下端の略コ字形状のチ
ューブ保持部でチューブを横架して保持する構成にあ
る。２本のチューブ保持部でチューブを横架した状態
で、管開口部と管底部が交互に上下位置が変わるよう
に、各アームを個々に僅かずつ上下させながら液槽内に
浸していき、チューブ内部の空気を排出させ、管内面を
洗浄する。洗浄終了時にも管内部の洗浄液を排出させる
ために、チューブを引き上げながら、各アームを個々に
僅かずつ上下させる。

＜発明が解決しようとする問題点＞ しかしながら、従来の洗浄装置は各アームを個別に上下
駆動する構造であるため、各アームの駆動制御プログラ
ムが複雑化し、かつ上下駆動機構が複雑になる問題があ
った。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、駆動制御が
簡単でかつ構造の簡単なチューブ液処理装置を提供する
ことを目的としている。

＜問題点を解決するための手段＞ 本発明に係るチューブ液処理装置は、液処理すべきチュ
ーブを液槽にその上から入れ、当該液槽内の液中に浸し
て液処理するチューブ液処理装置において、前記チュー
ブを運ぶためのアームの下端部に連結されており且つ当
該チューブを横にした状態で支持する一対のチューブ保
持部を備えており、一対のチューブ保持部は、前記チュ
ーブの一端側を支持する固定側チューブ保持部と、前記
チューブの他端側を支持する可動側チューブ保持部から
構成されており、可動側チューブ保持部は、前記チュー
ブを傾かせるべく、当該チューブの他端側の高さ位置が
当該チューブの一端側を基準として上から下に変化し得
るように前記アームに対して上下方向に移動自在に取付
けられており、前記液槽の底面のうちでも前記チューブ
又は一対のチューブ保持部が接触し得る部分に傾斜が設
けられており、当該傾斜は固定側チューブ保持部と可動
側チューブ保持部とを結んだときに可動側チューブ保持
部が固定側チューブ保持部に比べて高くなるような方向
の上り傾斜であることを特徴としている。

＜作用＞ アームを動作させ、一対のチューブ保持部により支えら
れたチューブを液槽内にその上から入れる。この状態で
は、可動側チューブ保持部が下方向に移動しているの
で、チューブは傾いている。その後、可動側チューブ保
持部等が液槽の底面に接触し、アームがさらに下降する
と、液槽の底面からの反作用により、可動側チューブ保
持部が上方向に移動する。液槽の底面には傾斜が付けら
れているので、その後、チューブは上記とは反対の方向
に傾くことになる。この過程でチューブの内部に残留し
た空気が排出される。

＜実施例＞ 耐酸性物質で形成されたアーム本体10には、水平アーム
14と、水平アーム14の略中央部に突設されたモータ連結
棒13と、水平アームの一端からモータ連結棒と逆方向に
垂設された固定アーム11と、水平アーム14の他端から固
定アーム11と同方向に垂設された可動アーム取付部12と
が一体に形成されている。

固定アーム11の下端にはチューブ40の閉口部42を保持す
る鉤状のチューブ閉口部保持部111が形成され、また、
可動アーム取付部12の下端にはボス121が突設されてい
る。

可動アーム20には、前記ボス121に遊嵌される長孔22が
略中腹部に開設されるとともに、下端にはチューブ40の
開口部41を保持する鉤状のチューブ開口部保持部23が形
成されている。

アーム本体10のボス121と可動アーム20と長孔22とが遊
嵌されることによって、アーム50が形成される。

耐酸性物質からなる液槽30の底部33には、固定アーム11
が接触する位置に、固定アーム11の逃げとして、液槽30
の底部33よりへこんだ固定アーム用凹部32が形成されて
いる。一方可動アーム20と液槽30とが対応する位置に
は、可動アーム20の逃げとして、液槽30の底部33よりへ
こんだ可動アーム用凹部31が形成されている。また、当
該液槽30の底部33は、固定アーム用凹部32から可動アー
ム用凹部31の方向に対して上り斜面を形成している。

ここで、可動アーム取付部12の長さをａ、長孔の長さを
ｂ、長孔下端部からチューブ開口部保持部までの長さを
ｃ、固定アームの長さをｄとするとａ＋ｃ＜ｄ＜ａ＋ｂ
＋ｃとなるように各部分の長さを設定する。

チューブ40を当該アーム50に載せた状態では、長孔22の
長孔上端部221にボス121が接触し、可動アーム20は最下
端に位置する。その時、チューブ40は開口部41が閉口部
42よりも下方に位置する。そのため、当該アーム50を液
槽30の洗浄液に入れると、チューブ40の内部に洗浄液が
浸入し、空気の浮力によってチューブ40が洗浄液上に浮
くことがない。その後、当該アーム50を液槽30に浸す。

アーム50が液槽30の底部33に着くと、チューブ開口部保
持部23は可動アーム用凹部31にあたり、可動アーム20は
上方に移動し、長孔22の長孔下端部222にアーム本体10
のボス121があたる。この状態では、前記液槽30の底部3
3が可動アーム用凹部31の方向に対して上がり斜面を形
成しているとともに、前述のａ＋ｃ＜ｄの状態になるた
め、チューブ40の開口部41は閉口部42より上方に位置す
る。従って、チューブ40の内部にある空気は自動的に排
出され、当該チューブ40の内部全体は洗浄液で満たされ
る。

その後、モータ連結棒13に連結された図示しないモータ
でアーム50を上下に振動させることによりチューブ40は
開口部41と閉口部42とが別個に上下振動するのでチュー
ブ40の内部が洗浄される。

また、チューブ40が洗浄された後に、当該チューブ40を
液槽30から引き上げると、開口部41が閉口部42よりも下
方に位置するので、チューブ40の内部にある洗浄液は完
全に排出され、液槽30に戻される。

なお、本発明に係るチューブ保持部の形状は上記実施例
に限定されず、チューブを挟持する形状、例えば、スプ
リングの如き弾性部材を介した２本の挟持部材から構成
されるチューブ保持部とすることも可能である。

また、本発明に係るチューブ液処理装置の利用分野は単
にチューブの洗浄のみではなく、チューブ形状の物品の
鍍金等にも利用できる。

＜発明の効果＞ 以上、本発明に係るチューブ液処理装置による場合に
は、アームを複雑に動かすことなく、チューブの内部に
残留する空気を排出できる構成となっているので、アー
ムの駆動機構や駆動制御フログラムを簡単にすることが
できる。よって、低コスト化を図ることができるばかり
か、チューブが確実に処理されるという点で、装置の高
性能化をも図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るアームの斜視図、第２図は液槽の
斜視図、第３図は両者の使用状態の側面断面図を示す。 10……アーム本体、20……可動アーム、30……液槽、40
……チューブ、50……アーム、11……固定アーム、12…
…可動アーム取付部、13……モータ連結棒、14……水平
アーム、、22……長孔、23……チューブ開口部保持部、
31……可動アーム用凹部、32……固定アーム用凹部、33
……底部、41……開口部、42……閉口部、111……チュ
ーブ閉口部保持部、121……ボス。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液処理すべきチューブを液槽にその上から
   入れ、当該液槽内の液中に浸して液処理するチューブ液
   処理装置において、前記チューブを運ぶためのアームの
   下端部に連結されており且つ当該チューブを横にした状
   態で支持する一対のチューブ保持部を備えており、一対
   のチューブ保持部は、前記チューブの一端側を支持する
   固定側チューブ保持部と、前記チューブの他端側を支持
   する可動側チューブ保持部から構成されており、可動側
   チューブ保持部は、前記チューブを傾かせるべく、前記
   チューブの他端側の高さ位置が当該チューブの一端側を
   基準として上から下に変化し得るように前記アームに対
   して上下方向に移動自在に取付けられており、前記液槽
   の底面のうちでも前記チューブ又は一対のチューブ保持
   部が接触し得る部分に傾斜が設けられており、当該傾斜
   は固定側チューブ保持部と可動側チューブ保持部とを結
   んだときに可動側チューブ保持部が固定側チューブ保持
   部に比べて高くなるような方向の上り傾斜であることを
   特徴とするチューブ液処理装置。